RU97115772A - Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистем - Google Patents
Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистемInfo
- Publication number
- RU97115772A RU97115772A RU97115772/25A RU97115772A RU97115772A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A RU 97115772/25 A RU97115772/25 A RU 97115772/25A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- camera
- fixed
- force
- establishment
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Claims (9)
1. Устройство для формования структур, используемых в технике микросистем, содержащее пару противолежащих частей закрываемой камеры, которые служат опорой для крепления инструмента для выдавливания и формуемого материала и одна из которых закреплена неподвижно на станине, а другая установлена с возможностью перемещения на направляющих в раме, отличающееся тем, что камера имеет боковые стенки, состоящие из внутренней и наружной частей, причем внутренняя часть закреплена на неподвижной части (6) камеры, а наружная часть, к обращенной наружу торцевой поверхности (29) которой при закрывании камеры против действия пружины (26) прилегает подвижная часть (7) камеры, может перемещаться вдоль направляющих элементов (18) на неподвижной части (6) камеры между двумя упорами, расстоянием между которыми в основном определяется ширина открытия камеры.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внутренняя часть образована первым цилиндрическим фланцем (19), расширенный участок которого закреплен на неподвижной части (6) камеры и содержит в пазу (21) кольцо (22) круглого сечения для уплотнения относительно неподвижной части (6) камеры.
3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что наружная часть охватывает в форме второго цилиндрического фланца (23) его внутренней боковой поверхностью первый фланец (19), а через отверстия (24) в его расширенном участке проходят направляющие элементы (18), причем с помощью кольца (25) квадратного сечения обеспечивается герметичное скользящее соединение между первым и вторым фланцами (19, 23).
4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что камера окружена со всех сторон по меньшей мере на отдельных участках теплоизолирующими рубашками.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что на обращенных наружу сторонах частей (6, 7) камеры установлены теплозащитные пластины (14, 15), уменьшающие потери, связанные с теплоизлучением через боковые стенки, благодаря ступенчато расположенным теплоотражающим кольцеобразным экранам.
6. Способ формования структур, используемых в технике микросистем, в котором формуемый материал вдавливают с усилием формования и в течение заданного периода времени внутри закрываемой камеры в формующий инструмент путем перемещения подвижной части камеры относительно неподвижной части камеры после установления атмосферных условий и соответствующей формуемому материалу температуры формования и в котором извлечение сформованного материала производится при температуре выемки изделия, отличающийся тем, что установление атмосферных условий и температуры процесса производят в моменты закрывания камеры, в которые действующее на неподвижную часть (6) камеры усилие повышается до заданных значений.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что установление атмосферных условий начинают при первом заданном значении усилия, при котором произошло закрывание камеры.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что установление температуры процесса предусматривает второе заданное значение, при котором формующий инструмент и формуемый материал находятся в оптимальном тепловом контакте друг с другом.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что обусловленное тепловым расширением увеличение усилия, действующего на неподвижную часть камеры, компенсируется регулированием хода подвижной части камеры.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19648844.3 | 1996-11-26 | ||
DE19648844A DE19648844C1 (de) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | Einrichtung und Verfahren zur Abformung mikrosystemtechnischer Strukturen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97115772A true RU97115772A (ru) | 1999-07-20 |
RU2141895C1 RU2141895C1 (ru) | 1999-11-27 |
Family
ID=7812744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97115772A RU2141895C1 (ru) | 1996-11-26 | 1997-09-12 | Способ формования структур, используемых в технике микросистем, и устройство для его осуществления |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5993189A (ru) |
JP (1) | JP2942747B2 (ru) |
KR (1) | KR100246078B1 (ru) |
DE (1) | DE19648844C1 (ru) |
FR (1) | FR2756210B1 (ru) |
GB (1) | GB2319492B (ru) |
IT (1) | IT1294865B1 (ru) |
RU (1) | RU2141895C1 (ru) |
SE (1) | SE9703173L (ru) |
SG (1) | SG64447A1 (ru) |
TW (1) | TW368465B (ru) |
Families Citing this family (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7482085B2 (en) * | 1996-06-07 | 2009-01-27 | Bdf Ip Holdings Ltd. | Apparatus for improving the cold starting capability of an electrochemical fuel cell |
DE19819761C2 (de) | 1998-05-04 | 2000-05-31 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Trennung eines geformten Substrates von einem Prägewerkzeug |
DE19846958C2 (de) * | 1998-08-19 | 2001-06-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zum Transport von kleinsten Flüssigkeitsmengen |
DE19925175C1 (de) * | 1999-05-27 | 2000-05-25 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur Übertragung von Mikrostrukturen |
DE19937097A1 (de) * | 1999-08-06 | 2001-02-08 | Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Herstellen mikrostrukturierter Teile und Vorrichtung zum Herstellen mikrostrukturierter Teile |
DE19945470B4 (de) * | 1999-09-22 | 2007-06-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Herstellen einer mikrofunktionalen Verbundvorrichtung |
SE517305C2 (sv) * | 1999-10-07 | 2002-05-21 | Ericsson Telefon Ab L M | Anordning och förfarande för att framställa keramiska precisionsdetaljer såsom små byggelement för elektroniska, optoelektroniska eller mekaniska konstruktioner |
US6873087B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
US6540675B2 (en) | 2000-06-27 | 2003-04-01 | Rosedale Medical, Inc. | Analyte monitor |
WO2002006902A2 (en) | 2000-07-17 | 2002-01-24 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Method and system of automatic fluid dispensing for imprint lithography processes |
US7322287B2 (en) * | 2000-07-18 | 2008-01-29 | Nanonex Corporation | Apparatus for fluid pressure imprint lithography |
US8016277B2 (en) | 2000-08-21 | 2011-09-13 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Flexure based macro motion translation stage |
JP2002166448A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-11 | Sony Corp | 成形用金型装置および成形方法 |
US6709259B2 (en) * | 2001-08-27 | 2004-03-23 | Tanken Seal Seiko Co., Ltd. | Movable vacuum forming apparatus for pressing and vacuum press apparatus |
US7004928B2 (en) | 2002-02-08 | 2006-02-28 | Rosedale Medical, Inc. | Autonomous, ambulatory analyte monitor or drug delivery device |
JP4266328B2 (ja) * | 2002-06-17 | 2009-05-20 | 株式会社ナガセインテグレックス | 転写装置 |
US7252492B2 (en) * | 2002-06-20 | 2007-08-07 | Obducat Ab | Devices and methods for aligning a stamp and a substrate |
EP1546804A1 (en) * | 2002-08-27 | 2005-06-29 | Obducat AB | Device for transferring a pattern to an object |
US20040040644A1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-04 | Jer-Haur Chang | Micro hot embossing method for quick heating and cooling, and uniformly pressing |
US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
DE10256059B4 (de) * | 2002-11-30 | 2009-08-20 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Heißprägewerkzeug |
US7052652B2 (en) | 2003-03-24 | 2006-05-30 | Rosedale Medical, Inc. | Analyte concentration detection devices and methods |
TW568349U (en) * | 2003-05-02 | 2003-12-21 | Ind Tech Res Inst | Parallelism adjusting device for nano-transferring |
TW570290U (en) * | 2003-05-02 | 2004-01-01 | Ind Tech Res Inst | Uniform pressing device for nanometer transfer-print |
DE10323365A1 (de) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Robert Bürkle GmbH | Vorrichtung zur Herstellung geprägter Substrate |
US7128559B1 (en) * | 2004-01-13 | 2006-10-31 | Sandia National Laboratories | Programmable imprint lithography template |
KR20080031514A (ko) * | 2004-02-04 | 2008-04-08 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 가압성형장치, 금형 및 가압성형방법 |
US8076386B2 (en) | 2004-02-23 | 2011-12-13 | Molecular Imprints, Inc. | Materials for imprint lithography |
US7906180B2 (en) | 2004-02-27 | 2011-03-15 | Molecular Imprints, Inc. | Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material |
US7641468B2 (en) * | 2004-09-01 | 2010-01-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Imprint lithography apparatus and method employing an effective pressure |
US20070164476A1 (en) * | 2004-09-01 | 2007-07-19 | Wei Wu | Contact lithography apparatus and method employing substrate deformation |
JP4554330B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2010-09-29 | 株式会社リコー | 高耐久性を有する断熱スタンパ構造 |
JP4700996B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-06-15 | 東芝機械株式会社 | 転写装置 |
US20060281187A1 (en) | 2005-06-13 | 2006-12-14 | Rosedale Medical, Inc. | Analyte detection devices and methods with hematocrit/volume correction and feedback control |
DE102005041505B3 (de) * | 2005-09-01 | 2007-04-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Abformen von Strukturen |
US8801631B2 (en) | 2005-09-30 | 2014-08-12 | Intuity Medical, Inc. | Devices and methods for facilitating fluid transport |
CA2623589C (en) | 2005-09-30 | 2014-07-22 | Intuity Medical, Inc. | Catalysts for body fluid sample extraction |
JP4810319B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2011-11-09 | キヤノン株式会社 | 加工装置及びデバイス製造方法 |
KR100857521B1 (ko) * | 2006-06-13 | 2008-09-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비 |
CN101288512B (zh) * | 2007-04-19 | 2010-06-02 | 欧利速精密工业股份有限公司 | 具射频干扰保护的压花系统 |
JP4553944B2 (ja) * | 2008-01-10 | 2010-09-29 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 |
WO2009145920A1 (en) | 2008-05-30 | 2009-12-03 | Intuity Medical, Inc. | Body fluid sampling device -- sampling site interface |
EP3639744B1 (en) | 2008-06-06 | 2021-11-24 | Intuity Medical, Inc. | Blood glucose meter and method of operating |
JP5642066B2 (ja) | 2008-06-06 | 2014-12-17 | インテュイティ メディカル インコーポレイテッド | 体液の試料内に含まれている検体の存在または濃度を決定する検定を行う方法および装置 |
US9330933B2 (en) * | 2008-06-11 | 2016-05-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and apparatus for planarizing a polymer layer |
TWI388418B (zh) | 2008-10-09 | 2013-03-11 | Hitachi Ind Equipment Sys | Precision imprinting device and its embossing load control method |
EP2506768B1 (en) | 2009-11-30 | 2016-07-06 | Intuity Medical, Inc. | Calibration material delivery devices and methods |
WO2011162823A1 (en) | 2010-06-25 | 2011-12-29 | Intuity Medical, Inc. | Analyte monitoring methods and systems |
FR2965495B1 (fr) * | 2010-10-01 | 2013-08-02 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'estampage et/ou de percage comprenant une tete support de substrat dont l'orientation est commandee en continu |
EP3750480B1 (en) | 2011-08-03 | 2022-02-02 | Intuity Medical, Inc. | Body fluid sampling arrangement |
US8834146B2 (en) | 2012-10-24 | 2014-09-16 | Massachusetts Institute Of Technology | System for passive alignment of surfaces |
EP3011544A4 (en) | 2013-06-21 | 2017-02-22 | Intuity Medical, Inc. | Analyte monitoring system with audible feedback |
CN105150514B (zh) * | 2015-09-14 | 2017-10-17 | 温州市黎东眼镜有限公司 | 一种眼镜镜框花纹液压机成型模具 |
RU2761218C1 (ru) * | 2021-02-25 | 2021-12-06 | Юрий Иванович Терентьев | Пресс-форма для вспенивающихся полимерных материалов |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2772012A (en) * | 1951-05-10 | 1956-11-27 | Anchor Hocking Glass Corp | Method and device for manufacturing closure caps and closure cap produced thereby |
US3543336A (en) * | 1968-03-25 | 1970-12-01 | Grace W R & Co | Molding apparatus |
US4204822A (en) * | 1977-08-24 | 1980-05-27 | British Industrial Plastics Ltd. | Moulding machine |
US4551085A (en) * | 1983-04-25 | 1985-11-05 | The Budd Company | Compression molding apparatus having vacuum chamber |
US4488862A (en) * | 1983-04-25 | 1984-12-18 | The Budd Company | Compression molding apparatus having vacuum chamber |
JPS61502045A (ja) * | 1984-05-09 | 1986-09-18 | ヒユ−ズ・エアクラフト・カンパニ− | 複合体あるいは被覆体製品の製造方法 |
DE3512852A1 (de) * | 1985-04-10 | 1986-10-16 | Dorst - Maschinen- und Anlagen-Bau Otto Dorst u. Dipl. Ing. Walter Schlegel GmbH & Co, 8113 Kochel | Presswerkzeug zur herstellung von schalenfoermigen presskoerpern, insbesondere platten, tellern, bechern, schuesseln od.dgl. aus pulverfoermigem, vorzugsweise keramischen material |
US4690787A (en) * | 1986-05-09 | 1987-09-01 | Fasnacht Jeffery L | Apparatus and method for making positioners |
US4867924A (en) * | 1988-04-22 | 1989-09-19 | The Budd Company | Method and apparatus for compression molding under vacuum |
US4957676A (en) * | 1989-08-23 | 1990-09-18 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Detachment of tires from molds |
DE4010669C1 (ru) * | 1990-04-03 | 1991-04-11 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
US5196206A (en) * | 1991-11-26 | 1993-03-23 | Scantland Industries Inc. | Vacuum heat shield |
JP3230833B2 (ja) * | 1992-03-27 | 2001-11-19 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ホットプレス |
FR2689057B1 (fr) * | 1992-03-30 | 1994-05-20 | Cray Valley Sa | Appareil pour le compactage de blocs d'un produit ayant tendance a foisonner, et procede de compactage correspondant. |
DE4222856C1 (ru) * | 1992-07-11 | 1993-05-27 | Buerkert Gmbh | |
US5370521A (en) * | 1993-09-29 | 1994-12-06 | The Budd Company | Compression mold with vacuum seal |
DE19639678B4 (de) * | 1996-09-26 | 2007-08-23 | Mitsubishi Materials Corp. | Formwerkzeug für den Einsatz in einer Spritzgussmaschine und Verfahren |
-
1996
- 1996-11-26 DE DE19648844A patent/DE19648844C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-09-04 SE SE9703173A patent/SE9703173L/xx not_active Application Discontinuation
- 1997-09-11 FR FR9711312A patent/FR2756210B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-12 IT IT97TO000814A patent/IT1294865B1/it active IP Right Grant
- 1997-09-12 RU RU97115772A patent/RU2141895C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1997-09-16 GB GB9719617A patent/GB2319492B/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-23 SG SG1997003498A patent/SG64447A1/en unknown
- 1997-10-07 JP JP9274296A patent/JP2942747B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-10-08 KR KR1019970051525A patent/KR100246078B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-10-09 TW TW086114842A patent/TW368465B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-10-20 US US08/954,714 patent/US5993189A/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU97115772A (ru) | Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистем | |
RU2141895C1 (ru) | Способ формования структур, используемых в технике микросистем, и устройство для его осуществления | |
SU507209A3 (ru) | Машина дл гофрировани пластмассовых труб | |
US4204822A (en) | Moulding machine | |
SE9000127D0 (sv) | Varmisostatisk hoegtryckspress | |
DE69305601T2 (de) | Leichtgewichtvakuumträger | |
FR2393663A1 (fr) | Panneau de verre a cadre moule, notamment pour collecteur d'energie solaire, et son procede de fabrication | |
US4247278A (en) | Pressing machine arrangement | |
FR2824806B1 (fr) | Procede de realisation de sachets comportant des profiles de fermeture actionnes par curseur, machine de fabrication et sachets obtenus | |
US4828471A (en) | Tire curing mold | |
KR890000185A (ko) | 벨트식 연속주조기 및 주조방법 | |
SU1433554A1 (ru) | Матрица к установке дл раздачи полых заготовок внутренним давлением | |
RU2011108574A (ru) | Шаблон для центрирования валков у основания изложницы | |
KR890004248B1 (ko) | 고무성형 프레스금형의 자동개폐장치 | |
FR2376094A1 (fr) | Procede de moulage a chaud de blocs de propergols a double base | |
SU1703484A2 (ru) | Форма дл изготовлени вспененных изделий | |
SU1260203A1 (ru) | Установка дл изготовлени строительных изделий на кассетно-конвейерных лини х | |
GB2048348A (en) | Insulated window or door frame | |
RU1773723C (ru) | Устройство дл изготовлени изделий из пенопласта | |
SU1209467A1 (ru) | Термический пресс | |
SU1440605A1 (ru) | Затравка дл установки непрерывной разливки металлов | |
KR20110069342A (ko) | 코크스오븐의 도어 | |
SU1232359A1 (ru) | Машина дл изготовлени безопочных форм | |
JPS5929947Y2 (ja) | 押込通風型冷却機エヤシ−ル装置 | |
SU1687593A1 (ru) | Дверь коксовой печи |