RU2561439C2 - Пьезоэлектрический керамический материал - Google Patents
Пьезоэлектрический керамический материал Download PDFInfo
- Publication number
- RU2561439C2 RU2561439C2 RU2014100312/03A RU2014100312A RU2561439C2 RU 2561439 C2 RU2561439 C2 RU 2561439C2 RU 2014100312/03 A RU2014100312/03 A RU 2014100312/03A RU 2014100312 A RU2014100312 A RU 2014100312A RU 2561439 C2 RU2561439 C2 RU 2561439C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cuo
- piezoelectric ceramic
- ceramic material
- formation
- piezoelectric
- Prior art date
Links
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 title claims description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 21
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical class [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 239000011734 sodium Substances 0.000 abstract description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 2
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 abstract description 2
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N Na2O Inorganic materials [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 abstract 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 abstract 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 abstract 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 abstract 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Na 2 O Chemical compound 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Изобретение относится к пьезокерамическим материалам и может быть использовано при создании ультразвуковых преобразователей, в частности устройств медицинской диагностики. Пьезокерамический материал на основе системы твердых растворов aNaNbO3+bKNbO3+cCuNb2O6 (а+b+с=100%) содержит оксиды натрия, калия, ниобия и меди при следующем соотношении компонентов, мас.%: Na2O - 8,56÷8,75, K2O 12,75÷13,01, Nb2O5 77,28÷77,35, CuO 1,16 или Na2O 9,22÷9,50, K2O 11,69÷12,09, Nb2O5 77,53÷77,64, CuO 1,16. Технический результат изобретения: материал характеризуется повышенным значением механической добротности (Qm=500), пониженной величиной относительной диэлектрической проницаемости (εT 33/ε=345) при сохранении высоких пьезоэлектрических характеристик. Это обусловлено образованием в процессе спекания промежуточных Сu-содержащих соединений с низкой температурой плавления, с которыми связано формирование жидких фаз, уплотняющих структуру, и, как следствие, снижающих сопротивление образца на частоте пьезоэлектрического резонанса. 2 табл.
Description
Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе ниобата натрия и может быть использовано в ультразвуковых преобразователях, в частности в устройствах медицинской диагностики.
Для указанных применений пьезоэлектрический керамический материал должен иметь достаточно высокие значения механической добротности, Qm (более 400), коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, Кр (более 0.30), пьезоэлектрического коэффициента d33 (более 90), пьезоэлектрического коэффициента |d31| (более 30) и невысокую относительную диэлектрическую проницаемость, ε33 T/ε0 (от 300 до 500).
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе титаната бария, включающий карбонаты Na2CO3, K2CO3, BaCO3, Li2CO3, и оксиды Bi2O3, Nb2O5, Ta2O5, TiO2. Материал имеет для лучших составов Qm=319, d33=97 пКл/Н, Кр=0.21, ε33 T/ε0=755 [1].
Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения Qm и слишком большую величину ε33 T/ε0 .
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий карбонаты Na2CO3, K2CO3 и оксиды Nb2O5, In2O3. Материал имеет ε33 T/ε0=380, d33=93 пКл/Н, Кр=0.301 [2].
Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения Кр. Кроме того, указанный материал в своем составе содержит дорогостоящий оксид редкоземельного элемента In2O3.
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий карбонаты Li2CO3, Na2CO3, K2CO3 и оксиды Nb2O5, Ta2O5 с добавками Ni2+. Материал имеет Qm=108-457, |d31|=39.6-50.5 пКл/Н, Кр=0.292-0.356, ε33 T/ε0=672-822 [3].
Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения Qm и слишком большую величину ε33 T/ε0.
Наиболее близким к заявляемому материалу по технической сущности и достигаемому результату является пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия (ЕР 1032057 A1, H01L 41/187, дата публикации 30.08.2000) [4], принимаемый за прототип настоящего изобретения, включающий оксиды K2O, Na2O, Nb2O5, CuO. Известный материал имеет ε33 T/ε0=237, Кр=0.389, Qm=1408.2.
Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения ε33 T/ε0 и слишком большую величину Qm.
Задачей настоящего изобретения является понижение значений относительной диэлектрической проницаемости до ε33 T/ε0=300-500; повышение механической добротности Qm=500 при сохранении высокой пьезоэлектрической активности (Кр>0.3, d33>90, |d31|>30). При этом материал должен быть получен по обычной керамической технологии, допускающей его массовое производство.
Указанный результат достигается тем, что пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, Nb2O5 и Cu-содержащее соединение, отличающийся тем, что в качестве Cu-содержащего соединения используется двойной ниобат меди CuNb2O6 при следующем соотношении исходных компонентов, масс. %:
Na2O - 8,56÷8,75
K2O - 12,75÷13,01
Nb2O5 - 77,28÷77,35
CuO - 1,16÷1,16 г
или
Na2O - 9,22÷9,50
K2O - 11,69÷12,09
Nb2O5 - 77,53÷77,64
CuO - 1,16÷1,16
Состав материала отвечает формуле:
aNaNbO3+bKNbO3+cCuNb2O6,
где a=50.00 (в мол. %), b=45 (в мол. %), с=2.5 (в мол. %), а+b+с=100%.
В рассматриваемом европейском патенте (ЕР 1032057 A1, H01L 41/187, дата публикации 30.08.2000) Cu-содержащее соединение вводится в состав твердого раствора сверх стехиометрии в форме монооксида (CuO), в то время как для изготовления заявленного нами материала мы используем предварительно синтезированный двойной ниобат меди - CuNb2O6, вводимый в соответствии со стехиометрией. Последнее способствует встраиванию катионов Cu2+ в кристаллическую решетку и их равномерному распределению в отличие от сверхстехиометрического введения CuO в противопоставляемом патенте. Кроме того, появление дополнительной концентрации К+ (за счет введения соединения CuNb2O6) способствует компенсации потерь этого легколетучего катиона из-за гидролиза гидрокарбоната калия в ходе синтеза. Введение соединения CuNb2O6 в отличие от модифицирования CuO позволяет также избежать образования низкоплавких эвтектик на стадии синтеза, приводящих к нарушению стехиометрии и, как следствие, появлению примесных фаз [5].
В табл. 1 приведены значения электрофизических параметров пьезоэлектрического керамического материала в зависимости от состава.
В табл. 2 приведены сравнительные электрофизические параметры прототипа и оптимального состава заявляемого пьезоэлектрического керамического материала.
В качестве исходных реагентов использовались оксиды следующих квалификаций: K2O - «ч», Na2O - «ч.д.а.», Nb2O3 - «Нбо-Пт», CuO - «хч».
Пьезоэлектрический керамический материал изготавливается по обычной керамической технологии следующим образом. Синтез осуществляется путем однократного обжига смесей, предварительно полученных ниобатов NaNbO3 и KNbO3 и колумбита CuNb2O6. В качестве исходных реагентов выступали оксиды, масс. %:
Na2O - 8,56÷8,75
K2O - 12,75÷13,01
Nb2O5 - 77,28÷77,35
CuO - 1,16÷1,16
или
Na2O - 9,22÷9,50
K2O - 1,69÷12,09
Nb2O5 - 77,53÷77,64
CuO - 1,16÷1,16
Темпеатура обжига Тсинт=(750-1050)°C при длительности изотермической выдержки τ=5 ч. Спекание образцов в виде столбиков ⌀12 мм, высотой 15-18 мм осуществляется при Тсп=(1050-1130)°C, длительность изотермической выдержки τ=2 ч. Металлизация (нанесение электродов) производится путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1 мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг=1070К в течение 0.5 ч. Образцы поляризуют в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 410 К в течение 40 мин в постоянном электрическом поле напряженностью 3 кВ/см.
В соответствии с ОСТ 11.0444-87 определяли электрофизические характеристики: относительную диэлектрическую проницаемость поляризованных (ε33 T/ε0) образцов, пьезомодули - (|d31|) и (d33), коэффициент электромеханической связи планарной моды колебаний (Кр), механическую добротность (Qm).
Полученные экспериментальные данные (табл. 1, примеры 2-4) свидетельствуют о том, что пьезоэлектрический керамический материал предлагаемого состава обладает совокупностью электрофизических параметров, отвечающих задаче изобретения (300<ε33 T/ε0<500, d33≥90 пКл/Н |d31|≥30 пКл/Н, Кр>0.3, Qm>400). Выход за пределы заявленных концентраций компонентов приводит к значительному снижению целевых параметров, в частности Qm и Кр.
Данные, приведенные в табл. 2, подтверждают преимущества заявляемого пьезоэлектрического керамического материала по сравнению с материалом-прототипом, а именно повышение Qm и понижение ε33 T/ε0 до значений ~500 пКл/Н и 345 соответственно при сохранении высоких Кр, d33 и |d31|, 0.32, 90 пКл/Н и 30 пКл/Н, соответственно. Эффект повышения электрофизических параметров достигается по существу введением в материал, включающий Na2O, K2O и Nb2O5, оксида меди CuO.
Высокие значения Qm и Кр материала определяют основное его назначение
- использование в различных ультразвуковых преобразователях, работающих в высокочастотном диапазоне, в частности в устройствах медицинской диагностики. В традиционных медицинских ультразвуковых излучателях используется частота менее 10 МГц, что позволяет несколько повысить глубину проникновения сигнала за счет некоторого снижения итогового разрешения.
При условии согласования преобразователя с нагрузкой (Ri=Rн) (обычно реализуемое в выпускаемой промышленностью радиоэлектронной аппаратуре выходное сопротивление Rн ~50 Ом для высоких частот), используя формулу для емкостного сопротивления преобразователя: Ri=1/ωС, где Ri - емкостное сопротивление преобразователя, Ом; ω - круговая частота, Гц; С - емкость, Ф;
- можно приблизительно оценить интервалы значений емкости С=1/2πfRi для указанных диапазонов частот, а следовательно, и относительной диэлектрической проницаемости поляризованных элементов, ε33 T/ε0=k·С, где k - коэффициент, зависящий от размеров элементов, ε0=8.85·10-12 Ф - диэлектрическая проницаемость вакуума при k=1, ε33 T/ε0=С.Таким образом, для работы на частоте 10 МГц необходимы значения ε33 T/ε0≈300, что соответствует параметрам заявляемого материала.
Источники информации
1. CN 103172370 А, МПК С04В 35/475, С04В 35/468, С04В 35/622, дата публикации 26.06.2013.
2. ЕР 1876755(А1), МПК С04В 35/00, H01L 41/187, дата публикации 09.01.2008.
3. ЕР 1947071 (А1), МПК С04В 35/495; H01L 41/187, дата публикации 23.07.2008.
4. ЕР 1032057(А1), МПК H01L 41/187, дата публикации 30.08.2000 - прототип.
5. Matsubara М., Yamaguchi Т., Sakamoto W., Kikuta К., Yogo Т., Hirano S.-I. Processing and Piezoelectric Properties of Lead-Free (K,Na) (Nb,Ta) О3 Ceramics // J. Am. Ceram. Soc. 2005. V. 88. №5. p.1190-1196.
Таблица 1 | |||||||||
Зависимость электрофизических параметров заявляемого пьезоэлектрического керамического материала от концентрации компонентов | |||||||||
N п/п | Состав, масс.% | ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ | |||||||
Na2O | K2O | Nb2O5 | CuO | ε33 T/ε0 | Kp | Qm | d33, пКл/Н | |d31|, пКл/Н | |
1 | 8.09 | 13.66 | 77.1 | 1.15 | 240 | 0.2 | 215 | 80 | 20 |
2 | 8.56 | 13.00 | 77.28 | 1.16 | 308 | 0.3 | 472 | 84 | 26 |
3 | 9.22 | 12.09 | 77.46 | 1.16 | 345 | 0.32 | 500 | 90 | 30 |
4 | 9.50 | 11.70 | 77.64 | 1.16 | 334 | 0.31 | 454 | 71 | 25 |
5 | 9.99 | 11.03 | 77.82 | 1.16 | 355 | 0.21 | 220 | 65 | 21 |
Таблица 2 | ||||||
Сравнительные электрофизические параметры прототипа и заявляемого пьезоэлектрического керамического материала | ||||||
N п/п | Материал | ε33 T/ε0 | Kp | Qm | d33, пКл/Н | |d31|, пКл/Н |
1 | Прототип ЕР 1032057 A1 | 672-822 | 0.292-0.356 | 108-457 | 96.2 | 39.6-50.5 |
2 | Состав №3 | 345 | 0.32 | 500 | 90 | 30 |
Claims (1)
- Пьезоэлектрический керамический материал, включающий Na2O, K2O, Nb2O5 и Cu-содержащее соединение, отличающийся тем, что в качестве Cu-содержащего соединения используется двойной ниобат меди CuNb2O6 при следующем соотношении исходных компонентов, масс. %:
Na2O - 8,56÷8,75
K2O - 12,75÷13,01
Nb2O5 - 77,28÷77,35
CuO - 1,16÷1,16
или
Na2O - 9,22÷9,50
K2O - 11,69÷12,09
Nb2O5 - 77,53÷77,64
CuO - 1,16÷1,16
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014100312/03A RU2561439C2 (ru) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | Пьезоэлектрический керамический материал |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014100312/03A RU2561439C2 (ru) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | Пьезоэлектрический керамический материал |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014100312A RU2014100312A (ru) | 2015-07-20 |
RU2561439C2 true RU2561439C2 (ru) | 2015-08-27 |
Family
ID=53611295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014100312/03A RU2561439C2 (ru) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | Пьезоэлектрический керамический материал |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2561439C2 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU587129A1 (ru) * | 1976-09-01 | 1978-01-05 | Ростовский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет | Пьезоэлектрический керамический материал |
EP1032057A1 (en) * | 1999-02-24 | 2000-08-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Alkali metal-containing niobate-based piezoelectric material composition and a method for producing the same |
US20060006360A1 (en) * | 2004-06-17 | 2006-01-12 | Denso Corporation | Grain oriented ceramics and production method thereof |
EP1947071A1 (en) * | 2002-03-20 | 2008-07-23 | Denso Corporation | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
RU2498959C2 (ru) * | 2011-11-09 | 2013-11-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) | Пьезоэлектрический керамический материал |
-
2014
- 2014-01-09 RU RU2014100312/03A patent/RU2561439C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU587129A1 (ru) * | 1976-09-01 | 1978-01-05 | Ростовский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет | Пьезоэлектрический керамический материал |
EP1032057A1 (en) * | 1999-02-24 | 2000-08-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Alkali metal-containing niobate-based piezoelectric material composition and a method for producing the same |
EP1947071A1 (en) * | 2002-03-20 | 2008-07-23 | Denso Corporation | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
US20060006360A1 (en) * | 2004-06-17 | 2006-01-12 | Denso Corporation | Grain oriented ceramics and production method thereof |
RU2498959C2 (ru) * | 2011-11-09 | 2013-11-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) | Пьезоэлектрический керамический материал |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2014100312A (ru) | 2015-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Fan et al. | Effects of Li2CO3 and Sm2O3 additives on low-temperature sintering and piezoelectric properties of PZN-PZT ceramics | |
JP3406611B2 (ja) | 低い焼結温度で銀とともに焼成し得る低損失pztセラミック組成物およびそれを製造するための方法 | |
JP4929522B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPH11228227A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPWO2006027892A1 (ja) | 圧電磁器及び圧電セラミック素子 | |
JP4044943B2 (ja) | 圧電セラミック材 | |
JPH09165262A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
KR101043041B1 (ko) | 초음파 진동자용 무연 압전세라믹스 조성물 | |
JPH11246269A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
RU2561439C2 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
JP2009096668A (ja) | 圧電セラミックス | |
JP4044951B2 (ja) | 圧電セラミックス材料 | |
US20210119109A1 (en) | Piezoelectric ceramic, ceramic electronic component, and method of manufacturing piezoelectric ceramic | |
JP4992796B2 (ja) | 発振子 | |
Ngamjarurojana et al. | Piezoelectric properties of low temperature sintering in Pb (Zr, Ti) O3–Pb (Zn, Ni) 1/3Nb2/3O3 ceramics for piezoelectric transformer applications | |
JP2013199398A (ja) | 圧電材料、圧電材料の製造方法 | |
RU2551156C1 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
JP2011157252A (ja) | 圧電セラミックス及びその製造方法 | |
KR20110068365A (ko) | 무연 압전 세라믹 조성물 | |
RU2453518C2 (ru) | Пьезокерамический материал | |
JP2866986B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
RU2571465C1 (ru) | Бессвинцовый пьезоэлектрический керамический материал | |
JP2010180073A (ja) | 圧電磁器組成物及び発振子 | |
JP2019112243A (ja) | 二チタン酸バリウム系セラミックスおよび圧電素子 | |
JP2001048641A (ja) | 圧電磁器組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190110 |