SU1260676A1 - Interferometer for checking shape of optical surfaces - Google Patents

Interferometer for checking shape of optical surfaces Download PDF

Info

Publication number
SU1260676A1
SU1260676A1 SU843749318A SU3749318A SU1260676A1 SU 1260676 A1 SU1260676 A1 SU 1260676A1 SU 843749318 A SU843749318 A SU 843749318A SU 3749318 A SU3749318 A SU 3749318A SU 1260676 A1 SU1260676 A1 SU 1260676A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
concave
mirror
interferometer
oriented
Prior art date
Application number
SU843749318A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Даниил Трофимович Пуряев
Александр Михайлович Романов
Original Assignee
МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МВТУ им.Н.Э.Баумана filed Critical МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority to SU843749318A priority Critical patent/SU1260676A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1260676A1 publication Critical patent/SU1260676A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к области измерительной техники и может использоватьс  при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей. Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контрол  путем устранени  .необходимости нанесени  зеркального покрыти  на поверхность детали. Излучение от источника поступает -через телескопическую систему на светоделитель , дел щий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой - в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутое зеркало и контролируема  деталь. Поток, выход щий из объектива, отражаетс  от поверхности вогнутого зеркала , падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повтор ет свой путь в обратном направлении, .Лучи света, образованные потоком, отраженным от эталонной поверхности плоского зеркала, интерфериру1от с лучами, выход щими из рабочей ветви. По виду интерференционной картины регистрируемой системой суд т о качестве контролируемой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. I (Л с iNd а о Эд The invention relates to the field of measurement technology and can be used in the production and control of large-sized optical components. The aim of the invention is to simplify the design of the interferometer, expand the range of monitored surfaces and increase the monitoring performance by eliminating the need to apply a mirror coating on the surface of the part. The radiation from the source enters through the telescopic system to the beam splitter, which divides the flux falling on it by two. One stream goes to the reference branch, the other to the work branch, in which the lens, the concave mirror and the item are controlled. The stream coming out of the lens is reflected from the surface of the concave mirror, falls on the controlled part and, reflected from it, repeats its path in the opposite direction. The rays of light formed by the stream reflected from the reference surface of the flat mirror interfere with the rays, the output from the work branch. By the form of the interference pattern of the recorded system, the quality of the test surface is judged. 1 hp f-ly, 2 ill. I (L with iND and about Ed

Description

Изобретение относитс  к измери- тельной технике и может использоватьс  при производстве и контроле круЛ- ногабаритных оптических деталей.The invention relates to measurement technology and can be used in the production and control of large-sized optical components.

Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контрол  путем устранени  необходимости нанесени  зеркального покрыти  на поверхность детали.The aim of the invention is to simplify the design of the interferometer, expand the range of monitored surfaces and increase the control performance by eliminating the need to apply a specular coating on the surface of the part.

На фиг. 1 схематически представлен интерферометр; на фиг. 2 - вариант вьшолнени  объектива.FIG. 1 schematically shows the interferometer; in fig. 2 - Lens option.

Интерферометр содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучени , телескопическую систему 2, светоделительThe interferometer contains successive monochromatic radiation source 1, a telescopic system 2, a beam splitter

3,дел щий падающий на него поток3 dividing the flow falling on it

на два, в одном из которых установлено эталонное плоское зеркало 4, в другом - объектив 5, вогнутое зеркало 6, регистрирующую систему 7, вогнутое зеркало 6 установлено за объективом 5 и ориентировано так, что его вогнута  поверхность обращена к объективу 5, объектив 5 выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнута  поверхность обращена к вогнутому зеркалу. 8 - контролируема  деталь.two, one of which is equipped with a reference flat mirror 4, the other has a lens 5, a concave mirror 6, a recording system 7, a concave mirror 6 is installed behind the lens 5 and oriented so that its concave surface is facing the lens 5, the lens 5 is made in the form of a flat-concave lens with an aspherical concave surface and is oriented so that the concave surface faces the concave mirror. 8 - controlled part.

Объектив 5 (фиг. 2) может быть выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз 9 и 10, плосковогнута  линза ориентирована так, что ее вогнута  поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы 10, менискова  линза ориентирована так, что ее вогнута  поверхность обращена к вогнутому зеркалу.Lens 5 (Fig. 2) can be made in the form of flat-curved and meniscus lenses 9 and 10, the flat-curved lens is oriented so that its concave surface faces the convex surface of the meniscus lens 10, the meniscus lens is oriented so that its concave surface faces the concave mirror .

Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.

Излучение от источника 1 поступает через телескопическую систему 2 на светоделитель 3, дел щий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь интерферометра , образованную плоским зеркаломThe radiation from source 1 is transmitted through the telescopic system 2 to the beam splitter 3, which divides the flux falling on it into two. One stream goes to the reference branch of the interferometer formed by a flat mirror

4,другой - в рабочую ветвь, в которой расположены объектив 5, вогнутое зеркало 6 и контролируема  деталь 8. Поток, выход щий из объектива 5, отражаетс  от поверхности вогнутого зеркала 6, падает на контролируемую деталь 8 и, отразившись от нее, потом повтор ет свой путь в обратном направлении, т.е. выходит из объектива 5, отражаетс  от светоделител  3 и поступает в в регистрирующую систему 7. Лучи света, отраженные от эталонной поверхности плоского зеркала 4, интерферируют с лучами, выход щими из рабочей ветви. Интерференционна  картина регистрируетс  системой4, the other, into the working branch in which the lens 5, the concave mirror 6 is located and the part 8 is controlled. The stream leaving the lens 5 is reflected from the surface of the concave mirror 6, falls on the part being monitored 8 and, having reflected from it, then repeat em its way back, i.e. comes out of lens 5, is reflected from the beam splitter 3 and enters the recording system 7. Rays of light reflected from the reference surface of the flat mirror 4 interfere with the rays emanating from the work branch. The interference pattern is recorded by the system.

7. По виду интерференционной картины суд т о качестве контролируемой поверхности .7. By the form of the interference pattern, the quality of the test surface is judged.

В случае применени  объектива 5, выполненного в виде плосковогнутойIn the case of the use of lens 5, made in the form of flat-concave

линзы 9 и менисковой линзы 10, плоское зеркало 4 исключаетс  из хода лучей, так как его роль вьтолн ет плоска  поверхность объектива 5.lenses 9 and meniscus lenses 10, the flat mirror 4 is excluded from the path of the rays, since its role fulfills the flat surface of the objective 5.

Фор мула изобретени Formula of invention

Claims (2)

1.Интерферометр дл  контрол  формы оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучени , телескопическую систему и светоделитель, дел щий падающий на него поток на два, в одном из которых установлено эталонное штос- 1. An interferometer for controlling the shape of optical surfaces, containing successively located sources of monochromatic radiation, a telescopic system and a beam splitter, dividing the flux falling on it into two, one of which has a reference bridge кое зеркало а в другом - объектив и вогнутое зеркало, и регистрирующую систему, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции интерферометра, расширени  диапазона параметров контролируемых поверхностей и повышени  производительности контрол , вогнутое зеркало установлено за объективом и ориентировано так, что его вогнута  поверхность обращена к объективу, а объектив выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнута  поверхность обращена к вогнуто-.A mirror and another - a lens and a concave mirror, and a recording system, characterized in that, in order to simplify the design of the interferometer, expand the range of parameters of monitored surfaces and increase the control performance, the concave mirror is mounted behind the lens and oriented so that its concave surface faces to the lens, and the lens is made in the form of a flat-concave lens with an aspherical concave surface and is oriented so that the concave surface faces the concave-. му зеркалу.mu mirror. 2.Интерферометр по п. 1, отличающийс  тем, что объектив выполнен в виде плосковогнутой и2. The interferometer according to claim 1, characterized in that the lens is made in the form of a flat-concave and менисковой линз, плосковогнута  линза ориентирована так, что ее вогнута  поверхность обращена к выпуклой поверхности.менисковой линзы, а менискова  линза ориентирована так,the meniscus lens, the flat-concave lens is oriented so that its concave surface faces the convex surface. the personal lens, and the meniscus lens is oriented so что ее вогнута  поверхность обращена к вогнутому зеркалу.that its concave surface is facing a concave mirror. (pi/г. 2(pi / g. 2 Редактор Н.Горват Заказ 5214/36Editor N.Gorvat Order 5214/36 Составитель Н.ЗахаренкоCompiled by N. Zakharenko Техред Л.Олейник Корректор 0.Г1угова Tehred L.Oleynik Proofreader 0.G1ugova Тираж 670ПодписноеCirculation 670 Subscription ВНИИПИ Государственного комитета СССРVNIIPI USSR State Committee по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5 Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, Projecto st., 4
SU843749318A 1984-06-05 1984-06-05 Interferometer for checking shape of optical surfaces SU1260676A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843749318A SU1260676A1 (en) 1984-06-05 1984-06-05 Interferometer for checking shape of optical surfaces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843749318A SU1260676A1 (en) 1984-06-05 1984-06-05 Interferometer for checking shape of optical surfaces

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1260676A1 true SU1260676A1 (en) 1986-09-30

Family

ID=21122290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843749318A SU1260676A1 (en) 1984-06-05 1984-06-05 Interferometer for checking shape of optical surfaces

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1260676A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 149910, кл. G 01 В 9/02, 1969. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1260676A1 (en) Interferometer for checking shape of optical surfaces
SU1295211A1 (en) Interferometer for checking shape of aspherical surfaces
SU991150A1 (en) Interferometer for optical system quality control
SU149910A1 (en) Interferometer to control the quality of second-order surfaces of rotation
SU1359663A1 (en) Interferometer for checking cylindrical surfaces
SU844995A1 (en) Interferometer for inspection of article surface
JPS56118609A (en) Measuring method for azimuth angle of magnetic head
SU1352198A1 (en) Device for checking outside dimensions of components
SU1315801A1 (en) Device for checking surface roughness
SU1254551A2 (en) Air-floated optical head
SU1368623A1 (en) Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces
SU1315799A1 (en) Device for measuring linear displacements
SU894351A1 (en) Interferometer for checking concave parabolic surfaces
SU848996A1 (en) Interferometer for surface quality control, large optical element aberration determination and transparent non-uniformity investigation
SU1399644A1 (en) Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer
SU823845A1 (en) Interferometer for checking concave spherical surfase form
RU1768965C (en) Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution
SU1326879A1 (en) Interferometer
SU1456777A1 (en) Method of checking surface roughness
SU1425437A1 (en) Interferometer for checking convex paraboloids
SU1657947A1 (en) Interferometer for checking of aspherical quadric surfaces
SU996857A1 (en) Interferometer for optical surface shape checking
SU1672206A1 (en) Method of measuring decentering of optical parts and device for effecting same
SU1239515A1 (en) Interferometer for checking shape of flat surfaces of optical parts
SU1499109A1 (en) Apparatus for recording interferograms