KR100773759B1 - 마이크로 압력센서 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 전도성을 갖는 다이어프램(2)과;상기 다이어프램(2)의 양단을 지지하며, 상기 다이어프램(2) 상부로 개구된 공간인 상부챔버(5)를 형성하는 하단웨이퍼(4)와;상기 상부챔버(5)를 밀폐하도록 상기 하단웨이퍼(4)의 상면에 결합되는 상단웨이퍼(1)와;상기 상단웨이퍼(1)의 하단면 중앙부에 형성된 환형의 기준박막(11)을 기준하여 상호 이격되도록 형성되는 다수의 환형 금속박막(10)과;상기 기준박막(11)으로부터 환형의 직경방향으로 상기 금속박막(10)과 연속적으로 직렬연결되는 다수개의 저항체(13)와;상기 금속박막(10)과 저항체(13)를 전기적으로 연결하는 리드선(8)으로 구성되는 전원부(9);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 전도성을 갖는 다이어프램(2)과;상기 다이어프램(2)의 양단을 지지하며, 상기 다이어프램(2)의 상부로 개구된 공간인 상부챔버(5)를 형성하는 하단웨이퍼(4)와;상기 상부챔버(5)를 밀폐하도록 상기 하단웨이퍼(4)의 상면에 결합되는 상단웨이퍼(1)와;상기 상단웨이퍼(1)의 하단면 중앙부에 형성된 바형의 제 1금속박막(22)으로부터 양측으로 비대칭을 이루며, 상호간 일정간격 이격되어 형성되는 다수개의 제 2금속박막(21)과;상기 제 2금속박막(21) 사이에 각각 위치되되, 상기 제 2금속박막(21)과 연속적으로 직렬연결되는 다수개의 저항체(13)와;상기 제 2금속박막(21)과 저항체(13)를 전기적으로 연결하는 리드선(8)으로 구성되는 전원부(9);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다이어프램(2)은 상면에 전도성 박막(2a)이 증착되어 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상단웨이퍼(1)는 파이렉스 글래스 소재인 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 저항체(13)는 ITO 소재인 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속박막(10) 및 제 2금속박막(21)은 저항체와의 사이 간격을 조절함으로써 출력특성의 비선형성을 보정할 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 저항체(13)는 금속박막(10)이 상호 이격되며 형성된 박막홀(12)에 위치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
- 제 2항에 있어서,상기 제 2금속박막(21)은 상호간 이격거리는 동일하되, 상기 제 1금속박막(22)과 가장 근접한 양측 제 2금속박막(21)의 위치를 상이하게 조절하여 센서감도를 상승시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101515828B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2015-05-06 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 전단응력을 이용한 압저항형 압력센서 및 그 제조방법 |
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101004941B1 (ko) | 2008-09-30 | 2010-12-28 | 삼성전기주식회사 | 촉각 센서 |
KR101039900B1 (ko) * | 2009-08-03 | 2011-06-09 | 주식회사 케이이씨 | 전자식 압력 스위치 및 그 제조 방법 |
KR101161295B1 (ko) * | 2010-10-15 | 2012-07-04 | 서강대학교산학협력단 | 압력 측정 장치 및 그 제조 방법 |
KR101518265B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2015-05-12 | 한국기계연구원 | 접촉저항 변화를 이용한 고압용 압력 스위치 |
DE102014200507A1 (de) * | 2014-01-14 | 2015-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Drucksensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
KR102204967B1 (ko) * | 2019-03-08 | 2021-01-19 | 한국전자기술연구원 | 유연 압력 센서 및 그 센서의 제조 방법 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920008983A (ko) * | 1990-10-11 | 1992-05-28 | 고이즈미 마사히꼬 | 반도체 압력센서 및 그 제조방법 |
KR920017291A (ko) * | 1991-02-12 | 1992-09-26 | 시기 모리야 | 반도체 압력센서 |
KR19980084450A (ko) * | 1997-05-23 | 1998-12-05 | 박재범 | 다이어 프램식 압력센서 |
KR20010041219A (ko) * | 1998-12-24 | 2001-05-15 | 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 | 압력 센서 |
KR20010040683A (ko) * | 1998-12-09 | 2001-05-15 | 사토 요시하루 | 반도체 압력 센서 및 그 제조방법 |
JP2003021567A (ja) | 2001-06-11 | 2003-01-24 | Hewlett Packard Co <Hp> | マイクロ高真空圧力センサ |
KR100402875B1 (ko) | 1995-04-03 | 2004-07-05 | 모토로라 인코포레이티드 | 매개체에적합한마이크로센서구조물및이의제조방법 |
KR20040079323A (ko) * | 2003-03-07 | 2004-09-14 | 가부시키가이샤 덴소 | 다이어프램을 갖는 반도체 압력 센서 |
KR100453976B1 (ko) | 2002-11-27 | 2004-10-20 | 전자부품연구원 | 마이크로 소자용 다이아프램의 제조방법 |
JP2005055313A (ja) | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ装置 |
-
2006
- 2006-03-27 KR KR1020060027536A patent/KR100773759B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920008983A (ko) * | 1990-10-11 | 1992-05-28 | 고이즈미 마사히꼬 | 반도체 압력센서 및 그 제조방법 |
KR920017291A (ko) * | 1991-02-12 | 1992-09-26 | 시기 모리야 | 반도체 압력센서 |
KR100402875B1 (ko) | 1995-04-03 | 2004-07-05 | 모토로라 인코포레이티드 | 매개체에적합한마이크로센서구조물및이의제조방법 |
KR19980084450A (ko) * | 1997-05-23 | 1998-12-05 | 박재범 | 다이어 프램식 압력센서 |
KR20010040683A (ko) * | 1998-12-09 | 2001-05-15 | 사토 요시하루 | 반도체 압력 센서 및 그 제조방법 |
KR20010041219A (ko) * | 1998-12-24 | 2001-05-15 | 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 | 압력 센서 |
JP2003021567A (ja) | 2001-06-11 | 2003-01-24 | Hewlett Packard Co <Hp> | マイクロ高真空圧力センサ |
KR100453976B1 (ko) | 2002-11-27 | 2004-10-20 | 전자부품연구원 | 마이크로 소자용 다이아프램의 제조방법 |
KR20040079323A (ko) * | 2003-03-07 | 2004-09-14 | 가부시키가이샤 덴소 | 다이어프램을 갖는 반도체 압력 센서 |
JP2005055313A (ja) | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
논문 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101515828B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2015-05-06 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 전단응력을 이용한 압저항형 압력센서 및 그 제조방법 |
KR101948113B1 (ko) | 2017-07-25 | 2019-02-14 | 한국과학기술원 | 탄성도 측정 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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