RU2400719C2 - Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика - Google Patents

Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика Download PDF

Info

Publication number
RU2400719C2
RU2400719C2 RU2007148914/28A RU2007148914A RU2400719C2 RU 2400719 C2 RU2400719 C2 RU 2400719C2 RU 2007148914/28 A RU2007148914/28 A RU 2007148914/28A RU 2007148914 A RU2007148914 A RU 2007148914A RU 2400719 C2 RU2400719 C2 RU 2400719C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
pressure
housing
deformation
deformable
Prior art date
Application number
RU2007148914/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007148914A (ru
Inventor
Дэвид А. БРОДЕН (US)
Дэвид А. БРОДЕН
Роберт К. ХЕДКЕ (US)
Роберт К. ХЕДКЕ
Original Assignee
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк.
Publication of RU2007148914A publication Critical patent/RU2007148914A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2400719C2 publication Critical patent/RU2400719C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Изобретение относится к передатчикам давления, используемым в системах управления промышленными процессами, в частности, изобретение относится к датчику давления для использования в передатчике давления. Техническим результатом изобретения является измерение перепада давления с использованием подходящих конфигураций встроенного датчика деформации. Датчик давления содержит деформируемый корпус датчика, выполненный из сжимаемого материала. Первое и второе соединения давления для деформируемого корпуса датчика конфигурированы для приема первого и второго давлений. Встроенный датчик деформации, встроенный в деформируемый корпус, имеет электрические свойства, которые изменяются в ответ на деформацию деформируемого корпуса. Электрические соединения перепада давлений проходят от внешней поверхности деформируемого корпуса датчика, имеющего электрические свойства, которые изменяются на основе разности давлений между первым и вторым давлениями, к встроенному датчику деформации. Передатчик управления процессом содержит схему передатчика, соединенную с датчиком давления. Способ измерения давления заключается в определении перепада давления на основе отклонения диафрагмы, установленной в корпусе датчика давления, и определении давления в трубопроводе на основе деформации корпуса датчика. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 7 ил.

Description

Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к передатчикам давления типа, используемого в системах управления промышленными процессами. В частности, изобретение относится к датчику давления для использования в передатчике давления.
Предшествующий уровень техники
Передатчики давления используются в системах управления промышленными процессами для мониторинга давлений технологических текучих сред. Передатчик давления содержит датчик давления, который соединен с технологической текучей средой и выдает сигнал в ответ на давление, прикладываемое технологической текучей средой. Двумя хорошо известными типами передатчиков давления являются передатчики модели 3051 и 3095, предлагаемые фирмой Rosemount Inc. of Chanhassen, Миннесота. Передатчики давления известны также, например, из патента США №5094109.
Во многих устройствах, где измеряют перепад давления, часто желательно получать измерения давления в трубопроводе (т.е. давление технологической текучей среды в трубопроводе или магистрали). Например, давление в трубопроводе можно использовать для определения массового расхода технологической текучей среды или для других целей управления. Однако, если требуется измерение давления в трубопроводе дополнительно к измерению перепада давления, то обычно необходим дополнительный датчик давления. Для этого дополнительного датчика давления требуются дополнительные компоненты и соединения с технологической текучей средой. Это приводит к повышению сложности и стоимости, а также увеличению вероятности выхода из строя.
Кроме того, многие датчики давления соединяются с технологической текучей средой через изолирующую систему, в которой используется изолирующая диафрагма, открытая для технологической текучей среды, и изолирующая текучая среда для заполнения, которая соединяет датчик давления с изолирующей диафрагмой. Эта изолирующая система также является источником ошибок, сложности и возможного выхода из строя в технологических устройствах.
Сущность изобретения
Датчик давления согласно изобретению содержит деформируемый корпус датчика, выполненный из сжимаемого материала. Датчик деформации встроен в деформируемый корпус датчика и имеет электрические свойства, которые изменяются в ответ на деформацию деформируемого корпуса датчика. Электрические соединения проходят от деформируемого корпуса датчика к встроенному датчику деформации.
Краткое описание чертежей
В дальнейшем изобретение поясняется описанием предпочтительных вариантов воплощения со ссылками на сопровождающие чертежи, на которых:
фиг.1 изображает разрез датчика давления, общий вид, согласно изобретению;
фиг.2 - разрез датчика давления, установленного в передатчике давления (в разнесенном виде), согласно изобретению;
фиг.3 - продольный разрез передатчика давления, согласно изобретению;
фиг.4 - датчик деформации, на виде сверху, согласно изобретению;
фиг.5 - частичный разрез датчика давления, содержащего датчик деформации, согласно изобретению;
фиг.6А - схему технологической системы, включающей датчик давления, непосредственно открытый для технологической текучей среды, согласно изобретению;
фиг.6В - разрез датчика давления, предназначенного для непосредственного контакта с технологической текучей средой,
фиг.7 - разрез датчика давления, имеющего основанный на емкости датчик деформации, согласно изобретению.
Подробное описание предпочтительных вариантов воплощения изобретения
Настоящее изобретение относится к датчикам давления типа, используемого в передатчиках давления систем управления промышленными процессами. Согласно изобретению предложен датчик давления, который содержит деформируемый корпус, выполненный из сжимаемого стеклянного материала. Деформируемый корпус датчика может быть выполнен из стекла, керамики, пластмассы или другого устойчивого жесткого изолятора. Используемое здесь понятие «стекло» включает любой устойчивый изолирующий материал. Датчик деформации встроен внутрь корпуса датчика. Датчик деформации имеет электрические свойства, которые изменяются в ответ на деформацию деформируемого корпуса датчика. Предусмотрены электрические соединения, которые проходят через корпус датчика к датчику деформации. При деформации корпуса изменяются электрические свойства датчика деформации, и можно определить величину приложенного давления. Эту конфигурацию можно осуществлять посредством встраивания датчика деформации в датчик перепада давления, так что можно определять давление в трубопроводе. Кроме того, такую конфигурацию можно использовать в качестве датчика давления, который может быть непосредственно открыт для технологической текучей среды без использования системы заполнения изолирующей текучей средой, указанной во вступительной части. Изобретение можно использовать для измерения давления в трубопроводе, а также перепада давления с использованием подходящих конфигураций встроенного датчика деформации.
На фиг.1 показан общий вид датчика 10 перепада давления, в разрезе, согласно изобретению. Датчик 10 давления является одним примером конфигурации датчика перепада давления и содержит установленные изолирующие диафрагмы 36 и 38, которые соединены с соединениями 26 давления, проходящими через корпус 27 датчика. Корпус 27 датчика образован из половинных ячеек 46 и 48 и содержит сжимаемый стеклянный материал. Полость 25 внутри датчика 10 содержит заполняющую текучую среду. Подвижная диафрагма 16 проходит поперек полости 25 и предназначена для перемещения в ответ на прикладываемый перепад давления. Электроды (пластины емкости) 20 расположены на стенке 23 датчика 10. Электрические соединения 40, связанные с электродами 20 и диафрагмой 16, используются для измерения электрической емкости между ними. Эта емкость изменяется при перемещении диафрагмы в ответ на прикладываемое давление и может быть использована для определения приложенного перепада давления.
Согласно изобретению, встроенный датчик 96 деформации установлен внутри деформируемого корпуса 27 датчика 10 давления. Для датчика деформации предусмотрено электрическое соединение 98.
При приложении перепада давления к корпусу 27 датчика через соединения 26 давления дополнительно к перемещению диафрагмы 16 изменяется также общая форма корпуса 27 датчика в ответ на давление в трубопроводе. Деформация формы корпуса датчика обнаруживается с помощью датчика 96 деформации и может измеряться через электрическое соединение 98. Датчик 96 может быть выполнен по любой известной схеме. В некоторых конфигурациях изготовление датчика 10 давления и, в частности, стеклянного корпуса 27 требует воздействия относительно высоких температур. Выбранный датчик 96 деформации должен иметь конфигурацию, которая способна выдерживать действующую высокую температуру.
На фиг.2 показан разрез датчика 10 давления (в разнесенном виде) в корпусе 30 передатчика 28 давления, расположенного между фланцами 32 и 34. Фланцы 32 и 34 соединены с корпусом 30 с помощью болтов 80, закрепленных гайками 82 и уплотненных кольцами 74 и 76 круглого сечения, соответственно. Давление Р1 прикладывается через вход 62 во фланце 32 к изолирующей диафрагме 36. Аналогичным образом, давление Р2 прикладывается через вход 64 во фланце 34 к изолирующей диафрагме 38.
Во время работы давления Р1 и Р2 действуют на соответствующие изолирующие диафрагмы 36 и 38, оказывая тем самым давление на по существу несжимаемую заполняющую текучую среду между центральной диафрагмой и изолирующими диафрагмами 36 и 38. Это вызывает отклонение центральной диафрагмы 16, что приводит к изменению емкости между диафрагмой 16 и электродом 20 и диафрагмой 16 и электродом 24. Электрические проводники 40 соединяют схему 42 передатчика с электродами 20 и 24. Схема 42 передатчика обеспечивает выходной сигнал, относящийся к давлениям Р1 и Р2 в виде функции емкости между электродами 20, 24 и центральной диафрагмой 16 через, например, двухпроводный контур 44 управления процессами. Такие контуры управления процессами известны в области управления процессами и могут содержать, например, контур тока в 4-20 мА.
На фиг.2 показан также датчик 96 деформации, установленный в датчике 10 давления. Датчик 96 деформации соединен со схемой 42 передатчика через электрическое соединение 98. Схема 42 передатчика предназначена для измерения электрических свойств датчика 96 деформации, которые изменяются в ответ на деформацию стеклянного корпуса 27 датчика 10 давления при приложении давлений Р1 и Р2. На основе этих измерений можно определять давление в трубопроводе, приложенное к датчику 10 перепада давления.
На фиг.3 показан передатчик 100 в разрезе, содержащий датчик 102 давления, согласно другому варианту выполнения изобретения. Передатчик 100 известен в промышленности как имеющий платформу Coplanar™, поскольку изолирующие диафрагмы 106 и 108 размещены в основном в одной плоскости. Фланец 111 соединен с передатчиком 100 болтами 110, что обеспечивает передачу давлений Р1 и Р2 на изолирующие диафрагмы 106 и 108. Прокладки 109 обеспечивают уплотнение между фланцем 111 и изолирующей диафрагмой 106, 108. По существу несжимаемая текучая среда содержится в капиллярах 120, которые соединены с датчиком 102 давления. Аналогично датчику 10 давления, датчик 102 образован из двух половинных ячеек 112, 114, заполненных, соответственно, стеклянным материалом 116, 118. Электрические проводники 124 соединены с емкостными пластинами (не показаны), которые установлены на поверхностях датчика из хрупких материалов 116, 118. Диафрагма 122 отклоняется при приложении давлений Р1 и Р2, вызывая изменение емкости, которое обнаруживает схема 123 передатчика, формирующая выходной сигнал, относящийся к давлениям Р1 и Р2, через двухпроводный контур управления процессами.
Как указано выше, датчик 96 деформации установлен внутри стеклянного материала 116, 118 корпуса датчика давления. Этот датчик 96 деформации имеет электрические характеристики, которые воспринимаются схемой 123 передатчика и могут быть коррелированы с давлением в трубопроводе под действием давлений Р1 и Р2 ко всему корпусу датчика давления.
Датчик 96 деформации может быть выполнен согласно любой подходящей технологии. Датчик 96 предпочтительно может выдерживать экстремальные условия окружающей среды, которые воздействуют на датчик 10 давления. Например, во время изготовления стеклянный материал, из которого выполнен корпус датчика, подвергается воздействию высокой температуры (например, 800-850°С). Датчик 96 может быть, например, элементом тензометра, выполненного со структурой типа «свободной нити», которая не требует дополнительного опорного материала и которая может быть выполнена для работы при температурах до 1150°С. Примеры материалов для тензометра включают:
Kanthal TM (сплав Fe, Cr, Al) для температур до 1150°С;
Karma (75% Ni, 20% Cr, 3% Al, 3% Fe);
платина-иридий (95%, 5%);
нихром (80% Ni, 20% Cr).
На фиг.4 показан на виде сверху пример выполнения датчика 96 деформации, который изготовлен на подложке 200, несущей нить 202 тензометра. Примером материала для подложки 202 является полупроводниковый материал, такой как поликристаллический кремний или углерод (например, волокна или нанотрубки). Хотя на фиг.4 показан один элемент тензометра, можно использовать также другие конфигурации, включая мостиковые конфигурации.
Во время работы выходной сигнал датчика 96 деформации связан с приложенным давлением в трубопроводе и имеет достаточно высокий уровень сигнала для выполнения измерений давления в трубопроводе в требуемом диапазоне, например, от 100 до 1000 фунт/квадратный дюйм. Датчик деформации может содержать элемент тензометра, имеющего, например, сопротивление 5000 Ом с коэффициентом калибровки 2-4. Кроме того, соотношение между сжимаемостью стекла, в которое встроен датчик, и прикладываемым давлением является относительно постоянным и поэтому не вызывает погрешностей измерения. Дополнительно к этому, в некоторых конфигурациях могут быть предусмотрены дополнительные тензометры или датчики 107 (фиг.5), которые ориентированы так, что на них не влияет прикладываемое давление в трубопроводе. Такой дополнительный тензометр можно использовать в качестве датчика 107 компенсации, например, в качестве опорного датчика, или же использовать для определения температуры датчика. Стеклянные материалы, которые используются в настоящее время для корпуса датчика, обычно являются относительно стабильными. Корпуса датчиков используются также для установки электродов для генерирования сигналов емкости, связанных с перепадом давления. Датчики можно относительно просто изготавливать на высокотемпературной подложке (такой как керамика, кремний или т.п.) способом, аналогичным используемому в настоящее время способу для датчиков температуры PRT. В некоторых конфигурациях для стеклянного корпуса датчика может требоваться дополнительное стекло для снятия напряжений и дополнительный период испытаний на отказ.
На фиг.5 показана в частичном разрезе более детально конфигурация датчика 102 давления. Датчик 96 деформации выполнен в виде тензометра, который испытывает деформацию ΔL/L. Это приводит к изменению сопротивления, измеряемого на электрическом соединении 98 в Δ Ом/статичное давление. В одном примере выполнения датчик 96 имеет длину D около 0,2 дюйма.
На фиг.6А показана схема промышленного процесса 200, включающая датчик 202 давления, согласно изобретению, который содержит датчик деформации, установленный в деформируемом стеклянном корпусе датчика. На датчик 202 давления непосредственно воздействует технологическая текучая среда, находящаяся в технологическом трубопроводе 204. Это является упрощенной конфигурацией «безмасляной» технологии измерения, которая не требует заполнения изолирующей текучей средой. Датчик 202 давления является частью технологического передатчика 210, предназначенного для соединения с двухпроводным контуром 212 управления процессом, согласно уровню техники.
На фиг.6 показан разрез датчика 202 давления, согласно изобретению, предназначенного для непосредственного воздействия технологической текучей среды. Технологическое соединение 304 предназначено, например, для соединения с технологическим трубопроводом. Корпус 302 датчика давления имеет жесткий изолятор 306, такой как стеклянный (включая керамику) изолятор. Датчик 310 сжатия или растяжения находится внутри изолятора 306 и соединен со схемой измерения давления (поз.123 на фиг.3) через электрические соединения 312. В различных вариантах выполнения активные схемы могут содержаться в датчике 310.
В другом примере выполнения (фиг.7) вместо использования тензометра в качестве датчика деформации, предусмотрены емкостные пластины для измерения деформации. Такую конфигурацию можно использовать для измерения перепада давления. На фиг.7 показан в частичном разрезе датчик 250 давления, согласно другому примеру выполнения. Датчик 250 содержит корпус 252 датчика, заполненный диэлектрическим материалом 254, соединенным с технологическим давлением через импульсный трубопровод 256. Внутри датчика 250 давления имеется полость 258, соединенная с импульсным трубопроводом 256. Полость 258 образована диафрагмой 260, которая перемещается в ответ на прикладываемое давление. Пластина или электрод 264, который установлен внутри диэлектрика 254, и электрод 268 образуют конденсатор. Электрод 264 связан с электрическим соединением 266. Вторая пластина 268 конденсатора установлена в диэлектрике 254 или на поверхности наружной кромки полости 258 и связана со вторым электрическим соединением 270. Использование конденсаторных пластин 264 и 268 приводит к созданию между ними емкости. При деформации датчика 250 давления в ответ на прикладываемое давление, как указывалось выше, электрическая емкость между пластинами 264 и 268 изменяется. Посредством измерения этой емкости можно определять деформацию датчика 250 и использовать в соответствии с указанными выше технологиями.
Хотя в приведенном выше описании речь идет о встраивании датчика деформации в стекло, можно использовать также другие материалы, которые имеют желаемые характеристики и состоят из твердого сжимаемого вещества. Примеры включают пластмассы и т.п. Можно использовать любую подходящую технику для измерения деформации, такую как конденсатор, тензометр, оптическая техника, кремниевая техника и т.д. Другие типы датчиков, которые можно встраивать в твердый материал, включают датчик температуры для компенсации измерений. Кроме того, можно использовать несколько датчиков для надежности, избыточности, самопроверки или т.п.

Claims (20)

1. Датчик давления, содержащий
деформируемый корпус датчика, выполненный из сжимаемого материала, первое и второе соединения давления для деформируемого корпуса датчика, конфигурированные для приема первого и второго давлений, встроенный датчик деформации, встроенный в деформируемый корпус, имеющий электрические свойства, которые изменяются в ответ на деформацию деформируемого корпуса,
электрические соединения (40) перепада давлений, проходящие от внешней поверхности деформируемого корпуса датчика, имеющего электрические свойства, которые изменяются на основе разности давлений между первым и вторым давлениями, к встроенному датчику деформации.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что деформируемый корпус датчика содержит стеклянный корпус датчика из сжимаемого стеклянного материала.
3. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик деформации содержит тензометр.
4. Датчик по п.3, отличающийся тем, что тензометр установлен на подложке.
5. Датчик по п.3, отличающийся тем, что тензометр содержит резистивный элемент, имеющий сопротивление, которое изменяется в ответ на растяжение.
6. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик деформации включает компенсационный датчик.
7. Датчик по п.1, отличающийся тем, что содержит датчик температуры.
8. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик деформации содержит конденсатор.
9. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик давления содержит диафрагму в корпусе датчика.
10. Датчик по п.9, отличающийся тем, что диафрагма предназначена для отклонения в ответ на прикладываемое давление.
11. Датчик по п.9, отличающийся тем, что диафрагма конфигурирована для отклонения в ответ на перепад давлений, прикладываемый к датчику давления.
12. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик давления связан с технологической текучей средой через изолирующую текучую среду.
13. Датчик по п.1, отличающийся тем, что датчик давления предназначен для непосредственного контакта с технологической текучей средой.
14. Датчик по п.1, отличающийся тем, что электрические свойства встроенного датчика деформации зависят от прикладываемого давления в трубопроводе.
15. Датчик по п.1, отличающийся тем, что электрические свойства встроенного датчика деформации зависят от прикладываемого перепада давления.
16. Передатчик управления процессом, содержащий схему передатчика, соединенную с датчиком давления по п.1.
17. Передатчик по п.16, отличающий тем, что схема передатчика предназначена для определения перепада давления в трубопроводе на основе электрических характеристик датчика давления.
18. Способ измерения давления, заключающийся в том, что
определяют перепад давления на основе отклонения диафрагмы, установленной в корпусе датчика по п.1, и
определяют давление в трубопроводе на основе деформации корпуса датчика.
19. Способ по п.18, отличающийся тем, что деформацию измеряют с помощью тензометра.
20. Способ по п.19, отличающийся тем, что тензометр встроен в корпус датчика.
RU2007148914/28A 2005-05-26 2006-05-23 Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика RU2400719C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/138,977 2005-05-26
US11/138,977 US7401522B2 (en) 2005-05-26 2005-05-26 Pressure sensor using compressible sensor body

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007148914A RU2007148914A (ru) 2009-07-10
RU2400719C2 true RU2400719C2 (ru) 2010-09-27

Family

ID=36950365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007148914/28A RU2400719C2 (ru) 2005-05-26 2006-05-23 Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7401522B2 (ru)
EP (1) EP1883798B1 (ru)
JP (1) JP5089580B2 (ru)
CN (1) CN101180526B (ru)
RU (1) RU2400719C2 (ru)
WO (1) WO2006127726A1 (ru)

Families Citing this family (82)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7334484B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US7415886B2 (en) 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
ITMI20070191A1 (it) * 2007-02-05 2008-08-06 Abb Service Srl Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo.
US7437938B2 (en) * 2007-03-21 2008-10-21 Rosemount Inc. Sensor with composite diaphragm containing carbon nanotubes or semiconducting nanowires
US8042401B2 (en) * 2008-06-12 2011-10-25 Rosemount, Inc. Isolation system for process pressure measurement
US7954383B2 (en) 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US7870791B2 (en) * 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US8327713B2 (en) * 2008-12-03 2012-12-11 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property
DE102008054991A1 (de) 2008-12-19 2010-06-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckmessumformer
CN102575965B (zh) * 2009-09-29 2015-02-04 Abb技术有限公司 用于测量工艺流体的压力的压力变送器以及相关方法
CN102062652A (zh) * 2009-11-12 2011-05-18 无锡千里信步精密机电科技有限公司 应用混入微小构造体的柔软感应材料的压力传感器装置及压力信号感应方法
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) * 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8132464B2 (en) * 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
US8384915B2 (en) 2010-10-01 2013-02-26 Rosemount Inc. Test block for use in a welding process
US8448519B2 (en) * 2010-10-05 2013-05-28 Rosemount Inc. Industrial process transmitter with high static pressure isolation diaphragm coupling
DE102011006517A1 (de) * 2011-03-31 2012-10-04 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckfest gekapselter Differenzdrucksensor
US9151153B2 (en) * 2011-11-30 2015-10-06 Baker Hughes Incorporated Crystal sensor made by ion implantation for sensing a property of interest within a borehole in the earth
JP2013185873A (ja) * 2012-03-06 2013-09-19 Azbil Corp 差圧センサ
US8752433B2 (en) 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
US8968443B2 (en) * 2012-11-05 2015-03-03 Caterpillar Inc. Delta P closed loop pressure diaphragm
DE102012113042A1 (de) 2012-12-21 2014-06-26 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Hydraulisches Messwerk mit koplanaren Druckeingängen und Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk
US9159223B2 (en) 2013-03-04 2015-10-13 Hello, Inc. User monitoring device configured to be in communication with an emergency response system or team
US9406220B2 (en) 2013-03-04 2016-08-02 Hello Inc. Telemetry system with tracking receiver devices
US9436903B2 (en) 2013-03-04 2016-09-06 Hello Inc. Wearable device with magnets with a defined distance between adjacent magnets
US9445651B2 (en) 2013-03-04 2016-09-20 Hello Inc. Wearable device with overlapping ends coupled by magnets
US9430938B2 (en) 2013-03-04 2016-08-30 Hello Inc. Monitoring device with selectable wireless communication
US9530089B2 (en) 2013-03-04 2016-12-27 Hello Inc. Wearable device with overlapping ends coupled by magnets of a selected width, length and depth
US9532716B2 (en) 2013-03-04 2017-01-03 Hello Inc. Systems using lifestyle database analysis to provide feedback
US9420857B2 (en) 2013-03-04 2016-08-23 Hello Inc. Wearable device with interior frame
US9204798B2 (en) 2013-03-04 2015-12-08 Hello, Inc. System for monitoring health, wellness and fitness with feedback
US9361572B2 (en) 2013-03-04 2016-06-07 Hello Inc. Wearable device with magnets positioned at opposing ends and overlapped from one side to another
US9330561B2 (en) 2013-03-04 2016-05-03 Hello Inc. Remote communication systems and methods for communicating with a building gateway control to control building systems and elements
US9149189B2 (en) 2013-03-04 2015-10-06 Hello, Inc. User or patient monitoring methods using one or more analysis tools
US9526422B2 (en) 2013-03-04 2016-12-27 Hello Inc. System for monitoring individuals with a monitoring device, telemetry system, activity manager and a feedback system
US9427189B2 (en) 2013-03-04 2016-08-30 Hello Inc. Monitoring system and device with sensors that are responsive to skin pigmentation
US9424508B2 (en) 2013-03-04 2016-08-23 Hello Inc. Wearable device with magnets having first and second polarities
US9432091B2 (en) 2013-03-04 2016-08-30 Hello Inc. Telemetry system with wireless power receiver and monitoring devices
US9662015B2 (en) 2013-03-04 2017-05-30 Hello Inc. System or device with wearable devices having one or more sensors with assignment of a wearable device user identifier to a wearable device user
US9367793B2 (en) 2013-03-04 2016-06-14 Hello Inc. Wearable device with magnets distanced from exterior surfaces of the wearable device
US9634921B2 (en) 2013-03-04 2017-04-25 Hello Inc. Wearable device coupled by magnets positioned in a frame in an interior of the wearable device with at least one electronic circuit
US9462856B2 (en) 2013-03-04 2016-10-11 Hello Inc. Wearable device with magnets sealed in a wearable device structure
US9737214B2 (en) 2013-03-04 2017-08-22 Hello Inc. Wireless monitoring of patient exercise and lifestyle
US9298882B2 (en) 2013-03-04 2016-03-29 Hello Inc. Methods using patient monitoring devices with unique patient IDs and a telemetry system
US9848776B2 (en) 2013-03-04 2017-12-26 Hello Inc. Methods using activity manager for monitoring user activity
US9398854B2 (en) 2013-03-04 2016-07-26 Hello Inc. System with a monitoring device that monitors individual activities, behaviors or habit information and communicates with a database with corresponding individual base information for comparison
US9345404B2 (en) 2013-03-04 2016-05-24 Hello Inc. Mobile device that monitors an individuals activities, behaviors, habits or health parameters
US9427160B2 (en) 2013-03-04 2016-08-30 Hello Inc. Wearable device with overlapping ends coupled by magnets positioned in the wearable device by an undercut
US9420856B2 (en) 2013-03-04 2016-08-23 Hello Inc. Wearable device with adjacent magnets magnetized in different directions
US9320434B2 (en) 2013-03-04 2016-04-26 Hello Inc. Patient monitoring systems and messages that send alerts to patients only when the patient is awake
US9357922B2 (en) 2013-03-04 2016-06-07 Hello Inc. User or patient monitoring systems with one or more analysis tools
US9392939B2 (en) 2013-03-04 2016-07-19 Hello Inc. Methods using a monitoring device to monitor individual activities, behaviors or habit information and communicate with a database with corresponding individual base information for comparison
US9553486B2 (en) 2013-03-04 2017-01-24 Hello Inc. Monitoring system and device with sensors that is remotely powered
US20140246502A1 (en) 2013-03-04 2014-09-04 Hello Inc. Wearable devices with magnets encased by a material that redistributes their magnetic fields
US9345403B2 (en) 2013-03-04 2016-05-24 Hello Inc. Wireless monitoring system with activity manager for monitoring user activity
US9704209B2 (en) 2013-03-04 2017-07-11 Hello Inc. Monitoring system and device with sensors and user profiles based on biometric user information
US9339188B2 (en) 2013-03-04 2016-05-17 James Proud Methods from monitoring health, wellness and fitness with feedback
US8850421B2 (en) 2013-03-04 2014-09-30 Hello Inc. Telemetry system with remote firmware updates or repair for remote monitoring devices when the monitoring device is not in use by the user
US10009581B2 (en) 2015-01-02 2018-06-26 Fitbit, Inc. Room monitoring device
US9610030B2 (en) 2015-01-23 2017-04-04 Hello Inc. Room monitoring device and sleep analysis methods
US9993197B2 (en) 2013-06-21 2018-06-12 Fitbit, Inc. Patient monitoring systems and messages that send alerts to patients only when the patient is awake
US10058290B1 (en) 2013-06-21 2018-08-28 Fitbit, Inc. Monitoring device with voice interaction
US10004451B1 (en) 2013-06-21 2018-06-26 Fitbit, Inc. User monitoring system
US9993166B1 (en) 2013-06-21 2018-06-12 Fitbit, Inc. Monitoring device using radar and measuring motion with a non-contact device
US9423315B2 (en) 2013-10-15 2016-08-23 Rosemount Aerospace Inc. Duplex pressure transducers
US9593995B2 (en) 2014-02-28 2017-03-14 Measurement Specialties, Inc. Package for a differential pressure sensing die
US9310267B2 (en) * 2014-02-28 2016-04-12 Measurement Specialities, Inc. Differential pressure sensor
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
US9857259B2 (en) 2014-09-30 2018-01-02 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with high pressure capabilities
CN104897336A (zh) * 2015-06-10 2015-09-09 浙江长兴好方向食品有限公司 一种压阻式差压传感器
US20170167939A1 (en) * 2015-12-15 2017-06-15 Honeywell International, Inc. Pressure sensor drift detection and correction
US10060814B2 (en) * 2016-03-15 2018-08-28 Rosemount Inc. Fluid filled elongate pressure sensor
CN107796554A (zh) * 2017-09-23 2018-03-13 南京律智诚专利技术开发有限公司 一种高稳定性的压力变送器
GB2572809B (en) * 2018-04-12 2020-11-11 Subsea 7 Ltd Internal inspection of pipelines
US11041773B2 (en) * 2019-03-28 2021-06-22 Rosemount Inc. Sensor body cell of a pressure sensor
CN110514347A (zh) * 2019-08-29 2019-11-29 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面悬浮绝对压力传感器
CN110514351A (zh) * 2019-08-29 2019-11-29 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面差压变送器
US20220381636A1 (en) * 2019-10-25 2022-12-01 Safe Gauge Pty Ltd A testing system
US11226253B2 (en) 2019-12-23 2022-01-18 Rosemount Inc. High range differential pressure sensor
CN111337182B (zh) * 2020-03-13 2021-09-14 浙江奥新仪表有限公司 一种大量程高精度压力变送器
EP4256900A1 (en) 2020-12-03 2023-10-11 Adasky, Ltd. Lens clearing arrangement

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1438366A (fr) 1965-03-22 1966-05-13 B A R A Appareil de mesure de force ou pression
DE1932899A1 (de) 1969-06-28 1971-01-07 Rohrbach Dr Christof Messwertgeber zum Umwandeln von Kraeften,mechanischen Spannungen oder Druecken in elektrische Widerstandsaenderungen
JPS54123077A (en) * 1978-03-17 1979-09-25 Hitachi Ltd Pressure sensor
IT1194839B (it) * 1980-12-22 1988-09-28 Bourns Instr Inc Apparecchio per misurare la pressione in particolare di un fluido che scorre attraverso un orifizio o simile
JPS5882640U (ja) * 1981-12-01 1983-06-04 横河電機株式会社 差圧・圧力測定装置
CH658726A5 (de) * 1983-01-31 1986-11-28 Standard St Sensortechnik Ag Hydraulischer druckaufnehmer.
JPH0629821B2 (ja) * 1983-09-16 1994-04-20 株式会社日立製作所 複合機能形差圧センサ
US4739666A (en) * 1983-12-12 1988-04-26 Pfister Gmbh Flat-spread force measuring device
JPS60133320A (ja) * 1983-12-22 1985-07-16 Ishida Scales Mfg Co Ltd 荷重検出器
JPS61104236A (ja) * 1984-10-25 1986-05-22 ロ−ベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 圧力センサ
EP0179278A3 (de) * 1984-10-25 1988-09-07 Robert Bosch Gmbh Drucksensor
US4864874A (en) * 1987-08-05 1989-09-12 Pfister Gmbh Force measuring device
JPH01141328A (ja) 1987-11-27 1989-06-02 Hitachi Ltd 差圧伝送器
JPH0347104U (ru) * 1989-09-16 1991-05-01
US5144841A (en) * 1990-02-23 1992-09-08 Texas Instruments Incorporated Device for measuring pressures and forces
US5094109A (en) 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
EP0496956B1 (de) * 1991-01-31 1997-01-15 Pfister Messtechnik GmbH Übertragungselement für Kraft- oder Momentmessvorrichtungen
JPH05296867A (ja) * 1992-04-23 1993-11-12 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US5583294A (en) * 1994-08-22 1996-12-10 The Foxboro Company Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm
JP3106939B2 (ja) * 1995-11-21 2000-11-06 富士電機株式会社 静電容量式圧力検出装置
US5796007A (en) * 1996-09-23 1998-08-18 Data Instruments, Inc. Differential pressure transducer
US6003219A (en) 1998-04-24 1999-12-21 Rosemount Inc. Method of making a pressure transmitter having pressure sensor having cohered surfaces
US6508131B2 (en) * 1999-05-14 2003-01-21 Rosemount Inc. Process sensor module having a single ungrounded input/output conductor
US6588281B2 (en) * 2001-10-24 2003-07-08 Kulite Semiconductor Products, Inc. Double stop structure for a pressure transducer
US7215529B2 (en) 2003-08-19 2007-05-08 Schlegel Corporation Capacitive sensor having flexible polymeric conductors

Also Published As

Publication number Publication date
CN101180526B (zh) 2011-04-13
JP5089580B2 (ja) 2012-12-05
WO2006127726A1 (en) 2006-11-30
RU2007148914A (ru) 2009-07-10
US20060278005A1 (en) 2006-12-14
CN101180526A (zh) 2008-05-14
EP1883798B1 (en) 2012-05-23
JP2008542717A (ja) 2008-11-27
EP1883798A1 (en) 2008-02-06
US7401522B2 (en) 2008-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2400719C2 (ru) Датчик давления с использованием сжимаемого корпуса датчика
KR102406604B1 (ko) 압력 센서의 보정을 위한 방법 및 장치
RU2554322C2 (ru) Частотно-резонансный датчик давления
US5712428A (en) Pressure sensor with a solid to minimize temperature-related measurement error
JP5409965B2 (ja) ライン圧力測定を伴う差圧センサ
US7456638B2 (en) MEMS based conductivity-temperature-depth sensor for harsh oceanic environment
JP5432129B2 (ja) 多孔質誘電体ダイアフラムを有する静電圧力センサ
US20090078054A1 (en) Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
CA1239806A (en) Capacitive sensing cell made of brittle material
EP3287758B1 (en) Differential pressure sensor incorporating common mode error compensation
US8122769B1 (en) Multi-diaphragm pressure sensors
US4741214A (en) Capacitive transducer with static compensation
KR100773759B1 (ko) 마이크로 압력센서
US20180172534A1 (en) Pressure detecting device
US7278321B2 (en) Pressure sensor
US6499352B2 (en) Pressure measuring cell
JPH10197316A (ja) 密度補正形液面検出装置
CN213267803U (zh) 一种铁路路基沉降监测传感装置
JP3627302B2 (ja) ガス異常監視装置
SU1377633A1 (ru) Датчик давлени

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110524