SU1260676A1 - Interferometer for checking shape of optical surfaces - Google Patents
Interferometer for checking shape of optical surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- SU1260676A1 SU1260676A1 SU843749318A SU3749318A SU1260676A1 SU 1260676 A1 SU1260676 A1 SU 1260676A1 SU 843749318 A SU843749318 A SU 843749318A SU 3749318 A SU3749318 A SU 3749318A SU 1260676 A1 SU1260676 A1 SU 1260676A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- concave
- mirror
- interferometer
- oriented
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области измерительной техники и может использоватьс при производстве и контроле крупногабаритных оптических деталей. Целью изобретени вл етс упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контрол путем устранени .необходимости нанесени зеркального покрыти на поверхность детали. Излучение от источника поступает -через телескопическую систему на светоделитель , дел щий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой - в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутое зеркало и контролируема деталь. Поток, выход щий из объектива, отражаетс от поверхности вогнутого зеркала , падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повтор ет свой путь в обратном направлении, .Лучи света, образованные потоком, отраженным от эталонной поверхности плоского зеркала, интерфериру1от с лучами, выход щими из рабочей ветви. По виду интерференционной картины регистрируемой системой суд т о качестве контролируемой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. I (Л с iNd а о Эд The invention relates to the field of measurement technology and can be used in the production and control of large-sized optical components. The aim of the invention is to simplify the design of the interferometer, expand the range of monitored surfaces and increase the monitoring performance by eliminating the need to apply a mirror coating on the surface of the part. The radiation from the source enters through the telescopic system to the beam splitter, which divides the flux falling on it by two. One stream goes to the reference branch, the other to the work branch, in which the lens, the concave mirror and the item are controlled. The stream coming out of the lens is reflected from the surface of the concave mirror, falls on the controlled part and, reflected from it, repeats its path in the opposite direction. The rays of light formed by the stream reflected from the reference surface of the flat mirror interfere with the rays, the output from the work branch. By the form of the interference pattern of the recorded system, the quality of the test surface is judged. 1 hp f-ly, 2 ill. I (L with iND and about Ed
Description
Изобретение относитс к измери- тельной технике и может использоватьс при производстве и контроле круЛ- ногабаритных оптических деталей.The invention relates to measurement technology and can be used in the production and control of large-sized optical components.
Целью изобретени вл етс упрощение конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повьшение производительности контрол путем устранени необходимости нанесени зеркального покрыти на поверхность детали.The aim of the invention is to simplify the design of the interferometer, expand the range of monitored surfaces and increase the control performance by eliminating the need to apply a specular coating on the surface of the part.
На фиг. 1 схематически представлен интерферометр; на фиг. 2 - вариант вьшолнени объектива.FIG. 1 schematically shows the interferometer; in fig. 2 - Lens option.
Интерферометр содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучени , телескопическую систему 2, светоделительThe interferometer contains successive monochromatic radiation source 1, a telescopic system 2, a beam splitter
3,дел щий падающий на него поток3 dividing the flow falling on it
на два, в одном из которых установлено эталонное плоское зеркало 4, в другом - объектив 5, вогнутое зеркало 6, регистрирующую систему 7, вогнутое зеркало 6 установлено за объективом 5 и ориентировано так, что его вогнута поверхность обращена к объективу 5, объектив 5 выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнута поверхность обращена к вогнутому зеркалу. 8 - контролируема деталь.two, one of which is equipped with a reference flat mirror 4, the other has a lens 5, a concave mirror 6, a recording system 7, a concave mirror 6 is installed behind the lens 5 and oriented so that its concave surface is facing the lens 5, the lens 5 is made in the form of a flat-concave lens with an aspherical concave surface and is oriented so that the concave surface faces the concave mirror. 8 - controlled part.
Объектив 5 (фиг. 2) может быть выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз 9 и 10, плосковогнута линза ориентирована так, что ее вогнута поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы 10, менискова линза ориентирована так, что ее вогнута поверхность обращена к вогнутому зеркалу.Lens 5 (Fig. 2) can be made in the form of flat-curved and meniscus lenses 9 and 10, the flat-curved lens is oriented so that its concave surface faces the convex surface of the meniscus lens 10, the meniscus lens is oriented so that its concave surface faces the concave mirror .
Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.
Излучение от источника 1 поступает через телескопическую систему 2 на светоделитель 3, дел щий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь интерферометра , образованную плоским зеркаломThe radiation from source 1 is transmitted through the telescopic system 2 to the beam splitter 3, which divides the flux falling on it into two. One stream goes to the reference branch of the interferometer formed by a flat mirror
4,другой - в рабочую ветвь, в которой расположены объектив 5, вогнутое зеркало 6 и контролируема деталь 8. Поток, выход щий из объектива 5, отражаетс от поверхности вогнутого зеркала 6, падает на контролируемую деталь 8 и, отразившись от нее, потом повтор ет свой путь в обратном направлении, т.е. выходит из объектива 5, отражаетс от светоделител 3 и поступает в в регистрирующую систему 7. Лучи света, отраженные от эталонной поверхности плоского зеркала 4, интерферируют с лучами, выход щими из рабочей ветви. Интерференционна картина регистрируетс системой4, the other, into the working branch in which the lens 5, the concave mirror 6 is located and the part 8 is controlled. The stream leaving the lens 5 is reflected from the surface of the concave mirror 6, falls on the part being monitored 8 and, having reflected from it, then repeat em its way back, i.e. comes out of lens 5, is reflected from the beam splitter 3 and enters the recording system 7. Rays of light reflected from the reference surface of the flat mirror 4 interfere with the rays emanating from the work branch. The interference pattern is recorded by the system.
7. По виду интерференционной картины суд т о качестве контролируемой поверхности .7. By the form of the interference pattern, the quality of the test surface is judged.
В случае применени объектива 5, выполненного в виде плосковогнутойIn the case of the use of lens 5, made in the form of flat-concave
линзы 9 и менисковой линзы 10, плоское зеркало 4 исключаетс из хода лучей, так как его роль вьтолн ет плоска поверхность объектива 5.lenses 9 and meniscus lenses 10, the flat mirror 4 is excluded from the path of the rays, since its role fulfills the flat surface of the objective 5.
Фор мула изобретени Formula of invention
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843749318A SU1260676A1 (en) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | Interferometer for checking shape of optical surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843749318A SU1260676A1 (en) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | Interferometer for checking shape of optical surfaces |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1260676A1 true SU1260676A1 (en) | 1986-09-30 |
Family
ID=21122290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843749318A SU1260676A1 (en) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | Interferometer for checking shape of optical surfaces |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1260676A1 (en) |
-
1984
- 1984-06-05 SU SU843749318A patent/SU1260676A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 149910, кл. G 01 В 9/02, 1969. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1260676A1 (en) | Interferometer for checking shape of optical surfaces | |
SU1295211A1 (en) | Interferometer for checking shape of aspherical surfaces | |
SU991150A1 (en) | Interferometer for optical system quality control | |
SU149910A1 (en) | Interferometer to control the quality of second-order surfaces of rotation | |
SU1359663A1 (en) | Interferometer for checking cylindrical surfaces | |
SU844995A1 (en) | Interferometer for inspection of article surface | |
JPS56118609A (en) | Measuring method for azimuth angle of magnetic head | |
SU1352198A1 (en) | Device for checking outside dimensions of components | |
SU1315801A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
SU1254551A2 (en) | Air-floated optical head | |
SU1368623A1 (en) | Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces | |
SU1315799A1 (en) | Device for measuring linear displacements | |
SU894351A1 (en) | Interferometer for checking concave parabolic surfaces | |
SU848996A1 (en) | Interferometer for surface quality control, large optical element aberration determination and transparent non-uniformity investigation | |
SU1399644A1 (en) | Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer | |
SU823845A1 (en) | Interferometer for checking concave spherical surfase form | |
RU1768965C (en) | Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution | |
SU1326879A1 (en) | Interferometer | |
SU1456777A1 (en) | Method of checking surface roughness | |
SU1425437A1 (en) | Interferometer for checking convex paraboloids | |
SU1657947A1 (en) | Interferometer for checking of aspherical quadric surfaces | |
SU996857A1 (en) | Interferometer for optical surface shape checking | |
SU1672206A1 (en) | Method of measuring decentering of optical parts and device for effecting same | |
SU1239515A1 (en) | Interferometer for checking shape of flat surfaces of optical parts | |
SU1499109A1 (en) | Apparatus for recording interferograms |