RU2554322C2 - Частотно-резонансный датчик давления - Google Patents

Частотно-резонансный датчик давления Download PDF

Info

Publication number
RU2554322C2
RU2554322C2 RU2012146107/28A RU2012146107A RU2554322C2 RU 2554322 C2 RU2554322 C2 RU 2554322C2 RU 2012146107/28 A RU2012146107/28 A RU 2012146107/28A RU 2012146107 A RU2012146107 A RU 2012146107A RU 2554322 C2 RU2554322 C2 RU 2554322C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
diaphragm
sensor
resonant frequency
response
Prior art date
Application number
RU2012146107/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012146107A (ru
Inventor
Эндрю Дж. КЛОСИНСКИ
Чарльз Р. УИЛЛКОКС
Original Assignee
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк.
Publication of RU2012146107A publication Critical patent/RU2012146107A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2554322C2 publication Critical patent/RU2554322C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/08Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
    • G01L23/12Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by changing capacitance or inductance
    • G01L23/125Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by changing capacitance or inductance by changing capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0008Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
    • G01L9/0016Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a diaphragm

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относится к бесшкальным манометрам. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений. Датчик давления для считывания давления технологической текучей среды содержит корпус датчика, подвергаемый воздействию давления технологической текучей среды. Корпус датчика деформируется в ответ на давление. Диафрагма, подвешенная в корпусе датчика, имеет натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика. Резонансную частоту диафрагмы измеряют. Измеренная резонансная частота является показателем давления в магистрали технологической текучей среды и целостности системы разделительной заполняющей текучей среды. Кроме измерения резонансной частоты, в качестве средства диагностики для оценки состояния исправности датчика можно использовать саму моду колебаний. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Настоящее изобретение относится к бесшкальным манометрам такого типа, которые применяются в системах управления технологическими процессами. В частности, настоящее изобретение относится к датчику давления для применения в бесшкальном манометре.
Бесшкальные манометры применяются в системах управления технологическими процессами для контроля давлений технологических текучих сред. Бесшкальный манометр содержит датчик давления, который связан с технологической текучей средой и обеспечивает выходной сигнал в ответ на давление, приложенное технологической текучей средой. Один общеизвестный тип бесшкального манометра представляет собой измерительный преобразователь модели 3051, выпускаемый компанией Rosemount Inc., Chanhassen, Minnesota. Бесшкальные манометры показаны также, например, в патенте США № 5,094,109.
Во многих установках, в которых измеряют дифференциальное давление, часто желательно также получать результаты измерения давления в магистрали (т.е. давление технологической текучей среды в трубе или канале). Например, давление в магистрали можно использовать для определения массового расхода технологической текучей среды или для других задач управления. Однако, когда измерение давления в магистрали требуется в дополнение к измерению дифференциального давления, то, обычно, требуется дополнительный датчик давления. Упомянутый дополнительный датчик давления нуждается в дополнительных компонентах и связи с технологической текучей средой. Упомянутые дополнительные компоненты приводят к усложнению и удорожанию, а также повышают вероятность отказа.
Кроме того, многие технологии восприятия давления обеспечивают связь с технологической текучей средой через разделительную схему, которая использует разделительную диафрагму, открытую воздействию технологической текучей среды, и разделительную заполняющую текучую среду, которая связывает датчик давления с разделительной диафрагмой. Данная разделительная схема может быть потенциальным источником погрешностей, усложнения и возможного отказа технологических устройств.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Датчик давления для восприятия давления технологической текучей среды содержит корпус датчика, подвергаемый воздействию давления технологической текучей среды. Корпус датчика деформируется в ответ на давление. Диафрагма, подвешенная в корпусе датчика, имеет натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика. Резонансную частоту диафрагмы измеряют. Измеренная резонансная частота является показателем давления технологической текучей среды в магистрали и целостности системы разделительной заполняющей текучей среды. В дополнение к измерению резонансной частоты можно использовать сам по себе режим генерации в качестве диагностического средства для оценки состояния исправности датчика.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг. 1 - вид в разрезе датчика давления в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг. 2 - вид в разрезе, представляющий датчик давления, показанный на фиг. 1, при приложении давления к обоим отверстиям для отбора давления датчика, показанного на фиг. 1.
Фиг. 3 - вид в разрезе датчика давления, содержащего источник акустического сигнала.
Фиг. 4 - вид в разрезе измерительного преобразователя технологического параметра, содержащего датчик давления в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг. 5A-5F - примеры резонансных мод центральной диафрагмы в соответствии с изобретением.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ
Настоящее изобретение относится к датчикам давления такого типа, которые применяются в бесшкальных манометрах систем управления технологическими процессами. В соответствии с настоящим изобретением предлагается датчик давления, который содержит деформируемый корпус датчика. В корпусе датчика установлена диафрагма. Когда корпус деформируется, резонансная частота диафрагмы изменяется. Резонансную частоту можно измерять, и приложенное давление можно определять.
На фиг. 1 представлен вид в разрезе датчика 10 дифференциального давления в соответствии с одним вариантом осуществления настоящего изобретения. Датчик 10 давления выполнен в одной из примерных конфигураций датчиков дифференциального давления и содержит соединители 26 для передачи воздействия давления, которые продолжаются сквозь корпус 23 датчика. Корпус датчика сформирован из полусекций 46 и 48 и содержит металлостеклянный композит. Полость 25 внутри датчика 10 содержит заполняющую текучую среду. Подвижная диафрагма 16 продолжается поперек полости 25 и выполнена с возможностью перемещения в ответ на приложенное дифференциальное давление. В полости 25 датчика 10 расположены электроды (обкладки конденсатора) 20A и 20B. Электрические соединения 40, подсоединенные к электродам 20 и диафрагме 16, служат для измерения электроемкости между упомянутыми обкладками. Данная емкость изменяется по мере того, как диафрагма перемещается в ответ на приложенное давление, и может служить для определения приложенного дифференциального давления. Данное измерение дифференциального давления можно использовать для определения расхода в трубе или канале.
В соответствии с настоящим изобретением, резонансный акустический преобразователь 96 (показанный на фиг. 3) присоединен к деформируемому корпусу 23 датчика давления и выполнен с возможностью возбуждения резонанса диафрагмы 16, частота которого изменяется в ответ на давление в магистрали технологической текучей среды. Электроды 20A и 20B могут выполнять функцию датчика резонанса и подробно рассматриваются ниже.
Когда к корпусу 23 датчика прикладывается дифференциальное давление через соединения 26 для передачи воздействия давления, то, в дополнение к перемещению диафрагмы 16, общая форма корпуса 23 датчика также изменяется в ответ на давление в магистрали. Данная деформация формы корпуса датчика изменяет резонансную частоту диафрагмы 16. Резонансную частоту диафрагмы можно измерять в соответствии с любым подходящим методом. Например, для возбуждения резонанса диафрагмы 16 можно применить акустический преобразователь (источник). Тогда резонансную частоту диафрагмы можно передавать посредством измерения изменений емкости между электродами 20A и 20B и диафрагмой 16.
Нижеприведенное уравнение служит для прогнозирования резонансной частоты предварительно напряженной мембраны:
f n = λ i j 2 σ ρ A
Figure 00000001
, (уравнение 1)
где
fn = собственная частота мембраны (Гц);
λij = постоянная величина, основанная на резонансной моде, основанной на узловых радиусах (i) и узловых диаметрах (j);
σ = натяжение центральной диафрагмы (фунтов/кв. дюйм);
ρ = свойство материала мембраны как функция массы, объема и силы тяжести (фунт-с2/дюйм4);
A = эффективная площадь резонирующей мембраны.
Уравнение 1 описывает соотношение, которое можно использовать для вычисления натяжения центральной диафрагмы посредством измерения частоты, на которой диафрагма резонирует. Упрощение уравнения 1 показывает, что:
f n ~ σ
Figure 00000002
, (уравнение 2)
которое указывает, что резонансная частота центральной диафрагмы пропорциональна квадратному корню из натяжения центральной диафрагмы 16.
На фиг. 2 приведен упрощенный вид в разрезе датчика 10, показывающий деформацию корпуса датчика 10 в ответ на приложение давления в магистрали с технологической текучей средой. В ответ на приложение давления глубина полости увеличивается, что вынуждает полусекции 46 и 48 сильно отклоняться внутрь. Данное отклонение приводит к ослаблению натяжения (напряжения) центральной диафрагмы 16. Как показано на фиг. 2, глубина (Z0) полости увеличивается (на ΔΖ) с увеличением давления в магистрали. Отклонение подчиняется закону Гука и прямо пропорционально давлению в магистрали, P, т.е.:
Z=Z0+kzP, (уравнение 3)
где kz означает константу пружины, являющуюся коэффициентом пропорциональности между давлением в магистрали и глубиной полости. Аналогично, радиус (r) датчика на центральной диафрагме (CD) уменьшается (на Δr) при приложении давления в магистрали. Данное отклонение линейно зависит от давления в магистрали (p):
r=r0-krP, (уравнение 4)
где kr означает константу пружины, являющуюся коэффициентом пропорциональности между давлением в магистрали и изменением радиуса. Вследствие этого напряжение CD (центральной диафрагмы) также линейно зависит от давления в магистрали:
σ=σ0-kσP, (уравнение 5)
где kσ означает константу пружины, являющуюся коэффициентом пропорциональности между давлением в магистрали и напряжением центральной диафрагмы. Так как напряжение CD (центральной диафрагмы) является двухосным, то деформацию можно преобразовать в напряжение следующим образом:
σ = E ε 1 ν
Figure 00000003
, (уравнение 6)
где ε = деформация = ( Δ r r )
Figure 00000004
, E = модуль Юнга и ν = коэффициент поперечного сжатия для CD (центральной диафрагмы). Вследствие данной прямой пропорциональности можно записать:
k σ = ( E 1 ν ) ( k r r )
Figure 00000005
. (уравнение 7)
Индуцированный резонанс является гармоническим явлением, при котором пассивное тело реагирует на такие внешние колебания, которым данное тело гармонически подобно. При использовании индуцированного резонанса энергия может передаваться и сохраняться между резонансными системами. В соответствии с настоящим изобретением, центральная диафрагма 16 корпуса датчика приводится в состояние индуцированного резонанса, например, источником акустического сигнала. Центральную диафрагму приводят в резонанс акустически или механически и резонансную частоту измеряют для определения давления в магистрали. Резонансную частоту можно также использовать для диагностики целостности центральной диафрагмы, а также разделяющих диафрагм и соединителей для передачи воздействия давления, которые наполнены маслом и служат для изолирования датчика от технологической текучей среды.
Центральная диафрагма будет резонировать на характерной частоте, основанной на натяжении диафрагмы. Факторы, влияющие на натяжение центральной диафрагмы, содержат давление в магистрали, дифференциальное давление и температуру. Так как дифференциальное давление и температуру измеряют в устройстве, то их вклад в изменения натяжения диафрагмы можно охарактеризовать и, следовательно, их влияния можно корректировать. При этом только давление в магистрали остается неизвестным, и значение его вклада в частоту можно вычислить из уравнения 8:
f LP =f measured -f DP ±f temperature. (уравнение 8)
Дифференциальное давление будет увеличивать натяжение (и повышать резонансную частоту), так как центральная диафрагма смещается со своей нейтральной оси. Температура датчика будет либо увеличивать, либо уменьшать натяжение на центральной диафрагме по мере того, как материал расширяется или сжимается.
Для практического датчика на основе резонансной диафрагмы большое значение имеет проблема демпфирования среды. Когда диафрагма окружена жидкостью, например разделяющим маслом в типичном случае применения, резонансное поведение диафрагмы будет сильно демпфироваться. Данное демпфирование происходит потому, что масло, например, должно смещаться физически, чтобы диафрагма колебалась. Данную проблему можно смягчить несколькими средствами: одним средством является применение датчика в газовой среде, которая будет слабее влиять на демпфирование диафрагмы. Однако, в некоторых случаях применения, данное решение невыполнимо, и жидкость, обычно масло, должна быть в контакте с диафрагмой.
Чтобы обойти приведенную проблему, можно применить второй способ. Резонансные моды диафрагмы высшего порядка, обычно, характеризуются большим числом волнообразных движений в растянутой мембране диафрагмы и, как правило, характеризуются меньшими амплитудами смещения. Данная особенность уменьшает суммарное смещение объема, и, следовательно, демпфирование моды, показанной на фиг. 5C, будет менее сильным, чем демпфирование, происходящее для моды, показанной на фиг. 5A.
Еще более эффективный третий способ предназначен только для возбуждения так называемых «азимутально-асимметричных» мод, показанных на фиг. 5D-F. Данные конкретные моды имеют преимущество в отсутствии смещения любого полезного объема, так как направленным вверх смещениям противостоят равные, направленные вниз смещения.
Следовательно, для минимального демпфирования резонанса, когда диафрагма находится в контакте с жидкостью, следует рассматривать азимутально-асимметричные моды самого высокого порядка.
В качестве диагностического средства конкретная мода, которую возбуждают, может также изменяться, если изменилось какое-то свойство датчика, и, следовательно, при обнаружении будет указывать на потенциальную неисправность датчика.
На фиг. 3 представлен вид в разрезе ячейки датчика 10 давления. На фиг. 3 электроды 20 изображены как центральные электроды 20A и кольцевые электроды 20B. Данные электроды связаны с электрическими соединениями 40. Акустический преобразователь 96 изображен установленным в одной из полусекций 46 и служит для подведения акустического сигнала к центральной диафрагме 16. Акустический преобразователь 96 соединен с проводами 98 и возбуждается на некоторой частоте или с разверткой в диапазоне частот, чтобы возбуждать резонанс центральной диафрагмы. Данный резонанс может обнаруживаться измерением изменений емкости между электродами 20A/B и центральной диафрагмой 16. Хотя в данном примере показано, что для определения отклонения центральной диафрагмы 16 из-за резонанса используют емкость, можно также применять другие методы. Другие методы содержат акустические, оптические, механические или другие методы восприятия.
На фиг. 4 представлен вид в разрезе измерительного преобразователя 100, содержащего датчик 102 давления в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения, с акустическим преобразователем 96. В промышленности известно, что измерительный преобразователь 100 содержит платформу Coplanar™ и разделительные диафрагмы 106 и 108 выставлены, как правило, в одной плоскости. Фланец 111 соединяется с измерительным преобразователем 100 болтами 110, чтобы, тем самым, подводить давления P1 и P2 к разделительным диафрагмам 106 и 108. Прокладки 109 обеспечивают уплотнение между фланцем 111 и разделительными диафрагмами 106, 108. В соединителях 120 для передачи воздействия давления, которые подсоединены к датчику 102 давления, содержится, по существу, несжимаемая текучая среда. Аналогично датчику 10 давления, датчик 102 имеет корпус датчика, который сформирован из двух полусекций 112, 114, наполненных, соответственно, стеклянным материалом 116, 118. Электрические проводники 124 соединены с обкладками (не показанными) конденсатора, которые содержатся на поверхностях датчика, выполненных из хрупких материалов 116, 118. Диафрагма 122 отклоняется в ответ на приложенные давления P1 и P2 и вызывает, тем самым, изменение емкости, которое обнаруживается схемами 123 измерительного преобразователя, который обеспечивает выходной сигнал, зависящий от давлений P1 и P2, через контур управления технологическим процессом. Контуры управления технологическими процессами могут соответствовать любому подходящему стандарту, содержащему двухпроводной контур управления технологическим процессом, например 4-20-мА токовые контуры, контуры управления на основе HART® или FieldBus, беспроводной контур и т.п. Кроме того, контур управления технологическим процессом может содержать беспроводной контур управления, в котором для передачи данных используют методы беспроводной связи.
В дополнение к определению давления в магистрали на основе резонанса центральной диафрагмы, как поясняется выше, можно также использовать резонансную частоту и тип моды, чтобы определять состояние центральной диафрагмы, а также систему масляного наполнения. Схемы 123 измерительного преобразователя обеспечивают диагностические схемы и соединяются с акустическим преобразователем 96 проводами 98. Схемы 123 выполнены с возможностью подачи питания в преобразователь 96 и, в ответ, восприятия резонансной частоты диафрагмы 122, как пояснялось выше. Схемы 123 могут обеспечивать диагностический выходной сигнал, например, на выходе измерительного преобразователя. Повреждение центральной диафрагмы или возникновение утечек масла приведет к изменениям резонансной частоты центральной диафрагмы. Хотя пояснение измерения резонанса основано на примере изменений емкости, возможно применение других методов измерения, например применение акустических, оптических, механических или других методов восприятия. Измеренную резонансную частоту можно корректировать на основе измеренных дифференциального давления и температуры при желании повышения точности измерений. Если требуется температурная коррекция, то можно обеспечить температурный датчик 130, имеющий тепловую связь с датчиком 102 давления, как показано на фиг. 4. Температурный датчик 130 может быть выполнен в соответствии с любой подходящей технологией датчиков и связан со схемами 123. Сдвиги резонансной частоты центральной диафрагмы 122 могут служить показателем физического повреждения, такого как, например, отверстие, прокол или разрыв диафрагмы или другое повреждение диафрагмы или компонентов измерительного преобразователя. Снижение давления масла с по меньшей мере одной стороны диафрагмы также будет вызывать изменение резонансной частоты. В одной конфигурации, измерения дифференциального давления можно также выполнять с использованием предварительно напряженной диафрагмы, акустического преобразователя (источника) и акустического датчика. Измерение резонанса разделительной диафрагмы может служить для определения целостности разделительной диафрагмы и указывает давление в магистрали. Резонанс диафрагмы можно также вызывать с использованием электростатических методов. В другом примере, источник энергии, используемый для ввода в резонанс центральной диафрагмы, расположен в месте, внешнем относительно измерительного преобразователя. Например, испытательное устройство может быть выполнено с возможностью связи с измерительным преобразователем и передачи акустической энергии в измерительный преобразователь и, тем самым, возбуждения резонанса диафрагмы.
В вышеприведенном описании предложен корпус датчика, выполненный из металлостеклянных композитов, однако возможно использование других материалов, которые имеют требуемые характеристики. Примеры содержат пластики и т.п. Для восприятия резонанса можно применить любую подходящую технологию, например методы на основе емкостных, тензометрических, оптических, кремниевых и т.п. датчиков. Кроме того, для безопасности, избыточности, самоконтроля и т.п. можно применить несколько датчиков. В контексте настоящей заявки, «частотно-резонансный датчик» может содержать любую подходящую технологию датчиков, применяемую для измерения или восприятия резонансной частоты центральной диафрагмы. На чертежах, приведенных в настоящей заявке, частотно-резонансный датчик показан в виде источника акустического сигнала и отдельного датчика смещения, который измеряет смещение центральной диафрагмы на основе электрической емкости. Однако настоящее изобретение не ограничено данным конкретным частотно-резонансным датчиком.

Claims (20)

1. Датчик давления для считывания давления технологической текучей среды, содержащий:
деформируемый корпус датчика, подвергаемый воздействию давления технологической текучей среды и имеющий полость, сформированную в нем, которая воспринимает дифференциальное давление, причем корпус датчика деформируется в ответ на давление в магистрали;
диафрагму, подвешенную в полости корпуса датчика и имеющую натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика, причем диафрагма изгибается в ответ на дифференциальное давление;
частотно-резонансный датчик, выполненный с возможностью считывания резонансной частоты диафрагмы, подвешенной в полости корпуса датчика, причем резонансная частота является показателем давления в магистрали технологической текучей среды; и
датчик отклонения, выполненный с возможностью считывания отклонения диафрагмы, которое показывает дифференциальное давление,
причем диафрагма выполнена с возможностью отклонения в ответ на приложенное давление.
2. Датчик давления по п. 1, в котором деформируемый корпус датчика содержит металлостеклянный корпус датчика.
3. Датчик давления по п. 1, в котором частотно-резонансный датчик содержит источник акустического сигнала.
4. Датчик давления по п. 3, в котором частотно-резонансный датчик дополнительно содержит пластину конденсатора, расположенную вблизи диафрагмы, с емкостью, которая изменяется в ответ на отклонение диафрагмы.
5. Датчик давления по п. 1, содержащий температурный датчик, и при этом резонанс диафрагмы компенсируется на основе считанной температуры.
6. Датчик давления по п. 1, в котором диафрагма выполнена с возможностью отклонения в ответ на разность давлений, приложенную к диафрагме.
7. Датчик давления по п. 6, в котором датчик отклонения содержит электрод, расположенный вблизи диафрагмы, и причем измерительные схемы выполнены с возможностью измерения дифференциального давления на основе изменения емкости между электродом и диафрагмой.
8. Датчик давления по п. 7, в котором резонанс диафрагмы считывается измерительными схемами на основе емкости между электродом и диафрагмой.
9. Датчик давления по п. 1, в котором резонансная частота дополнительно является показателем диагностического состояния датчика давления.
10. Датчик давления по п. 1, в котором мода резонансной частоты является показателем состояния исправности датчика.
11. Датчик давления по п. 1, в котором датчик давления связан с технологической текучей средой через разделительную текучую среду.
12. Измерительный преобразователь для управления технологическими процессами, содержащий схемы измерительного преобразователя, связанные с датчиком давления по п. 1.
13. Измерительный преобразователь по п. 12, в котором схемы измерительного преобразователя выполнены с возможностью определения давления в магистрали на основе резонансной частоты диафрагмы.
14. Способ считывания давления технологической текучей среды, содержащий этапы, на которых:
прикладывают дифференциальное давление технологической текучей среды к полости, сформированной в корпусе датчика, и тем самым деформируют корпус датчика в ответ на давление в магистрали;
подвешивают диафрагму в полости, причем диафрагма имеет натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика, диафрагма дополнительно отклоняется в ответ на дифференциальное давление;
считывают резонансную частоту диафрагмы, подвешенной в полости корпуса датчика, причем резонансная частота является показателем давления в магистрали технологической текучей среды;
обеспечивают выходной сигнал давления в магистрали, указывающий давление в магистрали технологической текучей среды, на основе считанной резонансной частоты диафрагмы;
считывают дифференциальное давление на основе отклонения диафрагмы и
предоставляют выходной сигнал дифференциального давления, указывающий дифференциальное давление на основании считанного отклонения диафрагмы.
15. Способ по п. 14, в котором резонансную частоту измеряют на основе емкости.
16. Способ по п. 14, содержащий этап, на котором вводят диафрагму в резонанс с использованием источника акустического сигнала.
17. Способ по п. 14, содержащий этап, на котором считывают отклонение диафрагмы с использованием емкости.
18. Способ по п. 14, содержащий этап, на котором определяют диагностическое состояние диафрагмы на основе считанной резонансной частоты.
19. Способ по п. 14, содержащий этап, на котором определяют диагностическое состояние диафрагмы на основе считанной моды резонансной частоты.
20. Способ по п. 14, содержащий этап, на котором передают информацию о давлении технологической текучей среды в контур управления технологическим процессом.
RU2012146107/28A 2010-03-30 2011-03-03 Частотно-резонансный датчик давления RU2554322C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/749,885 US8429978B2 (en) 2010-03-30 2010-03-30 Resonant frequency based pressure sensor
US12/749,885 2010-03-30
PCT/US2011/026965 WO2011123211A1 (en) 2010-03-30 2011-03-03 Resonant frequency based pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012146107A RU2012146107A (ru) 2014-05-10
RU2554322C2 true RU2554322C2 (ru) 2015-06-27

Family

ID=44166514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012146107/28A RU2554322C2 (ru) 2010-03-30 2011-03-03 Частотно-резонансный датчик давления

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8429978B2 (ru)
EP (1) EP2553415B8 (ru)
JP (1) JP5719921B2 (ru)
CN (2) CN202204632U (ru)
BR (1) BR112012023153A2 (ru)
CA (1) CA2794456C (ru)
MX (1) MX2012010549A (ru)
RU (1) RU2554322C2 (ru)
WO (1) WO2011123211A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2690699C1 (ru) * 2017-12-01 2019-06-05 Общество с ограниченной ответственностью "Специальное конструкторское техническое бюро электроники, приборостроения и автоматизации", ООО "СКТБ ЭлПА" Частоторезонансный чувствительный элемент дифференциального давления и частоторезонансный датчик дифференциального давления

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) * 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8997575B2 (en) 2013-02-13 2015-04-07 Reno Technologies, Inc. Method and apparatus for damping diaphragm vibration in capacitance diaphragm gauges
US9880063B2 (en) * 2013-03-13 2018-01-30 Invensense, Inc. Pressure sensor stabilization
US9512715B2 (en) 2013-07-30 2016-12-06 General Electric Company Systems and methods for pressure and temperature measurement
US9423315B2 (en) 2013-10-15 2016-08-23 Rosemount Aerospace Inc. Duplex pressure transducers
DE102013113594A1 (de) 2013-12-06 2015-06-11 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor
DE102014201529A1 (de) * 2014-01-28 2015-07-30 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Betreiben eines Druckmessumformers sowie Druckmessumformer
DE102014102973A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
US9250140B2 (en) 2014-03-26 2016-02-02 General Electric Company Systems and methods for multiplexing sensors along a cable
DE102014118616A1 (de) * 2014-12-15 2016-06-16 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmessaufnehmer
FR3030036B1 (fr) * 2014-12-16 2016-12-09 Commissariat Energie Atomique Capteur d'efforts resonant multidimensionnel.
CN104776953A (zh) * 2015-04-15 2015-07-15 江苏德尔森传感器科技有限公司 流体介质压力差值的检测方法
BR112018003579A2 (pt) 2015-08-31 2018-09-25 Koninklijke Philips N.V. sistema e método de detecção
JP6776143B2 (ja) * 2017-02-03 2020-10-28 横河電機株式会社 水位計測システム
RU2657362C1 (ru) * 2017-06-20 2018-06-13 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой
US11371899B2 (en) 2018-05-17 2022-06-28 Rosemount Inc. Measuring element with an extended permeation resistant layer
CN108507715A (zh) * 2018-06-29 2018-09-07 无锡昆仑富士仪表有限公司 一种适用于微差压变送器的浮动膜盒
US11041773B2 (en) * 2019-03-28 2021-06-22 Rosemount Inc. Sensor body cell of a pressure sensor
CN111337182B (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 浙江奥新仪表有限公司 一种大量程高精度压力变送器
CN116089800B (zh) * 2023-04-10 2023-06-27 武汉工程大学 激波流场动态压力测量信号振铃分量提取校正方法及系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4586382A (en) * 1982-09-29 1986-05-06 Schlumberger Technology Corporation Surface acoustic wave sensors
WO2000070321A1 (en) * 1999-05-14 2000-11-23 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6484585B1 (en) * 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US7401522B2 (en) * 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7484416B1 (en) * 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor

Family Cites Families (111)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2533339A (en) 1946-06-22 1950-12-12 Jabez Burns & Sons Inc Flammable vapor protection
US3012432A (en) 1957-09-23 1961-12-12 Richard H Moore Leak tester
GB1023042A (en) 1962-05-07 1966-03-16 Wayne Kerr Lab Ltd Improvements in or relating to pressure responsive apparatus
US3232712A (en) 1962-08-16 1966-02-01 Continental Lab Inc Gas detector and analyzer
US3374112A (en) 1964-03-05 1968-03-19 Yeda Res & Dev Method and apparatus for controlled deposition of a thin conductive layer
US3249833A (en) 1964-11-16 1966-05-03 Robert E Vosteen Capacitor transducer
FR1438366A (fr) 1965-03-22 1966-05-13 B A R A Appareil de mesure de force ou pression
DE1932899A1 (de) 1969-06-28 1971-01-07 Rohrbach Dr Christof Messwertgeber zum Umwandeln von Kraeften,mechanischen Spannungen oder Druecken in elektrische Widerstandsaenderungen
US3557621A (en) 1969-07-07 1971-01-26 C G S Scient Corp Inc Variable capacitance detecting devices
US3618390A (en) 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
GB1354025A (en) 1970-05-25 1974-06-05 Medicor Muevek Capacitive pressure transducer
US3924219A (en) 1971-12-22 1975-12-02 Minnesota Mining & Mfg Gas detection device
US3808480A (en) 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
US4008619A (en) 1975-11-17 1977-02-22 Mks Instruments, Inc. Vacuum monitoring
US4177496A (en) 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4158217A (en) 1976-12-02 1979-06-12 Kaylico Corporation Capacitive pressure transducer with improved electrode
US4120206A (en) 1977-01-17 1978-10-17 Rosemount Inc. Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
US4168518A (en) 1977-05-10 1979-09-18 Lee Shih Y Capacitor transducer
US4227419A (en) 1979-09-04 1980-10-14 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4244226A (en) 1979-10-04 1981-01-13 Honeywell Inc. Distance measuring apparatus and a differential pressure transmitter utilizing the same
US4434451A (en) 1979-10-29 1984-02-28 Delatorre Leroy C Pressure sensors
US4322775A (en) 1979-10-29 1982-03-30 Delatorre Leroy C Capacitive pressure sensor
US4287553A (en) 1980-06-06 1981-09-01 The Bendix Corporation Capacitive pressure transducer
US4336567A (en) 1980-06-30 1982-06-22 The Bendix Corporation Differential pressure transducer
US4370890A (en) 1980-10-06 1983-02-01 Rosemount Inc. Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
US4358814A (en) 1980-10-27 1982-11-09 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensor
US4422335A (en) 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
US4458537A (en) 1981-05-11 1984-07-10 Combustion Engineering, Inc. High accuracy differential pressure capacitive transducer
US4389895A (en) 1981-07-27 1983-06-28 Rosemount Inc. Capacitance pressure sensor
US4466290A (en) 1981-11-27 1984-08-21 Rosemount Inc. Apparatus for conveying fluid pressures to a differential pressure transducer
US4455874A (en) 1981-12-28 1984-06-26 Paroscientific, Inc. Digital pressure transducer
JPS58165639U (ja) * 1982-03-25 1983-11-04 横河電機株式会社 ダイヤフラム振動形圧力計
US4422125A (en) 1982-05-21 1983-12-20 The Bendix Corporation Pressure transducer with an invariable reference capacitor
CH658726A5 (de) 1983-01-31 1986-11-28 Standard St Sensortechnik Ag Hydraulischer druckaufnehmer.
JPS6085344A (ja) * 1983-10-15 1985-05-14 Shimadzu Corp 小型圧力測定装置
DE3340834A1 (de) 1983-11-11 1985-05-23 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Schaltungsanordnung zur konstanthaltung der temperaturabhaengigen empfindlichkeit eines differenzdruckmessgeraetes
US4739666A (en) 1983-12-12 1988-04-26 Pfister Gmbh Flat-spread force measuring device
US4490773A (en) 1983-12-19 1984-12-25 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer
JPS60133320A (ja) 1983-12-22 1985-07-16 Ishida Scales Mfg Co Ltd 荷重検出器
US4542436A (en) 1984-04-10 1985-09-17 Johnson Service Company Linearized capacitive pressure transducer
US4562742A (en) 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
US4586108A (en) 1984-10-12 1986-04-29 Rosemount Inc. Circuit for capacitive sensor made of brittle material
US4670733A (en) 1985-07-01 1987-06-02 Bell Microsensors, Inc. Differential pressure transducer
JPS62140040A (ja) * 1985-12-16 1987-06-23 Yokogawa Electric Corp 差圧変換装置
US4860232A (en) 1987-04-22 1989-08-22 Massachusetts Institute Of Technology Digital technique for precise measurement of variable capacitance
US4785669A (en) 1987-05-18 1988-11-22 Mks Instruments, Inc. Absolute capacitance manometers
US4864874A (en) 1987-08-05 1989-09-12 Pfister Gmbh Force measuring device
US4875369A (en) 1987-09-08 1989-10-24 Panex Corporation Pressure sensor system
JPH01141328A (ja) 1987-11-27 1989-06-02 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US4878012A (en) 1988-06-10 1989-10-31 Rosemount Inc. Charge balanced feedback transmitter
DE3820878A1 (de) 1988-06-21 1989-12-28 Wolfgang Dipl Phys Scholl Kapazitives sensorelement zum aufbau mechanisch-elektrischer messwandler
US4977480A (en) 1988-09-14 1990-12-11 Fuji Koki Mfg. Co., Ltd. Variable-capacitance type sensor and variable-capacitance type sensor system using the same
US4926674A (en) 1988-11-03 1990-05-22 Innovex Inc. Self-zeroing pressure signal generator
US4951174A (en) 1988-12-30 1990-08-21 United Technologies Corporation Capacitive pressure sensor with third encircling plate
JPH03211432A (ja) * 1990-01-17 1991-09-17 Nec Corp 薄膜の応力測定方法
US5144841A (en) 1990-02-23 1992-09-08 Texas Instruments Incorporated Device for measuring pressures and forces
JPH03255327A (ja) * 1990-03-03 1991-11-14 Fuji Electric Co Ltd 差圧検出器
US5194819A (en) 1990-08-10 1993-03-16 Setra Systems, Inc. Linearized capacitance sensor system
US5094109A (en) 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
ATE147854T1 (de) 1991-01-31 1997-02-15 Pfister Messtechnik Übertragungselement für kraft- oder momentmessvorrichtungen
JP2595829B2 (ja) 1991-04-22 1997-04-02 株式会社日立製作所 差圧センサ、及び複合機能形差圧センサ
US5168419A (en) 1991-07-16 1992-12-01 Panex Corporation Capacitor and pressure transducer
DE4124662A1 (de) 1991-07-25 1993-01-28 Fibronix Sensoren Gmbh Relativdrucksensor
US5230250A (en) 1991-09-03 1993-07-27 Delatorre Leroy C Capacitor and pressure transducer
JP3182807B2 (ja) 1991-09-20 2001-07-03 株式会社日立製作所 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム
GB9121581D0 (en) 1991-10-11 1991-11-27 Caradon Everest Ltd Fire resistant glass
JPH05296867A (ja) 1992-04-23 1993-11-12 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US5233875A (en) 1992-05-04 1993-08-10 Kavlico Corporation Stable capacitive pressure transducer system
US5329818A (en) 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5492016A (en) 1992-06-15 1996-02-20 Industrial Sensors, Inc. Capacitive melt pressure measurement with center-mounted electrode post
US5471882A (en) 1993-08-31 1995-12-05 Quartzdyne, Inc. Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors
SG41962A1 (en) 1993-09-24 1997-08-15 Rosemount Inc Pressure transmitter isolation diaphragm
US5542300A (en) 1994-01-24 1996-08-06 Setra Systems, Inc. Low cost, center-mounted capacitive pressure sensor
US5642301A (en) 1994-01-25 1997-06-24 Rosemount Inc. Transmitter with improved compensation
US5583294A (en) 1994-08-22 1996-12-10 The Foxboro Company Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm
WO1996017235A1 (en) 1994-11-30 1996-06-06 Rosemount Inc. Pressure transmitter with fill fluid loss detection
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5705751A (en) * 1995-06-07 1998-01-06 Setra Systems, Inc. Magnetic diaphragm pressure transducer with magnetic field shield
US5705978A (en) 1995-09-29 1998-01-06 Rosemount Inc. Process control transmitter
DE19648048C2 (de) 1995-11-21 2001-11-29 Fuji Electric Co Ltd Detektorvorrichtung zur Druckmessung basierend auf gemessenen Kapazitätswerten
US5757608A (en) 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US6654697B1 (en) 1996-03-28 2003-11-25 Rosemount Inc. Flow measurement with diagnostics
US5668322A (en) 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US20040015069A1 (en) 1996-12-27 2004-01-22 Brown David Lloyd System for locating inflamed plaque in a vessel
US5911162A (en) 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US6151967A (en) * 1998-03-10 2000-11-28 Horizon Technology Group Wide dynamic range capacitive transducer
US6003219A (en) 1998-04-24 1999-12-21 Rosemount Inc. Method of making a pressure transmitter having pressure sensor having cohered surfaces
US6701274B1 (en) 1999-08-27 2004-03-02 Rosemount Inc. Prediction of error magnitude in a pressure transmitter
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
JP2002131331A (ja) * 2000-10-24 2002-05-09 Denso Corp 半導体力学量センサ
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6675655B2 (en) 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
EP1567833A2 (en) 2002-11-12 2005-08-31 CiDra Corporation An apparatus having an array of piezoelectric film sensors for measuring parameters of a process flow within a pipe
EP1631797A2 (en) 2003-06-05 2006-03-08 CiDra Corporation Apparatus for measuring velocity and flow rate of a fluid having a non-negligible axial mach number using an array of sensors
RU2324171C2 (ru) 2003-07-18 2008-05-10 Роузмаунт Инк. Диагностика процесса
US7215529B2 (en) 2003-08-19 2007-05-08 Schlegel Corporation Capacitive sensor having flexible polymeric conductors
US7523667B2 (en) 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US7577543B2 (en) 2005-03-11 2009-08-18 Honeywell International Inc. Plugged impulse line detection
US7334484B2 (en) 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
JP5222457B2 (ja) * 2005-09-26 2013-06-26 株式会社日立製作所 センサおよびセンサモジュール
US7543501B2 (en) 2005-10-27 2009-06-09 Advanced Research Corporation Self-calibrating pressure sensor
US7415886B2 (en) * 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
JP5138246B2 (ja) * 2006-03-21 2013-02-06 ラディ・メディカル・システムズ・アクチェボラーグ 圧力センサ
US7467555B2 (en) 2006-07-10 2008-12-23 Rosemount Inc. Pressure transmitter with multiple reference pressure sensors
US7624642B2 (en) 2007-09-20 2009-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
US7779698B2 (en) 2007-11-08 2010-08-24 Rosemount Inc. Pressure sensor
US7765875B2 (en) * 2007-12-31 2010-08-03 Rosemount Aerospace Inc. High temperature capacitive static/dynamic pressure sensors
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US7870791B2 (en) * 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4586382A (en) * 1982-09-29 1986-05-06 Schlumberger Technology Corporation Surface acoustic wave sensors
US6484585B1 (en) * 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
WO2000070321A1 (en) * 1999-05-14 2000-11-23 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US7401522B2 (en) * 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7484416B1 (en) * 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2690699C1 (ru) * 2017-12-01 2019-06-05 Общество с ограниченной ответственностью "Специальное конструкторское техническое бюро электроники, приборостроения и автоматизации", ООО "СКТБ ЭлПА" Частоторезонансный чувствительный элемент дифференциального давления и частоторезонансный датчик дифференциального давления

Also Published As

Publication number Publication date
EP2553415B1 (en) 2016-10-05
MX2012010549A (es) 2012-11-16
EP2553415A1 (en) 2013-02-06
CA2794456A1 (en) 2011-10-06
CN102243124B (zh) 2015-09-16
JP5719921B2 (ja) 2015-05-20
WO2011123211A1 (en) 2011-10-06
BR112012023153A2 (pt) 2018-06-26
CA2794456C (en) 2015-04-21
EP2553415B8 (en) 2016-12-14
RU2012146107A (ru) 2014-05-10
CN102243124A (zh) 2011-11-16
US20110239773A1 (en) 2011-10-06
JP2013524215A (ja) 2013-06-17
US8429978B2 (en) 2013-04-30
CN202204632U (zh) 2012-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2554322C2 (ru) Частотно-резонансный датчик давления
RU2400719C2 (ru) Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика
CN102232180B (zh) 用于采用石英晶体的压力测量的方法和设备
US4875369A (en) Pressure sensor system
JP5409965B2 (ja) ライン圧力測定を伴う差圧センサ
CN102239397B (zh) 用于使用磁性的压力测量的方法和装置
RU2511629C2 (ru) Способ и устройство для измерения давления с использованием наполнительной трубы
RU2407997C2 (ru) Обнаружение повреждения датчика давления
US20090078054A1 (en) Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
CA2878920C (en) Thermal diagnostic for single-crystal process fluid pressure sensor
EP0197042B1 (en) Reference pressure devices for calibrating pressure-measuring instruments
AU571422B2 (en) Calibrating span of pressure measuring instruments
Soltani et al. Modelling Fluid Loss Faults in an Industrial Pressure Sensor
Javidinejad Multi-Conceptual Mechanical Design Optimization of Capacitive Pressure Sensors via Finite Element Analysis with use of Anisotropic Behavior of Silicon< 111> Crystal: Summary of Design Optimization Approaches
Gautschi et al. Piezoelectric Sensor Terminology

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190304