SU1368050A1 - Установка дл обработки изделий - Google Patents
Установка дл обработки изделий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1368050A1 SU1368050A1 SU864099666A SU4099666A SU1368050A1 SU 1368050 A1 SU1368050 A1 SU 1368050A1 SU 864099666 A SU864099666 A SU 864099666A SU 4099666 A SU4099666 A SU 4099666A SU 1368050 A1 SU1368050 A1 SU 1368050A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- bath
- liquid
- tank
- cassettes
- drying chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Изобретение позвол ет повысить качество обработки и улучшить услови труда. Дл этого установка содержит р д технологических позиций, включающих ванны и камеру сушки 5, св занные между собой средством дл транспортировани изделий в кассетах 24. Ванна 4 с токсичной жидкостью сообщена с камерой сушки 5 и с раздаточной емкостью 10. При опускании кассет 24 в ванны последние герметизируютс . При достижении крайнего нижнего положени кассетой 24 в ванне 4 в нее поступает отработанный воздух из камеры сушки 5, а жидкость вытекает из ванны 4 в емкость 10 дл обработки изделий в парах и очистки жидкости . При кассет подача воздуха прекращаетс , жидкость из емкости 10 поступает в ванну 4, а пары из ванны 4 отсасываютс в емкость 10. При зтом исключено попадание токсичных паров в окружающую среду. 2 ил. (Л
Description
гч 3 ; 5 Л JJ
Изобретение относитс к машине- строению и может быть использовано в других област х народного хоз йства . . .
Цель изобретени -- повышение качества обработки изделий и улучшение условий труда.
На фиг, 1 показана схема установки; на фиг. 2 - схема взаимосв зи элементов установки,
Установка состоит из технологических позиций 1 - 6 средства 7 дл транспортировани изделий на технологические позиции, подвесок 8, ем- 9, раздаточной емкости 10, патрубка 11, средства 12 подачи подогретого воздуха, воздухораспределителей 13 и 14, средства 15 управлени воздухораспределител ми, пневмокла- пана 16, трубопровода 17, соедин ющего позицию 5 с позицией 4, трубопровода 18 20, соедин ющих позицию 4 с раздаточной емкостью 10, дросселей 21 и 22, трубопровода 23, кассет 24,
Установка работает следующим образом .
Издели загружают в кассеты 24 на позиции Г загрузки. Затем средство 7 поочередно перемещает кассеты 24, размещенные на подвесках 8, на технологические позиции 2-4, состо щие из ванн, позицию 5 - камеру сушки и позицию 6 выгрузки. Кажда подвеска снабжена крышкой, посредством которой герметизируетс кажда ванна и камера сушки. При зан тии кассетой 24 в ванне 4 с токсичной жидкостью крайнего нижнего положени срабатывают конечные выключатели (не показаны), включающие средство 12 подачи подогретого воздуха по трубопроводу 17 в камеру 5 сушки, а в св зи с тем, что она герметично закрыта, в камере создаетс избыточное давление и отработанный воздух по трубопроводу
17поступает в ванну 4, т.е. происходит процесс барботировани , что повышает качество очистки, а выход на поверхность жидкости, воздух создает в герметично закрытой ванне избыточное давление, которое начинает вытесн ть жидкость по трубопроводу
18из ванны 4 в раздаточную емкость 10 и далее через патрубок к фильтрам (не показаны) емкости,9, Пневмо клапан 16 в трубопроводе 20 закрыт при помощи воздухораспределителем 1
10
15
680502
При сливе жидкости издели обрабатываютс в ее парах, что так же повышает качество очистки, - После слива жидкости кассеты 24 начинают подниматьс вверх, отключаетс средство 12 подачи подогретого воздуха, средство 15 управлени воздухораспределител ми перекрывает воздухораспределитель 14 и открывает пневмоклапан 16, и жидкость из раздаточной емкости 10 начинает поступать по трубопроводу 20 в ванну 9, а воздухораспределитель 13 открываетс . При перемещении жидкости из раздаточной емкости 10 в ванну 4 в емкости создаетс разрежение, способствующее забору паров из ванны .4 по трубопроводу 19 и через открытый воздухораспределитель 13 в раздаточную емкость 10, что предотвращает выброс токсичных паров в окружающую среду при открытии крышки, этому также способствует холодильник, размещенный в ванне 4 (не показан). За счет полученности в емкости 10 разрежени по патрубку 11 из емкости 9 засасываетс отфильтрованна жидкость . Затем кассеты перемещаютс на следующие позиции и цикл повтор етс . Дроссели 21 и 22 служат дл регулировки -скоростей истечени и наполнени жидкостью ванны 4.
20
25
30
35
Claims (1)
- Формула изобретени05Установка дл обработки изделий, содержаща ванну дл обработки изделий в токсичной жидкости, камеру сушки , св занное с ней средство дл подачи нагретого воздуха, средство транспортировани изделий относительно технологических позиций, емкость дл сбора токсичной жидкости, св занную с ванной, отличающа с тем, что, с целью позьте- ни качества обработки и улучшени условий труда, она снабжена раздаточной емкостью с расположенным в ней вертикально патрубком, нижний конец которого сообщен с емкостью дл сбора токсичной жидкости, камера сушки сообщена с ванной, причем ванна соединена с раздаточной емкостью g трем трубопроводами, один из которых снабжен воздухораспределителем и пневмоклапаном дл закрыти трубопровода при сливе токсичной жидкости из камеры в раздаточную емкость.031368050а другой снабжен воздухораспредели- точной емкостью при выгрузке издели телем дл сообщени камеры с разда- в ванны.Фиг.Ч
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864099666A SU1368050A1 (ru) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | Установка дл обработки изделий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864099666A SU1368050A1 (ru) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | Установка дл обработки изделий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1368050A1 true SU1368050A1 (ru) | 1988-01-23 |
Family
ID=21249807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864099666A SU1368050A1 (ru) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | Установка дл обработки изделий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1368050A1 (ru) |
-
1986
- 1986-07-21 SU SU864099666A patent/SU1368050A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Вабиков О. И. Оборудование дл ультразвуковой очистки. - М.: ВНИИЭМ, 1964, с. 44, рис. 25а. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4816081A (en) | Apparatus and process for static drying of substrates | |
US5259407A (en) | Surface treatment method and apparatus for a semiconductor wafer | |
KR100304127B1 (ko) | 가반식 밀폐 컨테이너를 사용한 전자기판 처리시스템과 그의 장치 | |
PL186021B1 (pl) | Przemysłowe urządzenie do czyszczenia | |
JP2820761B2 (ja) | 小型物品の洗浄殺菌装置 | |
US4934392A (en) | Cleaning apparatus | |
SU1368050A1 (ru) | Установка дл обработки изделий | |
CN114951134A (zh) | 一种石英制品全自动清洗设备及其使用方法 | |
US4756322A (en) | Means for restoring the initial cleanness conditions in a quartz tube used as a reaction chamber for the production of integrated circuits | |
GB2212387A (en) | Cleaning and sterilizing apparatus | |
US5263264A (en) | Method and apparatus for drying wet work | |
US3392780A (en) | Apparatus for treating specimens | |
JPH07278859A (ja) | 金属加工品を清浄にするための方法及び装置 | |
SU1431871A1 (ru) | Устройство дл очистки изделий | |
KR100944844B1 (ko) | 열처리 장치 및 열처리 방법 | |
JPH04152525A (ja) | ウェット処理装置用処理槽 | |
US5527017A (en) | Apparatus for dissolving zinc by means of acid-containing liquid electrolytes | |
US4331633A (en) | Batch sterilizing unit | |
SU1104722A1 (ru) | Аппарат дл обработки материала жидкостью | |
JPH07249604A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
SU1003941A1 (ru) | Устройство дл очистки труб | |
JPS6254443A (ja) | ウエ−ハ等の乾燥方法および装置 | |
CN221199159U (zh) | 金相试样自动腐蚀装置 | |
CN214524521U (zh) | 一种化工助剂自动分装装置 | |
US20230212044A1 (en) | Unit and method for decomposing ozone, and substrate treating apparatus including the unit |