SU339772A1

SU339772A1 - Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

Info

Publication number: SU339772A1
Application number: SU1605997A
Authority: SU
Original assignee: Ю. П. Контиевский, О. А. Клочкова , А. А. Холопова; ДТЕг НКК БИБЛИОТЕКА

Description

Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники, в частности к области контрол качества плоских оптических поверхностей, и может найти применение в олтико-механиЧеской промышленности.

Известен интерферометр дл контрол качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и наблюдательную системы , установленные под углом друг к другу и снаблсенные плоским светоделителем и плоским зеркалом кажда .

В известном интерферометре контролируема и эталонна поверхности, наход тс на значительном рассто нии друг от друга, что затрудн ет возможность сохранени неизменной интерференционной картины в процессе измерений.

С целью повышени стабильности интерференционной картины в предлагаемОМ интерферометре дл контрол качества .плоских оптических поверхностей угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким образом , что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси под теми

же углами, что и зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых рассто ни х от точки пересечени оптических осей на.блюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью. Оба интерферирующих пучка лучей отрал аютс от контролируемой поверхности, благодар чему не большие смещени контролируемой детали значительно меньше вли ют на

интерференционную картину, чем в известных интерферометрах.

На чертеже показана схема предлагаемого интерферометра. Интерферометр включает осветительную систему / и наблюдательную систему 2. В осветительную систему вход т источник 3 излучени , конденсор 4, диафрагма 5, объектив 6, светоделитель 7 и зеркало- 8. Наблюдательна система включает зеркало 9 светоделитель 10,

объектив 11 и диафрагму 12.

Оптическа ось осветительной системы и оптическа наблюдательность системы составл ет различные углы с контролируемой плоскостью 13.

Предлагаемый интерферометр работает следующим Образом.

диафрагмой 12. Если контролируема поверхность не вл етс абсолютно плоской, а имеет вид, например, сферы с большим радиусом, то дл получени истинного отстушлени контролируемой поверхности от плоскости измеренную величину искривлени полос равной толщины нужно умножить на дробь:

cos /1 cos /2(cos ii - cos /2)

Предлагаемый интерферометр может примен тьс дл контрол плоскостей большого размера. Световые диам.етры Объективов осветительной и наблюдательной систем могут быть в несколько раз меньше, чем размер KOIIтролируемой плоскости, так как оба интерферируюших пучка отражаютс от контролируемой плоскости, то интерферометр позвол ет контролировать поверхности с лЮбым коэффициентом отражени .

Предмет изобретени

Интерферометр дл контрол качества плоских оптических поверхностей, содержа5 ш,ий осветительную и наблюдательную системы , установленные под углом друг к другу и снабженные ллоским светоделителем и плоским зеркалом кажда , отличающийс тем, что, с целью повышени стабильности интерференционной картины, угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким Образом , что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферируюш,их пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси оод теми

0 же углами, что зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых рассто ни х от точки пересечени оптических осей наблюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью.