RU2695686C2 - Режущий инструмент с покрытием и способ изготовления режущего инструмента с покрытием - Google Patents
Режущий инструмент с покрытием и способ изготовления режущего инструмента с покрытием Download PDFInfo
- Publication number
- RU2695686C2 RU2695686C2 RU2015131332A RU2015131332A RU2695686C2 RU 2695686 C2 RU2695686 C2 RU 2695686C2 RU 2015131332 A RU2015131332 A RU 2015131332A RU 2015131332 A RU2015131332 A RU 2015131332A RU 2695686 C2 RU2695686 C2 RU 2695686C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cutting tool
- coating
- layer
- tool according
- substrate
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 68
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 49
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 10
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 238000007541 indentation hardness test Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 229910008482 TiSiN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N isoniazide Chemical compound NNC(=O)C1=CC=NC=C1 QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 9
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 24
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- LLQPHQFNMLZJMP-UHFFFAOYSA-N Fentrazamide Chemical compound N1=NN(C=2C(=CC=CC=2)Cl)C(=O)N1C(=O)N(CC)C1CCCCC1 LLQPHQFNMLZJMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004349 Ti-Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004692 Ti—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 238000001330 spinodal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- -1 transition metal nitride Chemical class 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
- B23B27/148—Composition of the cutting inserts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B51/00—Tools for drilling machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C5/00—Milling-cutters
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/347—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with layers adapted for cutting tools or wear applications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2222/00—Materials of tools or workpieces composed of metals, alloys or metal matrices
- B23B2222/28—Details of hard metal, i.e. cemented carbide
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2222/00—Materials of tools or workpieces composed of metals, alloys or metal matrices
- B23B2222/32—Details of high speed steel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2226/00—Materials of tools or workpieces not comprising a metal
- B23B2226/12—Boron nitride
- B23B2226/125—Boron nitride cubic [CBN]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/08—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
- B23B2228/105—Coatings with specified thickness
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Abstract
Настоящее изобретение относится к режущему инструменту с покрытием для механической обработки металла, такой как механическая обработка с формированием стружки, к способу изготовления указанного режущего инструмента с покрытием и режущей пластине, выполненной в виде режущего инструмента с покрытием. Режущий инструмент с покрытием содержит подложку и покрытие на упомянутой подложке, содержащее слой, состоящий из TiZrAlN, причем 0<х≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤(1-х-y)≤0,7. Способ изготовления режущего инструмента с покрытием включает размещение подложки в камере осаждения и нанесение покрытия, содержащего слой, состоящий из TiZrAlN, причем 0<х≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤ (1-x-y) ≤0,7. Обеспечивается режущий инструмент с покрытием с улучшенными свойствами во время цикла механической обработки резанием, в частности с покрытием, которое является более стабильным при повышенных температурах. 3 н. и 16 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
Description
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Настоящее изобретение относится к режущему инструменту с покрытием для механической обработки металла, такой как механическая обработка с формированием стружки, содержащему подложку и покрытие на подложке, и к способу изготовления такого режущего инструмента с покрытием.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Режущие инструменты, такие как режущие пластины, фрезы, сверла и т.д. можно использовать для механической обработки с образованием стружки из материала, такого как металлы. Такие инструменты чаще всего изготавливаются из прочного материала, такого как твердый сплав, кубический нитрид бора или быстрорежущая инструментальная сталь. Для улучшения свойств инструмента, например, характеристик износа, такие инструменты обычно выполняют с поверхностным покрытием. Такие покрытия могут наноситься на инструмент посредством химического (CVD) или физического (PVD) осаждения из паровой фазы.
До сих пор использовались различные типы поверхностных покрытий, например, такие как TiN, TiAlN. Во время обработки металлов режущим инструментом с покрытием температура вблизи режущей кромки режущего инструмента увеличивается из-за усилия сдвига обрабатываемого материала и силы трения. Температура покрытия, таким образом, может стать очень высокой, как, например, 1100°C или более. Кубический TiAlN обычно распадается на кубический TiN и кубический AlN при 800-900°C, и после этого кубический AIN переходит в гексаугольный вюртцит AlN при приблизительно 1000°C, который является менее желательной фазой. В EP 2628826 A1 раскрыто сногослойное покрытие из чередующихся слоев ZrAIN и TiN. Этот тип покрытия был разработан для обеспечения высокой термической стабильности покрытия, чтобы создать высокую твердость, даже если материал подвергается таким высоким температурам.
В настоящее время прилагаются усилия к дальнейшему усовершенствованию поверхностного покрытия с улучшенными свойствами при воздействии высоких температур. В частности необходимо обеспечить покрытия, имеющие низкую возможность распада на менее желательные фазы при повышенных температурах, например, на такие, как гексагональные фазы AlN. Поэтому необходимо обеспечить режущий инструмент с таким покрытием, которое имеет состав, относительно стабильный при повышенных температурах.
РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Таким образом, задачей настоящего изобретения является создание режущего инструмента с покрытием улучшенными свойствами во время цикла механической обработки резанием. В частности, задачей настоящего изобретения является создание режущему инструменту с покрытием, которое является более стабильным при повышенных температурах.
Таким образом, настоящее изобретение относится к режущему инструменту с покрытием, который содержит подложку и покрытие на подложке, содержащее слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, в котором 0<x≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤(1-x-y)≤0,7.
Состав покрытия уменьшает вероятность перехода AlN в менее желаемые фазы при повышенных температурах, например, гексагональные AlN фазы. Таким образом, состав покрытия является более стабильным при повышенных температурах в частности, при температуре приблизительно 1100°C.
Покрытие может содержать слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, в котором x≥0,05, предпочтительно x≥0,1. Покрытие может содержать слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, в котором x≤0,25, предпочтительно x≤0,2. Благодаря чему стабильность состава дополнительно повышается.
Покрытие может содержать слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, в котором y≤0,6, предпочтительно y≤0,4. Таким образом, составы, имеющие преимущества, как здесь, могут быть получены с более низким количеством Zr.
Покрытие может содержать слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, в котором y≥0,3 или y≥0,4. Благодаря чему стабильность состава дополнительно повышается. Составы с высоким содержанием Zr могут обеспечивать лучшую устойчивость к процессу спинодального распада, в котором TiN, AlN и ZrN могут стать отделенными.
Слой TixZryAl(1-x-y)N может иметь кубическую кристаллическую структуру. Таким образом, режущие свойства режущего инструмента могут быть улучшены, например, такие, как срок эксплуатации и характеристики износа.
Слой TixZryAl(1-x-y)N может иметь столбчатую микроструктуру. Благодаря чему устойчивость к износу в виде лунки покрытия может быть улучшена, а также улучшена жесткость покрытия. В качестве альтернативы слой TixZryAl(1-x-y)N может иметь нано-кристаллическую или аморфную структуру.
Рентгеновская дифрактограмма слоя TixZryAl(1-x-y)N может иметь доминирующий пик (200) плоскости, то есть этот (200) пик может быть самым высоким пиком в XRD дифрактограмме. Таким образом, кристаллические зерна преимущественно ориентированы в направлении(200), то есть в направлении роста слоя покрытия.
Слой TixZryAl(1-x-y)N может быть осажден посредством PVD, например, дуговым испарением или напылением. Благодаря чему слой может быть обеспечен сжимающими напряжениями, улучшающими ударную вязкость слоя покрытия. Посредством дугового испарения скорость осаждения может быть улучшена и может быть улучшена степень ионизации, что приводит к более плотным слоям, улучшенной адгезии и улучшенной геометрии слоя покрытия на подложке.
Слой TixZryAl(1-x-y)N может быть нанесен с использованием источника дугового осаждения, содержащего катод, анод и магнитные средства, которые позволяют линиям магнитного поля проходить от поверхности мишени к аноду по короткому соединению. Такой источник дугового напыления дополнительно описан в заявке на патент США 2013/0126347 A1. Таким образом, слой может быть обеспечен кубической кристаллической структурой и столбчатой микроструктурой по всему диапазону заявляемого состава. В заявке на патент США US 2013/0126347 A1 раскрывается, что состояние ионизации в камере может улучшать параметры покрытия, например, скорость напыления и качество покрытия.
Покрытие может содержать адгезионный слой и слой TixZryAl(1-x-y)N поверх адгезионного слоя. В качестве одного варианта осуществления покрытие может состоять только из адгезионного слоя и слоя TixZryAl(1-x-y)N поверх адгезионного слоя. Адгезионный слой может состоять из Ti, TiN, Cr, CrN или любого другого переходного металла или нитрида переходного металла, предпочтительно с толщиной, находящейся в диапазоне 1-200 нм, в частности 5-10 нм.
Покрытие может иметь адгезионную прочность по меньшей мере 50 кг, предпочтительно по меньшей мере 100 кг, более предпочтительно по меньшей мере 150 кг, как определено испытанием на твердость вдавливанием по шкале Роквелла. Адгезия может быть определена испытанием на твердость вдавливанием по шкале С Роквелла, как описано в VDI 3198, но в котором нагрузка при вдавливании может изменяться в пределах диапазона 50-150 кг. Нагрузка вдавливания, когда покрытие проходит испытание на твердость вдавливанием в соответствии с критериями как описано в VDI 3198, может тогда быть принята в качестве адгезивной прочности покрытия.
Покрытие может быть многослойным покрытием, дополнительно включающим один или более слоев, выбранных из группы, состоящей из TiN, TiAlN, TiSiN, TiSiCN, TiCrAIN и CrAlN, или их комбинаций. Покрытие может содержать один или более слоев, имеющих состав, содержащий по меньшей мере первый элемент, выбранный из группы, состоящей из Ti, Al, Cr, Si, V, Nb, Та, Mo и W, и второй элемент, выбранный из группы, состоящей из В, C, N и O. Покрытие может иметь толщину более чем 0,5 мкм, и/или менее чем 20 мкм, предпочтительно менее чем 10 мкм. Таким образом, свойства покрытия могут быть оптимизированы к конкретным прикладным потребностям.
Слой TixZryAl(1-x-y)N может иметь толщину более чем 5 нм, и/или менее чем 20 мкм, предпочтительно менее чем 10 мкм. Таким образом, покрытие может быть сформировано по существу посредством одного слоя из TiZrAlN, или посредством комбинации одного или более слоев из TiZrAlN с другими слоями покрытия.
Подложка может содержать твердый сплав или поликристаллический кубический нитрид бора. Они являются твердыми материалами с хорошими режущими свойствами, подходящими для режущих инструментов. Режущий инструмент может быть в форме режущей пластины, фрезы или сверла, предпочтительно используемых для формирования механической обработки с удалением материала, такого как металл.
Другой задачей является создание способа изготовления режущего инструмента с покрытием, имеющим состав, который является более стабильным при повышенных температурах.
Таким образом, настоящее изобретение также относится к способу изготовления режущего инструмента с покрытием, включающему обеспечение подложки и осаждение покрытия, содержащего слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, где 0<x≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤(1-x-y)≤0,7.
Слой может наноситься посредством PVD, предпочтительно посредством дугового испарения.
Слой можно осаждать с использование источник дугового осаждения, который содержит катод, анод и магнитные средства, которые позволяют линиям магнитного поля проходить от поверхности мишени к аноду по короткому соединению. Такой источник осаждения дополнительно описан в заявке на патент США US 2013/0126347 A1.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг. 1 представляет собой псевдо-тройную фазовую диаграмму TiN-ZrN-AlN, показывающую примеры заявленных составов.
Фиг. 2 представляет собой рентгеновскую дифрактограмму трех составов покрытия, описанных здесь.
Фиг. 3 представляет собой рентгеновскую дифрактограмму непосредственно после осаждения и отжига покрытий из двух различных составов.
ОПРЕДЕЛЕНИЯ
Составы как определено в формуле изобретения могут содержать неизбежные примеси (например, менее чем 1-3%), замещающие любые из металлических элементов Ti, Zr и Al, и/или N, при этом поддерживая преимущества настоящего изобретения и не отступая от заявленного диапазона. Например, N может быть замещен элементами О, С или В в количестве менее чем 1-3%.
ОПИСАНИЕ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ НАСТОЯЩЕГО ИЗОБРЕТЕНИЯ
Описывается вариант осуществления режущего инструмента с покрытием, имеющего подложку из твердого сплава и покрытие на подложке, содержащее слой TixZryAl(1-x-y)N. Этот слой упоминается в тексте, как слой TiZrAlN. Количество Ti в составе (то есть x) находится в пределах интервала 0<x≤0,3, предпочтительно, когда x≥0,05, более предпочтительно, когда x≥0,1. Количество Zr в составе (то есть, y) находится в интервале 0,2≤y≤0,8. Количество Al в составе (то есть, 1-x-y) находится в интервале 0,1≤(1-x-y)≤0,7. Слой TiZrAlN имеет кубическую кристаллическую структуру и столбчатую микроструктуру.
Слой TiZrAlN осаждается дуговым испарением на подложку, содержащую твердый сплав или поликристаллический кубический нитрид бора. При необходимости покрытие содержит толстый адгезионный слой толщиной 5-10 нм из Ti, Tin, Cr или Crn и слой TiZrAlN поверх адгезионного слоя. Толщина покрытия находится между 0,5-20 мкм, в основном меньше, чем 10 мкм. Слой TiZrAlN может быть одним из слоев в многослойном покрытии, имеющем непостоянство состава между различными слоями в многослойном покрытии. В качестве альтернативы покрытие может состоять из слоя TiZrAN, возможно в комбинации с адгезионным слоем.
Адгезию можно измерить испытанием на твердость вдавливанием по шкале С Роквелла, как описано в VDI 3198, но в котором нагрузка при вдавливании может изменяться в диапазоне 50-150 кг. Нагрузка при вдавливании, когда покрытие проходит испытание на твердости вдавливания в соответствии с критериями как описано в VDI 3198, может затем приниматься в качестве адгезионной прочности покрытия. Используя этот способ покрытие может иметь адгезию по меньшей мере 50 кг, предпочтительно по меньшей мере 100 кг, более предпочтительно по меньшей мере 150 кг.
На фиг. 1, показана псевдо-тройная фазовая диаграмма состояния TiN-ZrN-AlN системы. Каждая точка на графике соответствует чистому компоненту TiN, ZrN и AlN, как изображено на графике. Каждая линия, параллельнная соответствующей противоположной стороне графика, указывает на 10% интервалы соответствующего компонента.
ПРИМЕРЫ
На фиг. 1 показаны составы трех образцов в пределах заявленного диапазона. В таблице 1 показаны состав и толщина слоя TiZrAlN в каждом образце.
Таблица 1 | ||||
Образцы покрытия S1, S2 и S3 | ||||
TiN (%) | ZrN (%) | AlN (%) | Толщина /мкм | |
S1/Образец 1 | 30 | 24 | 46 | 9,5 |
S2/Образец 2 | 21 | 48 | 31 | 13 |
S3/Образец 3 | 13 | 69 | 18 | 8 |
Образцы покрытия все были нанесены посредством двух катодных устройств один с Ti0,33Al0,67 - мишенью и один с Zr-мишенью. Подложки из твердого сплава были размещены в разных положениях в камере осаждения для получения осажденных слоев TiZrAlN различного состава.
Подложки покрывали в системе INNOVA Oerlikon Balzer с обновленным улучшенным плазменным оптимизатором. Подложки были помещены внутрь вакуумной камеры, которая снабжена двумя катодными устройствами. Камеру откачивали до создания высокого вакуума (менее чем 10-2 Пa). Камеру нагревали до температуры 350-500°C посредством нагревателей, расположенных внутри камеры, в данном конкретном случае до температуры 400°C. Подложки затем протравливали в течение 25 минут в тлеющем разряде Ar. Катоды в камерах были расположены друг за другом. Оба катода были снабжены кольцевыми анодами, расположенными вокруг них (как описано в заявке на патент США US 2013/0126347 A1), с системой, обеспечивающей магнитное поле с силовыми линиями, выходящими из поверхности мишени и входящими в анод (см. заявку на патент США US 2013/0126347 A1). Давление в камере (давление реакции) было установлено величиной 3,5 Пa газа N2, и отрицательное напряжение величиной -30 В (по отношению к стенкам камеры) было приложено к подложке. Катоды вводили в режим дугового разряда при 160 A, каждый в течение 60 минут. Поскольку посредством двух катодов испаряли различные материалы мишеней, градиент состава был сформирован в узле образцов, таким образом, что подложка образцов, расположенная вблизи мишени с Zr была обогащена Zr, а образцы, расположенные вблизи мишени с Ti-Al были обагащены Ti и Al.
Составы образцов были определены посредством энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDX). Состав S1 – Ti0,30Zr0,24Al0,46N, состав S2 – Ti0,21Zr0,48Al0,31N, а состав S3 – Ti0,13Zr0,69Al0,18N.
На фиг. 2 показаны рентгеновские дифрактограммы для трех покрытий, показанных в таблице 1. Все образцы имели TiZrAlN кубической структуры. Все они имеют доминирующий пик из (200) плоскости. В дополнение к этому видны пики из (111), (220) (311) плоскостей. Есть сдвиг в положении (200) пика из-за изменений в параметрах кристаллической решетки между покрытиями.
Образцы подвергали термической обработке для того, чтобы определить их поведение при повышенных температурах. Это было сделано посредством отжига при температуре 1100°C в течение 2 часов. Структуры покрытий непосредственно после осаждения и покрытий после отжига были охарактеризованы посредством рентгеновской дифрактометрии посредством установки Брэгга-Брентано. На фиг. 3 показаны рентгеновские дифрактограммы после осаждения и отжига Ti0,13Zr0,69Al0,18N (S3) и Ti0,30Zr0,24Al0,46N (S1). Для осажденных образцов (200)-пик из кубической фазы TiZrAlN идентифицируется в 20=40,8° для S3 и 2θ=42,08° для S1, в то время как другие пики (помеченные ‘s’) происходят из фаз подложки из твердого сплава. Для S3 нет никакого видимого изменения в структуре до и после отжига. Небольшой пиковый сдвиг (200) пика может быть отнесен к релаксации напряжений. Состав, таким образом, очень стабилен. После отжига S1 покрытия, (200) пик кубической структуры является ассиметричным из-за образования другой кубической фазы с (200) дифракционным пиком под более низкими углами. Это соответствует фазе с параметрами кристаллической решетке ближе к кристаллической решетке ZrN. Покрытие, таким образом, имеет преимущественно кубическую микроструктуру. Распад состава в покрытиях в менее желательные фазы, такие как гексагональные w-AlN, является, таким образом, незначительным или по меньшей мере замедленным.
Claims (19)
1. Режущий инструмент с покрытием, содержащий подложку и покрытие на упомянутой подложке, содержащее слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, причем 0<х≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤(1-х-y)≤0,7.
2. Режущий инструмент по п. 1, в котором х≥0,05, предпочтительно х≥0,1.
3. Режущий инструмент по п. 1 или 2, в котором х≤0,25, предпочтительно х≤0,2.
4. Режущий инструмент по п. 1, в котором y≤0,6, предпочтительно y≤0,4.
5. Режущий инструмент по п. 1, в котором y≥0,3 или y≥0,4.
6. Режущий инструмент по п. 1, в котором слой TixZryAl(1-x-y)N имеет кубическую кристаллическую структуру.
7. Режущий инструмент по п. 1, в котором слой TixZryAl(1-x-y)N имеет столбчатую микроструктуру.
8. Режущий инструмент по п. 1, в котором рентгеновская дифрактограмма слоя TixZryAl(1-x-y)N имеет доминирующий пик (200) плоскости.
9. Режущий инструмент по п. 1, в котором слой TixZryAl(1-x-y)N нанесен посредством PVD, в частности дуговым испарением или напылением.
10. Режущий инструмент по п. 1, в котором покрытие содержит адгезионный слой толщиной 1-200 нм, в частности 5-10 нм, выполненный из титана, нитрида титана, хрома или нитрида хрома, при этом слой TixZryAl(1-x-y)N расположен поверх адгезионного слоя.
11. Режущий инструмент по п. 1, в котором покрытие имеет адгезию по меньшей мере 50 кг, предпочтительно по меньшей мере 100 кг, более предпочтительно по меньшей мере 150 кг, как определено испытанием на твердость вдавливанием по шкале Роквелла.
12. Режущий инструмент по п. 1, в котором покрытие является многослойным покрытием, дополнительно содержащим один или более слоев, выбранных из группы, состоящей из TiN, TiAlN, TiSiN, TiSiCN, TiCrAIN и CrAIN или их комбинаций.
13. Режущий инструмент по п. 1, в котором покрытие имеет толщину более 0,5 мкм и/или менее 20 мкм, предпочтительно менее 10 мкм.
14. Режущий инструмент по п. 1, в котором слой TixZryAl(1-x-y)N имеет толщину более 5 нм и/или менее 20 мкм, предпочтительно менее 10 мкм.
15. Режущий инструмент по п. 1, в котором подложка выполнена из твердого сплава или поликристаллического кубического нитрида бора.
16. Режущая пластина, отличающаяся тем, что она выполнена в виде режущего инструмента по любому из пп. 1-15.
17. Способ изготовления режущего инструмента с покрытием, включающий размещение подложки в камере осаждения и нанесение покрытия, содержащего слой, состоящий из TixZryAl(1-x-y)N, причем 0<х≤0,3, 0,2≤y≤0,8 и 0,1≤ (1-x-y) ≤0,7.
18. Способ по п. 17, в котором упомянутый слой осаждают дуговым испарением.
19. Способ по п. 18, в котором упомянутый слой осаждают с использованием источника дугового осаждения, содержащего катод, анод и магнитную систему, обеспечивающую магнитное поле с силовыми линиями, проходящими от поверхности мишени к аноду по короткому пути.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP14178913 | 2014-07-29 | ||
EP14178913.1 | 2014-07-29 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2015131332A RU2015131332A (ru) | 2017-02-03 |
RU2015131332A3 RU2015131332A3 (ru) | 2018-12-29 |
RU2695686C2 true RU2695686C2 (ru) | 2019-07-25 |
Family
ID=51260625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015131332A RU2695686C2 (ru) | 2014-07-29 | 2015-07-28 | Режущий инструмент с покрытием и способ изготовления режущего инструмента с покрытием |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9758859B2 (ru) |
EP (1) | EP2987890B1 (ru) |
JP (1) | JP6842233B2 (ru) |
KR (1) | KR102436934B1 (ru) |
CN (1) | CN105312600A (ru) |
BR (1) | BR102015018142B1 (ru) |
RU (1) | RU2695686C2 (ru) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10570501B2 (en) | 2017-05-31 | 2020-02-25 | Kennametal Inc. | Multilayer nitride hard coatings |
CN108129152A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-06-08 | 高昕文 | 一种耐磨耐高温TiSiN涂层陶瓷铣刀的制备方法 |
US11370033B2 (en) * | 2018-03-07 | 2022-06-28 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface coated cutting tool and method for manufacturing the same |
CN108950488A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-12-07 | 河北工程大学 | TiAl/TiAlN/TiZrAlN复合涂层及其制备方法 |
CN109695023B (zh) * | 2018-12-13 | 2020-07-17 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 一种空间机构件固体抗菌硬质涂层及其制备方法 |
EP3757252B1 (en) * | 2019-06-28 | 2022-03-30 | Walter Ag | A coated cutting tool |
CN113088895B (zh) * | 2021-04-01 | 2022-07-19 | 九牧厨卫股份有限公司 | 一种装饰性低温硬质涂层及其镀膜方法和应用 |
CN117561134A (zh) * | 2021-07-30 | 2024-02-13 | 京瓷株式会社 | 涂层刀具及切削刀具 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6617057B2 (en) * | 1999-11-29 | 2003-09-09 | Vladimir Gorokhovsky | Composite vapor deposited coatings and process therefor |
RU78198U1 (ru) * | 2008-04-29 | 2008-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Режущий инструмент с многослойным покрытием |
RU2363761C1 (ru) * | 2008-05-23 | 2009-08-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
US20100086397A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-08 | General Electric Company | Surface Treatments for Turbine Components to Reduce Particle Accumulation During Use Thereof |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07108404A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP3978775B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-09-19 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
CN100419117C (zh) * | 2004-02-02 | 2008-09-17 | 株式会社神户制钢所 | 硬质叠层被膜、其制造方法及成膜装置 |
JP2006255848A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Nippon Steel Corp | 低炭快削鋼の切削工具及び切削方法 |
JP4697660B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2011-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
SE0701320L (sv) * | 2007-06-01 | 2008-12-02 | Sandvik Intellectual Property | Belagd hårdmetall för formverktygsapplikationer |
SE531933C2 (sv) * | 2007-12-14 | 2009-09-08 | Seco Tools Ab | Belagt hårdmetallskär för bearbetning av stål och rostfria stål |
CN101596607B (zh) * | 2009-05-04 | 2010-09-15 | 山东大学 | TiZrN涂层刀具及其制备方法 |
SE533884C2 (sv) * | 2009-06-01 | 2011-02-22 | Seco Tools Ab | Nanolaminerat belagt skärverktyg |
EP2287359B1 (en) * | 2009-07-03 | 2012-05-23 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool insert |
JP5440352B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2014-03-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
US10253407B2 (en) | 2010-06-22 | 2019-04-09 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Arc deposition source having a defined electric field |
CN103052456B (zh) * | 2010-08-04 | 2015-04-22 | 株式会社图格莱 | 被覆工具 |
EP2628826A1 (en) | 2012-02-14 | 2013-08-21 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool and method for making the same |
JP5896326B2 (ja) * | 2012-10-02 | 2016-03-30 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
CN103273687B (zh) * | 2013-05-13 | 2015-02-18 | 山东大学 | TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法 |
-
2015
- 2015-07-13 JP JP2015139333A patent/JP6842233B2/ja active Active
- 2015-07-14 EP EP15176643.3A patent/EP2987890B1/en active Active
- 2015-07-16 CN CN201510473621.6A patent/CN105312600A/zh active Pending
- 2015-07-27 US US14/810,113 patent/US9758859B2/en active Active
- 2015-07-27 KR KR1020150106081A patent/KR102436934B1/ko active IP Right Grant
- 2015-07-28 RU RU2015131332A patent/RU2695686C2/ru active
- 2015-07-29 BR BR102015018142-6A patent/BR102015018142B1/pt active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6617057B2 (en) * | 1999-11-29 | 2003-09-09 | Vladimir Gorokhovsky | Composite vapor deposited coatings and process therefor |
RU78198U1 (ru) * | 2008-04-29 | 2008-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Режущий инструмент с многослойным покрытием |
RU2363761C1 (ru) * | 2008-05-23 | 2009-08-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
US20100086397A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-08 | General Electric Company | Surface Treatments for Turbine Components to Reduce Particle Accumulation During Use Thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2015131332A (ru) | 2017-02-03 |
EP2987890A1 (en) | 2016-02-24 |
US20160032444A1 (en) | 2016-02-04 |
CN105312600A (zh) | 2016-02-10 |
BR102015018142A2 (pt) | 2017-07-11 |
KR102436934B1 (ko) | 2022-08-25 |
KR20160014541A (ko) | 2016-02-11 |
US9758859B2 (en) | 2017-09-12 |
BR102015018142B1 (pt) | 2022-04-05 |
JP2016030330A (ja) | 2016-03-07 |
EP2987890B1 (en) | 2020-09-09 |
JP6842233B2 (ja) | 2021-03-17 |
RU2015131332A3 (ru) | 2018-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2695686C2 (ru) | Режущий инструмент с покрытием и способ изготовления режущего инструмента с покрытием | |
JP6858347B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
US8852305B2 (en) | Nanolaminated coated cutting tool | |
US8507108B2 (en) | Thin wear resistant coating | |
US8864861B2 (en) | Nanolaminated coated cutting tool | |
US9447491B2 (en) | Coated cutting tool and method of making the same | |
KR101822810B1 (ko) | 코팅된 절삭 공구 | |
US10023952B2 (en) | Coated cutting tool and a method for coating the cutting tool | |
CN102994948A (zh) | 经多层涂覆的耐磨损构件及其制造方法 | |
US8685531B2 (en) | Surface-coated cutting tool | |
US8685530B2 (en) | Surface-coated cutting tool | |
US11440102B2 (en) | Coated cutting tool and method | |
US10837100B2 (en) | Method of producing a PVD layer and a coated cutting tool | |
US10954590B2 (en) | Coated cutting tool | |
GB2492885A (en) | Yttrium-containing coating applied by PVD |