RU96116893A - Оптическая колонка для излучения частиц - Google Patents

Claims (7)

1. Оптическая колонка для излучения частиц, включающая игольчатый источник ионов, вытягивающий электрод, конденсорную линзу и систему чередующейся квадрупольной линзы, служащая для получения остро сфокусированного пучка частиц, причем в чередующейся линзе применено критическое соотношение электрических и магнитных полей, в результате чего отрицательная хроматическая аберрация чередующихся линз устраняет положительную хроматическую аберрацию всех остальных излучающих частицы оптических компонентов, а диаметр пятна преимущественно не зависит от небольших колебаний в энергии частиц.

2. Оптическая колонка для излучения частиц по п. 1, дополнительно включающая скоростной фильтр Винера, расположенный между источником ионов и чередующимися квадрупольными линзами и служащий для получения остро сфокусированного пучка частиц с одинаковой массой.

3. Оптическая колонка для излучения частиц с разделением по массе по п. 2, дополнительно включающая пучок, пересекающийся с фильтром Винера и, тем самым, снижающий аберрации относительно колонки, в которой широкий пучок проходит через фильтр Винера.

4. Оптическая колонка для излучения частиц, включающая игольчатый источник ионов, вытягивающий электрод и множество чередующихся квадрупольных линз, служащая для получения остро сфокусированного пучка частиц, причем в чередующейся линзе применено критическое соотношение электрических и магнитных полей, в результате чего не происходит добавления хроматической аберрации к положительной хроматической аберрации, генерируемой игольчатым источником ионов и вытягивающим электродом, а зависимость диаметра пятна от энергии снижено по сравнению с колонкой, использующей лишь электростатические линзы для генерирования острых пучков.

5. Оптическая колонка для излучения частиц по п. 4, дополнительно включающая скоростной фильтр Винера, расположенный между источником ионов и чередующимися квадрупольными линзами и служащий для получения остро сфокусированного пучка частиц с одинаковой массой.

6. Оптическая колонка для излучения частиц с разделением по массе по пункту 5, дополнительно включающая пучок, пересекающийся с фильтром Винера и, тем самым, снижающий аберрации относительно колонки, в которой широкий пучок проходит через фильтр Винера.

7. Оптическая колонка для излучения частиц, служащая для получения остро сфокусированного пучка частиц, включающая игольчатый источник ионов и множество линз, и дополнительно включающая систему чередующейся квадрупольной линзы, в которой применено критическое соотношение электрических и магнитных полей, в результате чего отрицательная хроматическая аберрация чередующихся линз устраняет положительную хроматическую аберрацию всех остальных излучающих частицы оптических компонентов, а диаметр пятна преимущественно не зависит от небольших колебаний в энергии частиц.