SE512097C2 - Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning - Google Patents

Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Info

Publication number
SE512097C2
SE512097C2 SE9801780A SE9801780A SE512097C2 SE 512097 C2 SE512097 C2 SE 512097C2 SE 9801780 A SE9801780 A SE 9801780A SE 9801780 A SE9801780 A SE 9801780A SE 512097 C2 SE512097 C2 SE 512097C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
protective glass
holder
detector
glass plate
laser
Prior art date
Application number
SE9801780A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9801780D0 (sv
SE9801780L (sv
Inventor
Sven-Olov Roos
Per-Arne Torstensson
Original Assignee
Permanova Lasersystem Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Permanova Lasersystem Ab filed Critical Permanova Lasersystem Ab
Priority to SE9801780A priority Critical patent/SE512097C2/sv
Publication of SE9801780D0 publication Critical patent/SE9801780D0/sv
Priority to PCT/SE1999/000592 priority patent/WO1999059762A1/en
Priority to EP99925508A priority patent/EP1146986A1/en
Priority to JP2000549415A priority patent/JP2002515341A/ja
Publication of SE9801780L publication Critical patent/SE9801780L/sv
Publication of SE512097C2 publication Critical patent/SE512097C2/sv

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/707Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment

Description

35 512 097. _'2._ ras med laserstrålen. Blir då strålningen mer diffus på grund av spridningen leder detta till att den goda skärpan i de graverade mönstren eller texterna ej kan upprätthål- las.
Det finns dessutom en risk att skyddsglaset spricker om det blir alltför smutsigt. Av dessa skäl måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.
Vid automatiserad produktion är det förut känt att kon- trollera status hos skyddsglaset löpande under arbetets gång och utan att bearbetningsprocessen behöver avbrytas.
I DE 196 05 018 Al visas således en metod för att mäta spridd strålning från partiklar som fastnat på skyddsgla- set. En liknande metod beskrivs i SE 97.00196-0. I båda fallen är en detektor placerad i anslutning till skydds- glasets kant och känner av den strålning som spritts till kanten hos skyddsglaset på grund av smutspartiklarna.
Vid laserbearbetning visar det sig emellertid att proble- met med nedsmutsning av skyddsglaset är av två helt skilda slag. Dels är det större partiklar, som lägger sig på ytan, dels är det små rökpartiklar som orsakas av förång- ning av organiskt material och lätt förångade metaller.
.De förstnämnda, större partiklarna ger upphov till en stark ljusspridning och kan enkelt detekteras med hjälp av de ovanstående metoderna. De små rökpartiklarna ger dock inte upphov till någon mätbar spridning av strålningen, men desto mer absorption av lasereffekten vilket orsakar en alltför hög temperatur hos skyddsglaset och de mekanis- ka detaljer som håller fast glaset. Båda nedsmutsningsty- perna kan leda till försämrad svetskvalitet och skydds- glasbrott och ett därmed sammanhängande optikhaveri.
Det finns därför ett behov av en förbättrad skyddsglasö- vervakning där skyddsglasets status kontrolleras löpande även med avseende på små rökpartiklar. 10 15 20 25 30 35 _'3_ Enligt uppfinningen åstadkommes detta medelst en termisk detektor som är så anordnad att den känner av (mäter) tem- peraturen hos skyddsglaset eller dess hållare, företrädes- vis hos den mekaniska detalj som fixerar skyddsglaset.
Enligt en fördelaktig utföringsform kombineras den termis- ka detektorn med en optisk detektor av det tidigare kända slaget, så att båda nedsmutsningstyperna kan kontrolleras samtidigt.
I det följande skall uppfinningen närmare åskådliggöras under hänvisning till bifogade ritningsfigurer som visar ett exempel på hur detektorerna kan vara anordnade i an- slutning till ett skyddsglas.
Figur 1 visar ett känt arrangemang med optisk skyddsglasö- vervakning vid laserbearbetning, Figur 2 visar schematiskt ett arrangemang enligt uppfin- ningen, Figur 3 visar ett s.k. sensorkort med både en optisk och en termisk detektor, och Figur 4 visar i detalj sensorkortet monterat i anslutning till skyddsglasets kant.
I figur 1 visas schematiskt en fokuseringsoptik, som sym- boliserats med linsen 1, vilken koncentrerar den infallan- de laserstrålningen på ett arbetsstycke 2. Det kan vara fråga om svetsning, gravering av det slag som visas i SE 94 03349-5, skärning eller någon annan form av laserbear- betning. Gemensamt för sådana bearbetningar är att det produceras smuts och dammpartiklar, "sprut" från bearbet- ningsprocessen, runt den detalj som bearbetas. För att in- te dessa partiklar skall tränga in i fokuseringsoptiken är ett skyddsglas 3 anbringat mellan arbetsstycket 2 och fo- kuseringslinsen 1. Skyddsglaset är monterat i en hållare 4 512 097 10 15 20 25 30 35 512 097 _'4 _ och har en cirkulär kantperiferi.
De smuts-, damm- och rökpartiklar 5 som bildas vid bear- betningsprocessen kommer istället att lägga sig på skydds- glaset 3. Därmed förhindras dessa partiklar att tränga in i det mer vitala optiska systemet, men nackdelen är att partiklarna lägger sig på glaset och kommer att sprida och absorbera en del av den infallande laserstrålningen 6. En fotodetektor 8 är därför anordnad vid kanten hos skydds- glaset och känner av den spridda strålning 7 som uppträder på kanten 9 och vilken är ett mått på smutsbeläggningen på skyddsglaset. Fotodetektorn mäter hur mycket strålning som spritts av partiklar på skyddsglasets yta. Då detektorsig- nalen uppgår till en viss nivå kan den indikera att det är dags att byta skyddsglas. Således kan status på skyddsgla- set med avseende på sådana partiklar som ger upphov till spridd strålning kontrolleras löpande under arbetes gång.
Som nämndes inledningsvis ger laserbearbetningen emeller- tid även upphov till små rökpartiklar som inte orsakar nå- gon sådan spridd strålning. Dessa rökpartiklar orsakar istället en absorption av lasereffekten, vilket kan vara väl så skadligt eftersom det ger upphov till en alltför hög temperatur hos skyddsglaset och omgivande mekaniska detaljer, speciellt naturligtvis sådana detaljer som står i termisk kontakt med skyddsglaset.
Enligt uppfinningen är därför också en termisk detektor 10 anordnad i anslutning till skyddsglaset för att mäta tem- peraturen hos skyddsglaset och omgivande mekaniska detal- jer. Då detektorsignalen uppgår till en viss nivå kan den indikera att det är dags att byta skyddsglas. Själva de- tektorn l0 kan vara av i och för sig känt slag och be- skrivs därför ej närmare här.
Den termiska detektorn 10 monteras tillsammans med den op- tiska detektorn 8 på ett s.k. sensorkort ll, se figur 3.
Sensorkortet ll är monterat direkt mot den mekaniska de- 10 15 20 25 30 35 _ 5 _ talj som fixerar skyddsglaset i hållaren 4. Därmed erhål- les en god termisk kontakt med hållaren 4, se figur 4. Den optiska detektorn 8 är monterad överst på kortet så att den "ser" kanten på skyddsglaset 3 genom ett optiskt fön- ster 13, dvs analogt med vad som beskrivs i SE 97.00196-0.
Kortet är fastsatt med en skruv, bult 14 eller liknande på skyddsglasets hållare 4. Detektorerna är via ett kontakt- don 12 och en ledning 15 anslutna till en elektronikenhet som avger en elektrisk signal till indikeringsorgan (ej visade). Både elektronikenheten och indikeringsorganen kan vara av i och för sig känt slag och beskrivs därför ej närmare här. Då signalerna överstiger en viss, förutbe- stämd nivå indikeras detta exempelvis med en ljudsignal eller indikeras på en display.
Uppfinningen är inte begränsad till de som exempel visade utföringsformerna utan kan varieras inom ramen för de ef- terföljande patentkraven. Uppfinningen kan dessutom kombi- neras med olika metoder för att undvika att smuts lägger sig på skyddsglaset, exempelvis crossjet, axialblås. '512 097

Claims (7)

i I ififim 512 097 10 15 20 25 30 35 PATENTKRAV
1. Metod för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status med avseende på nedsmutsning av ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skydds- glas (3) genom vilket den bearbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bearbetande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, får passera k ä n n e - t e c k n a d a v att en termisk detektor (10) anbring- as i anslutning till skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) för att känna av (mäta) temperaturen hos skyddsglaset eller nåilaren (4). 4
2. Metod enligt patentkrav 1 k ä n n e t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) kombineras med en optisk detektor (8) varvid de båda detektorerna anbringas i an- slutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av så- väl temperaturen hos skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) som den spridda strålning (7) som uppträder på skydds- glasets kant (9).
3. Metod enligt något av föregående patentkrav k ä n n e- t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) monte- ras direkt mot en mekanisk detalj i hållaren (4) för god termisk kontakt med denna detalj.
4. Anordning för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke (2) detektera status med avseende på nedsmutsning av ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den bearbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bearbetande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, är anordnad att passera k ä n n e t e c k n a d a v att en termisk detektor (10) är anordnad i anslutning till skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) för att känna av (mäta) temperaturen hos skyddsglaset (3) eller hållaren (4). 15 10 15 20 25 30 35 Q 7 _
5. Anordning enligt patentkrav 4 k ä n n e t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) är kombinerad med en optisk detektor (8) varvid de båda detektorerna är an- bringade i anslutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av såväl temperaturen hos skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) som den spridda strålning (7) som uppträ- der på skyddsglasets kant (9).
6. Anordning enligt patentkrav 4 eller 5 k ä n n e- t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) är monterad direkt mot en mekanisk detalj i hållaren (4) för god termisk kontakt med denna detalj.
7. Anordning enligt patentkrav 6 k ä n n e t e c k n a d a v att de båda detektorerna är anordnade på ett gemen- samt sensorkort (11) vilket är monterat med god termisk kontakt med en mekanisk detalj i hållaren (4). 512 0974
SE9801780A 1998-05-20 1998-05-20 Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning SE512097C2 (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9801780A SE512097C2 (sv) 1998-05-20 1998-05-20 Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
PCT/SE1999/000592 WO1999059762A1 (en) 1998-05-20 1999-04-13 A method and an apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining
EP99925508A EP1146986A1 (en) 1998-05-20 1999-04-13 A method and an apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining
JP2000549415A JP2002515341A (ja) 1998-05-20 1999-04-13 レーザー機械加工に関連して保護ガラスの状態をチェックするための方法と装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9801780A SE512097C2 (sv) 1998-05-20 1998-05-20 Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9801780D0 SE9801780D0 (sv) 1998-05-20
SE9801780L SE9801780L (sv) 1999-11-21
SE512097C2 true SE512097C2 (sv) 2000-01-24

Family

ID=20411390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9801780A SE512097C2 (sv) 1998-05-20 1998-05-20 Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1146986A1 (sv)
JP (1) JP2002515341A (sv)
SE (1) SE512097C2 (sv)
WO (1) WO1999059762A1 (sv)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20206255U1 (de) * 2002-04-19 2003-08-28 Thyssen Laser Technik Gmbh CO¶2¶ Laservorrichtung
EP1362662A1 (fr) * 2002-05-08 2003-11-19 Lasag Ag Installation de soudage au laser et tête de soudage équipant une telle installation
DE10310854B3 (de) * 2003-03-11 2004-09-30 Erlas Erlanger Lasertechnik Gmbh Verfahren, Überwachungsvorrichtung und Laserbearbeitungsanlage mit Fehlstellenüberwachung einer optischen Komponente
EP1488882B1 (de) * 2003-06-20 2006-07-05 TRUMPF Laser GmbH + Co. KG Verfahren und Laserbearbeitungskopf mit einer Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks
EP1643281A1 (de) 2004-10-02 2006-04-05 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Optisches Element einer Laserbearbeitungsmaschine und Halterung des optischen Elements
US20090242526A1 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 Electro Scientific Industries, Inc. Laser micromachining through a protective member
KR101254676B1 (ko) * 2010-11-23 2013-04-15 아이피지 포토닉스 코포레이션 고출력 광섬유 레이저 시스템의 출력을 감시하기 위한 방법 및 시스템
DE102014205907B4 (de) * 2014-03-31 2020-03-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schutzvorrichtung zum Schutz vor Laserstrahlung
JP6097796B2 (ja) * 2015-07-09 2017-03-15 アイピージー フォトニクス コーポレーション 高出力ファイバ型レーザシステムの出力を監視する方法およびシステム
CN105665951A (zh) * 2016-03-29 2016-06-15 同高先进制造科技(太仓)有限公司 基于散射光和温度检测的激光头护镜监控装置及工作方法
CN105772961A (zh) * 2016-03-29 2016-07-20 同高先进制造科技(太仓)有限公司 基于散射光检测激光头保护镜片污染监控装置及工作方法
CN106927257B (zh) * 2017-03-29 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 激光聚变靶场光学诊断设备的保护玻璃自动更换装置
CN111093884B (zh) * 2017-09-21 2022-05-24 松下知识产权经营株式会社 激光加工头及使用该激光加工头的激光加工系统
KR102175421B1 (ko) * 2018-10-28 2020-11-06 네모엔지니어링 주식회사 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 시스템
CN109759723A (zh) * 2019-03-05 2019-05-17 奔腾激光(温州)有限公司 一种激光切割头
JP7316500B2 (ja) * 2019-06-03 2023-07-28 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工ヘッド及びそれを備えたレーザ加工装置
CN115647621A (zh) * 2022-10-14 2023-01-31 深圳市创想三维科技股份有限公司 检测组件、激光模组及其出光控制方法以及激光加工设备

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0716795B2 (ja) * 1988-01-19 1995-03-01 ミヤチテクノス株式会社 レーザ出射口保護ガラス板の汚れ検出装置
JPH04118193A (ja) * 1990-09-04 1992-04-20 Hitachi Constr Mach Co Ltd レーザ加工装置の保護ガラス監視装置
DE19605018A1 (de) * 1996-01-31 1997-08-07 Inpro Innovations Gmbh Verfahren zum Überwachen der Verschmutzung eines Schutzglases einer Laserschweißoptik beim Laserschweißen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

Also Published As

Publication number Publication date
SE9801780D0 (sv) 1998-05-20
EP1146986A1 (en) 2001-10-24
WO1999059762A1 (en) 1999-11-25
SE9801780L (sv) 1999-11-21
JP2002515341A (ja) 2002-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE512097C2 (sv) Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
SE508426C2 (sv) Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
US20060043077A1 (en) CO2 laser machining head with integrated monitoring device
US6118527A (en) Method for monitoring the functionality of the transparent protective element of a transparent laser optical system, and a device for carrying out this method
DE102012102785B3 (de) Verfahren und Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
KR101004294B1 (ko) 에지 센서 및 결함검사장치
JP2018514392A (ja) レーザ加工装置
EP1488882B1 (de) Verfahren und Laserbearbeitungskopf mit einer Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks
CN109834385A (zh) 在激光加工中警告保护窗口的污染的激光加工装置
JP6535480B2 (ja) レーザ加工状態判別方法及び装置
CN219159999U (zh) 一种线网监控装置及设有该监控装置的监控系统
CN112643191A (zh) 激光焊接品质检查的方法以及激光焊接品质检查装置
CN111093884B (zh) 激光加工头及使用该激光加工头的激光加工系统
JP6757018B2 (ja) 保護ガラスの汚れ検出装置とそれを備えるレーザ加工機及び保護ガラスの汚れ検出方法
JP6982450B2 (ja) 保護ガラス汚れ検知システム及び方法
JP2020179405A (ja) 保護ガラスのヒューム汚れ検知装置及び検知方法
JP4833535B2 (ja) プリント基板用穴あけ加工機
JP2002525211A (ja) 工具の状態を監視する方法
CN113714635A (zh) 激光加工装置
JPH05212576A (ja) レーザ加工機の加工ヘッド
JPS63295946A (ja) パルプ材の夾雑物検出方法
JP5350699B2 (ja) 切削加工装置の切削監視装置
JP2020175436A (ja) スパッタ検出装置、レーザ加工装置およびスパッタの検出方法
US20110174122A1 (en) Ring saw cutting machine
JP2001334381A (ja) レーザー加工機の出力ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed