RU2664754C2 - Устройство и способ для волноводного поляризатора, содержащего последовательность изгибов - Google Patents
Устройство и способ для волноводного поляризатора, содержащего последовательность изгибов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2664754C2 RU2664754C2 RU2016142576A RU2016142576A RU2664754C2 RU 2664754 C2 RU2664754 C2 RU 2664754C2 RU 2016142576 A RU2016142576 A RU 2016142576A RU 2016142576 A RU2016142576 A RU 2016142576A RU 2664754 C2 RU2664754 C2 RU 2664754C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- waveguide
- optical
- mode
- polarization
- optical waveguide
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 79
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 72
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical group [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/126—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind using polarisation effects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/27—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B10/00—Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
- H04B10/60—Receivers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
Abstract
Группа изобретений относится к области оптической передачи данных. Способ изготовления поляризатора, в котором формируют оптический волновод на подложке, используя процесс изготовления полупроводниковых приборов, при этом формируют структуру и размеры оптического волновода таким образом, чтобы обеспечить поддержку требуемой поляризационной моды распространяющегося светового излучения в соответствии с требуемой рабочей длиной волны. Формируют последовательность изгибов в указанном волноводе в ходе изготовления полупроводникового прибора, при этом обеспечивают форму и размеры изгибов таким образом, чтобы требуемая поляризационная мода содержалась в волноводе, а вторая поляризационная мода излучалась наружу из волновода; при этом заданная поляризационная мода представляет собой поперечную электрическую (TE) моду, а вторая поляризационная мода представляет собой поперечную магнитную (ТМ) моду. Размещают на подложке вокруг волновода и изгибов волновода материал, поглощающий световое излучение. Технический результат заключается в формировании поляризационного компонента с волноводной структурой, обеспечивающей низкие потери для ТЕ поляризационной моды и высокие потери для ТМ поляризационной моды. 3 н. и 15 з.п. ф-лы, 7 ил., 1 табл.
Description
Область техники, к которой относится изобретение
Настоящее изобретение относится к области оптической передачи данных, и, в конкретных вариантах осуществления, к устройству и способу для волноводного поляризатора, содержащего последовательность изгибов.
Уровень техники
Волноводы из кремниевого провода используются в качестве платформы для ультрамалых фотонных интегральных схем (PIC). В типичной структуре кремниевая сердцевина с высоким показателем преломления окружена материалом с низким показателем преломления (называется оболочкой), таким как двуокись кремния или иногда нитрид кремния, оксинитрид кремния или воздух. Такая структура формирует оптический волновод, обычно используемый при передаче данных на таких длинах волн, как в полосах 1310 нанометров или 1550 нанометров. Кремниевые микросхемы PIC включают в себя литографически определенную компоновку волноводных элементов, работающих с одиночной модой и множеством мод, которые формируют фотонную схему. В некоторых фотонных интегральных схемах выходные фотонные элементы предназначены для одной поляризации (например, в противоположность другим схемам с двумя ортогональными поляризациями). Однако из-за допусков при изготовлении или из-за присущих электромагнитных физических свойств элемента, выходной свет может содержать фракцию с нежелательной поляризацией, отличной от требуемой единственной поляризации. Таким образом, желательно добавить поляризационный компонент в волноводную структуру или микросхему PIC. Кроме того, желательно сформировать поляризационный компонент с волноводной структурой или микросхемой PIC, используя одну и ту же производственную платформу.
Сущность изобретения
В соответствии с вариантом осуществления изобретения, оптический поляризатор содержит оптический волновод, выполненный с возможностью распространения светового излучения с требуемой поляризационной модой и содержащий изгиб в той же плоскости, что и распространяемое световое излучение. Изгиб имеет конфигурацию, обеспечивающую возможность иметь в оптическом волноводе требуемую поляризационную моду распространяемого светового излучения и излучать наружу из оптического волновода вторую поляризационную моду распространяющегося светового излучения.
В соответствии с другим вариантом осуществления изобретения, оптическое устройство содержит оптический волновод, выполненный с возможностью распространения светового излучения с требуемой поляризационной модой. Оптическое устройство также содержит изогнутый волновод, соединенный с оптическим волноводом, и выполненный в изогнутой конфигурации, такой чтобы иметь в изогнутом волноводе требуемую поляризационную моду распространяющегося светового излучения и излучать наружу из изогнутого волновода вторую поляризационную моду распространяющегося светового излучения.
В соответствии с еще одним объектом изобретения, способ изготовления поляризатора характеризуется тем, что формируют оптический волновод на подложке, используя технологический процесс изготовления полупроводниковых приборов. Формирование включает в себя: обеспечение конфигурации и размеров оптического волновода, подходящих для поддержания требуемой поляризационной моды для распространения светового излучения в соответствии с требуемой рабочей длиной волны. Способ также включает формирование последовательности изгибов в волноводе в ходе изготовления полупроводникового прибора. Формирование включает в себя придание формы в соответствии с конфигурацией и размерами изгибов, которые обеспечивают требуемую поляризационную моду в волноводе и излучение наружу из волновода второй поляризационной моды. Способ также включает: размещение на подложке поглощающего свет материала вокруг волновода и изгибов волновода.
Выше было представлено общее описание, которое, скорее, широко описывает признаки варианта осуществления настоящего изобретения для лучшего понимания подробного описания изобретения, которое следует далее. Ниже будут описаны дополнительные функции и преимущества вариантов осуществления изобретения, которые формируют формулу изобретения. Для специалиста в данной области техники должно быть понятно, что раскрытые концепция и конкретные варианты могут непосредственно использоваться как основание для модификации или разработки других структур или обработки для выполнения того же назначения настоящего изобретения. Для специалиста в данной области техники также должно быть понятно, что такие эквивалентные конструкции не выходят за пределы сущности и объема изобретения в том виде, как оно представлено в приложенной формуле изобретения.
Краткое описание чертежей
Для более полного понимания настоящего изобретения и его преимуществ теперь будет сделана ссылка на следующее описание, которое следует рассматривать совместно с приложенными чертежами, на которых:
фиг. 1 иллюстрирует пример оптического приемника, содержащего поляризатор;
фиг. 2 иллюстрирует пример микросхемы фотонного переключателя, содержащего поляризатор;
фиг. 3 иллюстрирует вариант осуществления конструкции поляризатора;
фиг. 4 - вид сверху варианта конструкции изгиба для поляризатора;
фиг. 5 иллюстрирует поперечное сечение варианта конструкции поперечно-электрического (ТЕ) поляризатора;
фиг. 6 иллюстрирует поперечное сечение варианта конструкции поперечно-магнитного (ТМ) поляризатора; и
фиг. 7 иллюстрирует вариант осуществления способа изготовления устройства поляризации, содержащего последовательность изгибов.
Соответствующие номера ссылочных позиций и символы на разных фигурах, в общем относятся к соответствующим частям, если только не указано другое. Фигуры вычерчены так, чтобы ясно иллюстрировать соответствующие аспекты вариантов осуществления изобретения и не обязательно представлены в масштабе.
Подробное описание вариантов осуществления изобретения
Изготовление и использование предпочтительных в настоящее время вариантов осуществления изобретения подробно описано ниже. Следует, однако, понимать, что настоящее изобретение направлено на множество применимых изобретательских концепций, которые могут быть воплощены в широком разнообразии конкретных контекстов. Описанные конкретные варианты представляют собой просто иллюстрацию конкретных способов для осуществления и использования изобретения, и не ограничивают объем изобретения.
Варианты осуществления изобретения представлены здесь для поляризатора волновода, содержащего последовательность изгибов. Поляризатор волновода может использоваться в устройствах оптического волновода (или в микросхемах/схемах), где требуется поляризованный свет, такой как выход с одной поляризацией. Конструкция поляризатора не зависит от функции оптических устройств. Например, поляризатор может использоваться в оптических модуляторах, переключателях, мультиплексорах или демультиплексорах. Такие устройства и другие устройства с поляризованным светом могут включать в себя волноводы с одиночной модой, где свет должен распространяться только в моде, которая является поляризованной поперечно-электрической (ТЕ) волной, такой как мода ТЕ0 которая представляет собой моду самого низкого порядка, распространяющуюся в волноводе. В этом случае поляризатор разработан для «отбрасывания» поляризованной поперечно-магнитной ТМ волны, такой как мода ТМ0. Другая конструкция поляризатора также представлена для моды поляризованной ТМ волны. Например, поляризатор может преобразовывать моду, которая имеет гибридную поляризацию, такую как мода с поляризацией под углом 45 градусов, в линейно поляризованную моду, такую как мода ТЕ0 или мода ТМ0, «отбрасывая» часть излучения, которая является соответственно ТМ поляризованной или ТЕ поляризованной. Все конструкции поляризатора содержат один или больше изгибов, которые вызывают поляризацию света вдоль требуемого направления, и могут быть изготовлены с устройством светового волновода при использовании одних и тех же технологических процессов для изготовления (например, литографические процессы на одной и той же подложке или плате) оптического устройства. В то время как варианты осуществления изобретения описаны в отношении производства на основе кремния, эти схемы также применимы для систем из других материалов, таких как арсенид галлия (GaAs), фосфид индия (InP), ниобат лития (LiNbO3), титанат циркония-свинца, модифицированный лантаном (PLZT), и нитрид кремния (SiN).
Конструкции поляризатора могут быть реализованы, используя литографическое формирование структуры, при котором не требуется необычно узкая ширина волновода, и без ввода новых производственных этапов, поскольку изгибы аналогичны другим изгибам волновода, которые могут потребоваться в фотонных интегральных схемах. Примеры фотонных схем с различной поляризацией, которые могут содержать такие изгибы волновода для поляризации, включают в себя оптоволоконный ввод, содержащий ортогонально (X и Y) поляризованный свет на заданном оптическом носителе, элемент расщепления поляризации, который преобразует входные X и Y поляризации в моду ТЕ двух соответствующих оптических волноводов, элемент вывода с объединенной поляризацией, который выполняет функцию, обратную по отношению к элементу расщепления поляризации, и сердцевина для различной поляризации с двумя схемами оптического волновода, с двумя ТЕ модами, которые (схемы) обычно идентичны и каждая выполняет оптическую функцию, такую как детектирование, модуляция или переключение. Эти две схемы воздействуют, соответственно, на ортогонально (X и Y) поляризованный свет из оптического волокна.
На фиг. 1 показан оптический приемник 100, который может включать в себя поляризатор, в соответствии с вариантами осуществления изобретения. Падающий луч 105 света содержит свет с двумя ортогональными поляризациями X и Y. Приемник 100 может представлять собой когерентный приемник, включающий в себя поляризующий расщепитель 110 луча (PBS). PBS 110 содержит решеточный светоделитель с поляризационно расщепляющей поверхностью, который расщепляет падающий луч 105 света, например, с ТЕ модой, на две ортогонально поляризованные части (лучи поляризованного счета X и Y) по двум соответствующим путям: первый путь связан с первой волноводной схемой 131, и второй путь связан со второй волноводной схемой 132. Каждая из схем 131 и 132 содержит аналогичные волноводы, сконфигурированные для работы с ТЕ модой. Однако волноводы во второй волноводной схеме 132 повернуты на 90 градусов относительно волноводов в первой схеме 131. При этом X поляризованный свет из PBS 110 может быть согласован с ТЕ модой в волноводах первой схемы 131, а ортогональный Y поляризованный свет из PBS 110 может быть согласован с ТЕ модой в волноводах второй волноводной схемы 132. Две схемы 131 и 132 связаны с массивом 140 детектирования для преобразования оптических сигналов в электрические сигналы. Схемы 131 и 132 также смешивают свет 106 из гетеродинного лазера (Lo In) со светом 105 сигнала, если свет 106 LO также находится в ТЕ моде.
Из-за несовершенства при изготовлении или присущих электромагнитных свойств оптических компонентов, лучи поляризованного выходного света из PBS 110 могут содержать некоторую нежелательную поляризацию. Поэтому, первый поляризатор 121 может быть вставлен на первом пути между PBS 110 и первой волноводной схемой 131 для получения более чистой ТЕ моды, содержащей только свет, который был изначально X поляризован (с меньшим уровнем нежелательной поляризации). Достижение такой более чистой поляризационной моды или удаление других нежелательных поляризаций из луча света называется здесь очисткой поляризационной моды. Аналогично, второй поляризатор 122 может быть вставлен во второй путь между PBS 110 и второй волноводной схемой 132 для достижения более чистой ТЕ моды, содержащей только свет, который изначально был Y поляризованным. Второй поляризатор 122 может иметь такую же конструкцию, как и у первого поляризатора 121.
На фиг. 2 показан пример фотонной микросхемы 200 переключателя, который может включать в себя поляризатор. Фотонная микросхема 200 переключателя включает в себя множество волокон или волноводов 210, переносящих массив входных световых лучей с двойной поляризацией (например, поляризованный свет с ТЕ и ТМ модами) и соответствующий массив поляризационных расщепителей 212, связанных с волокнами 210. Микросхема 200 также включает в себя первую матрицу 225 переключателя волноводов ТЕ и вторую матрицу 225 переключателя также волноводов ТЕ, обе связаны с поляризационными расщепителями 212. Поляризационные расщепители 212 расщепляют поступающий свет на ТЕ и ТМ моды, и перенаправляет каждый из них в одну из двух матриц 225 переключателей. Например, поляризационный расщепитель 212 может представлять собой направленный соединитель, изогнутый направленный соединитель или многомодовый интерференционный элемент.
Массив поляризационных вращателей 202 расположен между поляризационными расщепителями 212 и входом второй матрицы 225 переключателя. Например, поляризационный вращатель 202 может представлять собой волновод с асимметричным поперечным сечением. Это позволяет поворачивать поступающий поляризованный свет с ТМ модой в ортогонально поляризованный свет, пригодный для связывания ТЕ модами волноводов во второй матрице 225 переключателя. Выходы обеих матриц 225 переключателя связаны с массивом поляризационных объединителей 213, которые объединяют соответствующие входные лучи из матриц 225 переключателей в выходные лучи света с двойной поляризацией для другого массива оптических волокон 211. Массив вторых поляризационных вращателей 201 расположен между поляризационными объединителями 213 и выходом первой матрицы 225 переключателей поляризации. Это позволяет поворачивать поляризованный свет ТЕ моды из первой матрицы 225 переключателя в ортогональный поляризованный свет, пригодный для связывания с ТМ модой поляризационных объединителей 213. ТМ моды затем объединяют в поляризационных объединителях 213 с ТЕ модами, принятыми из второй матрицы 225 переключателя. Кроме того, очищающие поляризаторы 221 ТЕ могут быть добавлены к любому одному или больше из входов и выводов матриц 225 переключателя, как показано. Добавленные поляризаторы 221 «очищают» лучи поляризационного света на входах и выходах матриц 225 переключателя.
Как описано выше, поляризаторы 121, 122 и 221 «очищают» поляризационную моду оптического излучения и улучшают рабочие характеристики оптического устройства. Поляризаторы обеспечивают поляризационно чистый сигнал, что исключает перекрестные помехи, связанные с поляризацией излучения, неточное детектирование оптической мощности, перекрестные помехи из-за многолучевого распространения или другие нежелательные оптические проблемы. На фиг. 3 показан вариант поляризационной конструкции 300 для поляризатора, такого как поляризаторы 121, 122 и 221. Конструкция 300 представляет собой волноводный поляризатор с низкими потерями, содержащий оптический волновод с одиночной модой, имеющий последовательность изгибов. Волновод может представлять собой кремниевый волновод на изоляторе, например, из диоксида кремния (также называемый кремнеземом) на подложке (например, на кремниевой подложке). Изгибы выполнены так, чтобы они имели низкие потери для предназначенной моды излучения с заданной поляризацией. Кроме того, в вариантах осуществления изобретения изгибы могут быть дополнительно выполнены так, чтобы они имели высокие потери для мод ортогональной поляризации или других мод, кроме желательной поляризационной моды. Изгибы и участки волновода между изгибами - все находятся в одной и той же плоскости желательной моды. Как показано, волновод содержит последовательность изгибов, имеющих змеевидную форму. В других вариантах осуществления изобретения изогнутый волновод содержит последовательность изгибов, имеющих одну или комбинацию из змеевидной формы, двойной змеевидной формы и спиральной формы.
Волновод и его изгибы могут быть выполнены так, чтобы они имели низкие потери для ТЕ поляризационной моды и высокие потери для ТМ поляризационной моды. Такой выбор моды может быть достигнут при выполнении изгибов так, чтобы они по существу содержали моду ТЕ в волноводе и излучали моду ТМ за пределами волновода. Изгибы и волновод располагаются в той же плоскости, что и содержащаяся ТЕ мода и излучаемая ТМ мода. Волновод может быть дополнительно окружен подходящим поглощающим материалом для предотвращения повторного ввода ТМ моды в волновод (например, на другом участке волновода). Геометрия изгиба может включать в себя изгиб «дуги круга», изгиб Безье, изгиб синусоидальной формы, другую подходящую геометрию изгиба или изогнутости, или их комбинации. Волновод может содержать кремний в сердцевине (где распространяется излучение) и двуокись кремния в виде оболочки вокруг кремниевой сердцевины. Оболочка обеспечивает удержание излучения, при его распространении внутри сердцевины волновода, в результате внутреннего отражения излучения на границе перехода между оболочкой и сердцевиной. В других вариантах осуществления изобретения другие подходящие материалы, которые используются в других компонентах микросхем, могут также использоваться для сердцевины и оболочки волноводного поляризатора.
Изгибы могут быть размещены, используя змеевидную компоновку или зигзагообразную компоновку, содержащую изгибы на 90 градусов или изгибы на 180 градусов (как показано на фиг. 3) с прямой областью или малоизогнутой областью между изгибами. Для предотвращения обратной связи излучения в моде ТМ в следующий цикл змеевидной компоновки в конструкции 300, поглощающая область помещена в зазоре между каждым циклом змеевидной компоновки. Примеры поглощающего материала включают в себя слои германия и/или сильнолегированного кремния, которые обычно используются при изготовлении кремниевых фотонных микросхем.
В Таблице 1 представлены примеры конструкции для поляризатора с множеством изгибов. Данные в таблице представляют сравнение между адиабатическим изгибом Безье и специально разработанным адиабатическим изгибом, имеющим конструкцию синусоидальная-круговая-синусоидальная, как описано дополнительно ниже. Используемый здесь термин адиабатический изгиб или адиабатический участок представляет изогнутую структуру или участок с радиусом кривизны, который изменяется плавно и медленно без разрывов или резких изменений, что минимизирует оптические потери на изгибе. Изгиб, который включает в себя разрыв в радиусе кривизны, может вызывать нежелательное оптическое рассеяние в месте разрыва. Ширина кремниевого волновода составляет 0,45 микрометра (мкм) во всех случаях, представленных в Таблице 1. С конструктивными параметрами, представленными в Таблице 1, результаты моделирований показывают, что изгиб синусоидальной формы с радиусом 3 мкм мог бы иметь потери 0,007 дБ для ТЕ и 0,86 дБ для ТМ. Таким образом, последовательность из 20 изгибов привела бы к потере 0,14 дБ для ТЕ и 17 дБ для ТМ, и поляризатор имел бы вносимые потери 0,14 дБ и поляризационное затухание 17 дБ. Различные значения вносимых потерь, поляризационного затухания и физических размеров могут быть достигнуты, используя разное количество изгибов, разный радиус изгиба и разную форму изгиба. Все изгибы могут быть выполнены одинаковыми или могут изменяться вдоль длины устройства.
На фиг. 4 показан вид сверху варианта конструкции 400 изгиба синусоидальной-круговой-синусоидальной формы поляризатора, например, на подложке. Конструкция 400 изгиба соответствует специально разработанному адиабатическому изгибу, представленному выше. Изгиб может содержать разные формы изгиба на разных участках. Формы включают в себя два участка адиабатического изгиба синусоидальной формы на краях изгиба, контактирующих с волноводами, и изгиб круговой формы между двумя адиабатическими изгибами синусоидальной формы. Полученная в результате конструкция формирует общий изгиб на 90 градусов. Другие конструкции могут включать в себя другие комбинации участков изогнутой формы для других углов изгиба.
На фиг. 5 показан вид в поперечном сечении варианта конструкции 500 поляризатора ТЕ, например, с подложкой в нижней части (не показана). Поляризатор представляет собой волновод, содержащий один или больше изгибов для обеспечения низких потерь ТЕ0 и больших потерь ТМ0, как описано выше. Поперечное сечение представляет волновод с прямоугольным профилем в поперечном сечении с большей шириной, чем высота. Волновод имеет кремниевую сердцевину и оболочку из двуокиси кремния. Аналогично, изгиб может быть выполнен для обеспечения низких потерь для ТМ0 и больших потерь для ТЕ0, и использоваться как ТМ поляризатор. На фиг. 6 показано поперечное сечение варианта конструкции 600 ТМ поляризатора. Поляризатор представляет собой волновод, содержащий один или больше изгибов для обеспечения низких потерь ТМ0 и высоких потерь ТЕ0. В поперечном сечении представлен волновод с прямоугольным профилем, с большей высотой, чем ширина. Волновод имеет кремниевую сердцевину и оболочку из двуокиси кремния.
На фиг. 7 показан вариант осуществления способа 700 изготовления поляризационного устройства (волноводного поляризатора), содержащего последовательность изгибов. Способ 700 может использоваться для формирования поляризаторов, описанных выше, как интегрированная часть процесса изготовления всей фотонной схемы или оптического устройства. На этапе 710 формируют волновод фотонной схемы или оптического устройства, используя технологические процессы изготовления полупроводникового устройства. Этап формирования включает в себя: конфигурирование геометрии и размеров волноводов для поддержки ТЕ, ТМ или других требуемых поляризационных мод, например, в соответствии с требуемыми рабочими длинами волн. Например, волновод с кремниевой сердцевиной, с оболочкой из двуокиси кремния может быть сформирован на кремниевой или диэлектрической подложке, используя процессы литографического экспонирования и травления. На этапе 720 последовательность изгибов формируется в волноводах для «очистки» требуемой поляризационной моды волновода. Изгибы могут иметь разные формы, как описано выше. Этот этап может представлять собой часть этапа формирования волновода. Например, экспонируют всю конструкцию, включая волноводы и изгибы, затем проявляют и затем вытравливают. На этапе 730, поглощающий излучение материал (материал заполнения) размещается вокруг волновода и изгибов волновода, например, на носителе подложки фотонной микросхемы.
Несмотря на то, что некоторые варианты были представлены в настоящем описании, следует понимать, что раскрытые системы и способы могут быть воплощены во множестве других конкретных форм, без выхода за пределы сущности или объема настоящего изобретения. Существующие примеры следует рассматривать как иллюстративные, а не ограничительные, и изобретение не должно быть ограничено деталями, представленными здесь. Например, различные элементы или компоненты могут быть скомбинированы или интегрированы в другой системе, или определенные свойства могут быть исключены или не воплощены.
Кроме того, технологии, системы, подсистемы и способы, описанные и представленные в различных вариантах осуществления, как дискретные или отдельные, могут быть скомбинированы или интегрированы с другими системами, модулями, технологиями или способами, без выхода за пределы объема настоящего изобретения. Другие элементы, показанные или описанные, как связанные или прямо соединенные или связывающиеся друг с другом, могут быть соединенными опосредованно или могут связываться через некоторый интерфейс, устройство или промежуточный компонент электрически, механически или по-другому. Другие примеры изменений, замен и преобразований могут быть выполнены специалистом в данной области техники и могут быть выполнены без выхода за пределы раскрытых здесь сущности и объема изобретения.
Claims (32)
1. Оптический поляризатор, содержащий
оптический волновод, конфигурированный с возможностью распространения светового излучения с заданной поляризационной модой и содержащий изгиб в той же плоскости, что и распространяемое световое излучение,
при этом указанный изгиб имеет конфигурацию, обеспечивающую возможность иметь в указанном оптическом волноводе заданную поляризационную моду распространяющегося светового излучения и излучать наружу из оптического волновода вторую поляризационную моду распространяющегося светового излучения, причем
заданная поляризационная мода представляет собой поперечную электрическую (TE) моду, а вторая поляризационная мода представляет собой поперечную магнитную (ТМ) моду.
2. Оптический поляризатор по п. 1, в котором вторая поляризационная мода ортогональна заданной поляризационной моде.
3. Оптический поляризатор по п. 1, в котором геометрическая форма изгиба представляет собой дуговую форму, или адиабатическую форму, или кривую Безье, или форму синусоидальной кривой.
4. Оптический поляризатор по п. 1, в котором геометрическая форма изгиба содержит адиабатическую синусоидальную кривую, связанную с прямым участком волновода, поворот с постоянным радиусом кривизны, связанный с указанной адиабатической синусоидальной кривой, и вторую адиабатическую синусоидальную кривую, соединенную с указанным поворотом с постоянным радиусом и со вторым прямым участком волновода.
5. Оптический поляризатор по п. 1, в котором указанный изгиб представляет собой приблизительно 90-градусный изгиб оптического волновода.
6. Оптический поляризатор по п. 1, в котором указанный изгиб представляет собой приблизительно 180-градусный изгиб оптического волновода.
7. Оптический поляризатор по п. 1, в котором оптический волновод, включающий изгиб, содержит сердцевину из кремния.
8. Оптический поляризатор по п. 7, в котором оптический волновод, включающий изгиб, содержит оболочку из оксида кремния, окружающую сердцевину.
9. Оптический поляризатор по п. 1, в котором оптический волновод, включающий изгиб, состоит из кремния на подложке из изолятора.
10. Оптическое устройство, содержащее
оптический волновод, конфигурированный с возможностью распространения светового излучения с заданной поляризационной модой; и
изогнутый волновод, связанный с указанным оптическим волноводом, имеющий конфигурацию изгиба, которая обеспечивает возможность иметь в изогнутом волноводе заданную поляризационную моду распространяющегося светового излучения и излучать наружу из изогнутого волновода вторую поляризационную моду распространяющегося светового излучения,
при этом заданная поляризационная мода представляет собой поперечную электрическую (TE) моду, а вторая поляризационная мода представляет собой поперечную магнитную (ТМ) моду.
11. Оптическое устройство по п. 10, в котором оптический волновод и изогнутый волновод изготовлены с использованием одной и той же последовательности стадий литографии с использованием одних и тех же полупроводниковых и диэлектрических материалов.
12. Оптическое устройство по п. 10, в котором изогнутый волновод содержит последовательность изгибов, имеющих змеевидную форму, или двойную змеевидную форму, или спиральную форму.
13. Оптическое устройство по п. 10, в котором изогнутый волновод окружен материалом, поглощающим световое излучение.
14. Оптическое устройство по п. 13, в котором материал, поглощающий световое излучение, представляет собой германий или легированный кремний на подложке.
15. Оптическое устройство по п. 10, в котором оптическое устройство представляет собой оптический приемник, дополнительно содержащий
поляризационный расщепитель луча (PBS), связанный с указанным оптическим волноводом через указанный изогнутый волновод, при этом изогнутый волновод представляет собой поляризатор для первой моды светового излучения из PBS, для оптического волновода;
второй оптический волновод, аналогичный указанному оптическому волноводу и повернутый приблизительно на 90° относительно указанного оптического волновода, при этом второй оптический волновод связан с PBS; и
второй изогнутый волновод, аналогичный указанному изогнутому волноводу и повернутый приблизительно на 90° относительно указанного изогнутого волновода, при этом повернутый второй изогнутый волновод расположен между PBS и указанным повернутым вторым оптическим волноводом и представляет собой поляризатор для второй моды светового излучения из PBS, для второго оптического волновода.
16. Оптическое устройство по п. 10, которое представляет собой оптический переключатель, дополнительно содержащий
поляризационный расщепитель и
матрицу переключателя, содержащую указанный оптический волновод и связанную с поляризационным расщепителем через указанный изогнутый волновод, при этом изогнутый волновод представляет собой поляризатор для поперечной электрической моды между указанным поляризационным расщепителем и матрицей переключателя.
17. Оптическое устройство по п. 16, в котором оптический переключатель дополнительно содержит вращатель поляризации, расположенный между изогнутым волноводом и поляризационным расщепителем.
18. Способ изготовления поляризатора, характеризующийся тем, что
формируют оптический волновод на подложке, используя процесс изготовления полупроводниковых приборов, при этом формируют структуру и размеры оптического волновода таким образом, чтобы обеспечить поддержку требуемой поляризационной моды распространяющегося светового излучения в соответствии с требуемой рабочей длиной волны;
формируют последовательность изгибов в указанном волноводе в ходе изготовления полупроводникового прибора, при этом обеспечивают форму и размеры изгибов таким образом, чтобы требуемая поляризационная мода содержалась в волноводе, а вторая поляризационная мода излучалась наружу из волновода; при этом заданная поляризационная мода представляет собой поперечную электрическую (TE) моду, а вторая поляризационная мода представляет собой поперечную магнитную (ТМ) моду, и
размещают на подложке вокруг волновода и изгибов волновода материал, поглощающий световое излучение.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US14/231,429 US9690045B2 (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | Apparatus and method for a waveguide polarizer comprising a series of bends |
| US14/231,429 | 2014-03-31 | ||
| PCT/CN2015/074477 WO2015149621A1 (en) | 2014-03-31 | 2015-03-18 | Apparatus and method for waveguide polarizer comprizing series of bends |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016142576A3 RU2016142576A3 (ru) | 2018-05-04 |
| RU2016142576A RU2016142576A (ru) | 2018-05-04 |
| RU2664754C2 true RU2664754C2 (ru) | 2018-08-22 |
Family
ID=54190060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016142576A RU2664754C2 (ru) | 2014-03-31 | 2015-03-18 | Устройство и способ для волноводного поляризатора, содержащего последовательность изгибов |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9690045B2 (ru) |
| EP (1) | EP3111263B1 (ru) |
| JP (1) | JP6365855B2 (ru) |
| KR (1) | KR101893048B1 (ru) |
| CN (1) | CN106461871B (ru) |
| AU (1) | AU2015240290B2 (ru) |
| BR (1) | BR112016022871B1 (ru) |
| RU (1) | RU2664754C2 (ru) |
| SG (1) | SG11201608206TA (ru) |
| WO (1) | WO2015149621A1 (ru) |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9746609B2 (en) | 2015-06-30 | 2017-08-29 | Elenion Technologies, Llc | Integrated on-chip polarizer |
| US10613274B2 (en) * | 2016-05-13 | 2020-04-07 | Luxtera, Inc. | Method and system for integrated multi-port waveguide photodetectors |
| US10838146B2 (en) * | 2016-06-03 | 2020-11-17 | Rockley Photonics Limited | Single mode waveguide with an adiabatic bend |
| US11320267B2 (en) | 2017-03-23 | 2022-05-03 | Kvh Industries, Inc. | Integrated optic wavemeter and method for fiber optic gyroscopes scale factor stabilization |
| WO2018176115A1 (en) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Apparatus and method for scanning and ranging with eye-safe pattern |
| FR3066282A1 (fr) | 2017-05-12 | 2018-11-16 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Diviseur de signal optique |
| US10495794B2 (en) * | 2017-12-12 | 2019-12-03 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Polarization insensitive optical phased array and associated method |
| GB2572641B (en) | 2018-04-06 | 2021-06-02 | Rockley Photonics Ltd | Optoelectronic device and array thereof |
| JP2019219484A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 日本電気株式会社 | 偏波クリーナ及び光モジュール |
| US11536901B2 (en) * | 2018-08-13 | 2022-12-27 | The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate | Compact and efficient integrated photonic device for coupling light on- and off-chip |
| JP2022504470A (ja) * | 2018-10-11 | 2022-01-13 | ケーブイエイチ インダストリーズ インク | フォトニック集積回路、光ファイバジャイロスコープ及びその製造方法 |
| WO2020092789A1 (en) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | Kvh Industries, Inc. | Method and apparatus for control and suppression of stray light in a photonic integrated circuit |
| US11061186B2 (en) * | 2018-11-26 | 2021-07-13 | Globalfoundries U.S. Inc. | Waveguide structures |
| CN111338025A (zh) * | 2018-12-19 | 2020-06-26 | 中兴光电子技术有限公司 | 一种滤模装置和方法 |
| US10802213B2 (en) * | 2018-12-27 | 2020-10-13 | Juniper Networks, Inc. | Photodetector with sequential asymmetric-width waveguides |
| US11048042B2 (en) * | 2019-04-01 | 2021-06-29 | Lumentum Operations Llc | Curved waveguide configuration to suppress mode conversion |
| US11353655B2 (en) * | 2019-05-22 | 2022-06-07 | Kvh Industries, Inc. | Integrated optical polarizer and method of making same |
| CN111999801A (zh) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | 华为技术有限公司 | 一种plc芯片、tosa、bosa、光模块、以及光网络设备 |
| US10921682B1 (en) | 2019-08-16 | 2021-02-16 | Kvh Industries, Inc. | Integrated optical phase modulator and method of making same |
| JP2021067898A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | アダマンド並木精密宝石株式会社 | 光伝搬装置 |
| CN111239882B (zh) * | 2020-01-15 | 2021-09-28 | 南京大学 | 一种太赫兹贝塞尔光束产生器、制备方法及产生系统 |
| US11105978B2 (en) * | 2020-02-04 | 2021-08-31 | Globalfoundries U.S. Inc. | Polarizers including stacked elements |
| CN111965826B (zh) * | 2020-08-27 | 2022-11-15 | Oppo广东移动通信有限公司 | 智能眼镜的控制方法、装置、存储介质及智能眼镜 |
| WO2022041153A1 (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 华为技术有限公司 | 一种硅光子波导起偏器、收发器光模块及光通信设备 |
| WO2022184869A1 (en) | 2021-03-05 | 2022-09-09 | Rockley Photonics Limited | Higher order mode filter |
| CN117561463A (zh) * | 2021-07-01 | 2024-02-13 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 脊形波导、微环谐振器、可调光延迟线及芯片 |
| CN113835242A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-12-24 | 北京大学 | 起偏器、起偏器制备方法及光纤陀螺仪 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1320683A1 (ru) * | 1985-05-22 | 1987-06-30 | Винницкий политехнический институт | Устройство дл измерени вибраций |
| US5838844A (en) * | 1995-09-20 | 1998-11-17 | U.S. Philips Corporation | Integrated optical circuit comprising a polarization convertor |
| US6324312B1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-11-27 | National Science Council | Structure and method for fabricating a wide-angle TE-TM mode splitter |
| US20090190876A1 (en) * | 2006-08-16 | 2009-07-30 | Fujitsu Limited | Waveguide polarizer and optical waveguide device |
| RU2567116C1 (ru) * | 2014-06-17 | 2015-11-10 | Закрытое акционерное общество "Профотек" | Волоконно-оптический чувствительный элемент датчика электрического тока и магнитного поля |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4084130A (en) * | 1974-01-18 | 1978-04-11 | Texas Instruments Incorporated | Laser for integrated optical circuits |
| US4998793A (en) | 1989-11-14 | 1991-03-12 | At&T Bell Laboratories | Adiabatic polarization manipulating device |
| JP2679570B2 (ja) | 1993-04-02 | 1997-11-19 | 日本電気株式会社 | 偏光分離素子 |
| US5436992A (en) | 1994-10-18 | 1995-07-25 | National Science Council | Lithium niobate optical TE-TM mode splitter |
| IN190212B (ru) | 1996-07-23 | 2003-07-05 | Samsung Electronics Co Ltd | |
| JPH1090538A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 曲がり導波路型半導体偏波回転素子 |
| JPH11183742A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体導波型偏波回転素子 |
| JP2000180646A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Fujitsu Ltd | 光回路装置 |
| JP2002182051A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-06-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路モジュール |
| US7302135B2 (en) * | 2001-06-05 | 2007-11-27 | Pirelli & C. S.P.A. | Waveguide bends and devices including waveguide bends |
| JP2003329862A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路モジュール |
| US7171085B2 (en) | 2003-07-29 | 2007-01-30 | Jds Uniphase Corporation | Polarization compensated optical tap |
| JP4636426B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2011-02-23 | 横河電機株式会社 | 光信号交換装置 |
| US8787710B2 (en) * | 2009-06-02 | 2014-07-22 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Wideband interferometer type polarization light beam combiner and splitter |
| US8682119B2 (en) | 2011-05-09 | 2014-03-25 | Alcatel Lucent | High performance optical polarization diversity circuit |
| WO2013051095A1 (ja) * | 2011-10-03 | 2013-04-11 | 富士通株式会社 | 光半導体素子、その制御方法及びその製造方法 |
| US9709740B2 (en) * | 2012-06-04 | 2017-07-18 | Micron Technology, Inc. | Method and structure providing optical isolation of a waveguide on a silicon-on-insulator substrate |
| CN202661674U (zh) | 2012-06-25 | 2013-01-09 | 中国计量学院 | 儿字形一维光子晶体太赫兹波偏振分束器 |
-
2014
- 2014-03-31 US US14/231,429 patent/US9690045B2/en active Active
-
2015
- 2015-03-18 WO PCT/CN2015/074477 patent/WO2015149621A1/en active Application Filing
- 2015-03-18 EP EP15772218.2A patent/EP3111263B1/en active Active
- 2015-03-18 AU AU2015240290A patent/AU2015240290B2/en active Active
- 2015-03-18 KR KR1020167030112A patent/KR101893048B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-18 SG SG11201608206TA patent/SG11201608206TA/en unknown
- 2015-03-18 JP JP2016560450A patent/JP6365855B2/ja active Active
- 2015-03-18 RU RU2016142576A patent/RU2664754C2/ru active
- 2015-03-18 CN CN201580015443.0A patent/CN106461871B/zh active Active
- 2015-03-18 BR BR112016022871-5A patent/BR112016022871B1/pt active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1320683A1 (ru) * | 1985-05-22 | 1987-06-30 | Винницкий политехнический институт | Устройство дл измерени вибраций |
| US5838844A (en) * | 1995-09-20 | 1998-11-17 | U.S. Philips Corporation | Integrated optical circuit comprising a polarization convertor |
| US6324312B1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-11-27 | National Science Council | Structure and method for fabricating a wide-angle TE-TM mode splitter |
| US20090190876A1 (en) * | 2006-08-16 | 2009-07-30 | Fujitsu Limited | Waveguide polarizer and optical waveguide device |
| RU2567116C1 (ru) * | 2014-06-17 | 2015-11-10 | Закрытое акционерное общество "Профотек" | Волоконно-оптический чувствительный элемент датчика электрического тока и магнитного поля |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG11201608206TA (en) | 2016-10-28 |
| JP2017518524A (ja) | 2017-07-06 |
| JP6365855B2 (ja) | 2018-08-01 |
| WO2015149621A1 (en) | 2015-10-08 |
| EP3111263A1 (en) | 2017-01-04 |
| KR20160138256A (ko) | 2016-12-02 |
| US20150277042A1 (en) | 2015-10-01 |
| CN106461871A (zh) | 2017-02-22 |
| BR112016022871B1 (pt) | 2022-10-11 |
| EP3111263B1 (en) | 2021-09-01 |
| US9690045B2 (en) | 2017-06-27 |
| BR112016022871A2 (pt) | 2018-07-03 |
| EP3111263A4 (en) | 2017-05-03 |
| AU2015240290A1 (en) | 2016-10-27 |
| CN106461871B (zh) | 2019-08-20 |
| AU2015240290B2 (en) | 2018-03-01 |
| RU2016142576A3 (ru) | 2018-05-04 |
| KR101893048B1 (ko) | 2018-08-29 |
| RU2016142576A (ru) | 2018-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2664754C2 (ru) | Устройство и способ для волноводного поляризатора, содержащего последовательность изгибов | |
| Xu et al. | Compact broadband polarization beam splitter based on multimode interference coupler with internal photonic crystal for the SOI platform | |
| JP6198091B2 (ja) | 導波路偏光スプリッタ兼偏光回転子 | |
| US9377587B2 (en) | Fiber optic coupler array | |
| US8594503B2 (en) | Method and system for multiplexer waveguide coupling | |
| US9696486B2 (en) | Surface-normal coupler for silicon-on-insulator platforms | |
| US20120207428A1 (en) | Methods and systems for reducing polarization dependent loss | |
| US7474825B1 (en) | Circular grating resonator with integrated electro-optical modulation | |
| US9151901B2 (en) | Wavelength-selective path-switching element | |
| KR101900630B1 (ko) | 교차 도파관 | |
| JP5702757B2 (ja) | 光導波路素子 | |
| CN114371553A (zh) | 用于产生光栅耦合器的物理布局的方法 | |
| Galán | Addressing fiber-to-chip coupling issues in silicon photonics | |
| Ong | Photonic Grating Coupler Designs for Optical Benching | |
| Kong | Design and characterization of optical phased array with half-wavelength spacing | |
| JP6991259B2 (ja) | 光導波路素子 | |
| Kossey et al. | End-fire silicon waveguide array as a platform for high power beam shaping and steering | |
| Teng | Design and characterization of optical fiber-to-chip edge couplers and on-chip mode division multiplexing devices | |
| Aalto et al. | Si photonics using micron-size waveguides | |
| JP6478907B2 (ja) | 端面光結合型シリコン光集積回路 | |
| Cherchi et al. | New silicon photonics integration platform enabled by novel micron-scale bends | |
| Cherchi et al. | Second order add/drop filter with a single ring resonator | |
| Aalto et al. | Bend-size reduction on the SOI rib waveguide platform | |
| JP2019219484A (ja) | 偏波クリーナ及び光モジュール | |
| Themistos et al. | Design issues for ultracompact multimode interference-based 3dB power splitters |