RU2727412C1 - Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана - Google Patents

Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана Download PDF

Info

Publication number
RU2727412C1
RU2727412C1 RU2019121318A RU2019121318A RU2727412C1 RU 2727412 C1 RU2727412 C1 RU 2727412C1 RU 2019121318 A RU2019121318 A RU 2019121318A RU 2019121318 A RU2019121318 A RU 2019121318A RU 2727412 C1 RU2727412 C1 RU 2727412C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layers
titanium
coating
ion
heating
Prior art date
Application number
RU2019121318A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Феодосович Ясенчук
Виктор Эдуардович Гюнтер
Екатерина Сергеевна Марченко
Сергей Викторович Гюнтер
Валентина Николаевна Ходоренко
Олег Викторович Кокорев
Гульшарат Аманболдыновна Байгонакова
Original Assignee
Юрий Феодосович Ясенчук
Виктор Эдуардович Гюнтер
Екатерина Сергеевна Марченко
Сергей Викторович Гюнтер
Валентина Николаевна Ходоренко
Олег Викторович Кокорев
Гульшарат Аманболдыновна Байгонакова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юрий Феодосович Ясенчук, Виктор Эдуардович Гюнтер, Екатерина Сергеевна Марченко, Сергей Викторович Гюнтер, Валентина Николаевна Ходоренко, Олег Викторович Кокорев, Гульшарат Аманболдыновна Байгонакова filed Critical Юрий Феодосович Ясенчук
Priority to RU2019121318A priority Critical patent/RU2727412C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2727412C1 publication Critical patent/RU2727412C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment

Abstract

Изобретение относится к металлургии, конкретно к защитным покрытиям для медицинских имплантатов из никелида титана и может применяться при создании эндопротезов с увеличенным сроком службы. Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана включает нанесение путем ионно-плазменного напыления ряда защитных слоев субмикронной толщины. Покрытие формируют в два этапа, на первом этапе на изделие путем ионно-плазменного напыления последовательно наносят три чередующихся слоя титана, никеля и вновь титана, а на втором этапе проводят нагрев изделия до температуры, достаточной для инициирования процесса реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Толщину наносимых слоев выбирают в интервале 0,4-0,6 мкм, причем слои наносят при давлении от 0,05 до 0,1 Па. Температуру нагрева выбирают в интервале 800-900°С, а время нагрева выбирают в пределах 20-40 с. Нагрев производят в воздушной среде или в специальной газовой среде. Техническим результатом изобретения является упрощение процедуры формирования антикоррозионного покрытия и увеличение прочности связи покрытия с основой. 1 пр., 2 ил.

Description

Изобретение относится к металлургии, конкретно к защитным покрытиям для медицинских имплантатов из никелида титана, и может применяться при создании эндопротезов с увеличенным сроком службы.
Биомеханическая совместимость никелида титана с биологическими тканями делает его привлекательным и конкурентоспособным материалом для имплантации. Более двадцати лет клинического применения подтверждают это положение [Гюнтер, В.Э. Никелид титана. Медицинский материал нового поколения / В.Э. Гюнтер, В.Н. ХоДоренко, Ю.Ф. Ясенчук и др. - Томск: Изд-во МИЦ. - 2006. - 296 с]. Однако коррозионная стойкость чистого никелида титана не достаточна для успешной конкуренции с другими материалами [Shabalovskaya, S.A. Surface, corrosion and biocompatibility aspects of Nitinol as an - implant material / S.A. Shabalovskaya // Bio-Medical Materials and Engineering. P. 69-109. - №12. - 2002]. В агрессивных средах организма, представляющих собой биологические жидкости, аналогичные по химической активности хлорсодержащим электролитам, металлическая поверхность вступает в химические реакции, причем не всегда предсказуемым образом. Поэтому для стабилизации состояния поверхности большинство имплантатов из никелида титана в процессе изготовления подвергают поверхностной модификации с целью повышения коррозионной стойкости. Принцип такой модификации в главных чертах состоит в обогащении поверхности титаном и формировании на поверхности имплантата тонкой пленки окислов титана. Такая модификация повышает пассивность поверхности никелида титана до уровня титана. Несмотря на хрупкость, присущую оксидам, малая толщина окисленного слоя позволяет избегать его растрескивания при деформации имплантата. Тем не менее, простое оксидное покрытие не в полной мере решает проблему коррозионной стойкости, поскольку его состав в значительной степени зависит от условий его образования, в том числе от состава газовой среды, в которой происходит окисление, и которая содержит слабо контролируемые технические примеси. Даже малые побочные компоненты активно участвуют в формировании оксидной пленки, так как поверхность способна селективно адсорбировать их, несмотря на избыток основных компонентов.
Таким образом, улучшение антикоррозионных свойств имплантатов из никелида титана остается актуальной задачей. Существенно повысить конкурентоспособность имплантатов из никелида титана можно путем создания на их поверхности структур, аналогичных современным широко распространенным покрытиям на основе нитрида титана. Покрытия такого рода наносятся ионно-плазменным напылением в газовых смесях под низким давлением и применяются для упрочнения режущих инструментов, поверхности лопаток турбин и т.п. Поскольку в газовых смесях присутствуют остаточные количества атмосферных газов: азота, кислорода и двуокиси углерода, покрытие в общем случае может быть охарактеризовано оксикарбонитридное.
Применительно к никелиду титана оксикарбонитридное покрытие является естественным продуктом, возникающим при получении пористого никелида титана методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). В процессе синтеза поверхность пористого материала самопроизвольно покрывается коррозионно-стойкими слоями, состав и структура которых преимущественно представлены интерметаллическими оксикарбонитридами, близкими по химическому составу к Ti4Ni2(O,N,C) [см. источники:
- Ясенчук Ю.Ф., Артюхова Н.В., Новиков В.А., Гюнтер В.Э.Участие газов в формировании поверхности при самораспространяющемся высокотемпературном синтезе пористого никелида титана / Письма в ЖТФ, 2014, том 40, вып.16. стр. 42-49;
- Jasenchuk Yu.F., Gjunter V.E. // 1st International Symposium on Advanced Biomaterials (ISAB). October 2-5. 1997. Montreal, Canada. P. 41;
- Formation of pores and amorphous-nanocrystalline phases in porous TiNi alloys made by self-propagating high-temperature synthesis (SHS) / Advanced Powder Technology, 2019 | journal-article. DOI: 10.1016/j.apt.2018.12.011].
В отличие от технологии СВС, при формировании изделий из монолитного никелида титана подобных слоев не образуется, и для этого требуются специальные дополнительные процедуры. В качестве аналогов может быть приведен ряд способов газопламенной и плазменной наплавки интерметаллических порошков системы Ti-Ni, Ti-Al, Ni-Al для повышения коррозионной стойкости металлических изделий [см.источники:
- Колачев, Б.А. Металловедение и термическая обработка цветных металлов и сплавов / Б.А. Колачев, В.И. Елагин, В.А. Ливанов. - М.: МИСИСД999. - 416 с;
- Соснин Н. А., Ермаков С.А., Тополянский П.А. Плазменные технологии. Руководство для инженеров. Изд-во Политехнического ун-та. СПб.: 2013. - 406 с]. Существуют также способы СВС-наплавки коррозионно-стойких и износостойких покрытий для металлических изделий [см источники:
- Амосов А.П., Боровинская И.П., Мержанов А.Г. Порошковая технология самораспространяющегося высокотемпературного синтеза материалов: Учеб. пособ. / Под научной редакцией. В.Н. Анциферова. - М.: Машиностроение-1, 2007. - 567 с;
- Concise Encyclopedia of Self-Propagating High-Temperature Synthesis. Editors: Inna Borovinskaya, Alexander Gromov, Evgeny Levashov, Yuri Maksimov, Alexander Mukasyan and Alexander Rogachev. History, Theory, Technology, and Products. 2017].
Основным недостатком таких покрытий, препятствующим их применению в медицинских имплантатах, является большая толщина, достигающая нескольких миллиметров. Поскольку покрытия с высокой коррозионной стойкостью являются одновременно твердыми и хрупкими, они быстро растрескиваются при многоцикловой знакопеременной деформации имплантатов.
Среди известных способов создания прочного и тонкого антикоррозионного покрытия наиболее близок к заявляемому способ, представленный в источнике [B.C. Мухин, В.В. Будилов, СР. Шехтман. Методология создания покрытий с повышенными эксплуатационными свойствами и технологии их нанесения на лопатки газотурбинных двигателей. Вестник УГАТУ. Машиностроение. Т. 16, №5 (50), с. 149-153], включающий ионно-плазменное напыление на изделие ряда защитных слоев субмикронной толщины. В известном способе эти слои представлены титаном и нитридом титана. Получаемое покрытие имеет высокую механическую и коррозионную стойкость, повышающуюся по мере увеличения числа слоев. Способ позволяет создать достаточно тонкое покрытие, однако не обеспечивает прочной связи с основой. Для создания прочной связи с основой приходится проводить дополнительный переплав покрытия с помощью лазерного, ионного или электронного пучка, как указывается в источнике [Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва: Техносфера, 2010. - с.331-334]. Эта процедура становится особо затруднительной при сложной форме и развитой поверхности изделия, поскольку могут существовать зоны затенения, недоступные для воздействия высокоэнергетического лазерного, ионного или электронного пучка. Контроль за равномерным и всесторонним доступом пучка остается сложной задачей.
Таким образом, существует задача создания сплошного равномерного оксикарбонитридного покрытия на поверхности изделия сложной формы из монолитного никелида титана, которое повышало бы коррозионную стойкость изделия в биологических жидкостях, аналогичных по химической активности хлорсодержащим электролитам. Покрытие должно обладать толщиной не более 2-5 мкм во избежание растрескивания при деформациях.
Технический результат изобретения - упрощение процедуры формирования антикоррозионного покрытия и увеличение прочности связи покрытия с основой.
Для достижения технического результата при осуществлении способа получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана, включающего нанесение путем ионно-плазменного напыления ряда защитных слоев субмикронной толщины, отличие состоит в том, ионно-плазменным напылением последовательно наносят три чередующихся слоя титана, никеля и титана, при этом толщину наносимых слоев выбирают в интервале 0,4-0,6 мкм, слои наносят в аргоновой атмосфере при давлении от 0,05 до 0,1 Па, затем проводят нагрев изделия до температуры, достаточной для инициирования процесса реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза, в интервале 800-900°С в течение 20-40 с, причем нагрев выполняют в воздушной среде или в газовой среде, содержащей равные количества азота и аргона.
Достижимость технического результата подтверждается следующим.
1. Заявленная последовательность действий позволяет предварительно сформировать на поверхности изделия полуфабрикат для реакции СВС, а затем осуществить указанную реакцию в приемлемой газовой среде. Примечательно, что реакционное расплавление происходит на всей поверхности изделия независимо от эффектов затенения и автоматически обеспечивает упрочнение связи покрытия с основой, что выгодно отличает заявляемый способ от более сложных способов упрочнения высокоэнергетическими пучками.
2. Состав напыляемого покрытия Ti-Ni-Ti создает условия получения на поверхности изделия синтезированного слоя, близкого по составу к интерметаллиду Ti2Ni, который обладает выраженной способностью образовывать твердые растворы внедрения с большой концентрацией примесей кислорода, азота и углерода TixNiy(O,N,C). Чередование слоев Ti, Ni, Ti примерно равной толщины (в среднем 0,5 мкм) обеспечивает стехиометрию, необходимую для получения в ходе реакции СВС именно нужного соединения. Три слоя создают необходимое и достаточное условия для этого. Таким образом, отпадает необходимость наращивания числа слоев, что свидетельствует об упрощении процедуры.
3. Толщина напыляемых слоев ограничена сверху величиной 0,6 мкм, так как более толстое покрытие склонно к растрескиванию при интенсивной деформации изделий из никелида титана. Толщина напыляемых слоев ограничена снизу величиной 0,4 мкм, так как при меньшей толщине напыляемые слои теряют сплошность и становятся островковыми.
4. Нанесение слоев при давлении выше 0,05 Па обеспечивает необходимую степень рассеивания ионов на атомах аргона, которое способствует формированию слоев покрытия на затененных участках изделия. Давление выше 0,1 Па затрудняет транспорт ионов к изделию.
5. Интервал температур нагрева, обеспечивающей инициацию реакции СВС, в пределах 800-900°С подобран экспериментально. Необходимость подбора связана с тем, что оптимальный интервал температур для каждой новой композиции, с которой проводится реакция СВС, изменяется. В данном случае изменение зависит от условий теплообмена с нижележащей основой, в том числе, отбору тепла на подплавление кристаллических фаз, обладающих минимальной температурой плавления.
6. Интервал времени нагрева для проведения реакции СВС в пределах 20-40 секунд является необходимым и достаточным для развития и завершения процесса. Вариации времени нагрева связаны с массой и форм-фактором изделия, поскольку более массивные части нагреваются медленнее, чем остальные. В целом за указанное время реакция происходит по всей поверхности и окончательно. Более длительный нагрев нежелателен, поскольку начинается структурная перестройка уже в массиве изделия.
7. Использование воздушной, азотно-аргоновой, а возможно и другой газовой среды при нагреве изделия и проведении реакции СВС позволяет регулировать состав и парциальное давление адсорбируемых компонентов и добиваться получения покрытий оптимального качества на изделиях с различными характеристиками массы, форм-фактора и условий применения.
Изобретение поясняется иллюстрациями фиг. 1-2. На фиг. 1 представлена схема напыления слоев Ti-Ni-Ti и результатов синтеза слоистого покрытия на подложке из TiNi. На фиг. 2 представлены микрофотографии образцов TiNi: а - вырезанная ионным пучком ламель со слоем платины, защищающим напыленные слои Ti-Ni-Ti; б - поперечный шлиф образца TiNi с синтезированным покрытием.
Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана включает нанесение путем ионно-плазменного напыления ряда защитных слоев субмикронной толщины. На изделие последовательно наносят три чередующихся слоя титана, никеля и вновь титана. Толщину наносимых слоев выбирают в интервале 0,4-0,6 мкм, причем слои наносят в аргоновой атмосфере при давлении от 0.05 до 10-1 Па. После этого проводят нагрев изделия до температуры, достаточной для инициирования процесса реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). Оптимальная температура нагрева составляет 800-900°С, время нагрева - от 20 до 40 с. Нагрев производят в воздушной среде или в иной газовой среде, преимущественно содержащей равные количества азота и аргона.
Перед напылением производят стандартную подготовку поверхности путем ее травления ионным пучком аргоновой плазмы в вакууме не менее 10-5 Па. Образец подогревают до температуры близкой к 200°С. Затем производят последовательное ионно-плазменное напыление с использованием мишеней из титана и никеля. Напыляемые слои имеют толщину 0,4-0,6 мкм, причем они абсорбируют остаточные примеси кислорода (фиг. 1, а).
После напыления и остывания образец извлекают из вакуумной камеры и нагревают, используя индукционный нагрев или печь сопротивления. Температуру нагрева на поверхности поддерживают в диапазоне 800-900°С, время нагрева составляет от 20 до 40 секунд. Нагрев осуществляют на воздухе или в смеси аргона и азота в соотношении 1/1. Для покрытия дефицита углерода возможна добавка метана.
Благодаря нагреву в трехслойном покрытии Ti-Ni-Ti самопроизвольно проходит экзотермическая реакция синтеза интерметаллидов TixNiy, TiyNix, абсорбирующих из газовой смеси азот, кислород и углерод, как показано на фиг. 1, б. В результате синтеза и одновременного взаимодействия синтезированного слоя с атмосферой трехслойное покрытие превращается в шестислойное (фиг. 1, в). Напыленные слои Ti и Ni превращаются в слои интерметаллидов по составу близкие к соединениям Тi2Ni и ТiNi3 соответственно. Так как синтез проводится в газовой среде, внешняя поверхность напыленного слоя Ti насыщается примесями кислорода, азота и углерода, благодаря чему формируется слой оксикарбонитридов титана TiO2(N,C). На межфазных границах Ti-Ni по той же причине формируются слои оксикарбонитридов никелида титана TixNiy(O,N,C) толщиной 0,1-0,2 мкм.
Пример реализации
Полированную подложку из сплава никелида обезжирили и подготовили к напылению путем ионного травления в вакуумной камере с вакуумом 10-5 Па. Образец подогрели до температуры 200°С и произвели последовательное ионно-плазменное напыление трехслойного покрытия Ti-Ni-Ti с использованием мишеней из титана и никеля. Напыленная слоистая структура видна на микрофотографии фиг. 2а. После охлаждения образец выгрузили из вакуумной камеры и произвели его нагрев в печи сопротивления на воздухе при температуре 900°С.
В результате нагрева трехслойного покрытия между слоями титана и никеля самопроизвольно прошла экзотермическая реакция синтеза, о чем свидетельствует изменившаяся форма границ между слоями. Благодаря экзотермическому эффекту реакции продукты синтеза приблизились к состоянию расплава. При этом ровные межфазные границы приобрели черты турбулентного перемешивания (фиг. 2б). Полному перемешиванию препятствовали пограничные слои оксикарбонитридов TixNiy(O,N,C), образовавшиеся в процессе захвата кислорода, азота и углерода из воздуха. На основе под расплавлеными слоями сформировалась пленка оксинитридов никелида титана TixNiy(O,N). На поверхности наружного слоя титана сформировался слой оксинитрида титана TiO2(N).
Предлагаемый способ имеет преимущества в сравнении с прототипом в том, что не требует переплава нанесенного покрытия особенно затрудненного при сложной форме изделия, а использует для расплавления покрытия выделяемое в ходе реакции синтеза тепло. Число слоев ограничено тремя, в то время как в прототипе число слоев достигает 10. Предлагаемое решение обеспечивает надежную диффузионную связь покрытия с основой. Формирующиеся в ходе кристаллизации расплавленных слоев металла оксинитридные TiO2(N), TixNiy(O,N) или оксикарбонитридные TixNiy(O,N,C) слои являются надежным барьером, предотвращающим взаимодействие основы с коррозионной средой.

Claims (1)

  1. Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана, включающий нанесение путем ионно-плазменного напыления ряда защитных слоев субмикронной толщины, отличающийся тем, что ионно-плазменным напылением последовательно наносят три чередующихся слоя титана, никеля и титана, при этом толщину наносимых слоев выбирают в интервале 0,4-0,6 мкм, слои наносят в аргоновой атмосфере при давлении от 0,05 до 0,1 Па, затем проводят нагрев изделия до температуры, достаточной для инициирования процесса реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза, в интервале 800-900°С в течение 20-40 с, причем нагрев выполняют в воздушной среде или в газовой среде, содержащей равные количества азота и аргона.
RU2019121318A 2019-07-04 2019-07-04 Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана RU2727412C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019121318A RU2727412C1 (ru) 2019-07-04 2019-07-04 Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019121318A RU2727412C1 (ru) 2019-07-04 2019-07-04 Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2727412C1 true RU2727412C1 (ru) 2020-07-21

Family

ID=71741289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019121318A RU2727412C1 (ru) 2019-07-04 2019-07-04 Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2727412C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2751704C1 (ru) * 2020-10-14 2021-07-15 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский государственный университет» Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана
RU2790346C1 (ru) * 2022-03-15 2023-02-16 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский государственный университет Способ получения биосовместимого покрытия на изделиях из монолитного никелида титана

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05230654A (ja) * 1992-02-24 1993-09-07 Nkk Corp 合金皮膜のイオンプレーティング方法および装置
RU2132406C1 (ru) * 1998-10-05 1999-06-27 Открытое акционерное общество "Квадропак" Низкоэмиссионное прозрачное покрытие с повышенной коррозионной стойкостью и оконное стекло с этим покрытием
JP5230654B2 (ja) * 2007-12-27 2013-07-10 大塚製薬株式会社 エクオール合成に関与する酵素
RU2528930C2 (ru) * 2008-07-09 2014-09-20 Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах Покрывная система, деталь с покрытием и способ ее получения
CN104726826A (zh) * 2015-03-27 2015-06-24 南通南京大学材料工程技术研究院 一种超高硬度Ti-Ni形状记忆合金薄膜的制备方法
CN109338323A (zh) * 2018-09-11 2019-02-15 南京航空航天大学 一种提高Al2O3陶瓷与镍基合金焊接性能的表面处理方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05230654A (ja) * 1992-02-24 1993-09-07 Nkk Corp 合金皮膜のイオンプレーティング方法および装置
RU2132406C1 (ru) * 1998-10-05 1999-06-27 Открытое акционерное общество "Квадропак" Низкоэмиссионное прозрачное покрытие с повышенной коррозионной стойкостью и оконное стекло с этим покрытием
JP5230654B2 (ja) * 2007-12-27 2013-07-10 大塚製薬株式会社 エクオール合成に関与する酵素
RU2528930C2 (ru) * 2008-07-09 2014-09-20 Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах Покрывная система, деталь с покрытием и способ ее получения
CN104726826A (zh) * 2015-03-27 2015-06-24 南通南京大学材料工程技术研究院 一种超高硬度Ti-Ni形状记忆合金薄膜的制备方法
CN109338323A (zh) * 2018-09-11 2019-02-15 南京航空航天大学 一种提高Al2O3陶瓷与镍基合金焊接性能的表面处理方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
B.C. Мухин. Методология создания покрытий с повышенными эксплуатационнвми свойствами и технологии их нанесения на лопатки газотурбинных двигателей. Вестник УГАТУ. Машиностроение. Т.16, N5 (50), с. 149-153. *
B.C. Мухин. Методология создания покрытий с повышенными эксплуатационнвми свойствами и технологии их нанесения на лопатки газотурбинных двигателей. Вестник УГАТУ. Машиностроение. Т.16, N5 (50), с. 149-153. Берлин Е.В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва: Техносфера, 2010. - С. 331-334. *
Берлин Е.В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва: Техносфера, 2010. - С. 331-334. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2751704C1 (ru) * 2020-10-14 2021-07-15 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский государственный университет» Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана
RU2790346C1 (ru) * 2022-03-15 2023-02-16 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский государственный университет Способ получения биосовместимого покрытия на изделиях из монолитного никелида титана

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2005324336B9 (en) Methods for making high-temperature coatings having Pt metal modified gamma-Ni + gamma'-Ni3 Al alloy compositions and a reactive element
AU695086B2 (en) Thermal barrier coating for superalloy article and method of application
TWI224585B (en) Process for simultaneously aluminizing nickel-base and cobalt-base superalloys
JP5065248B2 (ja) 基材表面の被覆法及び被覆製品
KR100830648B1 (ko) 금속계 기재상에 보호 코팅을 제공하는 방법 및 금속계 기재상에 보호 코팅을 갖는 제품
Munro et al. The deposition of aluminide and silicide coatings on γ-TiAl using the halide-activated pack cementation method
Chen et al. Effect of sand blasting and glass matrix composite coating on oxidation resistance of a nickel-based superalloy at 1000 C
Sadeq et al. Synthesis of Ti–Si–Al coatings on the surface of Ti–6Al–4V alloy via hot dip siliconizing route
JP2012132099A (ja) ニオブ基合金の耐熱材料
SE464415B (sv) Foerfarande foer framstaellning av ett med kalciumfosfatfoerening belagt kompositmaterial, anvaendbart saasom implantat
RU2727412C1 (ru) Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана
Oshida et al. Titanium-porcelain system Part I: Oxidation kinetics of nitrided pure titanium, simulated to porcelain firing process
Crespo-Villegas et al. Protective TixSiy coatings for enhanced oxidation resistance of the ɣ-TiAl alloy at 900 C
US6309699B2 (en) Method of producing a metallic part exhibiting excellent oxidation resistance
US20080187773A1 (en) Method for the Protection of Titanium Alloys Against High Temperatures and Material Produced
EP1184479A1 (fr) Formation d'un revêtement aluminiure incorporant un élément réactif sur un substrat métallique
Berezhnaya et al. Effect of high-temperature annealing on solid-state reactions in hydroxyapatite/TiO 2 films on titanium substrates
Wang et al. Preparation of layered α-Al2O3/TiO2 composite coating by pack cementation process and subsequent thermochemical treatment
RU2751704C1 (ru) Способ получения антикоррозионного покрытия на изделиях из монолитного никелида титана
JP2006219740A (ja) 耐酸化性に優れた二オブ基合金耐熱部材
US20130149551A1 (en) Diffusion coating method and chromium coat produced therewith
JPH0693412A (ja) 耐熱性Ｔｉ系合金
Pedraza-Diaz et al. High quality aluminide and thermal barrier coatings deposition for new and service exposed parts by CVD techniques
JPS642186B2 (ru)
JPH05320863A (ja) 耐熱・耐食合金部材及び耐熱・耐食合金部材の製造方法