RU2769533C1 - Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя - Google Patents
Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя Download PDFInfo
- Publication number
- RU2769533C1 RU2769533C1 RU2021122211A RU2021122211A RU2769533C1 RU 2769533 C1 RU2769533 C1 RU 2769533C1 RU 2021122211 A RU2021122211 A RU 2021122211A RU 2021122211 A RU2021122211 A RU 2021122211A RU 2769533 C1 RU2769533 C1 RU 2769533C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- elements
- coating
- microns
- carried out
- hour
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
- C23C28/021—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/38—Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
- C25D3/62—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of gold
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способу получения покрытия на элементах коаксиального СВЧ-переключателя из алюминиево-магниевого сплава АМг6, которые могут быть использованы в сфере авиации, космоса и других отраслей промышленности. Проводят первоначальный отжиг указанных элементов в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа. Затем на элементы наносят покрытие состава никель-фосфор толщиной в 3-6 мкм химическим методом. После чего элементы повторно отжигают в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа. Затем проводят электрохимическое меднение с получением толщины покрытия в 1-3 мкм. После чего осуществляют электрохимическое осаждение сплава золото-кобальт слоем 2-3 мкм. Затем на элементы напыляют молибденовое покрытие с толщиной покрытия 0,2 мкм электронно-лучевым методом с вращением в вакууме в течение 60 мин. Обеспечивается хорошая электрическая проводимость, высокая коррозионная стойкость и максимальная защита указанных элементов от мультипакторного пробоя при работе в условиях вакуума. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области производства защитных покрытий, которые могут быть использованы в сфере авиации, космоса и других отраслей промышленности.
Известен способ подавления вторично электронного резонансного заряда или мультипакторного заряда в вакуумном промежутке между двумя электродами, где возбуждают дополнительное высокочастотное электрическое поле на другой частоте, которое препятствует лавинообразному нарастанию электронов в промежутке между двумя электродами и, следовательно, приводит к подавлению мультипакторного эффекта [Авторское свидетельство СССР №263767].
Недостатком данного способа является его фактическая нереализованность.
Известна работа, где описаны методы подавления мультипакторного эффекта на образцах из алюминия с покрытием из серебра. В данном методе изготавливаются мелкопористые поверхности, при помощи фотолитографии или методом прямого химического травления для получения неровных микропористых поверхностей [Valentin Nistor, Luis A. Gonzalez, Lydya Aguilera, Isabel Montero, Luis Calan, Ulrich Wochner, David Raboso Multipactor suppression by micro-structured gold/silver coatings for space applications. Journal of Applied Sarface Science 315 (2014)].
Недостатком методов является высокая сложность изготовления.
В качестве ближайшего аналога предполагаемого изобретения является работа, где исследован метод подавления мультипакторного эффекта на волноводных трансформаторах из алюминия с покрытием никеля, серебра, и после влажного химического травления поверхности серебра, дополнительно покрывается слоем золота [Wan-Zhao Cui, Yun L, Jing Yang, An efficient multipaction suppression method in microwave components for space application. Chinese Phys. B Vol. 25, No. 6 (2016)].
Недостатком метода является увеличение мощности пробоя в несколько раз и некритичное повышение собственных потерь.
Целью изобретения является улучшение электрических параметров и эксплуатационных характеристик коаксиального СВЧ-переключателя, т.к. в условиях пониженного давления и при высоком уровне СВЧ-мощности (350-400 Вт) характерно возникновение мультипакторного эффекта в коаксиальных СВЧ-переключателях, где при определенных условиях вторичная электронная эмиссия в резонансе приводит к экспоненциальному размножению электронов, что может привести к пробою и выходу аппаратуры из строя. В борьбе с причинами возникновения мультипактора необходимо заменить используемые металлы на материалы с низким уровнем вторичной эмиссии электронов.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является способ покрытия элементов радиоэлектронного оборудования, обеспечивающий хорошую электрическую проводимостью, высокой коррозийной стойкостью и максимальную защиту элементной базы от мультипакторного пробоя при работе в условиях вакуума.
Технический результат достигается тем, что при изготовлении коаксиального СВЧ-переключателя, включающего формирование внешней коаксиальной линии из алюминиево-магниевого сплава (далее АМг6), который имеет высокую прочность и твердость, хорошую устойчивость металла к коррозии и вибрации, низкий удельный вес, что немаловажно использования СВЧ-переключателя в космической аппаратуре, которая сначала отжигается в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, далее ее покрывают химическим способом для наиболее прочного сцепления с базовым подслоем составом никель-фосфор толщиной в 3-6 мкм, после чего снова отжигают в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, затем проводится процесс электрохимического меднения с получением толщины покрытия в 1-3 мкм, после чего производится электрохимическое осаждение сплава золото-кобальт с концентрацией золота (99,5-99,9%) слоем 2-3 мкм. Благодаря многослойному покрытию снижается переходное сопротивление, сохраняется постоянство электрических параметров, повышается износостойкость СВЧ-переключателя. В последующем на внешнюю коаксиальную линию с прямоугольным сечением внешнего экрана коаксиального СВЧ-переключателя производится напыление молибденового покрытия с толщиной покрытия ≈0,2 мкм электронно-лучевым методом с вращением в вакууме в течение 60 мин., для обеспечения работоспособности в условиях пониженного атмосферного давления, поскольку молибден имеет низкий коэффициент вторичной электронной эмиссии.
Структура защитного покрытия приведена на фиг. 1 на которой изображены: сплав АМг6 - 1; слой состава никель-фосфор - 2; слой меди - 3; слой сплава золото-кобальт - 4; слой молибдена - 5.
Предлагаемый способ заключается в том, что алюминиево-магниевый сплав (далее АМг6) (1) (фиг. 1), из которого изготавливают внешнюю коаксиальную линии коаксиального СВЧ-переключателя отжигают в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, затем на элементы наносится покрытие состава никель-фосфор (2) толщиной в 3-6 мкм химическим способом, после чего элементы повторно отжигаются в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, затем проводится процесс электрохимического меднения (3) с получением толщины покрытия в 1-3 мкм, после чего производится электрохимическое осаждение сплава золото-кобальт (4) с концентрацией золота (99,5-99,9%) слоем 2-3 мкм, в последующем на элементы производится напыление молибденового покрытия (5) с толщиной покрытия ≈0,2 мкм электронно-лучевым методом с вращением в вакууме в течение 60 мин.
Таким образом, обеспечивается хорошая электрическая проводимость, высокая коррозийная стойкость и максимальная защита элементной базы коаксиального СВЧ-переключателя от мультипакторного пробоя при работе в условиях вакуума.
Позициями на чертежах обозначены:
1 - сплав АМг6;
2 - слой химического никелирования;
3 - слой меди;
4 - слой сплава золото-кобальт;
5 - слой молибдена.
Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР №263767 МПК: Н05Р 7/02, опубликовано в 10.11.1970.
2. Valentin Nistor, Luis A. Gonzalez, Lydya Aguilera, Isabel Montero, Luis Calan, Ulrich Wochner, David Raboso Multipactor suppression by micro-structured gold/silver coatings for space applications. Journal of Applied Sarface Science 315 (2014).
3. Wan-Zhao Cui, Yun L, Jing Yang, An efficient multipaction suppression method in microwave components for space application. Chinese Phys. B Vol. 25, No. 6 (2016).
Claims (1)
- Способ получения покрытия на элементах коаксиального СВЧ-переключателя из алюминиево-магниевого сплава АМг6, характеризующий тем, что проводят первоначальный отжиг указанных элементов в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, затем на элементы наносят покрытие состава никель-фосфор толщиной в 3-6 мкм химическим методом, после чего элементы повторно отжигают в муфельной печи при температуре 330°С в течение одного часа, затем проводят электрохимическое меднение с получением толщины покрытия в 1-3 мкм, после чего осуществляют электрохимическое осаждение сплава золото-кобальт слоем 2-3 мкм, затем на элементы напыляют молибденовое покрытие с толщиной покрытия 0,2 мкм электронно-лучевым методом с вращением в вакууме в течение 60 мин.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2021122211A RU2769533C1 (ru) | 2021-07-26 | 2021-07-26 | Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2021122211A RU2769533C1 (ru) | 2021-07-26 | 2021-07-26 | Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2769533C1 true RU2769533C1 (ru) | 2022-04-01 |
Family
ID=81076195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2021122211A RU2769533C1 (ru) | 2021-07-26 | 2021-07-26 | Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2769533C1 (ru) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1086929A (en) * | 1964-08-17 | 1967-10-11 | Philips Electronic Associated | Improvements in electrically-controllable microwave switches |
DE1270634B (de) * | 1964-08-17 | 1968-06-20 | Philips Patentverwaltung | Elektrisch gesteuerter koaxialer Mikrowellenschalter |
RU2451111C1 (ru) * | 2011-01-31 | 2012-05-20 | Денис Анатольевич Романов | Способ нанесения на контактные поверхности электроэрозионно-стойких молибден-медных композиционных покрытий с наполненной структурой |
-
2021
- 2021-07-26 RU RU2021122211A patent/RU2769533C1/ru active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1086929A (en) * | 1964-08-17 | 1967-10-11 | Philips Electronic Associated | Improvements in electrically-controllable microwave switches |
DE1270634B (de) * | 1964-08-17 | 1968-06-20 | Philips Patentverwaltung | Elektrisch gesteuerter koaxialer Mikrowellenschalter |
RU2451111C1 (ru) * | 2011-01-31 | 2012-05-20 | Денис Анатольевич Романов | Способ нанесения на контактные поверхности электроэрозионно-стойких молибден-медных композиционных покрытий с наполненной структурой |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016013649A1 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JPH06243822A (ja) | 多層多重極 | |
JP6583003B2 (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
CN103794459B (zh) | 用于等离子处理腔室的气体喷淋头及其涂层形成方法 | |
CN109036697A (zh) | 一种新型复合导线及其制作方法 | |
CN109112602A (zh) | 一种提高陶瓷涂层与金属基体结合力的激光方法 | |
RU2769533C1 (ru) | Способ покрытия элементов коаксиального свч-переключателя | |
US4725449A (en) | Method of making radio frequency ion source antenna | |
CN108323020A (zh) | 陶瓷铝基板的生产方法 | |
CN111270249A (zh) | 一种铝基材料及降低二次电子发射系数的表面处理方法 | |
JP2007005709A (ja) | Led照明装置用の低熱抵抗配線基板およびled照明装置 | |
EP0690035A1 (en) | Metallization of ferrites comprising surface reduction | |
KR20030041217A (ko) | Icp 발생 장치의 안테나 전극 | |
CN112010680A (zh) | 微波介质陶瓷器件及其制造方法 | |
US20060189143A1 (en) | Metal structure with sidewall passivation and method | |
CN104428272A (zh) | 处理由氧化铝组成的装置的表面层的方法及相应的装置,特别是x射线管组件 | |
JP4165195B2 (ja) | 金属コア基板及び金属コア配線板 | |
WO2023120112A1 (ja) | 積層構造体、ステージ、半導体製造装置および積層構造体の製造方法 | |
RU2767922C1 (ru) | Способ нанесения электропроводящего твердосмазочного износостойкого покрытия на кинематические контактные пары из медных сплавов | |
JP2004253997A (ja) | 電子部品の製造方法、電子部品、共振器、及びフィルタ | |
CN109536890B (zh) | 一种适用于电真空器件的在衬底上形成氧化铬膜的方法 | |
US20220246404A1 (en) | Sealant coating for plasma processing chamber components | |
SU157442A1 (ru) | ||
JP4753489B2 (ja) | Dlc被覆粉体の焼結体の製造方法 | |
Xu et al. | Dielectric Performance of Oxidation Ceramic Coating for High Temperature Insulation |