SU1359663A1

SU1359663A1 - Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей

Info

Publication number: SU1359663A1
Application number: SU853843478A
Authority: SU
Inventors: Исак Яковлевич Бубис; Алексей Иванович Кузнецов; Владимир Борисович Хорошкеев
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1985-01-11
Filing date: 1985-01-11
Publication date: 1987-12-15

Abstract

Изобретение относитс к измери- тельной технике. Цель изобретени - обеспечение контрол прот женных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм. Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через пол роид 2, регулирующий интенсивность пучка света. Цилиндрической телескопической системой 3 сечение пучка света преобразуетс в продолговатое. (Л со СП со о: о: со

Description

Далее пучок лучей преломл етс зеркалом 4 и цилиндрической линзой 5 собираетс в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок и светоделителем 8 преломл етс к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему прерз етную свет щуюс линию. За цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическа цилиндрическа линза 10 выпуклей поверхностью к светоделителю 8. Вогнута сторона концентрической цилиндрической линзы 10 вл етс эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилинд1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол цилиндрических

поверхностей.

Цель изобретени - обеспечение контрол прот женных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм.

На фиг. 1 изображена принципиальна схема интерферометра дл контрол цилиндрических поверхностейj на фиг. 2 - вид А на фиг. 1. .

Интерферометр содержит последова- тельно установленные монохроматический источник 1 света, пол роид. 2,ци- лцндрическую телескопическую систе- 3, зеркало 4, цилищ1;рич:ескую линзу 5, щелевую диафрагму 6, цилиндри- ческий объектив 7, светоделитель 8, второй цилиндрический объектив 9 и концентрическую цилиндрическую линзу 10, регистратор 11 интерференционной картины.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через пол роид 2, регулирующий интенсивность пучка света. С помощью цилиндрическо телескопической системы 3 сечение пучка света преобразуетс в продолговатое . Далеенучок лучей преломл етс зеркалом 4 и с помощью цилиндрирической поверхности интерферометра совмещаетс с предметной свет щейс линией. Далее цилиндрический волн о- вой фронт падает на провер емую деталь 12. Пучки, отраженные от провер емой детали 12 и от эталонной поверхности , при совмещении интерферируют . Интерференционна картина наблюдаетс или фиксируетс с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Дл выравнивани интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наноситс покрытие с необходимым коэффициентом отражени . 2 ил.

ческой линзы 5 собираетс в плоскости щелевой диафрагмы ё. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок, который светоделителем 8 преломл етс к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную свет щуюс линию. За вторым цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическа цилиндрическа линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнута сторона концентрической цилиндрической линзы 10 вл етс эталонной поверхностью интерферометра . Ось эталонной цилиндрической поверхности интерферометра совмещаетс с предметной свет щейс линией. Далее цилиндрический,волновой фронт падает на провер емую де-. таль 12. Пучки отраженные от провер емой детали 12 и от эталонной поверхности , при совмещении интерферируют . Интерференционна картина наблюдаетс или фиксируетс с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Дл выравнивани интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наноситс покрытие с необходимым коэффициентом отражени .

Введение за монохроматическим источником 1 света пол роида 2 позвол ет регулировать ркость интерференционной картины, что улучшает услови работы, например при наблюдении глазом, позвол ет ослабить ркость интрференционной картины, а при фотографировании -повысить .

Расположение за пол роидом 2 цилиндрической телескопической системы 3, а за цилиндрической линзой 5 - щелевой диафрагмы 6 обеспечивает получение прот женного промежуточного изображени источника 1 света, равномерного по интенсивности по всей длине, свободного от рассе нного све та и бликов.

Введение за щелевой диафрагмой 6 цилиндрического объектива 7, за светоделителем 8 - второго цилиндрического объектива 9 позвол ет сформировать предметную свет щуюс линию с требуемым увеличением без потерь света.

0

5

Claims

Формула изобретени

Интерферометр дл контрол цилинд- рических поверхностей, содержащий последовательно установленные монохроматический источник света, зеркало, цилиндрическую линзу, светоделитель и регистрирующий блок, отличающийс - тем, что, с целью обеспечени контрол прот женных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм, он снабжен пол роидом и цилиндрической телескопической системой, после- довач ельно установленными между источником света и зеркалом, щелевой диафрагмой и цилиндрическим объективом , последовательно установленными между цилиндрической линзой и светоделителем, и последовательно установленными за светоделителем вторым цилиндрическим объективом .и концентрической линзой, вогнута поверхность которой вл етс эталонной, а выпукла обращена к светоделителю.

BucfA

Составитель Л.Лобзова Редактор Э.Слиган Техред М.Дидьк Корректор М.Максиьшшинец

Заказ 6146/44 Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений И открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб.; д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

Cpuff.Z