SE512097C2 - Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining - Google Patents

Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining

Info

Publication number
SE512097C2
SE512097C2 SE9801780A SE9801780A SE512097C2 SE 512097 C2 SE512097 C2 SE 512097C2 SE 9801780 A SE9801780 A SE 9801780A SE 9801780 A SE9801780 A SE 9801780A SE 512097 C2 SE512097 C2 SE 512097C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
protective glass
holder
detector
glass plate
laser
Prior art date
Application number
SE9801780A
Other languages
Swedish (sv)
Other versions
SE9801780L (en
SE9801780D0 (en
Inventor
Sven-Olov Roos
Per-Arne Torstensson
Original Assignee
Permanova Lasersystem Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Permanova Lasersystem Ab filed Critical Permanova Lasersystem Ab
Priority to SE9801780A priority Critical patent/SE512097C2/en
Publication of SE9801780D0 publication Critical patent/SE9801780D0/en
Priority to EP99925508A priority patent/EP1146986A1/en
Priority to PCT/SE1999/000592 priority patent/WO1999059762A1/en
Priority to JP2000549415A priority patent/JP2002515341A/en
Publication of SE9801780L publication Critical patent/SE9801780L/en
Publication of SE512097C2 publication Critical patent/SE512097C2/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/707—Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

The invention relates to a method and an apparatus for checking the condition with respect to dirt contamination in the form of small smoke particles accumulated on a protective glass plate (3) arranged between the workpiece (2) and the laser optics (1) in a laser machining system and through which protective glass plate the machining laser beam (6) is arranged to pass. A thermal detector (10) is arranged, with a good thermal contact with the mechanical part attaching the protective glass plate in a holder (4), for sensing (measuring) the temperature of said mechanical attachment part. Due to an absorption of the laser beam by the small smoke particles an increased temperature is obtained on the protective glass plate and the mechanical parts that are attaching the protective glass in its holder (4). As soon as the detector signal has reached a certain level it can be indicated that it is time to replace the protective glass plate. The thermal detector (10) is preferably combined with an optical detector (8) sensing the radiation scattered by larger dirt particles collected on the protective glass plate during the machining process.

Description

35 512 097. _'2._ ras med laserstrålen. Blir då strålningen mer diffus på grund av spridningen leder detta till att den goda skärpan i de graverade mönstren eller texterna ej kan upprätthål- las. 35 512 097. _'2._ race with the laser beam. If the radiation then becomes more diffuse due to the scattering, this leads to the good sharpness in the engraved patterns or texts not being maintained.

Det finns dessutom en risk att skyddsglaset spricker om det blir alltför smutsigt. Av dessa skäl måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.There is also a risk that the protective glass will crack if it becomes too dirty. For these reasons, the protective glasses must therefore be replaced at regular intervals.

Vid automatiserad produktion är det förut känt att kon- trollera status hos skyddsglaset löpande under arbetets gång och utan att bearbetningsprocessen behöver avbrytas.In the case of automated production, it is previously known to check the status of the protective glass continuously during the work and without the processing process having to be interrupted.

I DE 196 05 018 Al visas således en metod för att mäta spridd strålning från partiklar som fastnat på skyddsgla- set. En liknande metod beskrivs i SE 97.00196-0. I båda fallen är en detektor placerad i anslutning till skydds- glasets kant och känner av den strålning som spritts till kanten hos skyddsglaset på grund av smutspartiklarna.DE 196 05 018 A1 thus shows a method for measuring scattered radiation from particles stuck on the protective glass. A similar method is described in SE 97.00196-0. In both cases, a detector is located adjacent to the edge of the protective glass and senses the radiation that is scattered to the edge of the protective glass due to the dirt particles.

Vid laserbearbetning visar det sig emellertid att proble- met med nedsmutsning av skyddsglaset är av två helt skilda slag. Dels är det större partiklar, som lägger sig på ytan, dels är det små rökpartiklar som orsakas av förång- ning av organiskt material och lätt förångade metaller.In laser processing, however, it turns out that the problem of soiling the protective glass is of two completely different kinds. On the one hand, it is larger particles that settle on the surface, and on the other hand, it is small smoke particles that are caused by the evaporation of organic material and slightly evaporated metals.

.De förstnämnda, större partiklarna ger upphov till en stark ljusspridning och kan enkelt detekteras med hjälp av de ovanstående metoderna. De små rökpartiklarna ger dock inte upphov till någon mätbar spridning av strålningen, men desto mer absorption av lasereffekten vilket orsakar en alltför hög temperatur hos skyddsglaset och de mekanis- ka detaljer som håller fast glaset. Båda nedsmutsningsty- perna kan leda till försämrad svetskvalitet och skydds- glasbrott och ett därmed sammanhängande optikhaveri.The former, larger particles give rise to a strong light scattering and can be easily detected using the above methods. However, the small smoke particles do not give rise to any measurable scattering of the radiation, but all the more absorption of the laser effect, which causes an excessive temperature of the protective glass and the mechanical details that hold the glass. Both types of soiling can lead to reduced welding quality and protective glass breakage and a related optical failure.

Det finns därför ett behov av en förbättrad skyddsglasö- vervakning där skyddsglasets status kontrolleras löpande även med avseende på små rökpartiklar. 10 15 20 25 30 35 _'3_ Enligt uppfinningen åstadkommes detta medelst en termisk detektor som är så anordnad att den känner av (mäter) tem- peraturen hos skyddsglaset eller dess hållare, företrädes- vis hos den mekaniska detalj som fixerar skyddsglaset.There is therefore a need for improved protective glass monitoring where the status of the protective glass is continuously monitored even with regard to small smoke particles. According to the invention, this is achieved by means of a thermal detector which is arranged so that it senses (measures) the temperature of the protective glass or its holder, preferably of the mechanical part which fixes the protective glass.

Enligt en fördelaktig utföringsform kombineras den termis- ka detektorn med en optisk detektor av det tidigare kända slaget, så att båda nedsmutsningstyperna kan kontrolleras samtidigt.According to an advantageous embodiment, the thermal detector is combined with an optical detector of the previously known type, so that both types of soiling can be checked simultaneously.

I det följande skall uppfinningen närmare åskådliggöras under hänvisning till bifogade ritningsfigurer som visar ett exempel på hur detektorerna kan vara anordnade i an- slutning till ett skyddsglas.In the following, the invention will be further illustrated with reference to the accompanying drawing figures which show an example of how the detectors can be arranged in connection with a protective glass.

Figur 1 visar ett känt arrangemang med optisk skyddsglasö- vervakning vid laserbearbetning, Figur 2 visar schematiskt ett arrangemang enligt uppfin- ningen, Figur 3 visar ett s.k. sensorkort med både en optisk och en termisk detektor, och Figur 4 visar i detalj sensorkortet monterat i anslutning till skyddsglasets kant.Figure 1 shows a known arrangement with optical protective glass monitoring during laser processing, Figure 2 schematically shows an arrangement according to the invention, Figure 3 shows a so-called sensor card with both an optical and a thermal detector, and Figure 4 shows in detail the sensor card mounted adjacent to the edge of the protective glass.

I figur 1 visas schematiskt en fokuseringsoptik, som sym- boliserats med linsen 1, vilken koncentrerar den infallan- de laserstrålningen på ett arbetsstycke 2. Det kan vara fråga om svetsning, gravering av det slag som visas i SE 94 03349-5, skärning eller någon annan form av laserbear- betning. Gemensamt för sådana bearbetningar är att det produceras smuts och dammpartiklar, "sprut" från bearbet- ningsprocessen, runt den detalj som bearbetas. För att in- te dessa partiklar skall tränga in i fokuseringsoptiken är ett skyddsglas 3 anbringat mellan arbetsstycket 2 och fo- kuseringslinsen 1. Skyddsglaset är monterat i en hållare 4 512 097 10 15 20 25 30 35 512 097 _'4 _ och har en cirkulär kantperiferi.Figure 1 schematically shows a focusing optics, symbolized by the lens 1, which concentrates the incident laser radiation on a workpiece 2. This may be welding, engraving of the kind shown in SE 94 03349-5, cutting or any other form of laser processing. Common to such machining is that dirt and dust particles, "splashes" from the machining process, are produced around the part being machined. In order not to penetrate these particles into the focusing optics, a protective glass 3 is fitted between the workpiece 2 and the focusing lens 1. The protective glass is mounted in a holder 4 512 097 10 15 20 25 30 35 512 097 _'4 _ and has a circular edge periphery.

De smuts-, damm- och rökpartiklar 5 som bildas vid bear- betningsprocessen kommer istället att lägga sig på skydds- glaset 3. Därmed förhindras dessa partiklar att tränga in i det mer vitala optiska systemet, men nackdelen är att partiklarna lägger sig på glaset och kommer att sprida och absorbera en del av den infallande laserstrålningen 6. En fotodetektor 8 är därför anordnad vid kanten hos skydds- glaset och känner av den spridda strålning 7 som uppträder på kanten 9 och vilken är ett mått på smutsbeläggningen på skyddsglaset. Fotodetektorn mäter hur mycket strålning som spritts av partiklar på skyddsglasets yta. Då detektorsig- nalen uppgår till en viss nivå kan den indikera att det är dags att byta skyddsglas. Således kan status på skyddsgla- set med avseende på sådana partiklar som ger upphov till spridd strålning kontrolleras löpande under arbetes gång.The dirt, dust and smoke particles 5 formed during the processing process will instead settle on the protective glass 3. This prevents these particles from penetrating into the more vital optical system, but the disadvantage is that the particles settle on the glass and will scatter and absorb a part of the incident laser radiation 6. A photodetector 8 is therefore arranged at the edge of the protective glass and senses the scattered radiation 7 which appears on the edge 9 and which is a measure of the dirt coating on the protective glass. The photodetector measures how much radiation is scattered by particles on the surface of the protective glass. When the detector signal amounts to a certain level, it may indicate that it is time to change the protective glass. Thus, the status of the protective glass with respect to such particles that give rise to scattered radiation can be checked continuously during work.

Som nämndes inledningsvis ger laserbearbetningen emeller- tid även upphov till små rökpartiklar som inte orsakar nå- gon sådan spridd strålning. Dessa rökpartiklar orsakar istället en absorption av lasereffekten, vilket kan vara väl så skadligt eftersom det ger upphov till en alltför hög temperatur hos skyddsglaset och omgivande mekaniska detaljer, speciellt naturligtvis sådana detaljer som står i termisk kontakt med skyddsglaset.As mentioned at the outset, however, the laser processing also gives rise to small smoke particles which do not cause any such scattered radiation. These smoke particles instead cause an absorption of the laser effect, which can be just as harmful as it gives rise to an excessive temperature of the protective glass and surrounding mechanical details, especially of course such details that are in thermal contact with the protective glass.

Enligt uppfinningen är därför också en termisk detektor 10 anordnad i anslutning till skyddsglaset för att mäta tem- peraturen hos skyddsglaset och omgivande mekaniska detal- jer. Då detektorsignalen uppgår till en viss nivå kan den indikera att det är dags att byta skyddsglas. Själva de- tektorn l0 kan vara av i och för sig känt slag och be- skrivs därför ej närmare här.According to the invention, therefore, a thermal detector 10 is also provided in connection with the protective glass for measuring the temperature of the protective glass and surrounding mechanical parts. When the detector signal reaches a certain level, it may indicate that it is time to change the protective glass. The detector l0 itself may be of a type known per se and is therefore not described in more detail here.

Den termiska detektorn 10 monteras tillsammans med den op- tiska detektorn 8 på ett s.k. sensorkort ll, se figur 3.The thermal detector 10 is mounted together with the optical detector 8 on a so-called sensor card ll, see figure 3.

Sensorkortet ll är monterat direkt mot den mekaniska de- 10 15 20 25 30 35 _ 5 _ talj som fixerar skyddsglaset i hållaren 4. Därmed erhål- les en god termisk kontakt med hållaren 4, se figur 4. Den optiska detektorn 8 är monterad överst på kortet så att den "ser" kanten på skyddsglaset 3 genom ett optiskt fön- ster 13, dvs analogt med vad som beskrivs i SE 97.00196-0.The sensor board 11 is mounted directly against the mechanical part which fixes the protective glass in the holder 4. Thus a good thermal contact is obtained with the holder 4, see figure 4. The optical detector 8 is mounted at the top on the card so that it "sees" the edge of the protective glass 3 through an optical window 13, ie analogous to what is described in SE 97.00196-0.

Kortet är fastsatt med en skruv, bult 14 eller liknande på skyddsglasets hållare 4. Detektorerna är via ett kontakt- don 12 och en ledning 15 anslutna till en elektronikenhet som avger en elektrisk signal till indikeringsorgan (ej visade). Både elektronikenheten och indikeringsorganen kan vara av i och för sig känt slag och beskrivs därför ej närmare här. Då signalerna överstiger en viss, förutbe- stämd nivå indikeras detta exempelvis med en ljudsignal eller indikeras på en display.The card is fixed with a screw, bolt 14 or the like on the holder 4 of the protective glass. Both the electronics unit and the indicating means can be of a type known per se and are therefore not described in more detail here. When the signals exceed a certain, predetermined level, this is indicated, for example, by an audible signal or indicated on a display.

Uppfinningen är inte begränsad till de som exempel visade utföringsformerna utan kan varieras inom ramen för de ef- terföljande patentkraven. Uppfinningen kan dessutom kombi- neras med olika metoder för att undvika att smuts lägger sig på skyddsglaset, exempelvis crossjet, axialblås. '512 097The invention is not limited to the embodiments shown by way of example but can be varied within the scope of the following claims. The invention can also be combined with various methods to prevent dirt from settling on the protective glass, for example crossjet, axial bladder. '512 097

Claims (7)

i I ififim 512 097 10 15 20 25 30 35 PATENTKRAVi I i fifi m 512 097 10 15 20 25 30 35 PATENT REQUIREMENTS 1. Metod för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status med avseende på nedsmutsning av ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skydds- glas (3) genom vilket den bearbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bearbetande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, får passera k ä n n e - t e c k n a d a v att en termisk detektor (10) anbring- as i anslutning till skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) för att känna av (mäta) temperaturen hos skyddsglaset eller nåilaren (4). 4A method for detecting the status during laser processing of a workpiece with respect to fouling of a protective glass (3) arranged between the workpiece and the laser optics, through which the processing laser beam, and possibly another with the processing laser radiation mainly coaxial radiation, may pass the mark - characterized in that a thermal detector (10) is fitted next to the protective glass (3) or its holder (4) to sense (measure) the temperature of the protective glass or needle (4). 4 2. Metod enligt patentkrav 1 k ä n n e t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) kombineras med en optisk detektor (8) varvid de båda detektorerna anbringas i an- slutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av så- väl temperaturen hos skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) som den spridda strålning (7) som uppträder på skydds- glasets kant (9).Method according to Claim 1, characterized in that the thermal detector (10) is combined with an optical detector (8), the two detectors being arranged in connection with the edge (9) of the protective glass (s) in order to sense both the temperature of the protective glass ( 3) or its holder (4) as the scattered radiation (7) appearing on the edge of the protective glass (9). 3. Metod enligt något av föregående patentkrav k ä n n e- t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) monte- ras direkt mot en mekanisk detalj i hållaren (4) för god termisk kontakt med denna detalj.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the thermal detector (10) is mounted directly against a mechanical part in the holder (4) for good thermal contact with this part. 4. Anordning för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke (2) detektera status med avseende på nedsmutsning av ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den bearbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bearbetande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, är anordnad att passera k ä n n e t e c k n a d a v att en termisk detektor (10) är anordnad i anslutning till skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) för att känna av (mäta) temperaturen hos skyddsglaset (3) eller hållaren (4). 15 10 15 20 25 30 35 Q 7 _Device for detecting the status of a glass (3) arranged between the workpiece and the laser optics through laser processing of a workpiece (2) through which the processing laser beam, and possibly another with the processing laser radiation substantially coaxial radiation, is arranged to pass characterized in that a thermal detector (10) is arranged in connection with the protective glass (3) or its holder (4) for sensing (measuring) the temperature of the protective glass (3) or the holder (4). 15 10 15 20 25 30 35 Q 7 _ 5. Anordning enligt patentkrav 4 k ä n n e t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) är kombinerad med en optisk detektor (8) varvid de båda detektorerna är an- bringade i anslutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av såväl temperaturen hos skyddsglaset (3) eller dess hållare (4) som den spridda strålning (7) som uppträ- der på skyddsglasets kant (9).Device according to claim 4, characterized in that the thermal detector (10) is combined with an optical detector (8), the two detectors being arranged in connection with the edge (9) of the protective glass (s) for sensing both the temperature of the protective glass ( 3) or its holder (4) as the scattered radiation (7) which appears on the edge of the protective glass (9). 6. Anordning enligt patentkrav 4 eller 5 k ä n n e- t e c k n a d a v att den termiska detektorn (10) är monterad direkt mot en mekanisk detalj i hållaren (4) för god termisk kontakt med denna detalj.Device according to claim 4 or 5, characterized in that the thermal detector (10) is mounted directly against a mechanical part in the holder (4) for good thermal contact with this part. 7. Anordning enligt patentkrav 6 k ä n n e t e c k n a d a v att de båda detektorerna är anordnade på ett gemen- samt sensorkort (11) vilket är monterat med god termisk kontakt med en mekanisk detalj i hållaren (4). 512 0974Device according to claim 6, characterized in that the two detectors are arranged on a common sensor board (11) which is mounted with good thermal contact with a mechanical part in the holder (4). 512 0974
SE9801780A 1998-05-20 1998-05-20 Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining SE512097C2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9801780A SE512097C2 (en) 1998-05-20 1998-05-20 Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining
EP99925508A EP1146986A1 (en) 1998-05-20 1999-04-13 A method and an apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining
PCT/SE1999/000592 WO1999059762A1 (en) 1998-05-20 1999-04-13 A method and an apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining
JP2000549415A JP2002515341A (en) 1998-05-20 1999-04-13 Method and apparatus for checking the condition of protective glass in connection with laser machining

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9801780A SE512097C2 (en) 1998-05-20 1998-05-20 Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9801780D0 SE9801780D0 (en) 1998-05-20
SE9801780L SE9801780L (en) 1999-11-21
SE512097C2 true SE512097C2 (en) 2000-01-24

Family

ID=20411390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9801780A SE512097C2 (en) 1998-05-20 1998-05-20 Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1146986A1 (en)
JP (1) JP2002515341A (en)
SE (1) SE512097C2 (en)
WO (1) WO1999059762A1 (en)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20206255U1 (en) * 2002-04-19 2003-08-28 Thyssen Laser Technik Gmbh Carbon dioxide power laser with zinc selenide lens includes rapid response temperature sensor near lens to produce shutdown signal
EP1362662A1 (en) * 2002-05-08 2003-11-19 Lasag Ag Laser welding head and laser welding apparatus
DE10310854B3 (en) * 2003-03-11 2004-09-30 Erlas Erlanger Lasertechnik Gmbh Method, monitoring device and laser processing system with defect monitoring of an optical component
EP1488882B1 (en) * 2003-06-20 2006-07-05 TRUMPF Laser GmbH + Co. KG Method and laser beam machining head with an installation for monitoring an optical element of a working head of a machine for thermal processing of a workpiece
EP1643281A1 (en) 2004-10-02 2006-04-05 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Optical element of a laser processing machine and support for the optical element
US20090242526A1 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 Electro Scientific Industries, Inc. Laser micromachining through a protective member
KR101254676B1 (en) * 2010-11-23 2013-04-15 아이피지 포토닉스 코포레이션 Method and system for monitoring output of high power fiber laser system
DE102014205907B4 (en) * 2014-03-31 2020-03-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Protection device for protection against laser radiation
JP6097796B2 (en) * 2015-07-09 2017-03-15 アイピージー フォトニクス コーポレーション Method and system for monitoring the output of a high power fiber laser system
CN105665951A (en) * 2016-03-29 2016-06-15 同高先进制造科技（太仓）有限公司 Laser head protection glasses monitoring device based on scattered light and temperature detection and working method
CN105772961A (en) * 2016-03-29 2016-07-20 同高先进制造科技（太仓）有限公司 Laser head protection lens pollution monitoring device based on scattered light detection and working method thereof
CN106927257B (en) * 2017-03-29 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 Automatic protective glass replacing device of laser fusion target field optical diagnosis equipment
CN111093884B (en) * 2017-09-21 2022-05-24 松下知识产权经营株式会社 Laser processing head and laser processing system using same
KR102175421B1 (en) * 2018-10-28 2020-11-06 네모엔지니어링 주식회사 Laser processing apparatus and laser processing system
CN109759723A (en) * 2019-03-05 2019-05-17 奔腾激光(温州)有限公司 A kind of laser cutting head
EP3978179B1 (en) * 2019-06-03 2023-10-04 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Laser processing head and laser processing device provided with same
CN115647621A (en) * 2022-10-14 2023-01-31 深圳市创想三维科技股份有限公司 Detection assembly, laser module, light emitting control method of laser module and laser processing equipment

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0716795B2 (en) * 1988-01-19 1995-03-01 ミヤチテクノス株式会社 Laser emission port protection glass plate dirt detection device
JPH04118193A (en) * 1990-09-04 1992-04-20 Hitachi Constr Mach Co Ltd Device for monitoring protective glass of laser beam machine
DE19605018A1 (en) * 1996-01-31 1997-08-07 Inpro Innovations Gmbh Monitoring protective glass of laser welding optics

Also Published As

Publication number Publication date
SE9801780L (en) 1999-11-21
EP1146986A1 (en) 2001-10-24
SE9801780D0 (en) 1998-05-20
JP2002515341A (en) 2002-05-28
WO1999059762A1 (en) 1999-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE512097C2 (en) Method and apparatus for monitoring the status of a protective glass in laser machining
SE508426C2 (en) Method and apparatus for monitoring the purity of a protective glass in laser machining
US20100164739A1 (en) Monitoring device for a laser machining device
US20060043077A1 (en) CO2 laser machining head with integrated monitoring device
US6118527A (en) Method for monitoring the functionality of the transparent protective element of a transparent laser optical system, and a device for carrying out this method
DE102012102785B3 (en) Detecting and monitoring contamination of optical component e.g. lens in apparatus for laser material processing, comprises projecting measuring beam emitted by light source at incident angle onto outer surface of optical component
KR101004294B1 (en) Edge sensor and apparatus for inspecting defect
JP2018514392A (en) Laser processing equipment
EP1488882B1 (en) Method and laser beam machining head with an installation for monitoring an optical element of a working head of a machine for thermal processing of a workpiece
JP2534453B2 (en) Surface inspection method and its equipment
CN109834385A (en) The laser processing device of the pollution of protecting window is alerted in laser processing
JP6535480B2 (en) Laser processing state determination method and apparatus
CN112643191A (en) Method for inspecting laser welding quality and laser welding quality inspection device
CN111093884B (en) Laser processing head and laser processing system using same
JP6757018B2 (en) Protective glass stain detection device, laser processing machine equipped with it, and protective glass stain detection method
JP6982450B2 (en) Protective glass stain detection system and method
JP6803204B2 (en) Dirt detection method and equipment for optical elements
JP2020179405A (en) Detection device and detection method for fume contamination on protective glass
JP2002525211A (en) How to monitor tool status
JP7274319B2 (en) Laser processing machine and contamination monitoring method for protective glass
CN113714635A (en) Laser processing apparatus
JPH05212576A (en) Processing head for laser beam machine
JPS63295946A (en) Detection of foreign matter in pulp sheet material
JP5350699B2 (en) Cutting monitoring device for cutting equipment
JP2001334381A (en) Output head of laser machining device

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed