JP3978775B2 - 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、硬質被覆層がすぐれた高温硬さと耐熱性、さらに高強度と高靭性を有し、したがって各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、特に高熱発生を伴う高速で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合に、硬質被覆層がチッピング（微小欠け）などの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具（以下、被覆超硬工具という）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、被覆超硬工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、被覆超硬工具として、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体（以下、これらを総称して超硬基体と云う）の表面に、組成式：（Ｔｉ1-(M+Y)ＡｌMＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｍは０．４０〜０．６５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）を満足するＴｉとＡｌとＺｒの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎで示す］層からなる硬質被覆層を１〜１５μｍの平均層厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具が提案され、かかる被覆超硬工具が、硬質被覆層を構成する前記（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層が高温硬さおよび耐熱性（高温特性）と強度および靭性を有し、さらに高温強度も具備することと相俟って、高熱発生を伴う各種の鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削加工ですぐれた切削性能を発揮することも知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆超硬工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の超硬基体を装入し、ヒーターで装置内を、例えば４００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記超硬基体には、例えば−８０Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記超硬合金基体の表面に、上記（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年の切削加工装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求も強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向を深め、かつ高切り込みや高送りなどの重切削条件での切削加工が強く求められる傾向にあるが、上記の従来被覆超硬工具においては、これを通常の切削加工条件で用いた場合には問題はないが、特に切削加工を高速で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合には、硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性が不足し、かつ強度および靭性も不十分であるために、硬質被覆層の摩耗進行が一段と促進し、かつチッピングも発生し易くなることから、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に高速重切削加工条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬工具を開発すべく、上記の従来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層に着目し、研究を行った結果、
（ａ）上記の図２に示されるアークイオンプレーティング装置を用いて形成された従来被覆超硬工具を構成する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層は、厚さ全体に亘って実質的に均一な組成を有し、したがって均質な高温硬さと耐熱性、強度と靭性を有し、さらに高温強度を有するが、例えば図１（ａ）に概略平面図で、同（ｂ）に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に超硬基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側に相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金、他方側に相対的にＴｉ含有量の高いＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブルの外周部に沿って複数の超硬基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で超硬基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記超硬基体の表面にＡｌとＴｉとＺｒの複合窒化物［以下、（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎで示す］層を形成すると、この結果の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層においては、回転テーブル上にリング状に配置された前記超硬基体が上記の一方側の相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金のカソード電極（蒸発源）に最も接近した時点で層中にＡｌ最高含有点が形成され、また前記超硬基体が上記の他方側の相対的にＴｉ含有量の高いＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のカソード電極に最も接近した時点で層中にＴｉ最高含有点が形成され、上記回転テーブルの回転によって層中には厚さ方向にそって前記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点が所定間隔をもって交互に繰り返し現れると共に、前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造をもつようになること。
【０００７】
（ｂ）上記（ａ）の繰り返し連続変化成分濃度分布構造の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層の形成において、対向配置の一方側のカソード電極（蒸発源）であるＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金におけるＡｌ含有量を上記の従来Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のＡｌ含有量に比して相対的に高いものとし、かつ同他方側のカソード電極（蒸発源）であるＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金におけるＡｌ含有量を上記の従来Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のＡｌ含有量に比して相対的に低いものとする共に、超硬基体が装着されている回転テーブルの回転速度を制御して、
上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ1-(X+Y) ＴｉXＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．１５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
上記Ｔｉ最高含有点が、組成式：（Ｔｉ1-(Z+Y)ＡｌZＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．１０〜０．３０、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の厚さ方向の間隔を０．０１〜０．１μｍとすると、
上記Ａｌ最高含有点部分では、上記の従来（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層に比してＡｌ含有量が相対的に高くなることから、より一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を示し、一方上記Ｔｉ最高含有点部分では、前記従来（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層に比してＴｉ含有量が相対的に高くなることから、一段と高い強度と靭性を具備し、かつこれらＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の間隔をきわめて小さくしたことから、層全体の特性として一段とすぐれた強度と靭性、およびすぐれた高温硬さと耐熱性を具備するようになり、したがって、硬質被覆層がかかる構成の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層からなる被覆超硬工具は、Ｚｒ成分によってもたらされる高温強度の向上効果と相俟って、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、特に高熱発生および高い機械的衝撃を伴う、高速重切削条件で行なった場合にも、硬質被覆層にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上（ａ）および（ｂ）に示される研究結果を得たのである。
【０００８】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、装置中央部に超硬基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側にＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金、他方側にＴｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の外周部に沿って複数の前記超硬基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、前記超硬基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記超硬基体の表面に、（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を１〜１５μｍの全体平均層厚で蒸着してなる被覆超硬工具にして、
上記硬質被覆層が、厚さ方向にそって、Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ1-(X+Y) ＴｉXＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．１５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
上記Ｔｉ最高含有点が、組成式：（Ｔｉ1-(Z+Y)ＡｌZＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．１０〜０．３０、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである、
高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬工具に特徴を有するものである。
【０００９】
つぎに、この発明の被覆超硬工具において、これを構成する硬質被覆層の構成を上記の通りに限定した理由を説明する。
（ａ）Ａｌ最高含有点の組成
（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層のＡｌ最高含有点におけるＡｌ成分は、高温硬さおよび耐熱性を向上させ、同Ｔｉ成分は強度および靭性を向上させ、さらに同Ｚｒ成分は高温強度を向上させる作用があり、したがってＡｌ成分の含有割合が高くなればなるほど高温硬さおよび耐熱性は向上し、Ｚｒ成分による高温強度の向上効果と相俟って、高熱発生を伴う高速切削に適合したものになるが、Ｔｉの割合を示すＸ値がＡｌとＺｒの合量に占める割合（原子比）で０．０５未満になると、相対的にＡｌの割合が多くなり過ぎて、高強度および高靭性を有するＴｉ最高含有点が隣接して存在しても層自体の強度および靭性の低下は避けられず、この結果チッピングなどが発生し易くなり、一方Ｔｉ成分の割合を示すＸ値が同０．１５を越えると、相対的にＡｌの割合が少なくなって、高温硬さおよび耐熱性に低下傾向が現れるようになり、またＺｒ成分の割合を示すＹ値がＡｌとＴｉの合量に占める割合（原子比）で０．０１未満では所望の高温強度向上効果が得られず、さらに同Ｙ値が０．１５を超えると、強度および靭性が急激に低下するようになることから、Ｘ値を０．０５〜０．１５、Ｙ値を０．０１〜０．１５とそれぞれ定めた。
【００１０】
（ｂ）Ｔｉ最高含有点の組成
上記の通りＡｌ最高含有点は一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を有するが、反面強度および靭性の劣るものであるため、このＡｌ最高含有点の強度および靭性不足を補う目的で、Ｔｉ含有割合が高く、これによって高強度および高靭性を有するようになるＴｉ最高含有点を厚さ方向に交互に介在させるものであり、したがってＡｌの割合を示すＺ値がＴｉとＺｒの合量に占める割合（原子比）で０．３０を越えると、相対的にＡｌの割合が多くなって、強度および靭性に低下傾向が現れるようになり、一方同Ｚ値が同じく０．１０未満になると、相対的にＴｉの割合が多くなり過ぎて、Ｔｉ最高含有点に所望の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、摩耗促進の原因となることから、Ｚ値を０．１０〜０．３０と定めたものであり、またＺｒ成分の割合を示すＹ値は上記のＡｌ最高含有点におけると同じ理由で０．０１〜０．１５と定めた。
【００１１】
（ｃ）Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点間の間隔
その間隔が０．０１μｍ未満ではそれぞれの点を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果層に一段とすぐれた強度と靭性、さらにすぐれた高温硬さと耐熱性を確保することができなくなり、またその間隔が０．１μｍを越えるとそれぞれの点がもつ欠点、すなわちＡｌ最高含有点であれば強度および靭性不足、Ｔｉ最高含有点であれば高温硬さおよび耐熱性不足が層内に局部的に現れ、これが原因で切刃にチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、その間隔を０．０１〜０．１μｍと定めた。
【００１２】
（ｄ）硬質被覆層の全体平均層厚
その層厚が１μｍ未満では、所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を１〜１５μｍと定めた。
【００１３】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の被覆超硬工具を実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで６０時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４０５℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製のチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８をそれぞれ形成した。
【００１４】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ2 Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のチップ形状をもったＴｉＣＮ系サーメット製のチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６をそれぞれ形成した。
【００１５】
ついで、上記のチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８、並びにチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上に外周部にそって装着し、一方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＴｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金、他方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、またボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず、装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記チップ超硬基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記チップ超硬基体に−３０Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつそれぞれのカソード電極(前記Ｔｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金およびＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金)とアノード電極との間に１４０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体の表面に、層厚方向に沿って表３に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表３に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表３に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、本発明被覆超硬チップと云う）１〜７をそれぞれ製造した。
【００１６】
また、比較の目的で、これらチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８、並びにチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金を装着し、さらにボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず、装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記チップ超硬基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して２Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記チップ超硬基体に−８０Ｖの直流バイアス電圧を印加し、前記カソード電極のＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金とアノード電極との間に９０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体のそれぞれの表面に、表４に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、従来被覆超硬チップと云う）１〜７をそれぞれ製造した。
【００１７】
つぎに、上記本発明被覆超硬チップ１〜７および従来被覆超硬チップ１〜７について、これを工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの丸棒、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：５．５ｍｍ、
送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での炭素鋼の乾式連続高速高切り込み切削加工試験、
被削材：ＪＩＳ・ＳＳ４００の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：１．８ｍｍ、
送り：０．５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での軟鋼の乾式断続高速高送り切削加工試験、さらに、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣ２００の丸棒、
切削速度：３３０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：６ｍｍ、
送り：０．１６ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での鋳鉄の乾式連続高速高切り込み切削加工試験を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表５に示した。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】
【表３】
【００２１】
【表４】
【００２２】
【表５】
【００２３】
（実施例２）
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒ粉末、同２．３μｍのＣｒ3Ｃ2粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表８に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、６０ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の超硬基体形成用丸棒焼結体Ｃ−２，Ｃ−４〜Ｃ−６，およびＣ−８を形成し、さらに前記の３種の丸棒焼結体のうちの丸棒焼結体Ｃ−５，Ｃ−６，およびＣ−８から、研削加工にて、表６に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角：３０度の４枚刃スクエア形状をもったエンドミル超硬基体をそれぞれ製造した。
【００２４】
ついで、これらのエンドミル超硬基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、厚さ方向に沿って表７に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表７に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表７に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、本発明被覆超硬エンドミルと云う）１〜３をそれぞれ製造した。
【００２５】
また、比較の目的で、上記のエンドミル超硬基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表８に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、従来被覆超硬エンドミルと云う）１〜３をそれぞれ製造した。
【００２６】
つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１〜３および従来被覆超硬エンドミル１〜３のうち、本発明被覆超硬エンドミル１，２および従来被覆超硬エンドミル１，２については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、
切削速度：３１０ｍ／ｍｉｎ．、
軸方向切り込み：１８ｍｍ、
径方向切り込み：３．２ｍｍ、
テーブル送り：１９０ｍｍ／分、
の条件での軟鋼の湿式高速高切り込み側面切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル３および従来被覆超硬エンドミル３については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの板材、
切削速度：３１０ｍ／ｍｉｎ．、
軸方向切り込み：４０ｍｍ、
径方向切り込み：６．２ｍｍ、
テーブル送り：１００ｍｍ／分、
の条件での炭素鋼の湿式高速高切り込み側面切削加工試験をそれぞれ行い、いずれの湿式側面切削加工試験（水溶性切削油使用）でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削長を測定した。この測定結果を表７、８にそれぞれ示した。
【００２７】
【表６】
【００２８】
【表７】
【００２９】
【表８】
【００３０】
（実施例３）
上記の実施例２で製造した直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の丸棒焼結体のうちの丸棒焼結体Ｃ−２およびＣ−４を用い、この丸棒焼結体から、研削加工にて、表６に示される組合せで、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ、および８ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角：３０度の２枚刃形状をもったドリル 超硬基体をそれぞれ製造した。
【００３１】
ついで、これらのドリル超硬基体の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、層厚方向に沿って表９に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表９に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表９に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製ドリル（以下、本発明被覆超硬ドリルと云う）１，２をそれぞれ製造した。
【００３２】
また、比較の目的で、上記のドリル超硬基体の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製ドリル（以下、従来被覆超硬ドリルと云う）１，２をそれぞれ製造した。
【００３３】
つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１，２および従来被覆超硬ドリル１，２のうち、本発明被覆超硬ドリル１および従来被覆超硬ドリル１については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、
切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：１０ｍｍ、
の条件での軟鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル２および従来被覆超硬ドリル２については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの板材、
切削速度：２１０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：１５ｍｍ、
の条件での炭素鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験、をそれぞれ行い、いずれの湿式穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表９、１０にそれぞれ示した。
【００３４】
【表９】
【００３５】
【表１０】
【００３６】
この結果得られた本発明被覆超硬工具としての本発明被覆超硬チップ１〜７、本発明被覆超硬エンドミル１〜３、および本発明被覆超硬ドリル１，２を構成する硬質被覆層におけるＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の組成、並びに従来被覆超硬工具としての従来被覆超硬チップ１〜７、従来被覆超硬エンドミル１〜３、および従来被覆超硬ドリル１，２の硬質被覆層の組成をオージェ分光分析装置を用いて測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、これらの本発明被覆超硬工具の硬質被覆層におけるＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点間の間隔、およびこれの全体層厚、並びに従来被覆超硬工具の硬質被覆層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標値と実質的に同じ値を示した。
【００３７】
【発明の効果】
表３〜１０に示される結果から、硬質被覆層が厚さ方向に、相対的に一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を有するＡｌ最高含有点と、同じく相対的に高い強度と靭性を有するＴｉ最高含有点とが交互に所定間隔をおいて繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有する本発明被覆超硬工具は、いずれも前記硬質被覆層がＺｒ成分の含有によってすぐれた高温強度を具備することと相俟って、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、高温発生を伴う高速条件で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合にも、硬質被覆層にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる従来被覆超硬工具においては、前記の高速重切削条件では、前記硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性不足、さらに強度および靭性不足が原因で、摩耗進行が速く、かつチッピングも発生し易いことから、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆超硬工具は、通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、高熱発生および高い機械的衝撃を伴う高速重切削条件で行なった場合にも、チッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するものであるから、切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の被覆超硬工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】 従来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いた通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【発明の属する技術分野】
この発明は、硬質被覆層がすぐれた高温硬さと耐熱性、さらに高強度と高靭性を有し、したがって各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、特に高熱発生を伴う高速で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合に、硬質被覆層がチッピング（微小欠け）などの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具（以下、被覆超硬工具という）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、被覆超硬工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、被覆超硬工具として、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体（以下、これらを総称して超硬基体と云う）の表面に、組成式：（Ｔｉ1-(M+Y)ＡｌMＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｍは０．４０〜０．６５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）を満足するＴｉとＡｌとＺｒの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎで示す］層からなる硬質被覆層を１〜１５μｍの平均層厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具が提案され、かかる被覆超硬工具が、硬質被覆層を構成する前記（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層が高温硬さおよび耐熱性（高温特性）と強度および靭性を有し、さらに高温強度も具備することと相俟って、高熱発生を伴う各種の鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削加工ですぐれた切削性能を発揮することも知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆超硬工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の超硬基体を装入し、ヒーターで装置内を、例えば４００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記超硬基体には、例えば−８０Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記超硬合金基体の表面に、上記（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年の切削加工装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求も強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向を深め、かつ高切り込みや高送りなどの重切削条件での切削加工が強く求められる傾向にあるが、上記の従来被覆超硬工具においては、これを通常の切削加工条件で用いた場合には問題はないが、特に切削加工を高速で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合には、硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性が不足し、かつ強度および靭性も不十分であるために、硬質被覆層の摩耗進行が一段と促進し、かつチッピングも発生し易くなることから、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に高速重切削加工条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬工具を開発すべく、上記の従来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層に着目し、研究を行った結果、
（ａ）上記の図２に示されるアークイオンプレーティング装置を用いて形成された従来被覆超硬工具を構成する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層は、厚さ全体に亘って実質的に均一な組成を有し、したがって均質な高温硬さと耐熱性、強度と靭性を有し、さらに高温強度を有するが、例えば図１（ａ）に概略平面図で、同（ｂ）に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に超硬基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側に相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金、他方側に相対的にＴｉ含有量の高いＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブルの外周部に沿って複数の超硬基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で超硬基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記超硬基体の表面にＡｌとＴｉとＺｒの複合窒化物［以下、（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎで示す］層を形成すると、この結果の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層においては、回転テーブル上にリング状に配置された前記超硬基体が上記の一方側の相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金のカソード電極（蒸発源）に最も接近した時点で層中にＡｌ最高含有点が形成され、また前記超硬基体が上記の他方側の相対的にＴｉ含有量の高いＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のカソード電極に最も接近した時点で層中にＴｉ最高含有点が形成され、上記回転テーブルの回転によって層中には厚さ方向にそって前記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点が所定間隔をもって交互に繰り返し現れると共に、前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造をもつようになること。
【０００７】
（ｂ）上記（ａ）の繰り返し連続変化成分濃度分布構造の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層の形成において、対向配置の一方側のカソード電極（蒸発源）であるＡｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金におけるＡｌ含有量を上記の従来Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のＡｌ含有量に比して相対的に高いものとし、かつ同他方側のカソード電極（蒸発源）であるＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金におけるＡｌ含有量を上記の従来Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金のＡｌ含有量に比して相対的に低いものとする共に、超硬基体が装着されている回転テーブルの回転速度を制御して、
上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ1-(X+Y) ＴｉXＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．１５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
上記Ｔｉ最高含有点が、組成式：（Ｔｉ1-(Z+Y)ＡｌZＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．１０〜０．３０、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の厚さ方向の間隔を０．０１〜０．１μｍとすると、
上記Ａｌ最高含有点部分では、上記の従来（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層に比してＡｌ含有量が相対的に高くなることから、より一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を示し、一方上記Ｔｉ最高含有点部分では、前記従来（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層に比してＴｉ含有量が相対的に高くなることから、一段と高い強度と靭性を具備し、かつこれらＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の間隔をきわめて小さくしたことから、層全体の特性として一段とすぐれた強度と靭性、およびすぐれた高温硬さと耐熱性を具備するようになり、したがって、硬質被覆層がかかる構成の（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層からなる被覆超硬工具は、Ｚｒ成分によってもたらされる高温強度の向上効果と相俟って、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、特に高熱発生および高い機械的衝撃を伴う、高速重切削条件で行なった場合にも、硬質被覆層にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上（ａ）および（ｂ）に示される研究結果を得たのである。
【０００８】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、装置中央部に超硬基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側にＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金、他方側にＴｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の外周部に沿って複数の前記超硬基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、前記超硬基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記超硬基体の表面に、（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を１〜１５μｍの全体平均層厚で蒸着してなる被覆超硬工具にして、
上記硬質被覆層が、厚さ方向にそって、Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ1-(X+Y) ＴｉXＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．１５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
上記Ｔｉ最高含有点が、組成式：（Ｔｉ1-(Z+Y)ＡｌZＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．１０〜０．３０、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである、
高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬工具に特徴を有するものである。
【０００９】
つぎに、この発明の被覆超硬工具において、これを構成する硬質被覆層の構成を上記の通りに限定した理由を説明する。
（ａ）Ａｌ最高含有点の組成
（Ａｌ−Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層のＡｌ最高含有点におけるＡｌ成分は、高温硬さおよび耐熱性を向上させ、同Ｔｉ成分は強度および靭性を向上させ、さらに同Ｚｒ成分は高温強度を向上させる作用があり、したがってＡｌ成分の含有割合が高くなればなるほど高温硬さおよび耐熱性は向上し、Ｚｒ成分による高温強度の向上効果と相俟って、高熱発生を伴う高速切削に適合したものになるが、Ｔｉの割合を示すＸ値がＡｌとＺｒの合量に占める割合（原子比）で０．０５未満になると、相対的にＡｌの割合が多くなり過ぎて、高強度および高靭性を有するＴｉ最高含有点が隣接して存在しても層自体の強度および靭性の低下は避けられず、この結果チッピングなどが発生し易くなり、一方Ｔｉ成分の割合を示すＸ値が同０．１５を越えると、相対的にＡｌの割合が少なくなって、高温硬さおよび耐熱性に低下傾向が現れるようになり、またＺｒ成分の割合を示すＹ値がＡｌとＴｉの合量に占める割合（原子比）で０．０１未満では所望の高温強度向上効果が得られず、さらに同Ｙ値が０．１５を超えると、強度および靭性が急激に低下するようになることから、Ｘ値を０．０５〜０．１５、Ｙ値を０．０１〜０．１５とそれぞれ定めた。
【００１０】
（ｂ）Ｔｉ最高含有点の組成
上記の通りＡｌ最高含有点は一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を有するが、反面強度および靭性の劣るものであるため、このＡｌ最高含有点の強度および靭性不足を補う目的で、Ｔｉ含有割合が高く、これによって高強度および高靭性を有するようになるＴｉ最高含有点を厚さ方向に交互に介在させるものであり、したがってＡｌの割合を示すＺ値がＴｉとＺｒの合量に占める割合（原子比）で０．３０を越えると、相対的にＡｌの割合が多くなって、強度および靭性に低下傾向が現れるようになり、一方同Ｚ値が同じく０．１０未満になると、相対的にＴｉの割合が多くなり過ぎて、Ｔｉ最高含有点に所望の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、摩耗促進の原因となることから、Ｚ値を０．１０〜０．３０と定めたものであり、またＺｒ成分の割合を示すＹ値は上記のＡｌ最高含有点におけると同じ理由で０．０１〜０．１５と定めた。
【００１１】
（ｃ）Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点間の間隔
その間隔が０．０１μｍ未満ではそれぞれの点を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果層に一段とすぐれた強度と靭性、さらにすぐれた高温硬さと耐熱性を確保することができなくなり、またその間隔が０．１μｍを越えるとそれぞれの点がもつ欠点、すなわちＡｌ最高含有点であれば強度および靭性不足、Ｔｉ最高含有点であれば高温硬さおよび耐熱性不足が層内に局部的に現れ、これが原因で切刃にチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、その間隔を０．０１〜０．１μｍと定めた。
【００１２】
（ｄ）硬質被覆層の全体平均層厚
その層厚が１μｍ未満では、所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を１〜１５μｍと定めた。
【００１３】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の被覆超硬工具を実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで６０時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４０５℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製のチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８をそれぞれ形成した。
【００１４】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ2 Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のチップ形状をもったＴｉＣＮ系サーメット製のチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６をそれぞれ形成した。
【００１５】
ついで、上記のチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８、並びにチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上に外周部にそって装着し、一方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＴｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金、他方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、またボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず、装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記チップ超硬基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記チップ超硬基体に−３０Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつそれぞれのカソード電極(前記Ｔｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金およびＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金)とアノード電極との間に１４０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体の表面に、層厚方向に沿って表３に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表３に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表３に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、本発明被覆超硬チップと云う）１〜７をそれぞれ製造した。
【００１６】
また、比較の目的で、これらチップ超硬基体Ａ−１，Ａ−２，Ａ−７，およびＡ−８、並びにチップ超硬基体Ｂ−４〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金を装着し、さらにボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず、装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記チップ超硬基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して２Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記チップ超硬基体に−８０Ｖの直流バイアス電圧を印加し、前記カソード電極のＴｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金とアノード電極との間に９０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記チップ超硬基体のそれぞれの表面に、表４に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、従来被覆超硬チップと云う）１〜７をそれぞれ製造した。
【００１７】
つぎに、上記本発明被覆超硬チップ１〜７および従来被覆超硬チップ１〜７について、これを工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの丸棒、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：５．５ｍｍ、
送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での炭素鋼の乾式連続高速高切り込み切削加工試験、
被削材：ＪＩＳ・ＳＳ４００の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：１．８ｍｍ、
送り：０．５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での軟鋼の乾式断続高速高送り切削加工試験、さらに、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣ２００の丸棒、
切削速度：３３０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：６ｍｍ、
送り：０．１６ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での鋳鉄の乾式連続高速高切り込み切削加工試験を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表５に示した。
【００１８】
【表１】
【表２】
【表３】
【表４】
【表５】
（実施例２）
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒ粉末、同２．３μｍのＣｒ3Ｃ2粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表８に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、６０ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の超硬基体形成用丸棒焼結体Ｃ−２，Ｃ−４〜Ｃ−６，およびＣ−８を形成し、さらに前記の３種の丸棒焼結体のうちの丸棒焼結体Ｃ−５，Ｃ−６，およびＣ−８から、研削加工にて、表６に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角：３０度の４枚刃スクエア形状をもったエンドミル超硬基体をそれぞれ製造した。
【００２４】
ついで、これらのエンドミル超硬基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、厚さ方向に沿って表７に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表７に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表７に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、本発明被覆超硬エンドミルと云う）１〜３をそれぞれ製造した。
【００２５】
また、比較の目的で、上記のエンドミル超硬基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表８に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、従来被覆超硬エンドミルと云う）１〜３をそれぞれ製造した。
【００２６】
つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１〜３および従来被覆超硬エンドミル１〜３のうち、本発明被覆超硬エンドミル１，２および従来被覆超硬エンドミル１，２については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、
切削速度：３１０ｍ／ｍｉｎ．、
軸方向切り込み：１８ｍｍ、
径方向切り込み：３．２ｍｍ、
テーブル送り：１９０ｍｍ／分、
の条件での軟鋼の湿式高速高切り込み側面切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル３および従来被覆超硬エンドミル３については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの板材、
切削速度：３１０ｍ／ｍｉｎ．、
軸方向切り込み：４０ｍｍ、
径方向切り込み：６．２ｍｍ、
テーブル送り：１００ｍｍ／分、
の条件での炭素鋼の湿式高速高切り込み側面切削加工試験をそれぞれ行い、いずれの湿式側面切削加工試験（水溶性切削油使用）でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削長を測定した。この測定結果を表７、８にそれぞれ示した。
【００２７】
【表６】
【表７】
【表８】
（実施例３）
上記の実施例２で製造した直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の丸棒焼結体のうちの丸棒焼結体Ｃ−２およびＣ−４を用い、この丸棒焼結体から、研削加工にて、表６に示される組合せで、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ、および８ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角：３０度の２枚刃形状をもったドリル 超硬基体をそれぞれ製造した。
【００３１】
ついで、これらのドリル超硬基体の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、層厚方向に沿って表９に示される目標組成のＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが交互に同じく表９に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表９に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製ドリル（以下、本発明被覆超硬ドリルと云う）１，２をそれぞれ製造した。
【００３２】
また、比較の目的で、上記のドリル超硬基体の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製ドリル（以下、従来被覆超硬ドリルと云う）１，２をそれぞれ製造した。
【００３３】
つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１，２および従来被覆超硬ドリル１，２のうち、本発明被覆超硬ドリル１および従来被覆超硬ドリル１については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、
切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：１０ｍｍ、
の条件での軟鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル２および従来被覆超硬ドリル２については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ２０Ｃの板材、
切削速度：２１０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：１５ｍｍ、
の条件での炭素鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験、をそれぞれ行い、いずれの湿式穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表９、１０にそれぞれ示した。
【００３４】
【表９】
【表１０】
この結果得られた本発明被覆超硬工具としての本発明被覆超硬チップ１〜７、本発明被覆超硬エンドミル１〜３、および本発明被覆超硬ドリル１，２を構成する硬質被覆層におけるＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の組成、並びに従来被覆超硬工具としての従来被覆超硬チップ１〜７、従来被覆超硬エンドミル１〜３、および従来被覆超硬ドリル１，２の硬質被覆層の組成をオージェ分光分析装置を用いて測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、これらの本発明被覆超硬工具の硬質被覆層におけるＡｌ最高含有点とＴｉ最高含有点間の間隔、およびこれの全体層厚、並びに従来被覆超硬工具の硬質被覆層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標値と実質的に同じ値を示した。
【００３７】
【発明の効果】
表３〜１０に示される結果から、硬質被覆層が厚さ方向に、相対的に一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を有するＡｌ最高含有点と、同じく相対的に高い強度と靭性を有するＴｉ最高含有点とが交互に所定間隔をおいて繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有する本発明被覆超硬工具は、いずれも前記硬質被覆層がＺｒ成分の含有によってすぐれた高温強度を具備することと相俟って、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、高温発生を伴う高速条件で、かつ高い機械的衝撃を伴う高切り込みや高送りなどの重切削条件で行なった場合にも、硬質被覆層にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層からなる従来被覆超硬工具においては、前記の高速重切削条件では、前記硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性不足、さらに強度および靭性不足が原因で、摩耗進行が速く、かつチッピングも発生し易いことから、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆超硬工具は、通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、高熱発生および高い機械的衝撃を伴う高速重切削条件で行なった場合にも、チッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を発揮するものであるから、切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の被覆超硬工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】 従来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いた通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
Claims (1)
- 装置中央部に炭化タングステン基超硬合金基体および炭窒化チタン系サーメット基体のいずれか、または両方の装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側にＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ−Ｚｒ合金、他方側にＴｉ最高含有点形成用Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の外周部に沿って複数の前記基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、前記基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記基体の表面に、ＡｌとＴｉとＺｒの複合窒化物層からなる硬質被覆層を１〜１５μｍの全体平均層厚で蒸着してなる表面被覆超硬合金製切削工具にして、
上記硬質被覆層が、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ｔｉ最高含有点、前記Ｔｉ最高含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ1-(X+Y) ＴｉXＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．１５、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
上記Ｔｉ最高含有点が、組成式：（Ｔｉ1-(Z+Y)ＡｌZＺｒY）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．１０〜０．３０、Ｙは０．０１〜０．１５を示す）、
を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＴｉ最高含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍであること、
を特徴とする高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。
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