CN115921409A - 一种用于石英火加工制品的洗净方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于石英火加工制品的洗净方法，有机物、颗粒及金属离子污染物附着在火加工石英制品上，按照以下步骤操作：将火加工石英制品通过石英洗净粉进行脱脂洗净；利用纯水对上述石英洗净粉过的火加工石英制品进行第一次纯水洗净；在纯水中利用超声波对纯水清洗过的火加工石英制品进行超声波洗净；接着利用硝酸对所述火加工石英制品进行洗净的硝酸洗净工序；然后利用纯水对火加工石英制品进行洗净的第二次纯水洗净工序。该用于石英火加工制品的洗净方法，去除火加工石英制品表面附着有机物以及火加工过程中带入的多种金属离子污染物以及表面附着的颗粒物使产品的表面洁净。

Description

一种用于石英火加工制品的洗净方法

技术领域

本发明涉及石英加工技术领域，具体为一种用于石英火加工制品的洗净方法。

背景技术

石英制品主要是指众多以石英玻璃材料做成的产品。主要包括石英玻璃管、石英玻璃棒、石英玻璃片、石英玻璃砣、熔凝石英玻璃管(炉芯管)、熔凝石英玻璃棒、石英玻璃舟、石英玻璃坩埚等等。

中国发明专利CN200910145230.6公开了一种除去附着在选自半导体处理用的立式热处理装置的反应管、晶舟、保温筒中的石英部件上的金属污染物质的方法。该方法包括：得到未安装于上述立式热处理装置的状态的上述石英部件的工序；接着利用稀氢氟酸对上述石英部件进行洗净的稀氢氟酸洗净工序；接着利用纯水对上述石英部件进行洗净的第一纯水洗净工序；接着利用盐酸对上述石英部件进行洗净的盐酸洗净工序；和接着利用纯水对上述石英部件进行洗净的第二次纯水洗净工序。

该方法完成了石英部件的洗净，但是只能去除石英部件中部分种类金属离子同时也不能有效去除石英部件中的有机物及颗粒物。同时该洗净顺序易导致产品白斑缺陷；

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于石英火加工制品的洗净方法，具备步骤工序少的同时还能达到清洁颗粒物的优点，解决了上述背景中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于石英火加工制品的洗净方法，有机物、颗粒及金属离子污染物附着在火加工石英制品上，其特征在于，按照以下步骤操作：

S1：将火加工石英制品通过石英洗净粉进行脱脂洗净；

S2：利用纯水对上述石英洗净粉过的火加工石英制品进行第一次纯水洗净；

S3：在纯水中利用超声波对纯水清洗过的火加工石英制品进行超声波洗净；

S4：利用硝酸对上述超声波洗净过的火加工石英制品进行硝酸洗净；

S5：利用纯水对上述硝酸洗净过的火加工石英制品进行第二次纯水洗净；

S6：利用HF酸对上述纯水二次洗净过的火加工石英制品进行HF酸洗净；

S7：利用纯水对上述HF酸洗净过的火加工石英制品进行洗净的第三次纯水洗净；

S8：利用氮气对上述纯水三次洗净过的火加工石英制品进行吹干处理。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述脱脂洗净、超声波洗净、硝酸洗净、HF洗净、纯水洗净，分别将所述火加工石英制品浸没在含有处理液的洗净槽中规定相应时间进行洗净。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述洗净槽由PP塑料材质等耐酸材料构成。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述超声波洗净下需在设定的强度20-40W/m2下进行洗净。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述硝酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的硝酸浓度设定为5％～15％。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述HF酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的HF酸浓度设定为2％～8％。

在上一个技术方案的基础上，进一步，所述纯水洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的纯水电阻率控制在设定为8MΩ以上。

所述洗净槽由PP塑料材质等耐酸材料构成。

(三)有益效果

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该用于石英火加工制品的洗净方法，去除火加工石英制品表面附着有机物以及火加工过程中带入的多种金属离子污染物以及表面附着的颗粒物使产品的表面洁净。

2、该用于石英火加工制品的洗净方法，通过硝酸洗，可以清除残留在石英制品表面的杂质离子，使石英制品表面洁净、均匀，配合多次纯水清洗，清洗的作用是把带钢表面残留的酸液和其他杂物冲洗干净，以利钝化，工艺取得良好效果。达到冲刷石英制品上的碎屑，提高石英制品的光洁度，同时，还以HF酸步骤，HF酸液在石英制品表面流动，使石英制品上的杂质被摩擦冲洗带走，因此可以提高清洗质量。

附图说明

图1为本发明洗净系统的示意图；

图2为本发明洗净系统侧视结构示意图；

图3为本发明工艺流程示意图。

图中：1洗净机械手臂、2洗净花篮、3洗净机外罩、4排气系统、5脱脂洗净装置、6料箱、7进料自动控制阀、8脱脂洗净装置、9排料自动控制阀、10第一纯水洗净装置、11超声波洗净装置、12硝酸洗净装置、13第二次纯水洗净装置、14HF酸洗净装置、15第三次纯水洗净装置。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本实施例中的火加工石英制品洗净系统包括：洗净机械手臂1、洗净花篮2、洗净机外罩3、排气系统4、利用脱脂液对火加工石英制品5进行洗净的脱脂洗净装置8、利用纯水(RO水)对火加工石英制品5进行洗净的第一纯水洗净装置10、利用超声波纯水对火加工石英制品5进行洗净的超声波洗净装置11、利用硝酸对火加工石英制品5进行洗净的硝酸洗净装置12、利用纯水(RO水)对火加工石英制品5进行洗净的第二次纯水洗净装置13、利用HF酸对火加工石英制品5进行洗净的HF酸洗净装置14、利用纯水(RO水)对火加工石英制品5进行洗净的第三次纯水洗净装置15。

各个洗净装置的顶部进料管，进料管上设有进料自动控制阀7，而进料管远离各个洗净装置的一端连接有料箱6，料箱6可用于装置用于清洗火加工石英制品5的介质，其中，各个洗净装置的底部还设有排料管，排料管上设有排料自动控制阀9。

实施例一

本发明提出一种能够更可靠地除去附着在火加工石英制品上的有机物、金属离子污染物以及颗粒污染物的洗净方法。有机物、金属离子污染物以及颗粒污染物附着在火加工石英制品上，包括以下步骤：

经过火加工焊接或者精烧完成后的石英制品，利用中性强力洗净剂对所述火加工石英制品进行脱脂洗净工序；

接着利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的首次纯水洗净工序；

接着进行在纯水中进行超声波洗净的超声波洗净工序；

接着利用硝酸对所述火加工石英制品进行洗净的硝酸洗净工序；

然后利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的第二次纯水洗净工序；

接着采用HF酸对所述火加工石英制品进行洗净的HF酸洗净工序；

然后利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的第三次纯水洗净工序，最后通过氮气枪进行吹干流转下道工序。

在本实施例中所述脱脂洗净、超声波洗净、硝酸洗净、HF洗净、纯水洗净，分别将所述火加工石英制品浸没在含有处理液的洗净槽中规定相应时间进行洗净。所述洗净槽由PP塑料材质等耐酸材料构成。所述超声波洗净下需在设定的强度20-30W/m2下进行洗净。

部分的实施例中所述硝酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的硝酸浓度设定为5％～10％。在上一个技术方案的基础上，进一步，所述HF酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的HF酸浓度设定为2％～5％。所述纯水洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的纯水电阻率控制在设定为8MΩ以上。

该实施例带到来的好处是：上述洗净顺序不易导致产品白斑缺陷，且能有效去除附着在火加工石英制品上面的污染物，能去除石英部件中部分种类金属离子。

实施例二

本发明提出一种能够更可靠地除去附着在火加工石英制品上的有机物、金属离子污染物以及颗粒污染物的洗净方法。有机物、金属离子污染物以及颗粒污染物附着在火加工石英制品上，包括以下步骤：

经过火加工焊接或者精烧完成后的石英制品，利用中性强力洗净剂对所述火加工石英制品进行脱脂洗净工序；

接着利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的首次纯水洗净工序；

接着进行在纯水中进行超声波洗净的超声波洗净工序；

接着利用硝酸对所述火加工石英制品进行洗净的硝酸洗净工序；

然后利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的第二次纯水洗净工序；

接着采用HF酸对所述火加工石英制品进行洗净的HF酸洗净工序；

然后利用纯水对所述火加工石英制品进行洗净的第三次纯水洗净工序，最后通过氮气枪进行吹干流转下道工序。

在本实施例中所述脱脂洗净、超声波洗净、硝酸洗净、HF洗净、纯水洗净，分别将所述火加工石英制品浸没在含有处理液的洗净槽中规定相应时间进行洗净。所述洗净槽由PP塑料材质等耐酸材料构成。所述超声波洗净下需在设定的强度30-40W/m2下进行洗净。

部分的实施例中所述硝酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的硝酸浓度设定为10％～15％。在上一个技术方案的基础上，进一步，所述HF酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的HF酸浓度设定为5％～8％。所述纯水洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的纯水电阻率控制在设定为8MΩ以上。

该实施例带到来的好处是：中国发明专利公开号为CN 113231372 A的一种半导体级石英环的洗净方法，该方案用于高端刻蚀机用石英环状产品洗净，能够替代目前方案，但是其流程长，耗时时长，成本高，不利于火加工石英制品进行洗净，该方案流程工序少，且耗时长短，成本低，在此基础上还能达到去除附着在火加工石英制品上面的污染物。

上述实施例的工作原理为：

首先将火加工石英制品5装进洗净花篮2，洗净花篮2通过洗净机械手臂1进行前后移动。机械手臂到达脱脂槽洗净装置8时，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入脱脂槽洗净装置中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，然后向前移动制第一纯水洗净装置10，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入纯水槽洗净装置10中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，然后向前移动至制超声波纯水洗净装置11，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入超声波纯水槽洗净装置11中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，接着向前移动至制硝酸洗净装置12，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入硝酸槽洗净装置12中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，接着向前移动制第二次纯水洗净装置13，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入纯水槽洗净装置13中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，接着向前移动至制HF酸洗净装置14，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入HF酸槽洗净装置14中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起,接着向前移动制第三次纯水洗净装置15，洗净机械手臂1向下移动将装有火加工石英制品5的洗净花篮放入纯水槽洗净装置15中进行洗净，洗净完成后再由洗净机械手臂1向上提起，人工取下火加工石英制品5，最后通过手拿氮气枪吹干。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于石英火加工制品的洗净方法，有机物、颗粒及金属离子污染物附着在火加工石英制品上，其特征在于，按照以下步骤操作：

S1：将火加工石英制品通过石英洗净粉进行脱脂洗净；

S2：利用纯水对上述石英洗净粉过的火加工石英制品进行第一次纯水洗净；

S3：在纯水中利用超声波对纯水清洗过的火加工石英制品进行超声波洗净；

S4：利用硝酸对上述超声波洗净过的火加工石英制品进行硝酸洗净；

S5：利用纯水对上述硝酸洗净过的火加工石英制品进行第二次纯水洗净；

S6：利用HF酸对上述纯水二次洗净过的火加工石英制品进行HF酸洗净；

S7：利用纯水对上述HF酸洗净过的火加工石英制品进行洗净的第三次纯水洗净；

S8：利用氮气对上述纯水三次洗净过的火加工石英制品进行吹干处理。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述脱脂洗净、超声波洗净、硝酸洗净、HF洗净、纯水洗净，分别将所述火加工石英制品浸没在含有处理液的洗净槽中规定相应时间进行洗净。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述洗净槽由PP塑料材质等耐酸材料构成。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述超声波洗净下需在设定的强度20-40W/m2下进行洗净。

5.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述硝酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的硝酸浓度设定为5％～15％。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述HF酸洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的HF酸浓度设定为2％～8％。

7.根据权利要求1所述的一种用于石英火加工制品的洗净方法，其特征在于：所述纯水洗净工序，需将火加工石英制品进行洗净的纯水电阻率控制在设定为8MΩ以上。

Images