SU1082777A1

SU1082777A1 - Способ травлени кристаллов танталата лити

Info

Publication number: SU1082777A1
Application number: SU823403044A
Authority: SU
Inventors: Евгений Михайлович Андреев; София Абрамовна Шварцман; Александр Николаевич Титов
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1982-02-19
Filing date: 1982-02-19
Publication date: 1984-03-30

Abstract

СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ. ТАНТАЛАТА ЛИТИЯ, включающий обрабоИеу . смесью концентрированной плавиковой кислоты и раствора органической кислоты в концентрированной азотной кислоте при нагревании, отличающийс тем, что, с целью получени контрастных фигур травлени при контроле степени монодоменности кристаллов, в качестве органической кислоты используют щавелевую кислоту и обработку ведут при 85-95 С в течение 13-17 мин при следующем соотнощенин компонентов смеси, об.%: Плавикова кислота31-35 Насыщенный при комнатной температуре раствор щавелевой кислоты в азотной кислоте65-69

Description

Изобретение относится к исследованию кристаллов, в частности к исследованию доменной структуры кристаллов танталата лития (ТЛ) путем химического травления, . и может быть использовано при изучении реальной структуры кристаллов ТЛ.

Известен способ получения фигур травления на монокристаллах ТЛ с помощью химического травления в смеси концентрированных азотной и плавиковой кислот, взятых в объемном соотношении HNO3 : HF = 2:1 при 110°С и выдержке 15 мин [1].

Вследствие неблагоприятного соотношения нормальной и тангенциальной скоростей травления и загрязнения поверхности продуктами, реакции известный способ не обеспечивает получения четких фигур травления. Размытые гою* хо ограненные ямки травления указывают на низкую контрастность указанного способа травления. Проводить исследования доменной структуры ТЛ с размерами доменов в несколько микрон таким способом невозможно.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ травления подложек танталата лития в смеси концентрированной плавиковой кислоты и раствора уксусной кислоты в концентрированной азотной кислоте {2].

Недостатком данного способа является то, что с его помощью нельзя получить контраст; ₃θ ных фигур травления на поверхности кристаллов танталата литии.

Цель изобретения — получение контрастных фигур травления при контроле степени монодоменности кристаллов.

Поставленная цель достигается тем, что в ³⁵качестве органической кислоты используют щавелевую кислоту и обработку ведут π$ι 85—95°С в течение 13-17 мин при следующем соотношении компонентов смеси, об.%: Плавиковая кислота 31—35 ⁴⁰

Насыщенный при комнатной температуре раствор щавелевой кислоты в азотной кислоте 65—69 ⁴⁵

Введение щавелевой кислоты благоприятно изменяет кинетику травления, вследствие чего возрастает степень контрастности фигур травления. При микроскопическом наблюдении области разноименных доменов резко от- 50 личаются, видны междоменные границы и отдельные хорошо ограниченные ямки.

Допустимый интервал составов травителя объясняется погрешностью измерений при составлении травителя. Отклонение от заданного состава ведет к изменению температур5 но-временного режима травления. Уменьшение температуры или времени травления не позволяет получить ямки травления и четко выявить доменную структуру, а увеличение ведет к потере контрастности или искажению 10 картины травления.

Пример/ Монодоменный и полидоменный образцы размером 10x10x5 мм, изготовленные из монокристалла ТЛ, одновре₎₅ менно подвергают химическому травлению смесью, составленной из одного объема (30 см³) концентрированной плавиковой кислоты и двух объемов (60 см³) насыщенного раствора щавелевой кислоты в кон₂θ центрированной азотной кислоте. Для получения последнего предварительно растворяют 15—20 г кристаллической щавелевой кислоты в 100 см³ концентрированной азотной кислоты при комнатной температуре. Травление проводят при 85—90°С в течение 15 мин, затем образцы промывают в горячей воде и сушат.

При микроскопическом исследовании травленых поверхностей наблюдают следующее.

Полидоменный образец. На обеих плоскостях (0001) четко обозначены антипараллельные домены и разделяющие их междоменные границы, междоменные границы также хорошо прослеживаются на плоскостях (1210).

Монодоменный образец. На одной из плоскостей (0001) видны хорошо ограненные высококонтрастные ямки трехгранной формы, соответствующие тригональной сингонии кристаллов ТЛ? на параллельной плоскости ямки травления отсутствуют.

Современная лазерная техника предъявляет высокие требования к кристаллам по качеству и оптической однородности. Поскольку практическое применение находят только монодоменные кристаллы, необходим метод контроля степени монодоменного состояния их. Предлагаемый способ дает возможность быстро, наглядно и точно устанавливать степень монодоменности кристаллов и таким образом, производить отбор годных кристаллов и вносить поправки в технологию их выращивания.

ВНИИПИ Заказ 1666/22 Тираж 352 Подписное

Филиал ППП ’’Патент”, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Claims

СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ ТАНТАЛАТА ЛИТИЯ, включающий обработку ' смесью концентрированной плавиковой кисло ты и раствора органической кислоты в концентрированной азотной кислоте при нагревании, отличающийся тем, что, с целью получения контрастных фигур травления при контроле степени монодоменности кристаллов, в качестве органической кислоты используют щавелевую кислоту и обработку ведут при 85—95°С в течение 13—17 мин при следующем соотношении компонентов смеси, об.%:

Плавиковая кислота Насыщенный при комнатной температуре раствор щавелевой кислоты в азотной кислоте

31-35

65-69 О

S

1082777 2