RU97115772A - Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистем - Google Patents

Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистем

Info

Publication number
RU97115772A
RU97115772A RU97115772/25A RU97115772A RU97115772A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A RU 97115772/25 A RU97115772/25 A RU 97115772/25A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A RU 97115772 A RU97115772 A RU 97115772A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chamber
camera
fixed
force
establishment
Prior art date
Application number
RU97115772/25A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2141895C1 (ru
Inventor
Мюллер Луц
Ройтер Франк
Шпрингер Альф
Хеккеле Маттиас
Бидерманн Ханс
Original Assignee
Йеноптик Акциенгезельшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19648844A external-priority patent/DE19648844C1/de
Application filed by Йеноптик Акциенгезельшафт filed Critical Йеноптик Акциенгезельшафт
Publication of RU97115772A publication Critical patent/RU97115772A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2141895C1 publication Critical patent/RU2141895C1/ru

Links

Claims (9)

1. Устройство для формования структур, используемых в технике микросистем, содержащее пару противолежащих частей закрываемой камеры, которые служат опорой для крепления инструмента для выдавливания и формуемого материала и одна из которых закреплена неподвижно на станине, а другая установлена с возможностью перемещения на направляющих в раме, отличающееся тем, что камера имеет боковые стенки, состоящие из внутренней и наружной частей, причем внутренняя часть закреплена на неподвижной части (6) камеры, а наружная часть, к обращенной наружу торцевой поверхности (29) которой при закрывании камеры против действия пружины (26) прилегает подвижная часть (7) камеры, может перемещаться вдоль направляющих элементов (18) на неподвижной части (6) камеры между двумя упорами, расстоянием между которыми в основном определяется ширина открытия камеры.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внутренняя часть образована первым цилиндрическим фланцем (19), расширенный участок которого закреплен на неподвижной части (6) камеры и содержит в пазу (21) кольцо (22) круглого сечения для уплотнения относительно неподвижной части (6) камеры.
3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что наружная часть охватывает в форме второго цилиндрического фланца (23) его внутренней боковой поверхностью первый фланец (19), а через отверстия (24) в его расширенном участке проходят направляющие элементы (18), причем с помощью кольца (25) квадратного сечения обеспечивается герметичное скользящее соединение между первым и вторым фланцами (19, 23).
4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что камера окружена со всех сторон по меньшей мере на отдельных участках теплоизолирующими рубашками.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что на обращенных наружу сторонах частей (6, 7) камеры установлены теплозащитные пластины (14, 15), уменьшающие потери, связанные с теплоизлучением через боковые стенки, благодаря ступенчато расположенным теплоотражающим кольцеобразным экранам.
6. Способ формования структур, используемых в технике микросистем, в котором формуемый материал вдавливают с усилием формования и в течение заданного периода времени внутри закрываемой камеры в формующий инструмент путем перемещения подвижной части камеры относительно неподвижной части камеры после установления атмосферных условий и соответствующей формуемому материалу температуры формования и в котором извлечение сформованного материала производится при температуре выемки изделия, отличающийся тем, что установление атмосферных условий и температуры процесса производят в моменты закрывания камеры, в которые действующее на неподвижную часть (6) камеры усилие повышается до заданных значений.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что установление атмосферных условий начинают при первом заданном значении усилия, при котором произошло закрывание камеры.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что установление температуры процесса предусматривает второе заданное значение, при котором формующий инструмент и формуемый материал находятся в оптимальном тепловом контакте друг с другом.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что обусловленное тепловым расширением увеличение усилия, действующего на неподвижную часть камеры, компенсируется регулированием хода подвижной части камеры.
RU97115772A 1996-11-26 1997-09-12 Способ формования структур, используемых в технике микросистем, и устройство для его осуществления RU2141895C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19648844.3 1996-11-26
DE19648844A DE19648844C1 (de) 1996-11-26 1996-11-26 Einrichtung und Verfahren zur Abformung mikrosystemtechnischer Strukturen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97115772A true RU97115772A (ru) 1999-07-20
RU2141895C1 RU2141895C1 (ru) 1999-11-27

Family

ID=7812744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97115772A RU2141895C1 (ru) 1996-11-26 1997-09-12 Способ формования структур, используемых в технике микросистем, и устройство для его осуществления

Country Status (11)

Country Link
US (1) US5993189A (ru)
JP (1) JP2942747B2 (ru)
KR (1) KR100246078B1 (ru)
DE (1) DE19648844C1 (ru)
FR (1) FR2756210B1 (ru)
GB (1) GB2319492B (ru)
IT (1) IT1294865B1 (ru)
RU (1) RU2141895C1 (ru)
SE (1) SE9703173L (ru)
SG (1) SG64447A1 (ru)
TW (1) TW368465B (ru)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7482085B2 (en) * 1996-06-07 2009-01-27 Bdf Ip Holdings Ltd. Apparatus for improving the cold starting capability of an electrochemical fuel cell
DE19819761C2 (de) 1998-05-04 2000-05-31 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Trennung eines geformten Substrates von einem Prägewerkzeug
DE19846958C2 (de) * 1998-08-19 2001-06-13 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zum Transport von kleinsten Flüssigkeitsmengen
DE19925175C1 (de) * 1999-05-27 2000-05-25 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Übertragung von Mikrostrukturen
DE19937097A1 (de) * 1999-08-06 2001-02-08 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Verfahren zum Herstellen mikrostrukturierter Teile und Vorrichtung zum Herstellen mikrostrukturierter Teile
DE19945470B4 (de) * 1999-09-22 2007-06-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer mikrofunktionalen Verbundvorrichtung
SE517305C2 (sv) * 1999-10-07 2002-05-21 Ericsson Telefon Ab L M Anordning och förfarande för att framställa keramiska precisionsdetaljer såsom små byggelement för elektroniska, optoelektroniska eller mekaniska konstruktioner
US6873087B1 (en) * 1999-10-29 2005-03-29 Board Of Regents, The University Of Texas System High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes
US6540675B2 (en) 2000-06-27 2003-04-01 Rosedale Medical, Inc. Analyte monitor
WO2002006902A2 (en) 2000-07-17 2002-01-24 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and system of automatic fluid dispensing for imprint lithography processes
US7322287B2 (en) * 2000-07-18 2008-01-29 Nanonex Corporation Apparatus for fluid pressure imprint lithography
US8016277B2 (en) 2000-08-21 2011-09-13 Board Of Regents, The University Of Texas System Flexure based macro motion translation stage
JP2002166448A (ja) * 2000-12-01 2002-06-11 Sony Corp 成形用金型装置および成形方法
US6709259B2 (en) * 2001-08-27 2004-03-23 Tanken Seal Seiko Co., Ltd. Movable vacuum forming apparatus for pressing and vacuum press apparatus
US7004928B2 (en) 2002-02-08 2006-02-28 Rosedale Medical, Inc. Autonomous, ambulatory analyte monitor or drug delivery device
JP4266328B2 (ja) * 2002-06-17 2009-05-20 株式会社ナガセインテグレックス 転写装置
US7252492B2 (en) * 2002-06-20 2007-08-07 Obducat Ab Devices and methods for aligning a stamp and a substrate
EP1546804A1 (en) * 2002-08-27 2005-06-29 Obducat AB Device for transferring a pattern to an object
US20040040644A1 (en) * 2002-08-30 2004-03-04 Jer-Haur Chang Micro hot embossing method for quick heating and cooling, and uniformly pressing
US8349241B2 (en) 2002-10-04 2013-01-08 Molecular Imprints, Inc. Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability
DE10256059B4 (de) * 2002-11-30 2009-08-20 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Heißprägewerkzeug
US7052652B2 (en) 2003-03-24 2006-05-30 Rosedale Medical, Inc. Analyte concentration detection devices and methods
TW568349U (en) * 2003-05-02 2003-12-21 Ind Tech Res Inst Parallelism adjusting device for nano-transferring
TW570290U (en) * 2003-05-02 2004-01-01 Ind Tech Res Inst Uniform pressing device for nanometer transfer-print
DE10323365A1 (de) * 2003-05-21 2004-12-09 Robert Bürkle GmbH Vorrichtung zur Herstellung geprägter Substrate
US7128559B1 (en) * 2004-01-13 2006-10-31 Sandia National Laboratories Programmable imprint lithography template
KR20080031514A (ko) * 2004-02-04 2008-04-08 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 가압성형장치, 금형 및 가압성형방법
US8076386B2 (en) 2004-02-23 2011-12-13 Molecular Imprints, Inc. Materials for imprint lithography
US7906180B2 (en) 2004-02-27 2011-03-15 Molecular Imprints, Inc. Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material
US7641468B2 (en) * 2004-09-01 2010-01-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Imprint lithography apparatus and method employing an effective pressure
US20070164476A1 (en) * 2004-09-01 2007-07-19 Wei Wu Contact lithography apparatus and method employing substrate deformation
JP4554330B2 (ja) * 2004-10-21 2010-09-29 株式会社リコー 高耐久性を有する断熱スタンパ構造
JP4700996B2 (ja) * 2005-04-19 2011-06-15 東芝機械株式会社 転写装置
US20060281187A1 (en) 2005-06-13 2006-12-14 Rosedale Medical, Inc. Analyte detection devices and methods with hematocrit/volume correction and feedback control
DE102005041505B3 (de) * 2005-09-01 2007-04-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Abformen von Strukturen
US8801631B2 (en) 2005-09-30 2014-08-12 Intuity Medical, Inc. Devices and methods for facilitating fluid transport
CA2623589C (en) 2005-09-30 2014-07-22 Intuity Medical, Inc. Catalysts for body fluid sample extraction
JP4810319B2 (ja) * 2006-06-09 2011-11-09 キヤノン株式会社 加工装置及びデバイス製造方法
KR100857521B1 (ko) * 2006-06-13 2008-09-08 엘지디스플레이 주식회사 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비
CN101288512B (zh) * 2007-04-19 2010-06-02 欧利速精密工业股份有限公司 具射频干扰保护的压花系统
JP4553944B2 (ja) * 2008-01-10 2010-09-29 アピックヤマダ株式会社 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置
WO2009145920A1 (en) 2008-05-30 2009-12-03 Intuity Medical, Inc. Body fluid sampling device -- sampling site interface
EP3639744B1 (en) 2008-06-06 2021-11-24 Intuity Medical, Inc. Blood glucose meter and method of operating
JP5642066B2 (ja) 2008-06-06 2014-12-17 インテュイティ メディカル インコーポレイテッド 体液の試料内に含まれている検体の存在または濃度を決定する検定を行う方法および装置
US9330933B2 (en) * 2008-06-11 2016-05-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and apparatus for planarizing a polymer layer
TWI388418B (zh) 2008-10-09 2013-03-11 Hitachi Ind Equipment Sys Precision imprinting device and its embossing load control method
EP2506768B1 (en) 2009-11-30 2016-07-06 Intuity Medical, Inc. Calibration material delivery devices and methods
WO2011162823A1 (en) 2010-06-25 2011-12-29 Intuity Medical, Inc. Analyte monitoring methods and systems
FR2965495B1 (fr) * 2010-10-01 2013-08-02 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'estampage et/ou de percage comprenant une tete support de substrat dont l'orientation est commandee en continu
EP3750480B1 (en) 2011-08-03 2022-02-02 Intuity Medical, Inc. Body fluid sampling arrangement
US8834146B2 (en) 2012-10-24 2014-09-16 Massachusetts Institute Of Technology System for passive alignment of surfaces
EP3011544A4 (en) 2013-06-21 2017-02-22 Intuity Medical, Inc. Analyte monitoring system with audible feedback
CN105150514B (zh) * 2015-09-14 2017-10-17 温州市黎东眼镜有限公司 一种眼镜镜框花纹液压机成型模具
RU2761218C1 (ru) * 2021-02-25 2021-12-06 Юрий Иванович Терентьев Пресс-форма для вспенивающихся полимерных материалов

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2772012A (en) * 1951-05-10 1956-11-27 Anchor Hocking Glass Corp Method and device for manufacturing closure caps and closure cap produced thereby
US3543336A (en) * 1968-03-25 1970-12-01 Grace W R & Co Molding apparatus
US4204822A (en) * 1977-08-24 1980-05-27 British Industrial Plastics Ltd. Moulding machine
US4551085A (en) * 1983-04-25 1985-11-05 The Budd Company Compression molding apparatus having vacuum chamber
US4488862A (en) * 1983-04-25 1984-12-18 The Budd Company Compression molding apparatus having vacuum chamber
JPS61502045A (ja) * 1984-05-09 1986-09-18 ヒユ−ズ・エアクラフト・カンパニ− 複合体あるいは被覆体製品の製造方法
DE3512852A1 (de) * 1985-04-10 1986-10-16 Dorst - Maschinen- und Anlagen-Bau Otto Dorst u. Dipl. Ing. Walter Schlegel GmbH & Co, 8113 Kochel Presswerkzeug zur herstellung von schalenfoermigen presskoerpern, insbesondere platten, tellern, bechern, schuesseln od.dgl. aus pulverfoermigem, vorzugsweise keramischen material
US4690787A (en) * 1986-05-09 1987-09-01 Fasnacht Jeffery L Apparatus and method for making positioners
US4867924A (en) * 1988-04-22 1989-09-19 The Budd Company Method and apparatus for compression molding under vacuum
US4957676A (en) * 1989-08-23 1990-09-18 The Goodyear Tire & Rubber Company Detachment of tires from molds
DE4010669C1 (ru) * 1990-04-03 1991-04-11 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
US5196206A (en) * 1991-11-26 1993-03-23 Scantland Industries Inc. Vacuum heat shield
JP3230833B2 (ja) * 1992-03-27 2001-11-19 日立テクノエンジニアリング株式会社 ホットプレス
FR2689057B1 (fr) * 1992-03-30 1994-05-20 Cray Valley Sa Appareil pour le compactage de blocs d'un produit ayant tendance a foisonner, et procede de compactage correspondant.
DE4222856C1 (ru) * 1992-07-11 1993-05-27 Buerkert Gmbh
US5370521A (en) * 1993-09-29 1994-12-06 The Budd Company Compression mold with vacuum seal
DE19639678B4 (de) * 1996-09-26 2007-08-23 Mitsubishi Materials Corp. Formwerkzeug für den Einsatz in einer Spritzgussmaschine und Verfahren

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU97115772A (ru) Устройство и способ для формования элементов, используемых в технике микросистем
RU2141895C1 (ru) Способ формования структур, используемых в технике микросистем, и устройство для его осуществления
SU507209A3 (ru) Машина дл гофрировани пластмассовых труб
US4204822A (en) Moulding machine
SE9000127D0 (sv) Varmisostatisk hoegtryckspress
DE69305601T2 (de) Leichtgewichtvakuumträger
FR2393663A1 (fr) Panneau de verre a cadre moule, notamment pour collecteur d'energie solaire, et son procede de fabrication
US4247278A (en) Pressing machine arrangement
FR2824806B1 (fr) Procede de realisation de sachets comportant des profiles de fermeture actionnes par curseur, machine de fabrication et sachets obtenus
US4828471A (en) Tire curing mold
KR890000185A (ko) 벨트식 연속주조기 및 주조방법
SU1433554A1 (ru) Матрица к установке дл раздачи полых заготовок внутренним давлением
RU2011108574A (ru) Шаблон для центрирования валков у основания изложницы
KR890004248B1 (ko) 고무성형 프레스금형의 자동개폐장치
FR2376094A1 (fr) Procede de moulage a chaud de blocs de propergols a double base
SU1703484A2 (ru) Форма дл изготовлени вспененных изделий
SU1260203A1 (ru) Установка дл изготовлени строительных изделий на кассетно-конвейерных лини х
GB2048348A (en) Insulated window or door frame
RU1773723C (ru) Устройство дл изготовлени изделий из пенопласта
SU1209467A1 (ru) Термический пресс
SU1440605A1 (ru) Затравка дл установки непрерывной разливки металлов
KR20110069342A (ko) 코크스오븐의 도어
SU1232359A1 (ru) Машина дл изготовлени безопочных форм
JPS5929947Y2 (ja) 押込通風型冷却機エヤシ−ル装置
SU1687593A1 (ru) Дверь коксовой печи