SU1315801A1

SU1315801A1 - Device for checking surface roughness

Info

Publication number: SU1315801A1
Application number: SU853959536A
Authority: SU
Inventors: Георг Рафаилович Гольдберг; Юрий Николаевич Клиентов; Евгений Борисович Поклад; Алексей Николаевич Шестов; Владимир Петрович Захаров; Юрий Владимирович Ломакин; Александр Васильевич Перов
Original assignee: Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики; Предприятие П/Я Р-6670
Priority date: 1985-10-03
Filing date: 1985-10-03
Publication date: 1987-06-07

Abstract

Изобретение относитс к измери- , тельной технике и может быть использовано , в частности, дл контрол шероховатости поверхности. Цель изобретени - повышение точности контрол и упрощение конструкции за счет осуществлени кольцевого освещени и исключени вли ни направлений неровностей контролируемой поверхности на показани устройства. Уст1 ойство дл контрол шероховатости поверхности содержит источник 1 излучени , фотоприемник 4 дл регистрации зеркально (Л Фие.гThe invention relates to measuring, fielding technique and can be used, in particular, to control the surface roughness. The purpose of the invention is to improve the accuracy of control and simplify the design by implementing annular illumination and eliminating the influence of the direction of irregularities of the test surface on the device readings. The device for monitoring the surface roughness contains a source of radiation 1, a photodetector 4 for recording mirrored (L Phieg

Description

отраженного излучени , фотоприемник 5 канала сравнени и блок обработки сигналов с фотоприемников, проекционную систему, выполненную в виде плоско-выпуклой линзы 2, обращенной выпуклостью к контролируемой поверхности , и фокусирующего кольцевого от ражател 3, осесимметричного оптичес кой оси линзы 25 причем на плоскую поверхность линзы нанесено отражаюИзобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , в частности, дл контрол шероховатости поверхности.the reflected radiation, the photodetector 5 of the comparison channel and the signal processing unit from the photodetectors, a projection system made in the form of a plane-convex lens 2, convexity facing the test surface, and a focusing ring reflector 3, axisymmetric optical axis of the lens 25 and on the flat surface of the lens reflecting is applied. The invention relates to the measurement technique and can be used, in particular, to control the surface roughness.

Цель изобретени - повышение точности контрол и упрощение конструкции за счет осуществлени кольцевого освещени и исключени вли ни направлений неровностей контролируемой поверхности на показани устройстваThe purpose of the invention is to improve the accuracy of control and simplify the design by implementing annular illumination and eliminating the influence of the direction of irregularities of the test surface on the device readings.

На фиг, 1 изображена принципиальна схема устройства дл контрол шероховатости поверхности; на фиг,2 разрез А-А на фиг, I, Устройство содержит источник 1 излучени , проекционную систему в виде плосковыпуклой линзы 2, на плоскую поверхность которой нанесено отражающее покрытие в виде нечетного радиального растра, состо щего из нечетного количества равных отражающих секторов и симметричных им прозрачных секторов, и фокусирующего кольцевого отражател 3, установленного симметрично оптической оси линзы 2, фотоприемник 4 дп регистрации зеркально отраженного излучени , фотоприемник 5 канала сравнени и блок обработки сигналов с фотоприемников (не показан),Fig. 1 is a schematic diagram of a device for monitoring surface roughness; FIG. 2, section A-A in FIG. I; The device comprises a radiation source 1, a projection system in the form of a flat-convex lens 2, on the flat surface of which a reflective coating is applied in the form of an odd radial raster consisting of an odd number of equal reflecting sectors and symmetrical them transparent sectors, and a focusing ring reflector 3, installed symmetrically to the optical axis of the lens 2, a photodetector 4 dp of recording the reflected radiation, a photodetector 5 of the reference channel and a signal processing unit with f topriemnikov (not shown)

Источник 1 излучени находитс в переднем фокусе F линзы, а фотоприемник 4 расположен от плоской поверхности линзы 2 на рассто нии, равном половине ее заднего фокусного рассто ни , а именно .The radiation source 1 is located in the front focus F of the lens, and the photodetector 4 is located from the flat surface of the lens 2 at a distance equal to half its rear focal distance, viz.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Пучок света, посылаемый источником излучени , пройд через проз15801A beam of light sent by a radiation source, passed through the pro15801

шее покрытие в виде нечетного радиального растра, источник 1 излучени расположен в переднем фокусе линзы 2, фотоприемник 4 дл регистрации зеркально отраженного излучени находитс на рассто нии, равном половине заднего фокусного рассто ни линзы 2, а источник 1 излучени и фотоприем- нмки 4 и 5 расположены на оптической оси линзы 2, 2 ил.The coating in the form of an odd radial raster, the radiation source 1 is located in the front focus of the lens 2, the photodetector 4 for detecting the specularly reflected radiation is at a distance equal to half the rear focal length of the lens 2, and the source 1 of the radiation and the photoreceiver 4 and 5 located on the optical axis of the lens 2, 2 Il.

рачные секторы плосковьтуклой линзыcancer sectors of flat lens

2,направл етс параллельным пучком на фокусируюшлй кольцевой отражатель2, is directed by a parallel beam to a focusing ring reflector

3.Источник 1 излучени расположен в переднем фокусе F линзы 2, поэтому3. The source of radiation 1 is located in the front focus F of lens 2, therefore

прошедший пучок, падающий на кольцевой отражатель 3, вл етс параллель ным и фокусируетс отражателем наthe transmitted beam incident on the annular reflector 3 is parallel and is focused by the reflector on

контролируемой поверхности.controlled surface.

Часть потока излучени , посьтае- ма источником 1, попадает на фотоприемник 5 канала сравнени . Зеркально отраженный от контролируемой поверхнрсти пучок света отражателем 3 нагфавл етс на.линзу 2, где., отразившись от зеркальных секторов и второй раз пройд сферическую поверхность, собираетс на фотоприемнике- 4 дл Part of the radiation flux, supplied by source 1, falls on the photodetector 5 of the comparison channel. The light beam reflected from the monitored surface by the reflector 3 is alphaed onto the lens 2, where, having reflected from the mirror sectors and a spherical surface for the second time, is collected on the photodetector - 4 dl

регистрации зеркально отраженного излучени . Блок обработки сигналов с фотоприемников 4 и 5 обрабатывает полученные с них сигналы,registration of specularly reflected radiation. The signal processing unit from the photodetectors 4 and 5 processes the signals received from them,

Claims

Invention Formula

A device for monitoring surface roughness, containing a radiation source, a projection system,

Two photodetectors and a signal processing unit with photodetectors, characterized in that, in order to increase the accuracy of control and simplification of the structure, the projection system is made in the form of a convex

The lenses, on the flat surface of which a reflective coating is applied in the form of an odd radial raster, are installed; an ejection bulge to the test surface and focusing a reflector ring mounted symmetrically to the optical axis of the liquefaction; radiation source is in front focus

lenses, one photodetector between the radiation source and the lens, and the other located from the flat surface of the lens at a distance equal to half of its back focal length.

Edited) A. Kozoriz Order 2344/42

Compiled by L. Lobzova Tehred M. Khodanych

Circulation 677 VNIIPI USSR State Committee

for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., d, 4/5

Production and printing company, Uzhgorod, st. Project, 4

Par.2

Proofreader L, Pilipenko Subscription