SU1209628A1 - Способ обработки длинномерных кварцевых труб - Google Patents

Description

Л /

Изобретение относитс  к получению редких металлов марки о.ч, и может быть использовано при производстве полупроводниковых материалов.

Цель изобретени  - упрощение способа.

На чертеже изображена схема по сн юща  способ.

Горизонтально вращающийс  цилиндрический реактор 1 вьшолнен из оргстекла. В реактор, имеющий длину 2500 мм и внутренний диаметр 150 мм вкладывают кварцевую трубу 2 через торцовой люк, прибалчивают съемную крышку 3 и заливают травитель 4 через штуцер с заглушкой 5, который расположен на боковой поверхности реактора. Реактор совершает реверсивное вращение (один оборот по часовой стрелке, один - против), за. счет чего кварцева  труба совершает вращательное движение вокруг своей оси и колебательно-поступательное движение относительно вертикальной оси реактора. При зтом происходит циркул ци  раствора травител , омы- вание наружной и внутренней поверхности кварцевой трубы.

Раствор совершает сложное турбулентное движение и интенсивность отмывки возрастает. Частота реверсивного вращени  реактора 100-120 об/ми Кварцева  труба вначале за счет сил трени  качени  приподнимаетс  на угол 15 , а затем скатываетс  в исходное положение.При этом она вращаетс  вокруг собственной оси и таким образом,вс  ее поверхность и наружна  и внутренн  ,омываетс  раствором травител . Травление осуществл етс  в динамическом режиме.

Дл  улавливани  паров травител  и газообразных продуктов образу- к цихс  при травлении кверцевых труб с напыленным металлом, около съемного фланца реактора установлен местный отсос 6, соединенньй с выт жной вентил цией. Отработанный травитель периодически сливаетс  в емкость через воронку 7 и отправл етс  на узел нейтрализации и обезвреживани  сточных вод.

При ; вращении реактора с Чс1стотой менее 00 об /мин снижаетс  интенсивность циркул ции раствора, а значит и травлени . При вращении реактора с частотой более 120 об./мин происходит высокий подъем трубы в реакторе труба выходит из объема раствора,

что приводит также к увгличению времени травлени . К тому же больша  частота вращени  реактора может привести к потере механической прочности хрупкой кварцевой трубы.

Пример 1. Кварцева  труба длиной 2300 мм и диаметром 100 мм, в которой проводилась первична  дистилл ци  кадми  высокой чистоты, имеет внутри пылевидный налет кадми  и сопутствующих примесей (свинец,олово , теллур и т.д.).

Перед процессом вторичной дистилл ции кварцевую трубу подвергают химическому травлению. Дл  чего в реактор заливают 4 л травител , состо щего из смеси концентрированных сол ной и азотной кислот, вз тых в соотношении 3:1. Процесс динамичес- кого травлени  длитс  30 мин, в течение которых реактор совершает реверсивное вращение с частотой 100 обе/мин , Кварцев  труба при этом приподнимаетс  на угол 15, а затем скатываетс  в противоположном направлении и при этом вращаетс  вокруг своей продольной оси, что способствует омыванию травителем всей поверхности трубы. После получасового травлени  отключают вращение реактора, сливают травитель и провод т промывку кварцевой трубы дистигшированной водой до нейтральной реакции,

.Затем трубу просушивают продувкой теплым воздухом, протирают спиртом и запаивают в полиэтиленовую пленку.

П р и м е р 2. Кварцева  труба длиной 2300 мм и-диаметром 100 мм после проведени  повторной дистилл ции высокочистого теллура покрыта налетом теллура с сопутствующими примес ми. Трубу подвергают химическому травлению, дл  чего закладывают в трубчатьй реактор, выполненный из оргстекла. В реактор заливают 4 л травител  5, состо щего из смеси сол ной и азотной кислот. Химическое травление проводитс  аналогично примеру 1. Реактор совершает реверсивное вращение с частотой 1 Ю , Продолжительность травлени  составл ет 30 мин.

П р и м е р 3. Кварцева  труба диаметром 70 мм и длиной 2000 мм после проведени  процесса термического разложени  арсина имеет пылевидное покрытие, состо щее из мьш1ь - ка. Перед проведением последуклцего процесса пиролиза трубу подвергают

химическому травлению. Процесс провод т аналогично примеру 1. В реактор помещают запыленную кварцевую трубу, заливают 4 л травител  того же состава и задают реактору реверсивное вращение с частотой 120 o6f/MHH. Отработанный травитель отправл ют на узел обезвреживани  и нейтрализации сточных вод.

Предлагаемый способ позвол ет упростить аппаратурно-технологичесСоставитель О.Самохина Редактор И.Дербак Техред М.Надь. Корректор Г.Решетник

Заказ 454/30 Тираж 458Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д.4/5

Филиал ШШ Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

209628

кую схему. Кроме того, улучшаетс  культура и услови  труда, а также состо ние техники безопасности при химическом травлении кварцевых труб после проведени  в них металлургических процессов получени  кадми , теллура и мышь ка высокой чистоты .

.Q Ожидаемый экономический эффект составл ет 1680 руб в год.

Claims (1)

1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ ДЛИННОМЕРНЫХ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ путем травления в царской водке, отличающи й— с я тем, что, с целью упрощения способа, обработку ведут в реактореj который реверсивно вращают с частотой 100-120 об/мин.

   SU п„ 1209628