Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Полупроводников Со Ан СссрfiledCriticalИнститут Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority to SU4010780/21ApriorityCriticalpatent/SU1414233A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1414233A1publicationCriticalpatent/SU1414233A1/ru
Устройство для закрепления полупроводниковых пластин, содержащее основание с токоподводами и с элементами фиксации полупроводниковой пластины и хвостовик, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено элементами разъемного соединения хвостовика и основания в виде выполненных в основании фигурных пазов и фигурных штифтов, установленных на хвостовике с возможностью сочленения с фигурными пазами основания и с токоподводами, причем фигурные штифты электрически изолированы один от другого.
SU4010780/21A1986-01-241986-01-24Устройство для закрепления полупроводниковых пластин
SU1414233A1
(ru)