SU1368050A1 - Установка дл обработки изделий - Google Patents

Установка дл обработки изделий Download PDF

Info

Publication number
SU1368050A1
SU1368050A1 SU864099666A SU4099666A SU1368050A1 SU 1368050 A1 SU1368050 A1 SU 1368050A1 SU 864099666 A SU864099666 A SU 864099666A SU 4099666 A SU4099666 A SU 4099666A SU 1368050 A1 SU1368050 A1 SU 1368050A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
bath
liquid
tank
cassettes
drying chamber
Prior art date
Application number
SU864099666A
Other languages
English (en)
Inventor
Людмила Семеновна Зеленкова
Борис Владимирович Гусаков
Original Assignee
Научно-исследовательский институт технологии автомобильной промышленности
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт технологии автомобильной промышленности filed Critical Научно-исследовательский институт технологии автомобильной промышленности
Priority to SU864099666A priority Critical patent/SU1368050A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1368050A1 publication Critical patent/SU1368050A1/ru

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

Изобретение позвол ет повысить качество обработки и улучшить услови  труда. Дл  этого установка содержит р д технологических позиций, включающих ванны и камеру сушки 5, св занные между собой средством дл  транспортировани  изделий в кассетах 24. Ванна 4 с токсичной жидкостью сообщена с камерой сушки 5 и с раздаточной емкостью 10. При опускании кассет 24 в ванны последние герметизируютс . При достижении крайнего нижнего положени  кассетой 24 в ванне 4 в нее поступает отработанный воздух из камеры сушки 5, а жидкость вытекает из ванны 4 в емкость 10 дл  обработки изделий в парах и очистки жидкости . При кассет подача воздуха прекращаетс , жидкость из емкости 10 поступает в ванну 4, а пары из ванны 4 отсасываютс  в емкость 10. При зтом исключено попадание токсичных паров в окружающую среду. 2 ил. (Л

Description

гч 3 ; 5 Л JJ
Изобретение относитс  к машине- строению и может быть использовано в других област х народного хоз йства . . .
Цель изобретени  -- повышение качества обработки изделий и улучшение условий труда.
На фиг, 1 показана схема установки; на фиг. 2 - схема взаимосв зи элементов установки,
Установка состоит из технологических позиций 1 - 6 средства 7 дл  транспортировани  изделий на технологические позиции, подвесок 8, ем- 9, раздаточной емкости 10, патрубка 11, средства 12 подачи подогретого воздуха, воздухораспределителей 13 и 14, средства 15 управлени  воздухораспределител ми, пневмокла- пана 16, трубопровода 17, соедин ющего позицию 5 с позицией 4, трубопровода 18 20, соедин ющих позицию 4 с раздаточной емкостью 10, дросселей 21 и 22, трубопровода 23, кассет 24,
Установка работает следующим образом .
Издели  загружают в кассеты 24 на позиции Г загрузки. Затем средство 7 поочередно перемещает кассеты 24, размещенные на подвесках 8, на технологические позиции 2-4, состо щие из ванн, позицию 5 - камеру сушки и позицию 6 выгрузки. Кажда  подвеска снабжена крышкой, посредством которой герметизируетс  кажда  ванна и камера сушки. При зан тии кассетой 24 в ванне 4 с токсичной жидкостью крайнего нижнего положени  срабатывают конечные выключатели (не показаны), включающие средство 12 подачи подогретого воздуха по трубопроводу 17 в камеру 5 сушки, а в св зи с тем, что она герметично закрыта, в камере создаетс  избыточное давление и отработанный воздух по трубопроводу
17поступает в ванну 4, т.е. происходит процесс барботировани , что повышает качество очистки, а выход  на поверхность жидкости, воздух создает в герметично закрытой ванне избыточное давление, которое начинает вытесн ть жидкость по трубопроводу
18из ванны 4 в раздаточную емкость 10 и далее через патрубок к фильтрам (не показаны) емкости,9, Пневмо клапан 16 в трубопроводе 20 закрыт при помощи воздухораспределителем 1
10
15
680502
При сливе жидкости издели  обрабатываютс  в ее парах, что так же повышает качество очистки, - После слива жидкости кассеты 24 начинают подниматьс  вверх, отключаетс  средство 12 подачи подогретого воздуха, средство 15 управлени  воздухораспределител ми перекрывает воздухораспределитель 14 и открывает пневмоклапан 16, и жидкость из раздаточной емкости 10 начинает поступать по трубопроводу 20 в ванну 9, а воздухораспределитель 13 открываетс . При перемещении жидкости из раздаточной емкости 10 в ванну 4 в емкости создаетс  разрежение, способствующее забору паров из ванны .4 по трубопроводу 19 и через открытый воздухораспределитель 13 в раздаточную емкость 10, что предотвращает выброс токсичных паров в окружающую среду при открытии крышки, этому также способствует холодильник, размещенный в ванне 4 (не показан). За счет полученности в емкости 10 разрежени  по патрубку 11 из емкости 9 засасываетс  отфильтрованна  жидкость . Затем кассеты перемещаютс  на следующие позиции и цикл повтор етс . Дроссели 21 и 22 служат дл  регулировки -скоростей истечени  и наполнени  жидкостью ванны 4.
20
25
30
35

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    0
    5
    Установка дл  обработки изделий, содержаща  ванну дл  обработки изделий в токсичной жидкости, камеру сушки , св занное с ней средство дл  подачи нагретого воздуха, средство транспортировани  изделий относительно технологических позиций, емкость дл  сбора токсичной жидкости, св занную с ванной, отличающа с  тем, что, с целью позьте- ни  качества обработки и улучшени  условий труда, она снабжена раздаточной емкостью с расположенным в ней вертикально патрубком, нижний конец которого сообщен с емкостью дл  сбора токсичной жидкости, камера сушки сообщена с ванной, причем ванна соединена с раздаточной емкостью g трем  трубопроводами, один из которых снабжен воздухораспределителем и пневмоклапаном дл  закрыти  трубопровода при сливе токсичной жидкости из камеры в раздаточную емкость.
    0
    31368050
    а другой снабжен воздухораспредели- точной емкостью при выгрузке издели  телем дл  сообщени  камеры с разда- в ванны.
    Фиг.Ч
SU864099666A 1986-07-21 1986-07-21 Установка дл обработки изделий SU1368050A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864099666A SU1368050A1 (ru) 1986-07-21 1986-07-21 Установка дл обработки изделий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864099666A SU1368050A1 (ru) 1986-07-21 1986-07-21 Установка дл обработки изделий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1368050A1 true SU1368050A1 (ru) 1988-01-23

Family

ID=21249807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864099666A SU1368050A1 (ru) 1986-07-21 1986-07-21 Установка дл обработки изделий

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1368050A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Вабиков О. И. Оборудование дл ультразвуковой очистки. - М.: ВНИИЭМ, 1964, с. 44, рис. 25а. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4816081A (en) Apparatus and process for static drying of substrates
US5259407A (en) Surface treatment method and apparatus for a semiconductor wafer
KR100304127B1 (ko) 가반식 밀폐 컨테이너를 사용한 전자기판 처리시스템과 그의 장치
PL186021B1 (pl) Przemysłowe urządzenie do czyszczenia
JP2820761B2 (ja) 小型物品の洗浄殺菌装置
US4934392A (en) Cleaning apparatus
SU1368050A1 (ru) Установка дл обработки изделий
CN114951134A (zh) 一种石英制品全自动清洗设备及其使用方法
US4756322A (en) Means for restoring the initial cleanness conditions in a quartz tube used as a reaction chamber for the production of integrated circuits
GB2212387A (en) Cleaning and sterilizing apparatus
US5263264A (en) Method and apparatus for drying wet work
US3392780A (en) Apparatus for treating specimens
JPH07278859A (ja) 金属加工品を清浄にするための方法及び装置
SU1431871A1 (ru) Устройство дл очистки изделий
KR100944844B1 (ko) 열처리 장치 및 열처리 방법
JPH04152525A (ja) ウェット処理装置用処理槽
US5527017A (en) Apparatus for dissolving zinc by means of acid-containing liquid electrolytes
US4331633A (en) Batch sterilizing unit
SU1104722A1 (ru) Аппарат дл обработки материала жидкостью
JPH07249604A (ja) 洗浄方法及び洗浄装置
SU1003941A1 (ru) Устройство дл очистки труб
JPS6254443A (ja) ウエ−ハ等の乾燥方法および装置
CN221199159U (zh) 金相试样自动腐蚀装置
CN214524521U (zh) 一种化工助剂自动分装装置
US20230212044A1 (en) Unit and method for decomposing ozone, and substrate treating apparatus including the unit