RU99114597A - Устройство для измерения расхода текучей среды - Google Patents

Устройство для измерения расхода текучей среды

Info

Publication number
RU99114597A
RU99114597A RU99114597/28A RU99114597A RU99114597A RU 99114597 A RU99114597 A RU 99114597A RU 99114597/28 A RU99114597/28 A RU 99114597/28A RU 99114597 A RU99114597 A RU 99114597A RU 99114597 A RU99114597 A RU 99114597A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
sensing element
flow
cavity
adhesive
Prior art date
Application number
RU99114597/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2196965C2 (ru
Inventor
РЕННИНГЕР Эрхард
Хехт Ханс
Хюфтле Герхард
Концельманн Уве
КАЛЛАБИЗ Маттиас
СТАРК Андреас
РУДЛОФФ Михаель
Марберг Хеннинг
Original Assignee
Роберт Бош Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19743409A external-priority patent/DE19743409A1/de
Application filed by Роберт Бош Гмбх filed Critical Роберт Бош Гмбх
Publication of RU99114597A publication Critical patent/RU99114597A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2196965C2 publication Critical patent/RU2196965C2/ru

Links

Claims (10)

1. Устройство для измерения расхода текучей среды, протекающей в определенном направлении (9), в частности для измерения массового расхода воздуха, впускаемого в двигатель внутреннего сгорания, имеющее пластинчатый чувствительный элемент (2), вставленный в гнездо (17) в несущем этот чувствительный элемент основании (1) и имеющий мембрану (4) с закрепленным на ней измерительным элементом (6), которая на дальней от основания (1) стороне закрывает выполненную в чувствительном элементе (2) полость (5), при этом чувствительный элемент (2) закреплен в гнезде (17) клеевым соединением между обращенной к основанию (1) нижней поверхностью (29) этого чувствительного элемента (2) и основанием (1), отличающееся тем, что в клеевом соединении имеется клеевой шов (27; 60), который проходит между нижней поверхностью (29) чувствительного элемента (2) и основанием (1), окружая по периметру полость (5) в чувствительном элементе (2), и лишь на участке со стороны, дальней от стороны набегания потока (9), по меньшей мере однократно разомкнут, образуя соответственно по меньшей мере одну щель (40) для вентиляции полости (5).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что клеевой шов (27) проходит вокруг полости (5) П-образно и имеет один участок (41) со стороны набегания потока (9), и два участка (42, 45), ориентированные по направлению потока (9).
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что клеевой шов (60) проходит вокруг полости (5) G-образно и имеет один участок (61) со стороны набегания потока (9), два участка (62, 63), ориентированные по направлению потока (9), и один участок (64) со стороны, дальней от стороны набегания потока (9), при этом участок (64), расположенный со стороны, дальней от стороны набегания потока (9), выполнен разомкнутым, не полностью соединяющим между собой участки (62, 63), ориентированные по направлению (9) потока.
4. Устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что пластинчатый чувствительный элемент (2) имеет на поверхности (8), обращенной в противоположную от основания (1) сторону, контактные элементы (28) для подсоединения соединительных проводов (10), а в зоне, расположенной по другую сторону от стороны размещения контактных элементов (28), между нижней поверхностью (29) чувствительного элемента (2) и основанием (1) выполнен второй клеевой шов (26).
5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что второй клеевой шов (26) выполнен крестообразным.
6. Устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что пластинчатый чувствительный элемент (2) имеет на поверхности (8), обращенной в противоположную от основания (1) сторону, контактные элементы (28) для подсоединения соединительных проводов (10), а окружающий полость (5) клеевой шов (27) между нижней поверхностью (29) чувствительного элемента (2) и основанием (1) выполнен уширенным, доходящим до зоны размещения этих контактных элементов (28).
7. Устройство по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что в основании (1) выполнено углубление (66), которое сообщается с полостью (5) чувствительного элемента (2) и не полностью перекрыто чувствительным элементом (2).
8. Устройство по любому из пп.1-7, отличающееся тем, что основание (1) имеет по меньшей мере одну расположенную напротив нижней поверхности (29) чувствительного элемента (2) клеесборную полость (23, 24, 25, 46, 47, 48; 66), в которую при установке чувствительного элемента (2) в гнездо (17) основания (1) может выдавливаться излишек клея, образующего клеевой шов (26, 27; 60).
9. Устройство по любому из пп.1-8, отличающееся тем, что клеевой шов (60), соответственно клеевые швы (26, 27) выполнены из эластичного силиконового клея.
10. Устройство по любому из пп.1-9, отличающееся тем, что по меньшей мере на одной опорной поверхности (30, 31) основания (1), расположенной напротив нижней поверхности (29) чувствительного элемента, предусмотрены выступающие распорки (43a-43i), которыми определяется величина зазора между указанными нижней поверхностью (29) чувствительного элемента (2) и основанием (1).
RU99114597/28A 1997-10-01 1998-08-21 Устройство для измерения расхода текучей среды RU2196965C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19743409.6 1997-10-01
DE19743409A DE19743409A1 (de) 1997-10-01 1997-10-01 Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU99114597A true RU99114597A (ru) 2001-07-10
RU2196965C2 RU2196965C2 (ru) 2003-01-20

Family

ID=7844293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99114597/28A RU2196965C2 (ru) 1997-10-01 1998-08-21 Устройство для измерения расхода текучей среды

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6318170B1 (ru)
EP (1) EP0941456A1 (ru)
JP (1) JP3784420B2 (ru)
KR (1) KR100579429B1 (ru)
CN (1) CN1109879C (ru)
DE (1) DE19743409A1 (ru)
RU (1) RU2196965C2 (ru)
WO (1) WO1999018415A1 (ru)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3514666B2 (ja) * 1999-06-30 2004-03-31 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ
JP3555017B2 (ja) * 1999-09-22 2004-08-18 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
DE19952055A1 (de) * 1999-10-28 2001-05-17 Bosch Gmbh Robert Massenflußsensor mit verbesserter Membranstabilität
US6325886B1 (en) * 2000-02-14 2001-12-04 Redwood Microsystems, Inc. Method for attaching a micromechanical device to a manifold, and fluid control system produced thereby
JP3712907B2 (ja) * 2000-03-06 2005-11-02 株式会社日立製作所 流量計測装置
JP2001349759A (ja) * 2000-06-08 2001-12-21 Mitsubishi Electric Corp 熱式流量センサ
DE10035538A1 (de) * 2000-07-21 2002-02-07 Bosch Gmbh Robert Sensor
DE10036290A1 (de) 2000-07-26 2002-02-07 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums
JP2002139360A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Mitsubishi Electric Corp 感熱式流量センサ
DE10210734B4 (de) * 2002-03-12 2004-01-29 J. Eberspächer GmbH & Co. KG Wärmetauscheranordnung, insbesondere für ein Fahrzeugheizgerät
JP2004028631A (ja) * 2002-06-21 2004-01-29 Mitsubishi Electric Corp 流量センサ
DE10343793A1 (de) * 2003-09-22 2005-04-14 Robert Bosch Gmbh Heissfilmluftmassensensor mit Kontaktierung mittels anisotropem Leitkleber
JP4428023B2 (ja) * 2003-11-04 2010-03-10 株式会社デンソー 流量測定装置
JP4609019B2 (ja) * 2004-09-24 2011-01-12 株式会社デンソー 熱式流量センサ及びその製造方法
DE102005016449A1 (de) * 2005-04-11 2006-10-12 Robert Bosch Gmbh Beheizter Heißfilmluftmassenmesser
JP2007024589A (ja) * 2005-07-13 2007-02-01 Hitachi Ltd 気体流量計測装置
JP4317556B2 (ja) * 2006-07-21 2009-08-19 株式会社日立製作所 熱式流量センサ
JP2008058131A (ja) 2006-08-31 2008-03-13 Hitachi Ltd 熱式ガス流量計
JP5243348B2 (ja) * 2009-06-12 2013-07-24 三菱電機株式会社 流量検出装置
JP5256264B2 (ja) * 2010-09-03 2013-08-07 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式空気流量センサ
JP5197714B2 (ja) 2010-10-29 2013-05-15 三菱電機株式会社 流量検出装置
DE102011076170A1 (de) * 2011-05-20 2012-11-22 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines strömenden fluiden Mediums
DE102012220098B4 (de) * 2012-11-05 2024-08-29 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums
JP6361523B2 (ja) * 2014-04-01 2018-07-25 株式会社デンソー 流量センサの製造方法
WO2016140151A1 (ja) * 2015-03-05 2016-09-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 空気流量検出装置
DE102021203219B3 (de) 2021-03-30 2022-06-23 Vitesco Technologies GmbH Luftmassensensor und Kraftfahrzeug
WO2023217637A1 (en) * 2022-05-09 2023-11-16 X-Celeprint Limited High-precision printed structures and methods of making

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129042A (en) * 1977-11-18 1978-12-12 Signetics Corporation Semiconductor transducer packaged assembly
US4220852A (en) * 1978-09-13 1980-09-02 Westinghouse Electric Corp. Radiation dosimeter assembly
DE4219454C2 (de) * 1992-06-13 1995-09-28 Bosch Gmbh Robert Massenflußsensor
DE4426102C2 (de) * 1994-07-22 1997-07-10 Bosch Gmbh Robert Sensorträger für eine Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums und Verfahren zum Herstellen eines Sensorträgers
DE4443767A1 (de) * 1994-12-08 1996-06-13 Giesecke & Devrient Gmbh Elektronisches Modul und Datenträger mit elektrischem Modul
DE19524634B4 (de) * 1995-07-06 2006-03-30 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU99114597A (ru) Устройство для измерения расхода текучей среды
EP1790954A3 (en) Air flow sensor
RU96107757A (ru) Держатель датчика к устройству для изменения массы протекающей среды и способ изготовления держателя датчика
DE69724716D1 (de) Chipbestückungsvorrichtung mit Ultraschallschwingungsschweissung
DE69533006D1 (de) Thermischer Luftdurchflussmesser
JPH0656345B2 (ja) 圧力センサおよびその製造方法
DE69625402D1 (de) Ultraschall-Durchflussmessanordnung mit Temperatur- und Druckkompensation
DE59712467D1 (de) Ultraschall-Durchflussmesser
RU96107793A (ru) Устройство для измерения массы протекающей среды
KR890007060A (ko) 열식 공기 유량계
KR101029168B1 (ko) 라인 내부를 유동하는 공기의 매스를 측정하는 장치
JPH09503310A (ja) 流動媒体の質量測定装置
DE59610882D1 (de) Thermischer durchfluss-sensor
DE69940871D1 (de) Luftströmungsmessvorrichtung
NO20001234D0 (no) Luftinntaksanordning med vertikalstilte varmeelementer
FR2781047B1 (fr) Debitmetre a ultrasons multicorde
DE50002231D1 (de) Luftansaugeinrichtung für Heizgerät mit Wasserabscheider
KR890018017U (ko) 감열식 유량센서
DE69508830D1 (de) Winkelgeschwindigkeitsmesseinrichtung mit Gasflussfühler
ATE42142T1 (de) Kuehlschrank.
JP2006184145A (ja) 流量測定装置
WO2005029008A3 (de) Heissfilmluftmassensensor mit durchkontaktierungen am sensorchip
DE69910918D1 (de) Flüssigkeitskupplung mit temperaturempfindlicher Entkupplungsvorrichtung
RU97116900A (ru) Лабораторное устройство для ультразвуковой дезинтеграции дрожжей
RU96115311A (ru) Устройство для измерения массы протекающей среды