SU1511228A1 - Травильный раствор - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технике травлени  стекла и может быть использовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла. С целью увеличени  глубины травлени  и снижени  неравномерности кра  рисунка травильный раствор включает, мас.% : HF 10-10,5

HNO₃ 10-14

NH₄F 17,6-18

H₂O - остальное. После формировани  покрыти  из тантала или титана стекло трав т в растворе. Глубина вытравленного рисунка составл ет 7 мкм

неравномерность кра  1-1,6 мкм

шероховатость 0,1-0,3 мкм.

Description

Изобретение относитс  к технике травлени  стекла и может быть исполь- .зовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла.

Цель изобретени  - увеличение глубины травлени  и снижение неравномерности кра  рисунка.

Пример l.Ha подложках из натрий-кальциевого стекла ионно-плаз- менным методом напыл ют пленку тантала толщиной 0,5 мкм. Методом фотолитографии формируют рисунок, через который стекло трав т в течение 3 мин в растворе, содержащем, мас.%: HF (45%-ный..

раствор)10,5

N11 F

18,0

ШГО5 (65%-ный раствор)10,5 61,0 Глубина вытравленной структурысоставила 12 мкм, т.е.скорость травпе- они  равна 4 мкм/мин.Неровность кра  0,5 мкм.

Пример 2вВ травильном растворе , -содержащем в своем составе, мас,%:

HF

NbUF ШО

10,0 17,5 10,0 62,5

скорость травлени  стекла составл ет 3,5 мкм/муш, шероховатость равна 0,3 мкм, неравномерность кра  рисунка не превышает 1 мкм, используемьш в качестве маски фоторезист начинает отслаиватьс  через 120 с. С учетом приведенных данных максимальна  глубина вытравленного рисунка без искажений составл ет 7 мкм,

Пример 3, В травильном растворе , содержащем в своем составе, мас.%:

НЕ10,5

18,0 14,0

HNOj

57,5

скорость травлени  стекла составл ет

315

4 мкм/мнн, шероховатость равна 0,1 мкм неравномерность кра  рисунка не превышает 1,6 мкм. Используемый в качестве маски фоторезист начинает отела- иватьс  через 80 с, т,е, максимальна  глубина вытравленного рисунка составл ет 5 мкм.

Таким образом, введение в состав травильного раствора азотной кислоты способствует увеличению скорости травлени  до 3,5-4,0 мкм/мин, в первую очередь вследствие улучшени  растворимости фторидов кальци  и магни  Использование в качестве маски пленок тантала или титана позвол ет улучшить качество формируемого рисунка за счет уменьшени  подтрава по краю рисунка и уменьшени  количества

что обуслов-

дефектов типа прокол.

t

лено значительно более Н)1сокими адгезией мет аллических пленок к стеклу и устойчивостью пленок тантала и титана к используемому травильному раствору

Claims (1)

1. Формула изобретени

   Травипьньш раствор, включающий HF, HNOg, , отличающий с   тем, что,, с целью увеличени  глубины травлени  и снижени  неравнмерности кра  рисунка, он дополнительно содержит при следующем соотношении компонентов, масв%: HF- 10-10,5

   ННОз10-14

   NH4F17,6-18,0

   Н ООстальное