JP4753489B2 - Dlc被覆粉体の焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微粒子にDLC(Diamond Like Carbon)膜を被覆した粉体及びそれを焼結した焼結体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の粉体には種々の微粒子からなるものがあり、例えばSiC、SiO2、MoS2などの微粒子が用いられることがある。
また、粉体の他の例としては、BN等の微粒子を複数備えたものがある。この微粒子を有する粉体を圧縮成形した後、高温に加熱して焼き固めて焼結体を製造することが可能である。このような焼結体は耐磨耗性に優れており、例えばオイルレス・ベアリングに使用される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、BN等の微粒子を用いた焼結体は耐磨耗性に優れている。しかし、用途よっては更なる耐磨耗性が要求される場合もある。
【0004】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、非常に高い耐磨耗性を有するDLC被覆粉体及びその焼結体を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係るDLC被覆粉体は、微粒子と、この微粒子に被覆されたDLC膜と、を具備することを特徴とする。また、上記微粒子の粒径は10μm以下であり、上記DLC膜の膜厚は3nm以上2000nm以下であることが好ましい。
【0006】
上記DLC被覆粉体によれば、微粒子にDLC膜を被覆しており、このDLC膜は非常に高い耐磨耗性を有する。従って、非常に高い耐磨耗性を有する粉体とすることが可能となる。
【0007】
また、本発明に係るDLC被覆粉体においては、上記DLC膜の密着性を高めるために上記微粒子と該DLC膜との間に形成された中間層をさらに含むことも可能である。なお、上記中間層は、Si層、Ti層、Cr層、SiC層、ヘキサメチルジシロキサン等を原料ガスとして用いて作製するSi及び酸素を含有するアモルファスカーボン層等を用いることも可能である。
【0008】
本発明に係るDLC被覆粉体の焼結体は、微粒子と、この微粒子に被覆されたDLC膜と、を有する粉体を焼結によって結合したことを特徴とする。すなわち、DLC被覆粉体の焼結体は、この粉体を成形し加熱して焼き固めたものである。
【0009】
上記DLC被覆粉体の焼結体によれば、微粒子にDLC膜を被覆した粉体を用いており、このDLC膜は非常に高い耐磨耗性を有する。従って、非常に高い耐磨耗性を有する焼結体とすることが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の実施の形態によるDLC被覆粉体を示す断面図である。
【0011】
DLC膜被覆粉体は、図1に示すように非常に小さな粒である微粒子1にDLC膜2を被覆したものである。微粒子1を構成する母材は、金属でもセラミックでも良く、種々の材料を用いることが可能である。また、微粒子1は、単一の物質から構成されている必要は必ずしも無く、複数の物質を混合したものから構成されていることも可能である。また、微粒子1の形状は、種々の形状を用いることが可能であり、例えば球、球に近い形状、表面に凹凸を有する形状、表面がギザギザした形状などを用いることも可能である。つまり、微粒子の形状は特に限定されるものではない。
【0012】
また、微粒子の粒径1aは10μm以下であることが好ましく、DLC膜2の膜厚は3nm以上2000nm以下であることが好ましい。膜厚が3nm未満であると耐食性が悪くなり、微粒子そのものが腐蝕してしまうおそれがあるからである。また、膜厚が2000nmより厚くなるとDLC膜の内部応力によって該DLC膜が剥離してしまうからである。
【0013】
ここでのDLC膜2は、炭素を主成分とする非晶質炭素系薄膜であって、種々の硬質炭素膜を含むものである。
【0014】
なお、微粒子1にDLC膜2を直接被覆すると微粒子1とDLC膜2との密着性が悪い場合は、微粒子1とDLC膜2との間に、密着性を高めるための中間層を形成することが好ましい。微粒子がセラミックの場合はDLC膜の密着性は比較的に良いが、微粒子がCuやFeなどの金属の場合はDLC膜の密着性は比較的に悪い。従って、微粒子がCuの場合は、中間層として例えばSi層、Ti層、Cr層、SiC層、ヘキサメチルジシロキサン等を原料ガスとして用いて製作するSi及び酸素を含有するアモルファスカーボン層等を用いることが好ましい。
【0015】
次に、上記DLC被覆粉体を製造する方法について説明する。
まず、複数の微粒子1を準備し、これらの微粒子1にプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法によりDLC膜2を成膜する。
【0016】
このDLC膜2の成膜方法の一例としては、少なくとも炭素と水素を含む炭化水素系ガスを例えば0.5mTorr以上500mTorr以下の圧力下で導入し、高周波電源に接続された電極上に被成膜対象物である複数の微粒子1を置き、この電極を回転させたり動かすことによって微粒子1を動かしながら、この電極に30W以上3000W以下の高周波電力を印加して成膜するものが挙げられる。
【0017】
また、上記DLC膜2を成膜する他の方法としては、イオン化蒸着法又はイオンプレーティング法と呼ばれる成膜方法を用いることも可能である。例えば、少なくとも炭素と水素を含む炭化水素系ガスを0.1mTorr以上100mTorr以下の圧力下で導入し、電源によって通電され高温に保持された熱フィラメントをカソードとして用いて、その近傍に配置した電極をアノードとして用いて、両電極間に10V以上200V以下の電圧を印加して10mA以上2000mA以下の電流を流しガスをイオン化させ、カソード・アノードから一定の距離に置いた基板電極に被成膜対象物である複数の微粒子1を設置して、この基板電極を回転させたり動かすことによって微粒子1を動かしながら、基板電極に20V以上3000V以下のバイアス電圧を印加して成膜するものである。
【0018】
尚、炭化水素系ガスとしては、少なくとも炭素と水素を含むものであれば種々のガスを用いることが可能であり、例えば、炭素と水素のみを含む化合物ガス、炭素と水素と酸素を含むガス、炭素、水素、酸素、珪素、窒素、銅、銀などを含むガス、ベンゼン、トルエン、アセチレンなどを用いることも可能である。
【0019】
また、上記成膜条件において炭化水素系ガスの流量としては、上記圧力を実現できるガス流量であれば、種々のガス流量を用いることが可能である。
【0020】
なお、前述したように、微粒子1とDLC膜2との間に、密着性を高めるための中間層を形成する場合の製造方法は次の通りである。中間層として、Si層、Ti層、Cr層、SiC層を形成する場合はスパッタリング法を用いることが好ましく、中間層としてSi及び酸素を含有するアモルファスカーボン層を形成する場合は、ヘキサメチルジシロキサン等を原料ガスとしてイオン化蒸着法または高周波プラズマCVD法を用いることが好ましい。
【0021】
次に、上記DLC被覆粉体の焼結体を製造する方法について説明する。
第1の方法としては、少なくとも上記DLC被覆粉体を含む原料粉末を500℃以下の温度でホットプレス(熱間焼成)して焼結体とするものが挙げられる。
ホットプレスに際しては、所望形状の内面形状を有するプレス型内に、上記原料粉末を充填し、そのままに面圧を付与して、所定時間、上記の焼結温度で加熱保持して焼結する。
【0022】
第2の方法としては、少なくとも上記DLC被覆粉体を含む原料粉末を、予め所望形状に成形した後、この成形体を不活性ガス中で500℃以下の温度で常圧焼成して焼結体とするものである。
【0023】
上記実施の形態によれば、微粒子1にDLC膜2を被覆しており、このDLC膜2は非常に高い耐磨耗性を有する。これにより、従来の粉体に比べて非常に高い耐磨耗性を有するDLC被覆粉体を形成することができ、非常に高い耐磨耗性を有する焼結体を形成することができる。
【0024】
また、本実施の形態によるDLC被覆粉体の場合、粉体表面がDLCであるので、最も摩耗しにくく揮発しない無機潤滑材などとして使用することが好ましく、例えば、真空中の駆動部又は摩耗部および宇宙空間で使用する機器の駆動部又は摩耗部の固体潤滑材として使用する事が可能である。すなわち、従来の湿式潤滑材では揮発したり化学変化してしまうような環境下においても、DLC被覆粉体を用いれば、揮発したり化学変化することなく、潤滑材として使用することが可能である。真空中でBN粉体、カーボン粉体を使用した場合、しばらくするとかじってしまうが、DLC被覆粉体ではそのようなことがない。また、DLC被覆粉体の場合、DLC成膜が不可能な複雑な形状を有する成膜装置及びその他のもの、DLC成膜により製作することが不可能な大型機械部品などに対しても固体潤滑材として応用する事が可能である。
【0025】
また、DLCが成膜されたDLC被覆粉体を焼結して得られる本実施の形態による焼結体の場合、例えば、この焼結体を工具または機械部品に適用することも可能であり、特に、摩耗が激しく表面の膜や界面が消失してしまうような工具または機械部品に効果がある。つまり、形状が変わるほどの摩耗の激しい部品に適用した場合、表面の膜だけでなく、削られて形状までもが変化しても耐摩耗性の良い物質が表面に常に存在しているから摩擦係数が変化することない。また、DLC被覆粉体と同様に、真空中の駆動部又は摩耗部および宇宙空間で使用される機器の駆動部又は摩耗部において焼結体を適用することも可能であり、その場合、摩耗を減少させる効果が期待できる。
【0026】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、微粒子にDLC膜を被覆した粉体を用いており、このDLC膜は非常に高い耐磨耗性を有する。したがって、非常に高い耐磨耗性を有するDLC被覆粉体及びその焼結体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態によるDLC被覆粉体を示す断面図である。
【符号の説明】
1…微粒子
1a…微粒子の粒径
2…DLC膜
Claims (2)
- 少なくとも炭素と水素を含む炭化水素系ガスを導入し、高周波電源に接続された電極上に微粒子を置き、前記電極を回転させ又は動かすことによって前記微粒子を動かしながら、前記電極に前記高周波電源によって高周波電力を印加するプラズマCVD法により、前記微粒子にDLC膜を被覆して形成された粉体を焼結によって結合することを特徴とするDLC被覆粉体の焼結体の製造方法。
- 少なくとも炭素と水素を含む炭化水素系ガスを導入し、電源によって通電された熱フィラメントをカソードとして用い、前記カソードの近傍に配置した電極をアノードとして用いて前記炭化水素系ガスをイオン化し、基板電極に微粒子を設置し、前記基板電極を回転させ又は動かすことによって前記微粒子を動かしながら、前記基板電極にバイアス電圧を印加するイオン化蒸着法により、前記微粒子にDLC膜を被覆して形成された粉体を焼結によって結合することを特徴とするDLC被覆粉体の焼結体の製造方法。
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