RU2788975C1 - Установка очистки инертных газов - Google Patents
Установка очистки инертных газов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2788975C1 RU2788975C1 RU2022112744A RU2022112744A RU2788975C1 RU 2788975 C1 RU2788975 C1 RU 2788975C1 RU 2022112744 A RU2022112744 A RU 2022112744A RU 2022112744 A RU2022112744 A RU 2022112744A RU 2788975 C1 RU2788975 C1 RU 2788975C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- unit
- molecular sieve
- nitrogen
- purification
- carbon monoxide
- Prior art date
Links
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 18
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims abstract description 15
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 11
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N Manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910000468 manganese oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L manganese(II,III) oxide Inorganic materials [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 15
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 4
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003638 reducing agent Substances 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 101700042421 LMTK2 Proteins 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium(0) Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton(0) Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon(0) Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon(0) Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение относится к очистке инертных газов от примесей и может быть использовано в химической, металлургической, энергетической, электронной и других отраслях промышленности. Установка содержит блок очистки газов от кислорода с кислородным насосом с электрохимической мембраной из твердооксидного электролита на основе стабилизированного диоксида циркония, блок удаления влаги и диоксида углерода, содержащий молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA и/или NaX и/или СаА, блок очистки от иных примесей, конструктивно разделенный на блок поглощения водорода и блок поглощения азота и оксида углерода. При этом блок поглощения водорода содержит смесь палладированного оксида марганца и молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA, и/или NaX, и/или СаА. Блок поглощения азота и оксида углерода предназначен для низкотемпературной физической адсорбции азота и оксида углерода на молекулярном сите при криогенных температурах и состоит из двух одинаковых попеременно работающих адсорберов-десорберов с реализованной регенерацией сорбента в виде молекулярного сита, а также криогенного охладителя. Установка позволяет производить очистку инертных газов от влаги и диоксида углерода, а также от иных примесей без использования нерегенерируемых сорбентов, а очистку от кислорода без использования сорбентов. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к очистке инертных газов от примесей и может быть использовано в химической, металлургической, энергетической, электронной и других отраслях промышленности.
Известна установка для очистки инертного газа SIRCAL МР-2000 (Sircal Instruments | Rare Gas Purifier Model MP-2000 [Electronic resource. URL: http://www.sircal.co.uk/Main/russian/product/ru-mp-2000 (accessed: 15.10.2021) [1].
Установка содержит два, последовательно соединенных блока. Первый блок -это печь, в которой последовательно по ходу движения инертного газа расположены две газопоглотительные трубки: первая трубка с наполнителем из титановой губки, который при 680°С посредством химической реакции удаляет кислород и азот, а вторая трубка с наполнителем из окиси меди при 450°С, который также посредством химической реакции удаляет угарный газ, кислород и углеводороды. Во втором блоке газ проходит через работающую при комнатной температуре трубку осушителя с молекулярным ситом, в которой посредством физической адсорбции из инертного газа удаляются влага и углекислый газ. Очистка от всех примесей, за исключением влаги и диоксида углерода, осуществляемая на известной установке, производится на нерегенерируемых сорбентах относительно низкой емкости и высокой стоимости.
Наиболее близкой к заявляемой является установка (CN 10118198, опубл.21.05.2021) [2]. Установка содержит блок управления, а также последовательно соединенные между собой по ходу движения очищаемого газа три функциональных блока. В первом из них с помощью нагретого до 200-320°С углеродсодержащего восстановителя удаляется кислород. Второй блок состоит из двух попеременно работающих адсорберов с реализованной регенерации сорбента (молекулярного сита), в которых удаляется влага и диоксид углерода. В третьем блоке удаляются другие примеси с помощью сорбента на основе сплава Zr, Ti, тем самым получая высокочистый аргон уровня 6N (99,9999%).
Очистка от всех примесей, за исключением влаги и диоксида углерода, осуществляемая на известной установке, производится также на нерегенерируемых сорбентах относительно низкой емкости и высокой стоимости.
Задача изобретения заключается в снижении стоимости процесса очистки инертных газов путем замены устройств, реализующих способы очистки от азота, водорода, оксида углерода и кислорода нерегенерируемыми дорогостоящими сорбентами, такими, например, как металлические цирконий или титан или их сплав или специальные углеродсодержащие восстановители кислорода, не загрязняющие очищаемый инертный газ другими, изначально не содержащимися примесями.
Для этого предложена установка очистки инертных газов, содержащая блок очистки газов от кислорода, блок удаления влаги и диоксида углерода, а также блок очистки от иных примесей с использованием сорбента, при этом блок удаления влаги и диоксида углерода состоит из двух одинаковых попеременно работающих адсорберов с реализованной регенерацией сорбента в виде молекулярного сита. Установка отличается тем, что блок очистки газов от кислорода содержит кислородный насос с электрохимической мембраной из твердооксидного электролита на основе стабилизированного диоксида циркония, блок удаления влаги и диоксида углерода содержит молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA и/или NaX и/или СаА, а блок очистки от иных примесей конструктивно разделен на блок поглощения водорода и блок поглощения азота и оксида углерода, при этом блок поглощения водорода содержит смесь палладированного оксида марганца и молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA и/или NaX и/или СаА, а блок поглощения азота и оксида углерода, предназначенный для низкотемпературной физической адсорбции азота и оксида углерода на молекулярном сите при криогенных температурах, состоит из двух одинаковых попеременно работающих адсорберов-десорберов с реализованной регенерацией сорбента в виде молекулярного сита, а также криогенного охладителя.
В частных случаях исполнения установка характеризуется тем, что смесь палладированного оксида марганца, содержащаяся в блоке поглощения водорода, отделена от потока очищаемой инертной газовой среды тонкой мембраной, проницаемость которой по водороду значительно выше, чем по влаге. В качестве тонкой мембраны использована пленка полиэтилена низкой плотности толщиной не более 40 мкм. В качестве криогенного охладителя блок поглощения азота и оксида углерода содержит криогенную морозильную камеру.
В блоке удаления влаги и диоксида углерода осуществляется физическая адсорбция данных примесей на молекулярных ситах из цеолитов. Очистку газов от кислорода в соответствующем блоке осуществляют с помощью кислородного насоса с электрохимической мембраной из твердооксидного электролита на основе стабилизированного диоксида циркония. При подаче в камеру газа, содержащего кислород, последний мигрирует через твердооксидный электролит в противоположную камеру и обедняет исходный газ. Очистка от азота и оксида углерода в заявляемой установке предлагается посредством их адсорбции молекулярными ситами из цеолитов. Температурный диапазон и тип цеолитов выбран на основе литературных данных по адсорбции данных газов (Брек Д. Цеолитовые молекулярные сита. Москва: Издательство «Мир». 1976) [3]. Таким образом, в заявляемой установке очистка инертных газов от влаги и диоксида углерода, а также от иных примесей осуществляется на регенерируемых сорбентах, а очистка от кислорода осуществляется без использования сорбентов.
Новый технический результат, достигаемый изобретением, заключается в возможности очистки инертных газов от влаги и диоксида углерода, а также от иных примесей без использования нерегенерируемых сорбентов.
Изобретение иллюстрируется чертежом, на котором показан общий вид предлагаемой установки, которая содержит - блок удаления влаги и диоксида углерода 1, состоящий из двух одинаковых адсорберов-десорберов 2, блок очистки газов от кислорода 3, содержащий кислородный насос 4 с электрохимической мембраной из твердооксидного электролита на основе стабилизированного диоксида циркония, блок поглощения водорода 5, блок поглощения азота и оксида углерода 6, состоящий из двух одинаковых адсорберов-десорберов 7, а также криогенного охладителя 8.
Установка содержит блок питания и управления 9 и работает следующим образом. Поступая в блок 1, инертная газовая среда очищается от паров воды (влаги) и диоксида углерода СО2 посредством физической адсорбции на молекулярных ситах из цеолитов, в данном примере из смеси цеолитов типа NaA и NaX, в одном из адсорберов/десорберов. Во втором адсорбере/десорбере осуществляется регенерация сорбента или он находится в резерве, готовый к работе. Затем инертная газовая среда поступает в блок 3, где производится очистка от кислорода с помощью кислородного электрохимического насоса 4. После чего, поступая в блок 5, инертная газовая среда очищается от водорода с использованием смеси палладированного оксида марганца для превращения водорода во влагу и молекулярного сита, в данном примере из цеолита типа NaA, для физической адсорбции полученной влаги. Для исключения повторного загрязнения инертной газовой среды влагой, смесь палладированного оксида марганца и молекулярного сита, в данном примере, цеолита типа NaA, расположена не в потоке очищаемой инертной газовой среды, а отделена от очищаемого инертного газа тонкой мембраной, проницаемость которой по водороду значительно выше, чем ее проницаемость по влаге, например, мембраной из полиэтилена низкой плотности (высокого давления) толщиной не более 40 мкм. Поступая в блок 6, инертная газовая среда очищается от азота и оксида углерода СО в одном из двух адсорберов/десорберов, посредством низкотемпературной физической адсорбции на молекулярном сите, в данном примере из цеолита типа NaX, при температурах от минус 78°С и ниже, но не ниже минус 195°С для очистки гелия и неона, не ниже минус 185°С, минус 152°С и минус 106°С для очистки аргона, криптона и ксенона, соответственно. Во втором адсорбере/десорбере осуществляется регенерация сорбента или он находится в резерве, готовый к работе. В эксперименте показано достижение технического результата при использовании молекулярного сита из цеолитов или их смеси типа NaA и/или NaX и/или СаА.
Таким образом, новая установка позволяет производить очистку инертных газов от влаги и диоксида углерода, а также от иных примесей на регенерируемых сорбентах, а очистку от кислорода - без использования сорбентов.
Claims (4)
1. Установка очистки инертных газов, содержащая блок очистки газов от кислорода, блок удаления влаги и диоксида углерода, а также блок очистки от иных примесей с использованием сорбента, при этом блок удаления влаги и диоксида углерода состоит из двух одинаковых попеременно работающих адсорберов с реализованной регенерацией сорбента в виде молекулярного сита, отличающаяся тем, что блок очистки газов от кислорода содержит кислородный насос с электрохимической мембраной из твердооксидного электролита на основе стабилизированного диоксида циркония, блок удаления влаги и диоксида углерода содержит молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA, и/или NaX, и/или СаА, а блок очистки от иных примесей конструктивно разделен на блок поглощения водорода и блок поглощения азота и оксида углерода, при этом блок поглощения водорода содержит смесь палладированного оксида марганца и молекулярное сито из цеолитов или их смеси типа NaA, и/или NaX, и/или СаА, а блок поглощения азота и оксида углерода, предназначенный для низкотемпературной физической адсорбции азота и оксида углерода на молекулярном сите при криогенных температурах, состоит из двух одинаковых попеременно работающих адсорберов-десорберов с реализованной регенерацией сорбента в виде молекулярного сита, а также криогенного охладителя.
2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что смесь палладированного оксида марганца, содержащаяся в блоке поглощения водорода, отделена от потока очищаемой инертной газовой среды тонкой мембраной, проницаемость которой по водороду значительно выше, чем по влаге.
3. Установка по п. 2, отличающаяся тем, что в качестве тонкой мембраны использована пленка полиэтилена низкой плотности толщиной не более 40 мкм.
4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве криогенного охладителя блок поглощения азота и оксида углерода содержит криогенную морозильную камеру.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2788975C1 true RU2788975C1 (ru) | 2023-01-26 |
Family
ID=
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU222347A1 (ru) * | Государственный проектный , научно исследовательский институт | УГЛЕВОДОРОДОВ Ci-Ci | ||
| SU504545A1 (ru) * | 1974-06-05 | 1976-02-28 | Предприятие П/Я А-1665 | Установка дл очистки и разделени газов |
| US8337593B2 (en) * | 2010-08-18 | 2012-12-25 | Uop Llc | Process for purifying natural gas and regenerating one or more adsorbers |
| CN101628197B (zh) * | 2008-07-17 | 2013-04-24 | 气体产品与化学公司 | 通过吸附硫化氢进行的气体纯化 |
| RU2569351C2 (ru) * | 2013-11-27 | 2015-11-20 | Игорь Анатольевич Мнушкин | Установка адсорбционной осушки жидких меркаптанов |
| US9295939B2 (en) * | 2008-04-06 | 2016-03-29 | Innosepra Llc | Carbon dioxide recovery |
| RU2648062C1 (ru) * | 2016-11-28 | 2018-03-22 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное объединение "НефтеХимПроект" | Установка адсорбционной осушки газов |
| RU2683083C1 (ru) * | 2017-12-19 | 2019-03-26 | Публичное акционерное общество "СИБУР Холдинг" | Способ очистки углеводородных газов от примесей |
| RU2713359C1 (ru) * | 2018-06-04 | 2020-02-04 | Публичное акционерное общество "Аквасервис" | Двухконтурная мембранно-адсорбционная установка для осушки сжатых газов |
| CN105749699B (zh) * | 2016-03-31 | 2020-04-21 | 四川天采科技有限责任公司 | 一种全温程变压吸附气体分离提纯与净化的方法 |
| RU2768823C1 (ru) * | 2021-02-16 | 2022-03-24 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Блок комплексной очистки воздуха |
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU222347A1 (ru) * | Государственный проектный , научно исследовательский институт | УГЛЕВОДОРОДОВ Ci-Ci | ||
| SU504545A1 (ru) * | 1974-06-05 | 1976-02-28 | Предприятие П/Я А-1665 | Установка дл очистки и разделени газов |
| US9295939B2 (en) * | 2008-04-06 | 2016-03-29 | Innosepra Llc | Carbon dioxide recovery |
| CN101628197B (zh) * | 2008-07-17 | 2013-04-24 | 气体产品与化学公司 | 通过吸附硫化氢进行的气体纯化 |
| US8337593B2 (en) * | 2010-08-18 | 2012-12-25 | Uop Llc | Process for purifying natural gas and regenerating one or more adsorbers |
| RU2569351C2 (ru) * | 2013-11-27 | 2015-11-20 | Игорь Анатольевич Мнушкин | Установка адсорбционной осушки жидких меркаптанов |
| CN105749699B (zh) * | 2016-03-31 | 2020-04-21 | 四川天采科技有限责任公司 | 一种全温程变压吸附气体分离提纯与净化的方法 |
| RU2648062C1 (ru) * | 2016-11-28 | 2018-03-22 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное объединение "НефтеХимПроект" | Установка адсорбционной осушки газов |
| RU2683083C1 (ru) * | 2017-12-19 | 2019-03-26 | Публичное акционерное общество "СИБУР Холдинг" | Способ очистки углеводородных газов от примесей |
| RU2713359C1 (ru) * | 2018-06-04 | 2020-02-04 | Публичное акционерное общество "Аквасервис" | Двухконтурная мембранно-адсорбционная установка для осушки сжатых газов |
| RU2768823C1 (ru) * | 2021-02-16 | 2022-03-24 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Блок комплексной очистки воздуха |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5392745B2 (ja) | キセノンの濃縮方法、キセノン濃縮装置、及び空気液化分離装置 | |
| US8153091B2 (en) | Xenon retrieval system and retrieval device | |
| NO334452B1 (no) | Fremgangsmåte for rensing av syntesegass | |
| CN102083512A (zh) | 二氧化碳回收 | |
| Zanco et al. | Addressing the criticalities for the deployment of adsorption-based CO2 capture processes | |
| KR20200036896A (ko) | 기체 수소 스트림의 연속 제조 방법 | |
| JP5248478B2 (ja) | キセノンの濃縮方法および濃縮装置 | |
| JP2013124193A (ja) | ヘリウムガスの精製方法および精製装置 | |
| CA2275962A1 (en) | Method for purifying a cryogenic fluid by filtration and adsorption | |
| RU2788975C1 (ru) | Установка очистки инертных газов | |
| JP2008188493A (ja) | 水処理装置 | |
| US20100115994A1 (en) | Adsorbent for carbon monoxide, gas purification method, and gas purification apparatus | |
| JP2004148315A (ja) | 原料ガス流からの亜酸化窒素除去方法及び装置 | |
| KR100856912B1 (ko) | 정제질소 공급장치 | |
| US3893827A (en) | Selective removal of constituents from fluids | |
| JP4719598B2 (ja) | 空気液化分離における前処理方法及び装置 | |
| JPH0812602A (ja) | トリフルオロメタンの精製法 | |
| JPH0230607A (ja) | 高純度窒素の製造方法 | |
| JPH04310509A (ja) | 窒素中の不純酸素の除去方法 | |
| RU2323157C2 (ru) | Способ очистки гелия от примеси изотопов водорода | |
| JP5684898B2 (ja) | ガス精製方法 | |
| JPH0531331A (ja) | 水素同位体の分離方法 | |
| JP2000121241A (ja) | Ｎ２Ｏ，ＣｎＨｍ及び／又はＮＯｘ不純物を含む極低温の流体を精製する方法 | |
| JPH0255203A (ja) | 高純度酸素製造方法 | |
| KR101824771B1 (ko) | 표면개질된 활성탄을 이용한 이산화탄소 흡착분리 방법 |