SU1018178A1 - Кассета - Google Patents
Кассета Download PDFInfo
- Publication number
- SU1018178A1 SU1018178A1 SU792796162A SU2796162A SU1018178A1 SU 1018178 A1 SU1018178 A1 SU 1018178A1 SU 792796162 A SU792796162 A SU 792796162A SU 2796162 A SU2796162 A SU 2796162A SU 1018178 A1 SU1018178 A1 SU 1018178A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- base
- cassette
- shelves
- locking
- integrated circuits
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
КАССЕТА прёи щественно дл5 . транспортировани интегральных .схем, содержаща основание с направл юпшми дл интегральных схем и запорные. П-обраэные скобы, охватывающие торцовые стороны основани , а ее боковые полки разм1ещены в отверсти х Ьсновани , о т л и ч а ю щ а с тем, что, с целью улучт шени .ее эксплуатационных возиржностей , на боковых стекках основайи выполнены упоры в виде скосов, а отверсти дл полок запорных П-йбразных скоб также выполнены в боковых стенках основани , при этом каик- . да из полок запорной П-образной;скобы размещена в отверстии с зазором и установлена с возможностью вза- ; имодействй со скосом упора.
Description
3ap yffffief Af
f7jOtf OjO
(30
00 Изобретение относитс к техноло ческой оснастке и может найти прим нение в качестве межоперационных накопителей при хранении и транспо тировании- в производстве полупрово никовых приборов, в частности ийтетральных схем. Наиболее близкой к предлагаемой вл етс кассета, содержаща основание с направл ющими дл интеграл ных схем и запорные П-образные окобы , охватывс ющие торцовые стороны основани , а ее боковые полки размещены в отверсти х основани ЗОднако в известной кассете запорные П-образные скобы подпружинены . Поэтому каждый р д пазов кассеты при выгрузке необходимо отпирать и удерживать в открытом состо нии до тех пор пока кассета не выгрузитс . Цель изобретени - улучшение эксплуатационных возможностей. Поставленна цель достигаетс тем, что в кассете преимущественно дл транспортировани интегральных схем, содержащей основание с направ л ющими дл интегральных схем и запорные П-образные скобы,.охватывающие торцовые стороны основани , а ее боковые полки размещены в отверсти х основани , на боковых стенках основани выполнены упоры в виде скосов, а отверсти дл полок запорных П-образных скоб также выполнены в боковых стенках основани ,, .при этом кажда из полок за .порной П-образной скобы размещена в отверстии с зазором и установлена с возможностью взаимодействи со скосом упора. На фиг. 1 изображены соштабелированные кассеты, общий вид,- на фиг. 2 - кассета, вид сверху,- на фиг.З - то же, вкц сбоку. Кассета состоит из основани 1 с боковыми стенками 2. Вдоль основани 1 выполнены направл ющие дл интегральных схем в виде пазов 3. Ближе к торцовой стороне корпуса ус тановлены запоры, выполненные в виде свободно посаженных в отверсти корпуса запорных П-образних скоб 4, и упоров 5, выполненных так, что они преп тствуют подн тию скоб 4 до вертикального положени . В торцовой части корпуса выполнены скосы б, обеспечивающие свободное подн тие скобы до упоров 5 при загрузке ( выг рузке) микросхем в кассету, наход щуюс в штабеле. На стенках корпуса выполнены отверсти 7 и штифты 8 дл обеспечени штабелировани кассет . Дл обеспечени автоматической загрузки микросхем в кассету все пазы 3 располагаютс параллельными. р дами с необходимой точностью по размерам, шагу и параллельности сторон пазов, кроме того, дл облегчени загрузки на перемычках 9 пазов 3выполнены заходные фаски 10. Кассета работает следующим образом . При размещении кассеты на устройстве загрузки-вы.грузки одна из скоб 4 соприкасаетс с упором на устройстве (на фиг. 3 показан пунктиром , который по мере опускани кассеты на стол устройства поднимает скобу 4, поворачива ее вокруг оси до упора 5, освобожда пазы дл свободной загрузки-выгрузки ИС. Упор удерживает скобу 4 в верхнем открытом положении пока кассета , перемеща сь механизмом стола установки каждый раз на шаг пазов 3, загружаетс разгружаетс полностью . После этого кассета перемещаетс на такое рассто ние, что упор выходит из контакта со скобой 4и она тут же под действием сил т жести опускаетс вниз, перекрыва пазы 3. При установке на устройство загрузки-выгрузки соштабелированннх кассет (10-15 шт .)после загрузки (выгрузки; нижней кассеты и перекрыти пазов 3 стол .установки опускаетс вниз на рассто ние, равное шагу соштабелированных кассет . Упор вновь входит в контакт, со скобой 4 следующей кассеты, поднимает скобу 4 и.цикл повтор етс . Когда все кассеты в штабеле загружены разгружены и упор вышел из контакта со скобой 4 последней кассеты, весь штабель кассет снимаетс с установки и перемещаетс на следующую технологическую операцию. Така конструкци кассеты обеспечивает автоматизированную загрузкувыгрузку микросхем в технологическое оборудование без потери ориентации их по ключу, освобождает оператора от частой замены кассет на оборудовании и создает услови дл многостаночного обслуживани . При . использовании таких кассет в штабеле по 10 шт. врем непрерывной работы оборудовани увеличиваетс в 7-8 раз, оператор, например, на установке разварки выводов, может обслуживать 2 установки. Выработка на одного оператор .а увеличиваетс примерно в 2 раза. При сн тии кассет с оборудовани обеспечиваетс надежное удержание приборов в кассете при межоперационном транспортировании, хранении их в горизонтальных и наклонных положени х при тр ске и вибраци х без применени дополнительных средств фиксации приборов.
7 Л
Фиг.:}
Claims (1)
- КАССЕТА преимущественно дл)я. транспортирования интегральных схем, содержащая основание с направляющими для интегральных схем и запорные П-обраэные скобы, охватывадая из полок запорной П-образнойскобы размещена в отверстии с зазором и установлена с возможностью взаимодействия со скосом упора.е в·.··· i
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792796162A SU1018178A1 (ru) | 1979-07-16 | 1979-07-16 | Кассета |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792796162A SU1018178A1 (ru) | 1979-07-16 | 1979-07-16 | Кассета |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1018178A1 true SU1018178A1 (ru) | 1983-05-15 |
Family
ID=20840586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792796162A SU1018178A1 (ru) | 1979-07-16 | 1979-07-16 | Кассета |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1018178A1 (ru) |
-
1979
- 1979-07-16 SU SU792796162A patent/SU1018178A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100287558B1 (ko) | 모듈아이씨핸들러의엘리베이터부에서팔레트를순환시키는방법및그장치 | |
KR20210021266A (ko) | 웨이퍼를 처리하는 장치 및 방법 | |
JP2004186249A (ja) | 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法 | |
US6966744B1 (en) | Multi stacker for handler | |
JP4751827B2 (ja) | サブストレートを貯蔵又は輸送するための機器及びそれを用いた方法 | |
JPH0159352B2 (ru) | ||
JPH059333B2 (ru) | ||
TWI767270B (zh) | 晶圓盒暫存裝置及晶圓盒輸送系統 | |
US6573198B2 (en) | Earthquake protection for semiconductor processing equipment | |
TW201730067A (zh) | 保管裝置及搬送系統 | |
KR100271586B1 (ko) | 반도체 가공 장비용 투입 방출장치 | |
SU1018178A1 (ru) | Кассета | |
WO1996009787A1 (en) | Semiconductor wafer cassette | |
JP2014049585A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR102189275B1 (ko) | 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 | |
KR100395368B1 (ko) | 핸들러용 트레이 오토로더 | |
JP2001102394A (ja) | 搬送用キャリア | |
KR102536185B1 (ko) | 카세트 로딩 유닛 및 이를 갖는 웨이퍼 링 이송 장치 | |
US5146661A (en) | Packaged device handling method and apparatus | |
JPH0719827B2 (ja) | ウエ−ハ移替装置 | |
JP3483842B2 (ja) | ウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄方法 | |
KR100321545B1 (ko) | 웨이퍼 카세트 이송장치 | |
JP2506379B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
JP3545564B2 (ja) | Idカードの入出装置 | |
JP3313975B2 (ja) | 基板の検査装置と検査方法及び基板の処理装置 |