RU96100628A

RU96100628A - Биокарбон, способ его получения и устройство, реализующее этот способ

Info

Publication number: RU96100628A
Application number: RU96100628/02A
Authority: RU
Inventors: А.А. Адамян; В.Г. Бабаев; М.Б. Гусева; И.А. Лавыгин; Н.Д. Новиков
Original assignee: Акционерное общество закрытого типа "Тетра"
Filing date: 1996-01-12
Publication date: 1997-10-27

Claims

1. Биокарбон, основанный из образующих слой линейных цепочек углерода, ориентированных нормально к поверхности слоя, отличающийся тем, что линейные цепочки углерода, образующие слой, организованы в гексагональные плотноупакованные структуры с расстоянием между цепочками углерода 4,8 - 5,03

при этом при наличии числа слоев больше одного, слои идентичны и статистически смещены друг относительно друга.

2. Способ получения биокарбона по п. 1, основанный на испарении графита в вакууме, конденсации углерода на подложку с попеременным облучением подложки ионами инертного газа, отличающийся тем, что испарение графита осуществляют импульсным дуговым разрядом, создают вне области разрядного промежутка дугового разряда компенсированные бестоковые плазменные форсгустки углеродной плазмы плотностью 5•10¹ ² - 1•10¹ ³ см^- ³, длительностью 200 - 600 мкс, частотой следования 1 - 5 Гц, направляют перпендикулярно потоку компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы поток ионов инертного газа с энергией 150 - 2000 эВ, на подложке, находящейся при 20 - 50^oС, формируют биокарбон в виде образующих слой линейных цепочек углерода, ориентированных нормально к поверхности слоя, а при числе слоев больше одного, слои идентичны и статистически смещены друг относительно друга.

3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что его осуществляют при давлении внутри вакуумной камеры 1•10^- ¹ - 1•10^- ² Пa.

4. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве инертного газа используют аргон.

5. Устройство для получения биокарбона по п. 2, содержащее вакуумную камеру, внутри которой установлены катод основного разряда, выполненный из графита, анод основного разряда, поджигающий электрод, катод вспомогательного разряда, отделенный от поджигающего электрода диэлектрической вставкой, а также источник электропитания, отличающееся тем, что в корпусе вакуумной камеры выполнены два боковых фланца, оси которых взаимно перпендикулярны, внутри одного из них размещены выполненный в виде цилиндра катод основного разряда, анод вспомогательного разряда, охватывающий с зазором катод основного разряда, причем внутренняя поверхность анода вспомогательного разряда выполнена с коническим срезом, обращенным вместе с одним из торцов катода основного разряда в сторону анода основного разряда, выполненного в виде двух колец, жестко соединенных металлическими стержнями, установленными с равным шагом по окружности, при этом поджигающий электрод, диэлектрическая вставка, катод вспомогательного разряда выполнены в виде диска, жестко соединены и установлены между анодами основного и вспомогательного разрядов, причем анод вспомогательного разряда, катод основного разряда, поджигающий электрод, катод вспомогательного разряда, диэлектрическая вставка, анод основного разряда установлены соосно с подложкодержателем, установленным внутри вакуумной камеры в заанодном пространстве с возможностью планетарного вращения вокруг вертикальной оси и электрически соединенным с корпусом вакуумной камеры, причем внутри другого бокового фланца вакуумной камеры установлен источник ионного облучения подложки, сообщаемый с вакуумной камерой кольцевым отверстием, а также устройство содержит конденсатор и индуктивность, один вывод которой подключен к катоду основного разряда, а другой вывод соединен с отрицательно заряженной обкладкой конденсатора, положительно заряженная обкладка которого соединена с анодом основного разряда, при этом выводы источника электропитания подключены к соответствующим обкладкам конденсатора.

6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что катод основного разряда выполнен из графита, имеющего чистоту не менее 99,8%.