SU1172946A1 - Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира - Google Patents
Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира Download PDFInfo
- Publication number
- SU1172946A1 SU1172946A1 SU833595236A SU3595236A SU1172946A1 SU 1172946 A1 SU1172946 A1 SU 1172946A1 SU 833595236 A SU833595236 A SU 833595236A SU 3595236 A SU3595236 A SU 3595236A SU 1172946 A1 SU1172946 A1 SU 1172946A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- crystals
- conc
- water
- hours
- sulfuric acid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ НАЖТА С ПОВЕРХНОСТИ ПРОФИЛИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ САПФИРА ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СМЕСЬЮ, содержащей серную кислоту, отличающийс тем, что, с целью упрощени технологии , повьппени качества поверхности и прозрачности кристаллов, смесь дополнительно содержит азотную кислоту и воду при следующем соотноше- . НИИ компонентов, об.ч.: Серна кислота (конц.) 3 Азотна кислота (конц.) 5 Вода .2 Травление ведут при 40-80 С в течение 0,5-0,2 ч, после чего кристаллы прополаскивают в концентрирован о ном водном растворе аммиака в тече . ние 0,5-0,7 ч при комнатной темпера (Л туре и отжигают в атмосфере воздуха при 800-1000 0 в течение 0,5-1,5 ч. ю 4i
Description
Изобретение относитс к способам физико-химической обработки профилированных кристаллов сапфира, выращен ных методом Степанова А.В., которые могут быть использованы в качестве конструктивного материала, например дл изготовлени газоразр дных натри евых ламп высокого давлени . Цель изобретени - упрощение технологии , повышение качества поверхности и прозрачности кристаллов. Пример. Способ состоит из последовательного применени трех операций. Химическое травление в смеси концентрированных кислот, состо щей из 3 об.ч. Нг304, 5 об.ч. HNO и 2 об.ч HjO при 40-80 с в течение соответственно 0,5 - 0,2 ч приводит к растворению осевших из пара металлов, основных и атмосферных окислов. Прополаскивание в концентрированном растворе NH40H при комнатной температуре 0,5 - 0,7 ч способствует растворению кислотных и атмосферных ;окислов.. Отжиг на воздухе при 800-1000°С соо ветственно в течение 1,5-0,5 ч приводит к возгонке летучих соединений, которые, в частности, могут образоватьс при взаимоде 4ствии налета с воздухом. Химический состав налета практически ке исследован, однозначно опре делить химические и физические процессы , происход щие при этих обработках , в насто щее врем не представл етс возможным. Вне указанных режимов обработка не приводит к получению поверхности нужного качества. Увеличение температуры травлени вьше , времени травлени и отжига свыше 0,5 ч и 1,5 часа соответственно, температуры отжига свыше 1000°С не приводит к увеличению светопропускани более, чем на 1%, и влечет за собой быстрый износ дорогосто щего технологического оборудовани . В табл. 1 представлена зависимость светопропускани от времени травлени и отжига. В табл. 2 приведена зависимость светопропускани от температур травлени и отжига. Предлагаемый способ обработки экспериментально опробован на сапфировых: трубках, предназначенных дл изготовлени газоразр дных натриевых ламп высокого давлени , к которым предъ вл ютс высокие требовани по светопропусканию. Этот способ позволил обеспечить светопропускание не ниже 92%, что в 4 раза выше, чем светопропускание необработанных трубок . Кроме того, известный способ гарантирует эффективность очистки поверхности сапфировых лент лишь в 50 случаев - у другой половины протравленных кристаллов поверхность становитс матовой, т.е. половина обработанных кристаллов непригодна дл дальнейшего применени , там где требуетс прозрачность профилированных кристаллов пор дка 92%. В предлагаемом способе достигаетс 100%-на эффективност удалени налета с поверхности сапфировых трубок и достижени требуемых качества поверхности и значений прозрачности. tТаблица1
80
0,2
0,1
80 80 0,1
1000
1,5
92
0,4
90 85 0,2
Таблица2
Claims (1)
- СПОСОБ УДАЛЕНИЯ НАЛЕТАС ПОВЕРХНОСТИ ПРОФИЛИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ САПФИРА ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГОТРАВЛЕНИЯ СМЕСЬЮ, содержащей серную кислоту, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии, повышения качества поверхности и прозрачности кристаллов, смесь дополнительно содержит азотную кислоту и воду при следующем соотноше- . нии компонентов, об.ч.:Серная кислота (конц.)3Азотная кислота (конц.)5Вода .2Травление ведут при 40-80 С в течение 0,5-0,2 ч, после чего кристаллы прополаскивают в концентрированном водном растворе аммиака в течение 0,5-0,7 ч при комнатной температуре и отжигают в атмосфере воздуха при 800-1000°С в течение 0,5-1,5 ч.1 1172946 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833595236A SU1172946A1 (ru) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833595236A SU1172946A1 (ru) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1172946A1 true SU1172946A1 (ru) | 1985-08-15 |
Family
ID=21064865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833595236A SU1172946A1 (ru) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1172946A1 (ru) |
-
1983
- 1983-05-27 SU SU833595236A patent/SU1172946A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка JP № 49-3234, кл. Н 01 L 7/50 1974. Karini Vada at al. Growth and characteristic of saphire. J.Cryst. Growth, 1980, v.50, p. 151-159. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1172946A1 (ru) | Способ удалени налета с поверхности профилированных кристаллов сапфира | |
JPH054811A (ja) | 多結晶シリコンの洗浄方法 | |
CN103014875A (zh) | 一种人造蓝宝石薄片的处理方法 | |
DE102006035797B3 (de) | Verfahren zum Reinigen von Quarzglasoberflächen | |
EP0146115B1 (en) | Process for producing aluminum material for use in vacuum | |
DE68922409T2 (de) | Verfahren zur gasartigen reinigung von halbleiterbauelementen. | |
JPH11503401A (ja) | 酸化物における残留塩素の減少 | |
KR910007859A (ko) | 고순도 테레프탈산의 제조방법 | |
JPH044397B2 (ru) | ||
JPS58222157A (ja) | カ−ボンブラツクの精製処理方法 | |
JP2005001955A (ja) | 高純度苛性ソーダ水溶液の製造方法およびそれに使用する活性炭の賦活方法 | |
JPH04101418A (ja) | Siウエーハのライフタイム向上方法 | |
RU1787966C (ru) | Расплав дл упрочнени кордиеритовых ситаллов | |
SU1059033A1 (ru) | Полирующий травитель дл антимонида инди | |
JPS62115833A (ja) | 半導体基板表面処理剤 | |
SU1209628A1 (ru) | Способ обработки длинномерных кварцевых труб | |
JPH0323483B2 (ru) | ||
SU1201347A1 (ru) | Раствор дл травлени титановых сплавов | |
SU1074327A1 (ru) | Травитель дл кремни | |
CN110078035B (zh) | 一种去除黄磷中硫的方法 | |
JPS6477130A (en) | Cleaning of semiconductor | |
SU1219544A1 (ru) | Травильный раствор | |
SU550458A1 (ru) | Способ травлени стальных изделий | |
JPS5231021A (en) | Process for purification of crude n-omega-long-chain acyl basic amino acid or its metal salt | |
SU430196A1 (ru) | Раствор дл удалени никелевых покрытий |