JP6982450B2 - 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 - Google Patents
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Description
3…プロセスファイバー
5…レーザ加工ユニット
7…加工テーブル
W…被加工材(ワーク)
LB…レーザ光
13…コリメータユニット
19…集光レンズ
21…加工ヘッド
23…NC装置
23a…モニター
25…保護ガラス
25a…保護ガラスフォルダ
27…散乱光検出器
29…汚れ検知部
33…汚れ検知回路
33a…メモリ
33b…演算部
33c…汚れ判定部
33d…交換判定部
33e…タイマ
Claims (10)
- レーザ加工機において、レーザ光を集光させて被加工物に照射するための集光レンズを、レーザ加工により前記被加工物から飛んでくる汚れから保護するための保護ガラスの汚れを検知する保護ガラス汚れ検知システムであって、
前記保護ガラスに付着した汚れによって生じる散乱光を検出するための散乱光検出器と、
前記散乱光検出器よりの検出値から前記保護ガラスの汚れの種類、時期、程度を検知して、前記保護ガラスの交換や清掃の必要を判定する汚れ検知回路と、を有することを特徴とする保護ガラス汚れ検知システム。 - 前記保護ガラス汚れ検知システムが、さらに、前記汚れ検知回路よりの判定結果に基づいて、前記保護ガラスの交換や清掃の必要を表示する表示手段を有することを特徴とする請求項1に記載の保護ガラス汚れ検知システム。
- 前記汚れ検知回路が、前記散乱光検出器よりの検出値を微分した変化量を求め、その変化量および前記検出値から前記保護ガラスの汚れの種類、時期、程度を検知することを特徴とする請求項1および2のいずれかに記載の保護ガラス汚れ検知システム。
- 前記汚れ検知回路が、前記散乱光検出器よりの検出値を時間データと共に保存するメモリと、前記メモリよりの検出値および時間データに基づいて、前記検出値の微分値からなる変化量を計算する演算部と、前記演算部よりの検出値変化量に基づいて、汚れ付着無しの正常状態かスパッタ付着状態か金属ヒューム付着状態かを判定する汚れ判定部と、前記汚れ判定部よりの判定結果および前記メモリよりの検出値に基づいて、前記保護ガラスの交換か前記保護ガラスの清掃か前記保護ガラスの継続使用かを判定する保護ガラスの交換判定部と、を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の保護ガラス汚れ検知システム。
- 前記汚れ判定部は、前記演算部よりの検出値変化量を所定の判定閾値と比較し、前記検出値変化量が前記判定閾値より大きい場合、スパッタ付着状態と判定し、前記検出値変化量が前記判定閾値より小さい場合、金属ヒューム付着状態と判定することを特徴とする請求項4に記載の保護ガラス汚れ検知システム。
- 前記保護ガラスが、前記集光レンズと前記被加工物との間に設けられ、前記散乱光検出器が、前記保護ガラスの端面からの散乱光を受光することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の保護ガラス汚れ検知システム。
- レーザ加工機において、レーザ光を集光させて被加工物に照射するための集光レンズを、レーザ加工により前記被加工物から飛んでくる汚れから保護するための保護ガラスの汚れを検知する保護ガラス汚れ検知方法であって、
(a)散乱光検出器により、前記保護ガラスに付着した汚れによって生じる散乱光を検出する工程と、
(b)前記散乱光検出器よりの検出値から前記保護ガラスの汚れの種類、時期、程度を検知する工程と、
(c)前記保護ガラスの汚れの種類、時期、程度から前記保護ガラスの交換や清掃の必要を判定する工程と、を有することを特徴とする保護ガラス汚れ検知方法。 - 前記保護ガラス汚れ検知方法が、さらに、(d)前記保護ガラスの交換や清掃の必要の判定結果に基づいて、前記保護ガラスの交換や清掃の必要を表示する工程を有することを特徴とする請求項7に記載の保護ガラス汚れ検知方法。
- 前記工程(b)が、前記散乱光検出器よりの検出値を微分した変化量を求め、その変化量および前記検出値から前記保護ガラスの汚れの種類、時期、程度を検知することを特徴とする請求項7および8のいずれかに記載の保護ガラス汚れ検知方法。
- レーザ加工ヘッドに搭載される保護ガラスの汚れを検出する汚れ検出システムであって、
前記保護ガラスに付着した汚れによって生じる散乱光を検出する散乱光検出器と、
前記散乱光検出器の出力値に基づいて、前記保護ガラスの汚れの種類を検出する汚れ種類検出回路と、を有し、
前記汚れ種類検出回路は、所定時間内における、前記散乱光検出器の出力値の変動量に基づいて汚れの原因がスパッタであるか金属ヒュームであるかを識別する汚れ検出システム。
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JP2017187986A JP6982450B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 |
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