SU1114710A1

SU1114710A1 - Способ подготовки алюминиевой матрицы дл получени фольги

Info

Publication number: SU1114710A1
Application number: SU823410694A
Authority: SU
Inventors: Роберт Игнатьевич Зейля; Ирина Арнольдовна Пипкевич; Евгений Никанорович Стребков
Original assignee: Специальное Конструкторское Бюро Вакуумных Покрытий При Госплане Латвсср
Priority date: 1982-03-17
Filing date: 1982-03-17
Publication date: 1984-09-23

Abstract

1. СПОСОБ ПОДГОТОВКИ АЛЮМИНИЕВОЙ МАТРИЦЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ФОЛЬГИ вакуумным напылением, включающий анод рование , отличающийс тем, что, с целью обеспечени многократного испол ьзова .ни Матрицы и снижени пористости ультратонкой фольги, перед анодированием матрицу последовательно подвергают электрохимическому полирова1шю и щелочному травлению. 2.Способ по п. 1, отличающийс тем, что электрохимическое полирование матрицы ведут при бО-ВО С, плотности тока 10 30 А/дм в течение 3-6 мин в электролите, содержащем, мас.%: Ортофосфорна кислота40-50 Серна кислота35-45 Хромовый анпщрид3-5 Вода10-12 i 3.Способ по пп. 1 и 2, о т л и ч а ю сл щ и- и с тем, что щелочное травление ведут 10-15 с в 12-30%-ном растворе едкого кали.

Description

4

Изобретение относитс к обработке металлов химическими способами, например дл создани на поверхности алюмини окисного сло , и может быть использовано в вакуумной технике при производстве металлической фольги различной толщины, преимущественно тонкой и ультратонкой .

Необходимым условием получени фольги толщиной 5-10 мкм вл етс обеспечение условий отделени нанесенного материала с поверхности матрищ 1 без нарушени его целостно ти, а также без самопроизвольного отделени , т. е. без существенного юменени величины сцеплени в регулируемом интервале температуры подложки, определ емого свойствами конденсируемого материала и предварительной подготовкой матрищ.1.

Без предварительной обработки алюминиевой матрипы возможно стабильное отделение медног или серебр ного конденсата лишь при температурах конденсации, не превышающих 200 С. При температуре конденсации 250°С усилие отделени превышает 100-200 Н/м и отделение . сопровождаетс деформацией фольги.

Столь низка температура недостаточна дл получени фольги с высокими механическими характеристиками. Несмотр на то, что поверхность исходной алюминиевой ленты, полученной прокаткой с образованием естественной окисной пленки, в целом имеет неровности микрорельефа , не превышающие 1,9 мкм, пористость отделенной фольги высока . Так, медна или серебр на фольга толщиной 5-10 мкм имеет плотность пор, равную (1,5-2,0)-10 пор«м, а толщиной 20 мкм - (1,2-1,5) 10 . Однако така плотность пор совершенно .недопустима при использовании медного или серебр ного конденсата в качестве барьерного сло ДЛЯ источников питани .

того, такой конденсат, сформировавшийс на подложке без предварительной обработки , обладает рко выраженной анизотропией механических свойств: прошость на разрыв существенно меньше при испытании поперек линий прокатки.

Это может привести к непредсказуемьп разрывам, тонкой фольги при ее отделении от матрицы.

Известен способ подготовки подложки дл получени медной фольги вакуумным напыле1шем при температуре матрицы 232-527 С, включающий предварительное нанесение на поверхность матрицы окиси алюмини 1.

Недостатком способа Подготовки подложки вл етс то, что нанесенный на подложку в вакууме слой окиси алюмини получаетс

рыхлым и по;п1остью не воспроизводит мик{юрельефа полирова1шой поверхности матрицы, т. е. поверхность снимаемой фольги получаетс

неровной, а характер отделени .в большой степени зависит от условий нанесени , плот1гости и структуры конденсата окиси алюмини . Плотность пор отделенной медной или серебр ной фольги составл ет (1-2) «Ю пор.м, а часть окиси алюмини переноситс на фольгу, загр зн ее. При этом способ ограничиваетс получением фольги, .например, из меди толицшой

25,4-2540 мкм, т. е. не применим дл получени качественных ультратонких фольг и многослойных конденсатов на их основе.

Наиболее близким к изобретению вл етс способ подготовки алюминиевой матрицы дл получени фольги вакуумным напылением, вклю чающий анодировайие матрицы .

Способ включает предварительную подготовку поверхности алюминиевой матрицы обезжириванием перед анодным окислением. Используетс как электрохимическое обезжиривание в щелочных растворах, так и обжиг с целью обезжиривани 2..

Исполь зование только анодировани обезжиренной поверхности не дает положительных результатов. Поэтому дл получени необходимой прочности сцеплени между медью и поверхностью алюминиевого протектора с анодным слоем используетс дополнительна обработка в растворе бихромата кали .

Известный способ подготовки поверхности . алюми1шевого протектора неприменим дл стабильного многократного отделени конденсата в виде малопористой фольги, так как при отделении алюминиевой подложки происходит растрескивание оксида. Перед каждым циклом получени фольги необходима подготовка подложки . Плотность пор медной и серебр ной фольги толшлной 5-10 мкм, отделенных с алюминиевой матрицы, с анодным слоем составл ет .(1-2) .10 пop.мПрочность сцеплени . между алюминиевой матрицей и медным конденсатом существенно превышает значени усили отслаивани 20-30 Н/м, необх.одимые дл надежного съема фольги толщиной 5-10 мкм с поверхности конденсации без деформации и надрыва.

Цель изобретени - обеспечение многократного использова1ш матрицы и снижение пористости ультратонкой фольги.1

Указанна цель достигаетс тем, что перед анодированием матрицу последовательно подвергают электрохимическому полированию и щелочному травлению.

Электрохимическое полирование матрицы ведут при 60-80 С, плотности тока 10 -30 А/дм в течение 3-6 мин в электролите, содержащем, мас.%:

ОртОфосфорна кислота40-50

Серна кислота35-45

Хромовый ангидрид3-5

Claims

1. СПОСОБ ПОДГОТОВКИ АЛЮМИНИЕВОЙ МАТРИЦЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ФОЛЬГИ вакуумным напылением, включающий анода рование, отличающийся тем, что, с целью обеспечения многократного использования Матрицы и снижения пористости упьтратонкой фольги, перед анодированием матрицу последовательно подвергают электрохимическому ’ полированию и щелочному травлению.

2. Способ поп. 1, отличающийся тем, что электрохимическое полирование матрицы ведут при 60—80°С, плотности тока 10 — 30 А/дм² в течение 3-6 мин в электролите, содержащем, мас.%:

Ортофосфорная кислота 40-50 Серная кислота 35-45 Хромовый ангидрид 3-5 Вода 10-12 Q SS 3. Способ по пп. 1 и 2, о т л и ч а ю - (/) щ и- й с я тем, что щелочное травление ведут 10-15 с в 12—30%-ном растворе едкого с кали.

1114710 ., 2