SU1114878A1 - Полупроводниковый тензорезистор - Google Patents

Abstract

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР , содержащий резистнвную полоску из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предельной концентрации дл  данного материала, И металлические токовыводы , закрепленные на концах полоски, отличающийс  тем, что, с целью педаышени  точности измерени , резистивна  полоска выполнена с област ми предельной концентрации носителей в зонах размещени  токовыводов по всей толщине.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к полупроводниковым тензорезисторам , и может быть Использовано при создании полупроводниковых датчиков механических параметров.

Известен полупроводниковый тензорезнстор , содержащий основную и дополнительную резистивные полоски из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предельной концентрации дл  данного материала, несколько металлических токовыводов, закрепленных на различных участках полосок, и металлические перемычки, соедин ющие токовыводы между собой 1J.

Однако такой полупроводниковый тензорезистор характеризуетс  ограниченной температурной и временной стабильностью, сопротикленп , так как сопротивление перехода полуироводинк - металл определ етс  неоднородностью получаемого при этом потенциального пол , а последнее существенно мен етс  от температуры и от длительности временного интервала эксплуатации тензор езистора.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  полупроводниковый тензорезистор , содержащий резистивную полоску из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предельной концентрации дл  данного материала, и металлические токовыводы, закрепленные на концах полоски (2).

Известный тензорезистор небтабилен во времени и от действи  температуры, так как он имеет две области неоднородного потенциального пол  на концах полоски .

Цель изобретени  - попышение точности измерени .

Указанна  цель достигаетс  тем, что в полупроводниковом тензорезисторе, содержащем резистивную полоску из полупроводникового материала с концентрацией

основных носителей, отличной от предельной концентрации дл  данного материала, и металлические токовыводы, закрепленные .на концах полоски, резистивна  полоска выполнена с област ми предельной концентрации носителей в зонах размещени  токовыводов по всей толщине.

Полупроводниковый тензорезистор содержит резистивную полоску из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, равной предельной дл  данного материала, на концах полоски и отличной от предельной в средней части полоски , а также металлические токовыводы, закрепленные на концах полоски в област х предельной концентрации носителей. Области предельной концентрации носителей распростран ютс  на всю толщину полоски и занимают всю площадь под токовыБодами .

Полупроводниковый тензорезистор работает следующим образом.

При включении теизорезистора в измерительную схему и подаче на него напр жени  питани  изменение сопротивлени  тензорезистора определ етс  его деформацией . В то же врем  наличие областей предельной концентрации носителей в зоне контакта с металлическими токовыводами обуславливает низкую температурную чувствительность этого участка резистора и высокую временную стабильность его сопротивлени . Переход же от области предельной концентрации носите.1ей к области более низком концентриции внутри самой полоски не вызыва-, ет такого существенного разброса сопротивлени  во времени, как переход от полупроводника к мeтaлv y.

Таким образом, предлагаемый полупроводниковый тензорезистор с переменной концентрацией носителей по длине полоски обеспечивает более высокую точность измерени  путем повышени  стабильности его сопротивлени  во времени и от действи  температуры.

Claims (1)

1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР, содержащий резистивную полоску из полупроводникового материала с концентрацией основных носителей, отличной от предельной концентрации для данного материала, и металлические токовыводы, закрепленные на концах полоски, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, резистивная полоска выполнена с областями предельной концентрации носителей в зонах размещения токовыводов по всей толщине.

   I