RU1768965C - Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution - Google Patents

Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution

Info

Publication number
RU1768965C
RU1768965C SU904879637A SU4879637A RU1768965C RU 1768965 C RU1768965 C RU 1768965C SU 904879637 A SU904879637 A SU 904879637A SU 4879637 A SU4879637 A SU 4879637A RU 1768965 C RU1768965 C RU 1768965C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
compensator
working
interferometer
lens
interference pattern
Prior art date
Application number
SU904879637A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Надежда Николаевна Кулакова
Игорь Михайлович Богитов
Original Assignee
Н.Н.Кулакова и И.М.Богитов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Н.Н.Кулакова и И.М.Богитов filed Critical Н.Н.Кулакова и И.М.Богитов
Priority to SU904879637A priority Critical patent/RU1768965C/en
Application granted granted Critical
Publication of RU1768965C publication Critical patent/RU1768965C/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  контрол  формы вогнутых оптических поверхностей вращени . Целью изобретени   вл етс  повышение точности контрол . Пучок лучей, вышедший из лазера,преобразуют в параллельный пучок лучей, который светоделителем раздел етс  на два пучка: эталонный и рабочий. В рабочей ветви расположен компенсатор , выполненный из афокального и положительного менисков, и контролируема  поверхность, отразившиес  от которой лучи света образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности суд т по измерени м интерференционной картины, котора  возникает в результате взаимодействи  рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил.The invention relates to a measuring technique for controlling the shape of concave optical surfaces of revolution. The aim of the invention is to increase the accuracy of control. The beam of rays emerging from the laser is converted into a parallel beam of rays, which is divided by a beam splitter into two beams: a reference beam and a working beam. In the working branch there is a compensator made of afocal and positive menisci, and a controlled surface, reflected from which the light rays form a working wave front. The quality of the surface being monitored is judged by measurements of the interference pattern that occurs as a result of the interaction of the working and reference wavefronts. 1 ill.

Description

СПJoint venture

сwith

Предлагаемое изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  контрол  формы вогнутых оптических поверхностей вращени .The present invention relates to measuring technique, designed to control the shape of concave optical surfaces of revolution.

Известны интерферометры дл  контрол  формы вогнутых оптических поверхностей вращени . Общий недостаток интерферометров заключаетс  в том, что интерференционна  картина, наблюдаема  в плоскости регистрации, искажена дистор- сией рабочей ветви.Interferometers are known for controlling the shape of concave optical surfaces of revolution. A common disadvantage of interferometers is that the interference pattern observed in the registration plane is distorted by the distortion of the working branch.

Наиболее близким к предлагаемому интерферометру по технической сущности и решаемой задаче  вл етс  интерферометр ИКАП-2 дл  контрол  качества астрономических зеркал. Интерферометр содержит осветительную, эталонную, регистрирующую ветви, рабочую ветвь с компенсатором и разделительный элемент.The closest to the proposed interferometer in technical essence and the problem being solved is the ICAP-2 interferometer for monitoring the quality of astronomical mirrors. The interferometer contains a lighting, reference, recording branch, a working branch with a compensator and a dividing element.

Основные недостатки известного интерферометра заключаютс  в следующем. Использование в регистрирующей ветви стандартного фотообъектива, который не компенсирует дисторсию рабочей ветви интерферометра , приводит к искажению интерференционной картины в плоскости регистрации. В рабочей ветви интерферометра на компенсатор поступает сферический волновой фронт. Поэтому перед компенсатором стоит высококачественный объектив, формирующий сферический волновой фронт, что накладывает дополнительные требовани  к точности изготовлени  объектива и юстировке рабочей ветви интерферометра .The main disadvantages of the known interferometer are as follows. The use of a standard photo lens in the recording branch, which does not compensate for the distortion of the working branch of the interferometer, leads to a distortion of the interference pattern in the registration plane. In the working branch of the interferometer, a spherical wavefront arrives at the compensator. Therefore, in front of the compensator there is a high-quality lens forming a spherical wave front, which imposes additional requirements on the accuracy of manufacturing the lens and aligning the working branch of the interferometer.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности контрол  и упрощение конструкции .The aim of the invention is to increase the accuracy of control and simplify the design.

VJVj

О 00 Ю ОO 00 U O

слcl

Указанна  цель достигаетс  тем, что в рабочей ветви интерферометра установлен компенсатор, выполненный из афокального и положительного менисков, установленных с зазором и ориентированных таким образом, что их вогнутые поверхности обращены к светоделителю, а объектив регистрирующей ветви выполнен в виде плосковыпуклой линзы с фокусным рассто нием 0,7...0,8 фокусного рассто ни  ком- пенсатора и ориентированной так, что ее выпукла  поверхность обращена к регистратору интерференционной картины.This goal is achieved by the fact that in the working branch of the interferometer there is a compensator made of afocal and positive menisci installed with a gap and oriented so that their concave surfaces face the beam splitter, and the lens of the recording branch is made in the form of a plano-convex lens with a focal length of 0 , 7 ... 0.8 is the focal length of the compensator and oriented so that its convex surface faces the recorder of the interference pattern.

На чертеже показан интерферометр, схема его применени  и ход лучей в нем, Здесь: 1 - осветительный блок, 2 - светоделитель , 3 - компенсатор, 4 - контролируема  поверхность, 5 - эталонное плоское зеркало, 6 - объектив, 7 - плоскость регистрации .The drawing shows an interferometer, a diagram of its application and the path of rays in it, Here: 1 - a lighting unit, 2 - a beam splitter, 3 - a compensator, 4 - a controlled surface, 5 - a reference flat mirror, 6 - a lens, 7 - a registration plane.

Интерферометр действует следующим образом.The interferometer operates as follows.

Осветительный блок 1 преобразует пучок лучей, вышедший из лазера, в параллельный пучок лучей требуемого диаметра, который поступает на светоделитель 2 и раздел етс  на два пучка. Один из них идет в эталонную ветзь интерферометра, в которой расположены компенсатор 3 и контролируема  поверхность 4. Лучи света, отразившиес  от эталонного плоского зеркала 5, образуют эталонный волновойThe lighting unit 1 converts the beam of the rays emitted from the laser into a parallel beam of rays of the required diameter, which enters the beam splitter 2 and is divided into two beams. One of them goes to the reference vetch of the interferometer, in which the compensator 3 and the controllable surface 4 are located. The rays of light reflected from the reference plane mirror 5 form the reference wave

77

Claims (1)

фронт. Лучи света, отразившиес  от контролируемой поверхности, образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности 4 суд т по измерени м интерференционной картины, котора  возникает в результате взаимодействи  рабочего и эталонного волновых фронтов. Объектив 6 проецирует интерференционную картину на плоскость регистрации 7. Формула изобретени  Интерферометр дл  контрол  формы вогнутых оптических поверхностей вращени , содержащий последовательно установленные осветитель и светоделитель светового потока на рабочий, в котором установлен компенсатор, и эталонный с размещенными в нем зеркалом и последовательно установленные объектив, оптически св занный с зеркалом и компенсатором через светоделитель, и регистратор интерференционной картины, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности контрол , компенсатор выполнен из афогального и положительного менисков , установленных с зазором и ориентированных так,что их вогнутые поверхности обращены к светоделителю, а объектив выполнен в виде плосковыпуклой линзы с фокусным рассто нием 0,7-0,8 фокусного рассто ни  компенсатора и ориентированной так, что ее выпукла  поверхность обращена к регистратору.front. The rays of light reflected from the controlled surface form a working wavefront. The quality of the monitored surface 4 is judged by measuring the interference pattern that occurs as a result of the interaction of the working and reference wavefronts. Lens 6 projects an interference pattern onto the recording plane 7. Formula of the invention An interferometer for controlling the shape of concave optical surfaces of revolution, comprising a sequentially mounted illuminator and a light beam splitter onto a worker in which a compensator is installed, and a reference lens with optical mirrors placed in it and sequentially mounted associated with the mirror and the compensator through a beam splitter, and an interference pattern recorder, characterized in that, with the aim of higher and accuracy of control, the compensator is made of afogal and positive menisci installed with a gap and oriented so that their concave surfaces are facing the beam splitter, and the lens is made in the form of a plano-convex lens with a focal length of 0.7-0.8 focal length of the compensator and oriented so that its convex surface faces the registrar. 44
SU904879637A 1990-11-01 1990-11-01 Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution RU1768965C (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904879637A RU1768965C (en) 1990-11-01 1990-11-01 Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904879637A RU1768965C (en) 1990-11-01 1990-11-01 Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1768965C true RU1768965C (en) 1992-10-15

Family

ID=21543606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904879637A RU1768965C (en) 1990-11-01 1990-11-01 Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1768965C (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Аганин А.В.Вли ниедисторсии регистрирующей ветви интерферометра на точность контрол оптических деталей. Оптикомеха- ническа промышленность, 1986, № 6, с.45-48. Пур ев Д.Т., Горшков В.А. Интерферометр ИКАП-2 дл контрол качества астрономических зеркал. Оптикомеханическа промышленность, 1980, № 12, с.17-20. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kimbrough et al. Low-coherence vibration insensitive Fizeau interferometer
KR101232204B1 (en) Equal-path interferometer
US5757493A (en) Interferometer with catadioptric imaging system having expanded range of numerical aperture
US4201473A (en) Optical interferometer system with CCTV camera for measuring a wide range of aperture sizes
US5155554A (en) Large aperture reflective interferometer for measuring convex spherical surfaces
RU2436038C1 (en) Static fourier spectrometre
RU1768965C (en) Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution
US3558207A (en) Hologram system employing incoherent light
RU169716U1 (en) Device for controlling convex aspherical optical surfaces of high-precision large-sized mirrors
Kimbrough et al. Instantaneous phase-shift Fizeau interferometer utilizing a synchronous frequency shift mechanism
RU69982U1 (en) INFRARED INTERFEROMETER
RU2615717C1 (en) Interferometer for multiple optical measurements
SU149910A1 (en) Interferometer to control the quality of second-order surfaces of rotation
SU523274A1 (en) Interferometer to control the quality of convex hyperbolic mirrors of a cassegrain telescope
SU803640A1 (en) Device for measuring index of refraction of transparent media
SU1368623A1 (en) Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces
Su et al. Aperture of scatter plate and its effect on fringe contrast in a scatter plate interferometer
SU987378A1 (en) Interferometer for checking optical part surface shape
SU1359663A1 (en) Interferometer for checking cylindrical surfaces
SU823845A1 (en) Interferometer for checking concave spherical surfase form
SU1619014A1 (en) Interferometer
SU1633272A1 (en) Interferometer
RU2002105688A (en) Method for interferometric measurement of shape deviation of optical surfaces and system for its implementation
SU991150A1 (en) Interferometer for optical system quality control
SU160863A1 (en)