SU1159905A1 - Травильный раствор - Google Patents

Abstract

ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий HF, HiS04., HCI, Htp, отличающийс  тем, что, с целью повышени  выхода годных изделий и сокращени  времени травлени , он дополнительно содержит HNO} при следующем соотношении компонентов, мас.%: HP20-40. H SO 1-10 нее3-15 НЖ),10-40 Hj,0Остальное

Description

СП

х ;о

Изобретение относитс  к технологии стекла, а именно к способам обработки поверхности стекла и може быть использовано в приборостроении радиотехнической, электронной и оптико-механической промышленности, где требуетс  точное избирательное травление поверхности стекла.

Цель изобретени  - повьпаение выхода годных изделий и сокращение времени травлени .

Обрабатывают пластины полированного стекла размером мм. На лицевую поверхность пластин методем вакуумного напылени  в установке УРМ-3 нанос т хром в течение 30-40 мин. Затем покрывают слоем фоторезиста и сущат на центрифуге. Дл  закреплени  фоторёзиста пластины подвергают температурному дублению в термостате при t в течение 15 мин. На поверхность накладывают фотошаблон с требуемым рисунком. Изображение экспонируют от источника актиничного излучени  в течение 2-3 мин. Затем фотошаблон поворачивают на 180 и экспонируют повтоно , что позвол ет устранить необлученные участки на поверхности пластины, возникающие из-за микродефектов в структуре фотошаблона.

Затем с облученных участков снимают фоторезист в про вителе при нагревании , промьшают дистиллированной водой. С незащищенных участков трав т хром в травителе хрома, промывают слабым раствором НС1 (чтобы не образовалс  белый осадок) и дистиллированной водой. В результате получают изображение на пластине ,

Дл  получени  рельефа предварительно поверхность пластины обезжиривают раствором .Oy в HiS04. Это повьшает чистоту вытравливаемой поверхности и тем самым уменьшает возможность образовани  непротравленных участков на поверхности рельефа. Затем стекло трав т в предлагаемом травильном растворе.

Результаты приведены в таблице.

С использованием предлагаемого раствора в пластинах получены углублени  10, 20, 40,60 мкм площадью 66 X28 мм. Поверхность рельефа провер ют с помощью оптического микроскопа. Непротравленных участков, а также выступов более 1 мкм на поверхности рельефа не обнаружено. Следовательно, чистота поверхности удовлетвор ет щ едъ вл емым требовани м.

Claims (1)

1. ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий HF, HjlSOi., HCI, H_t0, о т л и чающийся тем, что, с целью повышения выхода годных изделий и сокращения времени травления, он дополнительно содержит HNO_} при следующем соотношении компонентов, мас.%:

   НЕ20-40

   HjSO»-1-Ю

   HCl3-15

   НМО,10-40 (Hj.0 Остальное >