SU927863A1 - Способ химической полировки подложек галлий-гадолиниевого граната - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ХИМИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ ПОДЛОЖЕК ГАЛЛИЙГАДОЛИНИЕВОГО ГРАНАТА

1 .. .

Изобретение относитс  к электронной технике и может быть использовано при обработке монокристаллических подложек галлийгадолиниевого граната (ГГГ) перед эпитаксиальным наращиванием пленок с- цилиндрическими магаитными доменами.

Известен способ химической полировки монокристаллов гранатов с общей формулой

MjiyiesOiz где Me - 3-х валентный металл (галлий или

алюминий);

М - иттрий или один из редкоземельных элементов с атомным номером между 62 и 71 или их смеси; О - кислород, включающий обработку

гор чей ортофосфорной кислотой, насыщенной вод ным паром в течение 2-5 мин при 250-45 0°сГохлаждение в масле при 60° С, отмывку с применением стандартного очистител  и гидроокиси кали  1 , Недостатками способа  вл ютс : использование ортофосфорной кислоты при высоких температурах представл ет опасность с точки

зрени  техники безопасности, так как кислога разбрызгиваетс , вьщел ет  довитые пары фосфорного ангидрида; длительный процесс подготовки кислоты к полировке (4-5 ч); применение масла в качестве охлаждающей жидкости приводит к усложнению процесса отмывки.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ химической полировки подложек галлий-гадолиниевых гранатов (ГГГ), включа10 ющий обработку ортофосфорной кислотой в течение 10 с при 350-400° С, охлаждение и отмывку в деионизованной воде и изопропиловом спирте 2.

Недостаток способа - применение орто15 фосфорной кислоты при высоких температурах , привод щее к ухудщению условий труда из-за интенсивного выделени  паров фосфорного ангидрида.

Цель изобретени  - улучщение условий

20 труда.

Поставленна  цель .достигаетс  тем. что подложки ГГГ обрабатывают пирофосфорной кислотой при 220-240° С, а охлаждение провод т

Claims (3)

1. Формула изобретения

   1. Способ химической полировки подложек галлий-гадолиниевого граната, включающий обработку поверхности горячей фосфорсодержащей кислотой, охлаждение в «сидкой среде и отмывку, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий труда, в качестве фосфорсодержащей кислоты используют пирофосфорную кислоту при 220-240° С, а охлаждение проводят в пиро- или ортофосфорной кислоте при 70-100° С.
2. 2. Способ по π. 1, отличающийс я тем, что обработку кислотой ведут при перемещении подложки по спирали и наложении вибрационных колебаний частотой 20— 100 Гц.
3. 3. Способ по π. 1 или 2, о т л и ч а ю щ и й-| с я тем, что отмывку ведут в деионизованной воде при наложении вибрационных колебаний.