SU1411577A1 - Interferrometric device for measuring angular displacements of object - Google Patents

Interferrometric device for measuring angular displacements of object Download PDF

Info

Publication number
SU1411577A1
SU1411577A1 SU864114705A SU4114705A SU1411577A1 SU 1411577 A1 SU1411577 A1 SU 1411577A1 SU 864114705 A SU864114705 A SU 864114705A SU 4114705 A SU4114705 A SU 4114705A SU 1411577 A1 SU1411577 A1 SU 1411577A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
falls
reflector
disk
radiation
beam splitter
Prior art date
Application number
SU864114705A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Сергеевич Медовиков
Ренат Муллаханович Нигаматьянов
Original Assignee
Владимирский политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Владимирский политехнический институт filed Critical Владимирский политехнический институт
Priority to SU864114705A priority Critical patent/SU1411577A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1411577A1 publication Critical patent/SU1411577A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике. Целью изобретени   вл етс  повышение точности. Пучок излучени  от источника 7 падает на светоделитель 3 и раздел етс  на два потока. Один поток повернут на 90® и падает на отражатель 2 и через линзу 9 попадает на фотоприемник 10. . Другой поток проходит через полупрозрачный слой и падает на светоделитель 3, отража сь от которого,падает на фотоприемник 10, где образует интерференционную картину совместно с первым потоком. Полученное изображение считываетс  в блоке 11. При полном обороте объекта отражательна  поверхность светоделител  3 должна оставатьс  перпендикул рной к отражательной поверхности отражател  2. Это условие сохран етс  за счет применени  трехдискового планетарно-фрик- .ционного механизма. Диск 6 и отражатель 2 жестко скреплены с неподвижной осью 12. Если объект повернуть на какой-то угол, то диск 5 повернетс  вокруг своей оси на тот же угол,- в том же направлении, компенсиру  угол разворота объекта. 1 ил. СОThis invention relates to instrumentation technology. The aim of the invention is to improve the accuracy. The beam of radiation from the source 7 falls on the beam splitter 3 and is divided into two streams. One stream is rotated 90® and falls on the reflector 2 and through the lens 9 falls on the photodetector 10.. Another stream passes through the translucent layer and falls on the beam splitter 3, reflecting from which, falls on the photodetector 10, where it forms the interference pattern together with the first stream. The resulting image is read in block 11. With a full turn of the object, the reflective surface of the splitter 3 must remain perpendicular to the reflecting surface of the reflector 2. This condition is preserved through the use of a three-disk planetary-frictional mechanism. The disk 6 and the reflector 2 are rigidly fastened to a fixed axis 12. If the object is rotated at some angle, then the disk 5 will rotate around its axis at the same angle, in the same direction, to compensate for the angle of rotation of the object. 1 il. WITH

Description

ел ate

Изобретение относитс  к контроль- iHO-измерительной технике.This invention relates to a control & iHO measuring technique.

Целью изобретени   вл етс  повы- |шение точности.The aim of the invention is to increase accuracy.

) На чертеже представлена схема |предлагаемого устройства. I Интерферометрическое устройство содержит основание 1, отражатель 2, алидаду 3 с отверстием, установлен- ную соосно с отражателем 2, трехдис- ковый планетарно-фрикционный механизм с дисками 4 - 6, в диске б выполнено отверстие дл  прохождени  излучени , источник 7 монохроматического излу- чени , светоделитель 8, линзу 9, фото приемн к 10 и блок 11 обработки информации , установленные последовательно в потоке от светоделител  3 на диске 6, неподвижную ось 12. .) The drawing shows the scheme | of the proposed device. I The interferometric device contains a base 1, a reflector 2, an alidade 3 with a hole, mounted coaxially with a reflector 2, a three-disk planetary-friction mechanism with disks 4-6, a hole in the disk b for the passage of radiation, a source 7 of monochromatic radiation cheni, beam splitter 8, lens 9, photo receiver 10 and information processing unit 11, installed in series in the flow from beam splitter 3 on disk 6, fixed axis 12..

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Пучок излучени  из источника 7 падает на светоделитель 8 ч раздел етс  на два потока. Один поток после выхода из светоделител  8 повернут на 90° и падает на отражательную поверхность отражател  2 и после отражени  от нее проходит через полупрозрачный слой светоделител  8, затем через линзу 9 попадает на фотоприемник 10. Другой поток проходит через полупрозрачный слой, падает на отражательную поверхность светоделител  8, отража сь от которой, падает на фотоприемник 10, I где образует интерференционную карти- ну совместно с первым потоком. Полученное изображение в виде чередующихThe beam of radiation from the source 7 falls on the beam splitter for 8 hours and is divided into two streams. After exiting the beam splitter 8, one stream is rotated by 90 ° and falls on the reflecting surface of the reflector 2 and after reflection from it passes through the translucent layer of the beam splitter 8, then goes through the lens 9 to the photodetector 10. Another flow passes through the semi-transparent layer, falls on the reflective surface the beam splitter 8, reflecting from which, falls on the photodetector 10, where I forms the interference pattern together with the first stream. The resulting image is alternating

с  светлых и темных интерференционных;with light and dark interference;

полос считываетс  с помощью блока 11.The strips are read using block 11.

Оптическа  разность хода tf при повороте  вл етс  функцией угла поворотаThe optical path difference tf during rotation is a function of the angle of rotation.

/ 4+2btgi/.r,/ 4 + 2btgi / .r,

4545

где ( - минимальна  разность хода,where (is the minimum difference in travel,

котора  соответствует началу отсчета 0;which corresponds to the origin of 0;

г - радиус отражател ; ( - угол поворота;50r is the reflector radius; (- angle of rotation; 50

b - максимальна  высота усеченного цилиндра.b - maximum height of the truncated cylinder.

5 050

5 О 5 o

5five

00

5five

00

т.е. изменение разности хода должно соответствовать некоторому з-ттачению измеренного угла.those. the change in the path difference should correspond to some reading of the measured angle.

При полном обороте объекта (не показан ) отражательна  поверхность светоделител  8 должна оставатьс  перпендикул рной к отражательной поверхности отражател  2. Это условие сохран етс  путем применени  планетар- но-фрикционного Механизма, который состоит из трех дисков 4 - 6 с равными диаметрами. Диск 6 и отражатель 2 жестко скреплены с неподвижной осью 12, Если объект повернуть на какой-то угол, то диск-5 поворачиваетс  вокруг своей оси на тот же угол в том же направлении, компенсиру  угол разворота объекта.With a full turn of the object (not shown), the reflective surface of the splitter 8 should remain perpendicular to the reflecting surface of the reflector 2. This condition is preserved by applying the planetary-friction mechanism, which consists of three disks 4-6 with equal diameters. The disk 6 and the reflector 2 are rigidly fastened to a fixed axis 12. If the object is rotated at some angle, the disk-5 rotates around its axis at the same angle in the same direction, compensating for the angle of rotation of the object.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Интерферометрическое устройство дл  измерени  угловых перемещений объекта, содержащее подставку, алидаду , предназначенную дл  скреплени  с объектом, и последовательно расположенные источник монохроматического излучени  и светоделитель, дел щий излучение на два потока, -в одном из которых расположен отражатель, в другом - последовательно расположенные линза, фотоприемник и блок обработки информации, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности, оно снабжено трехдиско- вым планетарно-фрикционным механизмом , установленным на алидаде и выполненным с отверстием в центре на внешнем диске дл  прохождени  излучени  от источника, отражатель выполнен в виде усеченного цилиндра, на поверхности которого, обращенной к алидаде, нанесено отражающее покрытие и установлен соосно с ней на подставке светоделитель, вьтолненный с одной гранью, неперпендикул рной основанию, на которую со стороны, противоположной источнику, нанесено отражающее покрытие, а источник излучени  и светоделитель установлены на внешнем диске планетарного меха- 1шзма.An interferometric device for measuring the angular displacements of an object, comprising a stand, an alidade intended to be attached to the object, and successively located sources of monochromatic radiation and a beam splitter that divides the radiation into two streams, one of which has a reflector, the other has a successively arranged lens, a photodetector and an information processing unit, characterized in that, in order to increase accuracy, it is equipped with a three-disk planetary-friction mechanism mounted on idad and with a hole in the center on the outer disk to pass radiation from the source, the reflector is made in the form of a truncated cylinder, on the surface of which, facing the alidade, a reflective coating is applied and is installed coaxially with it on the stand a splitter with one side, non-perpendicular a base on which, on the side opposite to the source, a reflective coating is applied, and the radiation source and the beam splitter are installed on the outer disk of the planetary mechanism.
SU864114705A 1986-06-12 1986-06-12 Interferrometric device for measuring angular displacements of object SU1411577A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864114705A SU1411577A1 (en) 1986-06-12 1986-06-12 Interferrometric device for measuring angular displacements of object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864114705A SU1411577A1 (en) 1986-06-12 1986-06-12 Interferrometric device for measuring angular displacements of object

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1411577A1 true SU1411577A1 (en) 1988-07-23

Family

ID=21255523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864114705A SU1411577A1 (en) 1986-06-12 1986-06-12 Interferrometric device for measuring angular displacements of object

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1411577A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 697809, кл. G 01 В 11/26, 1979. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH056853B2 (en)
SU1411577A1 (en) Interferrometric device for measuring angular displacements of object
JPH0783828A (en) Variable-angle absolute reflectance measuring instrument
SU1364866A1 (en) Interference device for measuring angular displacements
SU1269026A1 (en) Device for measuring irregularity of rotational speed
SU1384944A1 (en) Device for turning object
SU1534300A1 (en) Arrangement for checking optical catъs eyes
SU1245878A1 (en) Interference protractor
SU1244295A1 (en) Apparatus for measuring azimuth angle
SU1446465A2 (en) Device for monitoring surface roughness
SU1113671A1 (en) Device for measuring angular displacements
SU1620823A1 (en) Arrangement for measuring vibration
SU1613849A2 (en) Interferometer for checking deflections of quasiflat surfaces of parts
RU2075727C1 (en) Method of measurement of angles of turn of several objects and device for its implementation
SU712654A1 (en) Interferometer
SU1260674A1 (en) Interferometer for measuring linear and angular displacements of object
JPH045142B2 (en)
SU1665227A1 (en) Interference object angle-of-rotation meter
SU1506269A1 (en) Interferometer for measuring angular and linear position of object
SU515934A1 (en) Device for determining the position of the image of the object
SU1640540A1 (en) Device for measuring radiation detector sensitive area dimensions
SU1525445A1 (en) Interferometer for measuring displacements
SU1536194A1 (en) Interferometer
SU945651A1 (en) Angular displacement measuring converter
SU1146547A1 (en) Device for measuring displacements