RU99114946A - Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза - Google Patents
Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-срезаInfo
- Publication number
- RU99114946A RU99114946A RU99114946/09A RU99114946A RU99114946A RU 99114946 A RU99114946 A RU 99114946A RU 99114946/09 A RU99114946/09 A RU 99114946/09A RU 99114946 A RU99114946 A RU 99114946A RU 99114946 A RU99114946 A RU 99114946A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- quartz
- axis
- section
- producing
- resonators
- Prior art date
Links
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 title claims 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
Claims (1)
- Способ изготовления кварцевых резонаторов БТ-среза, включающий распиловку кристалла кварца на плоские заготовки, механическую шлифовку заготовок, формирование кристаллических элементов преимущественно в форме обратной мезаструктуры глубоким химическим травлением, нанесение электродов и монтаж, отличающийся тем, что плоскую заготовку при распиловке кристалла кварца ориентируют под углом 0o00'±30' к оси Х и +49o±30' к оси Z, формируют кристаллический элемент с шероховатостью поверхности не более 5x10-8 м химическим травлением и осуществляют инверсию структуры кристаллического элемента к углу -49o±30' к оси Z путем термической обработки при температуре β-α-β фазового перехода (846 К).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99114946A RU2169986C2 (ru) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99114946A RU2169986C2 (ru) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2169986C2 RU2169986C2 (ru) | 2001-06-27 |
| RU99114946A true RU99114946A (ru) | 2001-07-10 |
Family
ID=20222477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99114946A RU2169986C2 (ru) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2169986C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2475950C1 (ru) * | 2012-01-30 | 2013-02-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" | Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов z-среза |
-
1999
- 1999-07-07 RU RU99114946A patent/RU2169986C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4502932A (en) | Acoustic resonator and method of making same | |
| US4556812A (en) | Acoustic resonator with Al electrodes on an AlN layer and using a GaAs substrate | |
| US7223305B2 (en) | Method of manufacturing potassium niobate single crystal thin film, surface acoustic wave element, frequency filter, frequency oscillator, electric circuit, and electronic apparatus | |
| CN113678372A (zh) | 高阶模式弹性表面波器件 | |
| JP2010074422A (ja) | 水晶振動子素子の製造方法、水晶振動子素子、水晶振動子及び水晶発振器 | |
| JPS5687913A (en) | Surface elastic wave element | |
| US6455986B2 (en) | Electronic device including langasite structure compound and method for making such devices | |
| CN108055017A (zh) | 一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构 | |
| US6940208B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| RU99114946A (ru) | Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза | |
| US20020027397A1 (en) | Electronic device including langasite structure compounds and method for making same | |
| CN116781033A (zh) | 一种高频声波谐振器及其制备方法 | |
| JPH11122073A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JP2004292228A (ja) | ニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器 | |
| JPH11116397A (ja) | （０２０）配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する弾性表面波素子 | |
| JPH05319971A (ja) | 液相における結晶成長により種結晶から結晶を得る方法 | |
| SU1040596A1 (ru) | Кварцевый вибратор АТ среза | |
| JPS6173409A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2009084151A (ja) | ニオブ酸カリウム薄膜の製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子機器、及びＫｘＮａ１−ｘＮｂ１−ｙＴａｙＯ３薄膜の製造方法 | |
| JP2003224448A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS61222312A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| RU2169986C2 (ru) | Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза | |
| JP2001203560A (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
| JPS6294007A (ja) | 圧電薄膜共振子の製造方法 | |
| RU2000133147A (ru) | Способ изготовления фильтровых кварцевых резонаторов с улучшенной монолинейностью |