SU1172946A1 - Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира - Google Patents

Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира Download PDF

Info

Publication number
SU1172946A1
SU1172946A1 SU833595236A SU3595236A SU1172946A1 SU 1172946 A1 SU1172946 A1 SU 1172946A1 SU 833595236 A SU833595236 A SU 833595236A SU 3595236 A SU3595236 A SU 3595236A SU 1172946 A1 SU1172946 A1 SU 1172946A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
crystals
conc
water
hours
sulfuric acid
Prior art date
Application number
SU833595236A
Other languages
English (en)
Inventor
Анзор Ибрагимович Мунчаев
Станислав Викторович Цивинский
Хачик Саакович Багдасаров
Лев Маркович Затуловский
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Кристаллографии Им.А.В.Шубникова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Кристаллографии Им.А.В.Шубникова filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Кристаллографии Им.А.В.Шубникова
Priority to SU833595236A priority Critical patent/SU1172946A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1172946A1 publication Critical patent/SU1172946A1/ru

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

СПОСОБ УДАЛЕНИЯ НАЖТА С ПОВЕРХНОСТИ ПРОФИЛИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ САПФИРА ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СМЕСЬЮ, содержащей серную кислоту, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  технологии , повьппени  качества поверхности и прозрачности кристаллов, смесь дополнительно содержит азотную кислоту и воду при следующем соотноше- . НИИ компонентов, об.ч.: Серна  кислота (конц.) 3 Азотна  кислота (конц.) 5 Вода .2 Травление ведут при 40-80 С в течение 0,5-0,2 ч, после чего кристаллы прополаскивают в концентрирован о ном водном растворе аммиака в тече . ние 0,5-0,7 ч при комнатной темпера (Л туре и отжигают в атмосфере воздуха при 800-1000 0 в течение 0,5-1,5 ч. ю 4i

Description

Изобретение относитс  к способам физико-химической обработки профилированных кристаллов сапфира, выращен ных методом Степанова А.В., которые могут быть использованы в качестве конструктивного материала, например дл  изготовлени  газоразр дных натри евых ламп высокого давлени . Цель изобретени  - упрощение технологии , повышение качества поверхности и прозрачности кристаллов. Пример. Способ состоит из последовательного применени  трех операций. Химическое травление в смеси концентрированных кислот, состо щей из 3 об.ч. Нг304, 5 об.ч. HNO и 2 об.ч HjO при 40-80 с в течение соответственно 0,5 - 0,2 ч приводит к растворению осевших из пара металлов, основных и атмосферных окислов. Прополаскивание в концентрированном растворе NH40H при комнатной температуре 0,5 - 0,7 ч способствует растворению кислотных и атмосферных ;окислов.. Отжиг на воздухе при 800-1000°С соо ветственно в течение 1,5-0,5 ч приводит к возгонке летучих соединений, которые, в частности, могут образоватьс  при взаимоде 4ствии налета с воздухом. Химический состав налета практически ке исследован, однозначно опре делить химические и физические процессы , происход щие при этих обработках , в насто щее врем  не представл етс  возможным. Вне указанных режимов обработка не приводит к получению поверхности нужного качества. Увеличение температуры травлени  вьше , времени травлени  и отжига свыше 0,5 ч и 1,5 часа соответственно, температуры отжига свыше 1000°С не приводит к увеличению светопропускани  более, чем на 1%, и влечет за собой быстрый износ дорогосто щего технологического оборудовани . В табл. 1 представлена зависимость светопропускани  от времени травлени  и отжига. В табл. 2 приведена зависимость светопропускани  от температур травлени  и отжига. Предлагаемый способ обработки экспериментально опробован на сапфировых: трубках, предназначенных дл  изготовлени  газоразр дных натриевых ламп высокого давлени , к которым предъ вл ютс  высокие требовани  по светопропусканию. Этот способ позволил обеспечить светопропускание не ниже 92%, что в 4 раза выше, чем светопропускание необработанных трубок . Кроме того, известный способ гарантирует эффективность очистки поверхности сапфировых лент лишь в 50 случаев - у другой половины протравленных кристаллов поверхность становитс  матовой, т.е. половина обработанных кристаллов непригодна дл  дальнейшего применени , там где требуетс  прозрачность профилированных кристаллов пор дка 92%. В предлагаемом способе достигаетс  100%-на  эффективност удалени  налета с поверхности сапфировых трубок и достижени  требуемых качества поверхности и значений прозрачности. tТаблица1
80
0,2
0,1
80 80 0,1
1000
1,5
92
0,4
90 85 0,2
Таблица2

Claims (1)

  1. СПОСОБ УДАЛЕНИЯ НАЛЕТА
    С ПОВЕРХНОСТИ ПРОФИЛИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ САПФИРА ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО
    ТРАВЛЕНИЯ СМЕСЬЮ, содержащей серную кислоту, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии, повышения качества поверхности и прозрачности кристаллов, смесь дополнительно содержит азотную кислоту и воду при следующем соотноше- . нии компонентов, об.ч.:
    Серная кислота (конц.)3
    Азотная кислота (конц.)5
    Вода .2
    Травление ведут при 40-80 С в течение 0,5-0,2 ч, после чего кристаллы прополаскивают в концентрированном водном растворе аммиака в течение 0,5-0,7 ч при комнатной температуре и отжигают в атмосфере воздуха при 800-1000°С в течение 0,5-1,5 ч.
    1 1172946 2
SU833595236A 1983-05-27 1983-05-27 Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира SU1172946A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833595236A SU1172946A1 (ru) 1983-05-27 1983-05-27 Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833595236A SU1172946A1 (ru) 1983-05-27 1983-05-27 Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1172946A1 true SU1172946A1 (ru) 1985-08-15

Family

ID=21064865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833595236A SU1172946A1 (ru) 1983-05-27 1983-05-27 Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1172946A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
За вка JP № 49-3234, кл. Н 01 L 7/50 1974. Karini Vada at al. Growth and characteristic of saphire. J.Cryst. Growth, 1980, v.50, p. 151-159. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1172946A1 (ru) Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира
JPH054811A (ja) 多結晶シリコンの洗浄方法
CN103014875A (zh) 一种人造蓝宝石薄片的处理方法
DE102006035797B3 (de) Verfahren zum Reinigen von Quarzglasoberflächen
EP0146115B1 (en) Process for producing aluminum material for use in vacuum
DE68922409T2 (de) Verfahren zur gasartigen reinigung von halbleiterbauelementen.
JPH11503401A (ja) 酸化物における残留塩素の減少
KR910007859A (ko) 고순도 테레프탈산의 제조방법
JPH044397B2 (ru)
JPS58222157A (ja) カ−ボンブラツクの精製処理方法
JP2005001955A (ja) 高純度苛性ソーダ水溶液の製造方法およびそれに使用する活性炭の賦活方法
JPH04101418A (ja) Siウエーハのライフタイム向上方法
RU1787966C (ru) Расплав дл упрочнени кордиеритовых ситаллов
SU1059033A1 (ru) Полирующий травитель дл антимонида инди
JPS62115833A (ja) 半導体基板表面処理剤
SU1209628A1 (ru) Способ обработки длинномерных кварцевых труб
JPH0323483B2 (ru)
SU1201347A1 (ru) Раствор дл травлени титановых сплавов
SU1074327A1 (ru) Травитель дл кремни
CN110078035B (zh) 一种去除黄磷中硫的方法
JPS6477130A (en) Cleaning of semiconductor
SU1219544A1 (ru) Травильный раствор
SU550458A1 (ru) Способ травлени стальных изделий
JPS5231021A (en) Process for purification of crude n-omega-long-chain acyl basic amino acid or its metal salt
SU430196A1 (ru) Раствор дл удалени никелевых покрытий