JPH09503310A - 流動媒体の質量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 公知の流動媒体質量測定装置はプレート状のセンサエレメントを有し、該センサエレメントは、少なくとも１つの加熱抵抗と、少なくとも１つの測定抵抗とを備えている。流動媒体の温度を補償するために、センサエレメントには通常なお媒体温度抵抗が装着されているが、しかしながら該媒体温度抵抗は、多分に加熱抵抗によって不利な影響を受けることがある。本発明により構成された流動媒体の質量測定装置（１）は、該質量測定装置（１）のケーシング（１５）の外部で該ケーシングに装着された媒体温度抵抗（８６）を有し、こうしてセンサエレメント（２５）に対して空間的に距離を隔てることによって、熱的影響を受けることなく流動媒体の温度を受取ることができるので、質量媒体装置（１）の測定精度は高められかつ応答時間が短縮される。本発明による流動媒体の質量測定装置は、特に内燃機関の吸気質量を測定するのに適している。

Description

【発明の詳細な説明】 流動媒体の質量測定装置 ［技術分野］ 本発明は、請求項１に上位概念として記載した通り、縦軸線を有する細長く延 在したケーシングが設けられかつ媒体の通流する測定通路を備え、該測定通路を 流動する媒体内には、温度従変性の少なくとも１つの測定抵抗を有する温度従変 性のセンサエレメントが配置されており、しかも流動媒体温度を補償するために 、温度従変性の媒体温度抵抗が設けられている形式の、流動媒体質量を測定する ため、特に内燃機関の吸気質量を測定するための質量測定装置に関するものであ る。 ［背景技術］ 所謂「加熱膜形の」センサエレメントが流動媒体内に設置され、流動媒体の質 量を測定するために温度従変性のセンサ領域を有し、該温度従変性センサ領域が 個々の抵抗層から成り、該抵抗層が、プレート状の基板上に成膜加工されており 、かつ少なくとも１つの加熱抵抗と、少なくとも１つの温度従変性の測定抵抗と を含んでいる形式の質量測定装置は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６３８ １３８号明細書に基づいてすでに公知になっている。測定のために測定抵抗は、 流動媒体の温度を可成り上回る超過温度に保たれるので、該測定抵抗は実質的に 対流に基づき、流動媒体の流過質量に応じて特定熱量を流動媒体に放出する。前 記加熱抵抗は公知のように、測定抵抗の一定の超過温度を維持するためのもので あり、かつ該測定抵抗の温度を可及的迅速に高めるために、該測定抵抗に対して できるだけ良好に熱接触するように配置されている。測定抵抗は、温度に関連し た抵抗値を有しているので、超過温度の変動は該測定抵抗の抵抗値を変動させる ことになり、これによって、測定抵抗及び加熱抵抗に接続された電子制御回路は 変調させられる。該電子制御回路は例えば、ブリッジ状の抵抗測定回路として構 成されており、該抵抗測定回路は、測定抵抗による変調時に加熱抵抗の加熱電流 又は加熱電圧を変化させ、こうして測定抵抗の超過温度を一定に維持し、その場 合、測定抵抗の超過温度を維持するために必要な、加熱抵抗の加熱電流又は加熱 電圧が、流動媒体質量の尺度と成る。前記背景技術から推考できるように、基板 は更に別の抵抗を有し、該抵抗は、以下の説明では媒体温度抵抗と呼ばれ、かつ 、基板から切除されたスリットによって加熱抵抗及び測定抵抗に対して熱的に減 結合されて基板上に配置されている。媒体温度抵抗は、温度に関連した抵抗値、 つまり温度従変性の抵抗値を有しかつ電子制御回路の構成部分であり、該電子制 御回路は、流動媒体の温度変動を質量測定装置の精度 に作用させないことを保証する。しかしながら媒体温度抵抗が空間的に加熱抵抗 の近傍に位置していることに基づいて、熱的影響を完全には排除することができ ない。それというのは、基板からスリットが切除されているにも拘らず、基板内 に熱流が生じることがあり、該熱流は例えば、加熱膜形センサエレメントのホル ダーを介して媒体温度抵抗へ流れるので、該媒体温度抵抗は流動媒体の温度を正 確には受取らないからである。それのみならず、加熱抵抗から流動媒体には供給 されない熱流は、流動媒体の温度変動に対する質量測定装置の応答時間を引き延 ばす作用を及ぼす。更にまた、加熱膜形センサエレメントに沿って部分的に逆流 する脈動流が生じた場合には、加熱された媒体が加熱抵抗から媒体温度抵抗に到 達して、該媒体温度抵抗が、加熱抵抗によって高められた流動媒体温度を誤って 決定するような事態が生じることがある。 ［発明の開示］ 本発明による質量測定装置の構成手段は、請求項１に記載した通り、媒体温度 抵抗が測定通路の外部で、縦軸線に対してほぼ平行に延在しているケーシングの 外面に沿ってかつ該外面に対して間隔をおいて配置されており、かつ前記ケーシ ングが前記縦軸線に対して垂直方向で見て、前記媒体温度抵抗に対面した方の側 で該媒体温度抵抗の領域では前記外面までしか延びていない点にある。 本発明の質量測定装置の利点は従来技術に対比して、測定精度が高められかつ 応答時間が短縮されることである。 請求項２以降に記載した手段によって、請求項１に記載した質量測定装置の有 利な構成と改良が可能になる。 ［図面の簡単な説明］ 図１は側面側から見た本発明による流動媒体の質量測定装置の縦断面図である 。 図２は本発明による流動媒体の質量測定装置の平面図である。 図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図４は本発明による流動媒体の質量測定装置のボトムケーシングの斜視図であ る。 図５は図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 ［発明を実施するための最良の形態］ 次に図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。 図１に示した本発明による流動媒体の質量測定装置１は、流動媒体の質量を測 定するため、特に内燃機関（図示せず）の吸気質量を測定するために設けられて いる。該質量測定装置１は殊に細長い円筒形の形状を有し、該円筒形は、質量測 定装置１の中心を通る縦軸線１０に沿って延びている。質量測定装置１は周壁４ の開口３、例えば内燃機関によって周辺外気から吸い 込まれた空気が流動する吸気管の管壁の開口３を通って導かれている。質量測定 装置１は周壁４の外面７に２つのねじ継手５によって差込み可能に固定されてお り、前記周壁４の内面８は、図１の図平面に対して垂直方向にかつ図平面内へ流 れる流動媒体の流動横断面１２を制限している。質量測定装置１はプラスチック 製の細長いベースケーシング１５を有し、該ベースケーシングの自由終端域１４ に、ほぼ方形状横断面を有する測定通路２０が形成されており、該測定通路は前 記流動横断面１２のほぼ中央に侵入し、かつ流動媒体を通流させるために流動方 向に対してほぼ平行に延びている。測定通路２０の内部には縦軸線１０の方向に センサエレメント２５が収容されており、該センサエレメントは、プレート状の 形状を有し、かつ、その最大表面積部６０を、図１の図平面内へ流入する流動媒 体に対してほぼ平行に方位づけるように配置されている。流動媒体の流動方向は 図２〜図５に相当の矢印９で示されており、当該図面では右から左へ向かう方向 である。測定通路２０は一部をベースケーシング１５によって制限され、かつ一 部を、前記ベースケーシング１５に載着可能な、例えばプラスチックから製作さ れた閉鎖蓋２８によって制限され、該閉鎖蓋は、ベースケーシング１５の自由終 端域１４に設けた溝２９内に差込み可能である。但し図２では閉鎖蓋２８の図示 は、図面を判り易くするために省かれている。 センサエレメント２５は、半導体、例えばシリコンウェーファ、にエッチング 処理を施すことによって所謂「マイクロ機械製造方式」で製造され、かつ例えば ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２１９４５４号明細書に基づいて容易に想到 できる構造を有しており、従って当該構造についての説明はここでは割愛する。 センサエレメント２５は、同じくエッチング処理によって生じたダイヤフラム状 のセンサ領域２６を有し、該ダイヤフラム状のセンサ領域は、図２の平面図で示 した質量測定装置１から判るように、図示ラインＩＩによって制限される。ダイ ヤフラム状のセンサ領域２６は、数マイクロメータの肉厚しか有せず、かつ、や はりエッチング処理によって生じた複数の抵抗層を備え、該抵抗層は少なくとも １つの温度従変性の測定抵抗と、例えば少なくとも１つの加熱抵抗とを形成して いる。また前記センサエレメント２５を所謂「加熱膜形センサエレメント」とし て設けることも可能であり、該加熱膜形センサエレメントの構造は、例えばドイ ツ連邦共和国特許出願公開第３６３８１３８号明細書に基づいて容易に推考する ことができる。このような加熱膜形センサエレメントも同じく、プレート状の基 板上に設けられた個々の抵抗層を有し、該抵抗層は、少なくとも１つの温度従変 性の測定抵抗と、例えば少なくとも１つの加熱抵抗とから成っている。 測定通路２０と、流動横断面１２の外部でベースケ ーシング１５の他端部に配置された質量測定装置１の接続端子部３８との間で、 ベースケーシング１５に形成されたベースケーシング凹設部１６内に電子制御回 路３０が収納されており、該電子制御回路は、図２に示したように、例えばボン ディングワイヤの形に構成された複数本のセンサ接続導線３１によって、センサ エレメント２５と導電接続されている。前記電子制御回路３０は公知のように、 センサエレメント２５に給電するため並びにセンサエレメント２５から供給され る電気信号を評価するために使用される。この形式の電子制御回路３０は当該技 術分野の当業者には充分知られた構成であり、例えば前掲のドイツ連邦共和国特 許出願公開第３６３８１３８号明細書に基づいて容易に想到することができる。 該電子制御回路３０は多数の電気的な構成素子を有し、これらの電気的な構成素 子は慣用のように所謂「ハイブリッド方式」で１つのハイブリッド回路に纏めら れている。電子制御回路３０は金属製の保護ケーシング３４内に収納されており 、該保護ケーシングは、金属製のボトムケーシング３５と金属製の閉鎖ケーシン グ５０とから成り、前記ボトムケーシングと閉鎖ケーシングとは互いに結合可能 である。ハイブリッド回路はハイブリッド担体１７上に、集積層回路として付着 されており、かつ本実施例では金属製のボトムケーシング３５の例えば方形状の ボトム壁３６の上面４６に、例えば接着剤によって接 着されている。 図４においてセンサエレメント２５の図示を省いて斜視図で示したボトムケー シング３５は、薄肉の金属ストリップ、例えば金属シートから製作され、その場 合金属ストリップの加工には、押抜き法、曲げ加工法、折り曲げ成形法、深絞り 法又はエンボッシング法が適している。同様に閉鎖ケーシング５０も金属ストリ ップから押抜き法、曲げ加工法、折り曲げ成形法、深絞り法又はエンボッシング 法によって製作することができる。ボトムケーシング３５のボトム壁３６は例え ば、ほぼ長方形状の形状を有し、該ボトム壁の上面４６にハイブリッド担体１７ が接着されている。方形のボトム壁３６の両長辺に沿って、該ボトム壁から夫々 垂直に屈曲されて互いに平行に延びる側壁３７が起立しており、両側壁は、ボト ムケーシング３５の両側壁３７間に挿嵌可能な金属製の閉鎖ケーシング５０（図 １）を保持するために役立つ。ボトムケーシング３５はボトム壁３６の下面４５ に、例えばエンボッシング加工によって打出された４つの保持ピン４１を有し、 該保持ピンは、ベースケーシング１５のベースケーシング凹設部１６内へのボト ムケーシング３５の挿嵌時に、該ベースケーシング１５に対応穿設された穴４９ に嵌合し、こうしてボトムケーシング３５を例えば差し嵌め式にベースケーシン グ１５に固定することができる。ボトムケーシング３５の保持ピン４１の代りに 、或いは該保持ピンに加えて、ボトムケーシング３５を接着剤によってベースケ ーシング１５と接着することも可能である。 図４に示したように、ボトムケーシング３５は、長方形のボトム壁３６の短辺 側に舌片状延長部を有し、該舌片状延長部はセンサ支持体２７として構成されて センサエレメント２５を保持するために設けられている。センサ支持体２７とボ トムケーシング３５とは、図４に示したような１つの共通の製造プロセスで製作 されても、或いは夫々別個に製作されてもよく、このためには押抜き法、曲げ加 工法、折り曲げ成形法、深絞り法又はエンボッシング法が適している。例えばセ ンサ支持体２７とボトムケーシング３５とを別個に製作した後に、両部品を再び 適当な接合手段、例えばレーザー溶接によって接合することが可能である。セン サ支持体２７は、何れにせよ、肉薄の金属ストリップを折り曲げることによって 製作される。図４に示した実施例では、ボトム壁３６の長方形の舌片状延長部か ら、保護ケーシング縦軸線１１に共軸に１つの開口６２が例えば押し抜きによっ て切除される。次いで前記保護ケーシング縦軸線１１に対して平行に位置してい る曲げ軸線を中心として、舌片状延長部の一部分が、金属ストリップの最終曲げ 状態でほぼ等しい大きさの２つのエレメント５６，５７を互いに接し合わせるよ うに屈曲される。なお以下の説明において、ボトム壁 ３６の平面から屈曲された方のエレメントは保持エレメント５７と呼び、またボ トム壁平面内にその儘残留して屈曲されることのない、開口６２を有する方のエ レメントは枠エレメント５６と呼ぶことにする。この場合前記保持エレメント５ ７はボトム壁３６の下面４５の下側に位置している。図４のＶ−Ｖ線に沿った断 面図でありかつセンサエレメント２５を組込んだ状態で示した図５から判るよう に、保持エレメント５７は、約１８０°完全に屈曲した状態では、枠エレメント ５６内に形成された切欠き部５８を保持エレメント５７と相俟って制限するため に、屈曲されていない枠エレメント５６の開口６２をカバーしている。枠エレメ ント５６もしくは切欠き部５８は、例えばセンサエレメント２５の長方形プレー ト状の形状にほぼ相応している横断面と、流動方向９に対して直角方向に測定し たセンサエレメント２５の肉厚ｄよりも大きな深さｔを有し、こうして切欠き部 ５８内にセンサエレメント２５を完全に受容することができる。金属ストリップ を折り曲げた後、保持エレメント５７には、該保持エレメント５７の外面６１に 係合する工具、例えばエンボッシング工具によって変形加工が施されるので、枠 エレメント５６の切欠き部５８によって制限された保持エレメント５７の底面６ ３の部分面が、台地状隆起６４の形に変形され、該台地状隆起は枠エレメント５ ６の切欠き部５８内へ幾分侵入することになる。枠エ レメント５６の開口６２の領域内に形成された台地状隆起６４は、開口６２の横 断面及び該台地状隆起６４上に載設されるセンサエレメント２５の横断面よりも 小さな横断面を有している。更にエンボッシング加工操作時に底面６３内に樋溝 状に、例えば台地状隆起６４をめぐって延びる単数又は複数の接着剤捕集窪み６ ５を形成することも可能である。次いで例えばエンボッシング加工によって、曲 げ軸線に沿って延びていてかつ流動方向９に対面した方の、センサ支持体２７の 側面６７には、曲げ軸線を中心として丸められて上面５９へ向かって扁平にされ た流線縁６８を得るように変形加工が施される。丸められ、かつ場合によっては 楔形に成形された流線縁６８によって、特にセンサエレメント２５の最大表面積 部６０に渦域又は剥離域を発生させることなしに、センサエレメント２５に沿っ ての均等な流動が生じる。台地状隆起６４の上には接着剤が塗被され、該接着剤 上にはセンサエレメント２５が切欠き部５８内で載着され、かつ該接着剤によっ てセンサエレメント２５は、ダイヤフラム状センサ領域２６の外部で保持される 。その場合、接着操作時に過剰に塗被された接着剤は、底面６３から凹まされた 接着剤捕集窪み６５内に集められ、これによって、センサエレメント２５を均等 な接着剤層厚でもって台地状隆起６４に接着することが可能になる。更にまた台 地状隆起６４の加工は、金属ストリップを折り曲げた 後に初めて行われるので、該台地状隆起を、著しく微少な製作誤差で製作するこ とが可能であり、従ってセンサエレメント２５は、その表面６０と枠エレメント ５６の上面５９とを整合させるように最高度の精密さをもって切欠き部５８内へ 接着することができる。台地状隆起６４の構造は、該台地状隆起６４がセンサエ レメント２５のダイヤフラム状センサ領域２６を覆わず、従ってセンサエレメン ト２５がそのダイヤフラム状センサ領域２６の外部でしか接着されないように形 成されており、その結果、センサエレメント２５はダイヤフラム状センサ領域２ ６と共に、自由にかつ底面６３に接触することなく切欠き部５８内に収納されて いる。ひいてはセンサエレメント２５と底面６３との間の空気クッションによっ て、保持エレメント５７内におけるセンサエレメント２５の良好な熱絶縁作用が 得られる。その上に又、切欠き部５８の横断面は流動方向９でセンサエレメント ２５の横断面よりも幾分大きく設計されているので、センサエレメント２５と切 欠き部５８の周壁との間には空隙が生じ、該空隙は枠エレメント５６内における センサエレメント２５の良好な熱絶縁作用を可能にする。台地状隆起６４の高さ は、枠エレメント５６の上面５９とセンサエレメント２５の表面６０との間に如 何なる段差も生ぜしめないように選ばれている。 ハイブリッド担体１７のハイブリッド回路を、質量 測定装置１の接続端子部３８に構成された電気的なプラグコネクタ３９と導電接 続するために、複数の接続導体５４が設けられており、該接続導体は、図２に示 したように、前記プラグコネクタ３９からボトムケーシング３５の外部にまで達 し、かつ該接続導体の端部は、ベースケーシング１５内の接点部位４３を形成し ている。例えばワイヤからＵ字形に成形湾曲されたハイブリッド接続導線５２に よって前記接点部位４３は、ハイブリッド担体１７の対応する接点部位４２と導 電接続されている。ハイブリッド接続導線５２は外部から個々のブッシング形コ ンデンサ４０を通ってボトムケーシング３５の内部へ入りハイブリッド担体１７ へ導かれ、かつ、各ワイヤ端部で例えば鑞接又はレーザー溶接によって、ハイブ リッド担体１７の接点部位４２並びにベースケーシング１５内の接点部位４３と 電気的に接点接続される。個々のブッシング形コンデンサ４０は、共通の差込み 部材４７内に穿設された所定の開口内に収容されており、かつ該開口部位で例え ば鑞継手によって保持されて前記差込み部材４７と導電接続されている。ボトム ケーシング３５内に差込み部材４７を組付けるために、ボトムケーシング３５の 各側壁３７に例えば２つのばねエレメント７０が付設されており、両ばねエレメ ント間で前記差込み部材４７が、ボトムケーシング３５の両側壁３７間に差込み 自在に導入され、かくして該差込み部材４７は、プラ グコネクタ３９に対面した方の、ボトムケーシング３５の金属性前壁を形成する ことになる。前記ばねエレメント７０は、ボトムケーシング３５の製作時に、側 壁３７を押し抜き・曲げ成形する工程において、ボトムケーシング３５の内部へ 向くように一緒に一体成形される。差込み部材４７の製作時に該差込み部材４７ には、個々の管状のブッシング形コンデンサ４０が装備され、次いでハイブリッ ド接続導線５２が該ブッシング形コンデンサ４０内へ導入されかつ例えば鑞継手 によって保持されて電気的に接点接続される。その後にハイブリッド接続導線４ ２がＵ字形に湾曲されるので、差込み部材４７は簡便に別体の差込みモジュール としてボトムケーシング３５内へ押し込まれてばねエレメント７０によって保持 され、しかもその際に該ばねエレメント７０を介して差込み部材４７からボトム ケーシング３５へのアース接続が得られる。差込み部材４７を装嵌した後に、ハ イブリッド接続導線５２の各ワイヤ端部を、ハイブリッド担体１７の接点部位４ ２並びにベースケーシング１５内の接点部位４３に、例えば鑞接又はボンディン グによって電気的に接点接続することが可能である。ベースケーシング１５に設 けられた接点部位４３を起点として電気的な接続導体５４はベースケーシング１ ５内部を通ってプラグコネクタ３９に達し、該プラグコネクタは本実施例では例 えばプラグ形接続端子として構成されている。電子制 御回路３０を導電接続するためには、電気的なソケット形接続端子が、図示を省 いた電子制御器に接続されたプラグ形接続端子に被せ嵌められる。なお前記の電 子制御器は、電子制御回路３０から供給された電気信号を評価し、これによって 例えば内燃機関のエンジン出力制御を行うことができる。 閉鎖ケーシング５０は、ボトムケーシング３５及びハイブリッド担体１７をカ バーするためにも開けられており、かつ図１に示したようにクリップ状に構成さ れたばねエレメント７２でもって差込み部材４７に被さって係合している。その 場合該ばねエレメント７２は、閉鎖ケーシング５０から差込み部材４７へのアー ス接続及び該差込み部材４７からばねエレメント７０を介してボトムケーシング ３５へのアース接続をばね接触によって得るために、プラグコネクタ３９に対面 した方の差込み部材４７の前面７５及び、ハイブリッド担体１７に対面した方の 差込み部材４７の背面７６を部分的にカバーしているにすぎない。更にまた閉鎖 ケーシング５０はその長方形基面７８の２つの長辺に沿って２つの突出した側壁 を有し、両側壁は例えば複数のスリットによって複数のばねエレメント７３に分 割されている。該ばねエレメント７３は閉鎖ケーシング５０の製作時に例えば幾 分外向きに拡開されるので、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である図３ に示したように、前記のばねエレメント７３は、ボト ムケーシング３５内へ閉鎖ケーシング５０を挿嵌した組付け状態ではボトムケー シング３５の両側壁３７に弾性的に接触している。 ボトムケーシング３５と閉鎖ケーシング５０と例えば差込み部材４７とから形 成された保護ケーシング３４は、電子制御回路３０を特に入射する電磁波に対し て防護するために、ハイブリッド回路を全ての側から包囲している。ブッシング 形コンデンサ４０を装備した差込み部材４７はこの場合、接続導体５４とハイブ リッド接続導線５２とを介して電磁波をハイブリッド回路へ到達させず、むしろ ブッシング形コンデンサ４０によって濾波することを保証する。更にまた、金属 製のボトムケーシング３５と金属製の閉鎖ケーシング５０とによって、電子制御 回路３０から出る電磁波の放射が避けられるので、従って、質量測定装置１の直 ぐ近傍に配置された電気系統も該質量測定装置１に左右されずに稼働することが できる。前記のようなブッシング形コンデンサ４０による妨害除去対応策が所望 されないような場合には、ボトムケーシング３５に経費のかかる構造上の変更を 加えることなく差込み部材４７を簡単に省くことが可能である。ベースケーシン グ１５内の接点部位４３を、例えばボンディング、鑞接又はレーザー溶接によっ てハイブリッド担体１７の接点部位４２と互いに導電接続することが必要になる にすぎない。 汚染の理由から閉鎖ケーシング５０は、プラスチックから製作されたカバー８ ０によって被覆されており、該カバーは、図２に示したように例えばベースケー シング凹設部１６の周囲をめぐっているベースケーシング３５の溝８１内に差込 み可能である。但し該カバー８０は、図面を判り易くするために図２には示され ていない。流動媒体の温度に関してセンサエレメント２５の測定値を補償するた めに質量測定装置１は抵抗を有しており、以下、該抵抗を媒体温度抵抗８６と呼 ぶ。該媒体温度抵抗８６は例えば電子制御回路３０の一部分であり、該電子制御 回路は、流動媒体の温度変動を質量測定装置１の測定精度に作用せしめないこと を保証する。また媒体温度抵抗８６を電子制御回路３０と電気的に接続する代り にか、或いはこの電気的接続に加えて、ベースケーシング１５内の電気的な接続 導体と、プラグコネクタ３９内の付加的な接点ピンとを介して、媒体温度抵抗８ ６を、前記プラグコネクタ３９に被せ嵌められるソケットコネクタとは別個に接 点接続することも可能であるので、該媒体温度抵抗は内燃機関の別の制御回路乃 至は電子制御器とも接続することができる。媒体温度抵抗８６は、温度従変性の 抵抗値を有している。その場合媒体温度抵抗８６はＮＴＣ抵抗又はＰＴＣ抵抗と して構成されていてもよく、かつ例えばワイヤ、フィルム又は箔の形の抵抗を有 することができる。媒体温度抵抗８６は測定通路２０ の外部で、縦軸線１０に対してほぼ平行に延在するベースケーシング１５の外面 ８４に沿って、しかも該外面８４に対して間隔をおいて配置されている。その場 合、媒体温度抵抗８６の領域においてベースケーシング１５は、縦軸線１０に対 して垂直な方向で見て該媒体温度抵抗８６に対面した側では前記外面８４まで延 びているにすぎない。ベースケーシング１５の外部に収納された媒体温度抵抗８ ６は、電気的な接点接続のために、並列に配置された接続ワイヤ９２，９３を有 し、両接続ワイヤの内、少なくとも一方の接続ワイヤ９３は、部分的に他方の接 続ワイヤ９２に対して平行に延びるように、Ｕ字形に湾曲されている。両接続ワ イヤ９２，９３は、接点ピンの形に形成された電気的な２つのホルダー８８に、 例えば鑞接によって固着されて電気的に接続されている。該ホルダー８８は、ボ トムケーシング３５の差込み部材４７にほぼ対向してベースケーシング１５の外 面８４から流動横断面１２内へ突出しかつ流動方向９に相前後して位置している 。媒体温度抵抗８６を更に保持するためにベースケーシング１５には、外面８４ から張出したプラスチック突起８９が設けられており、該プラスチック突起をめ ぐる少なくとも一方の湾曲された接続ワイヤ９３は、ホルダー８８から離反した 方のプラスチック突起８９の側に設けた溝に沿って延びているので、媒体温度抵 抗８６は接続ワイヤ９２，９３によって、ベースケー シング１５の外面８４に対して間隔をおいて流動媒体内に配置されている訳であ る。測定通路２０の外部で媒体温度抵抗８６をベースケーシング１５に装着する ことによって得られる利点は、センサエレメント２５と、ハイブリッド担体１７ のハイブリッド回路とに対する媒体温度抵抗８６の立体的な間隔によって媒体温 度抵抗８６の熱的な影響が排除されていることである。更にまた媒体温度抵抗８ ６はベースケーシング１５の外部で、例えば測定通路２０の制限壁に起因する流 れの影響に曝されることがないので、媒体温度抵抗は妨害なく流動媒体の温度を 受取ることができる。 図３に示したように、測定通路２０とプラスチック突起８９との間には、流動 方向９に延びる冷却通路９０が設けられており、該冷却通路は電子制御回路３０ を冷却するためのものであり、かつセンサエレメント２５と電子制御回路３０と に対する媒体温度抵抗８６の熱的減結合が一層改善される。冷却通路９０は、流 動媒体の流動方向９に対してほぼ平行にベースケーシング１５を横方向に貫通し て延びており、その場合、ベースケーシング１５のプラスチツク材がボトムケー シング３５の下面４５から一部除去されている。下面４５が部分的にプラスチッ ク材から解放されていることによって、電子制御回路３０から放出される熱は、 ハイブリッド担体１７を介してボトムケーシング３５へ、ひいては冷却通路９０ へ流出することができ、こ れによって、電子制御回路３０からの放熱によるセンサエレメント２５及び媒体 温度抵抗８６の加熱が回避される。冷却通路９０は例えばほぼ長方形の入口横断 面を有し、該入口横断面は、流動方向９に質量測定装置１の中点へ向かって最小 横断面に漸減し、次いで該中点から更に流動方向９で再び漸増して、前記入口横 断面に等しい大きさを有する長方形の出口横断面で終わっている。いわば片側ラ バールノズルの形に構成された冷却通路９０は、流動媒体を入口横断面からボト ムケーシング３５の下面４５へ向かって加速させ、ボトムケーシング３５の下面 ４５に沿った増速によって、電子制御回路３０から流動媒体への熱導出を高める ことができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．縦軸線を有する細長く延在したケーシングが設けられかつ媒体の通流する測 定通路を備え、該測定通路を流動する媒体内には、温度従変性の少なくとも１つ の測定抵抗を有する温度従変性のセンサエレメントが配置されており、しかも流 動媒体温度を補償するために、温度従変性の媒体温度抵抗が設けられている形式 の、流動媒体質量を測定するため、特に内燃機関の吸気質量を測定するための質 量測定装置において、媒体温度抵抗（８６）が測定通路（２０）の外部で、縦軸 線（１０）に対してほぼ平行に延在しているケーシング（１５）の外面（８４） に沿ってかつ該外面（８４）に対して間隔をおいて配置されており、かつ前記ケ ーシング（１５）が前記縦軸線（１０）に対して垂直方向で見て、前記媒体温度 抵抗（８６）に対面した方の側で該媒体温度抵抗（８６）の領域では前記外面（ ８４）までしか延びていないことを特徴とする、流動媒体の質量測定装置。 ２．ケーシング（１５）には複数の電気的なホルダー（８８）が設けられており 、かつ該電気的なホルダー（８８）には媒体温度抵抗（８６）の複数本の電気的 な接続ワイヤ（９２，９３）が接続されている、請求項１記載の質量測定装置。 ３．少なくとも１本の電気的な接続ワイヤ（９３）がＵ字形を有し、かつ電気的 なホルダー（８８）が流動媒体の流動方向に互いに相前後して位置している、請 求項２記載の質量測定装置。 ４．ケーシング（１５）が突起（８９）を有しかつ少なくとも１本の電気的な接 続ワイヤ（９３）が、電気的なホルダー（８８）から離反した方の前記突起（８ ９）の側をめぐって延びている、請求項３記載の質量測定装置。 ５．媒体温度抵抗（８６）が、センサエレメント（２５）の電子制御回路（３０ ）と接続されている、請求項１記載の質量測定装置。 ６．媒体温度抵抗（８６）が、ケーシング（１５）に設けられた電気的なプラグ コネクタ（３９）と接続されている、請求項１記載の質量測定装置。