RU2224311C2 - Получение рентгеновского изображения с высоким разрешением очень малых объектов - Google Patents
Получение рентгеновского изображения с высоким разрешением очень малых объектов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2224311C2 RU2224311C2 RU99123366/06A RU99123366A RU2224311C2 RU 2224311 C2 RU2224311 C2 RU 2224311C2 RU 99123366/06 A RU99123366/06 A RU 99123366/06A RU 99123366 A RU99123366 A RU 99123366A RU 2224311 C2 RU2224311 C2 RU 2224311C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- cell
- ray
- mass
- substance
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract 22
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 abstract 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K7/00—Gamma- or X-ray microscopes
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2207/00—Particular details of imaging devices or methods using ionizing electromagnetic radiation such as X-rays or gamma rays
- G21K2207/005—Methods and devices obtaining contrast from non-absorbing interaction of the radiation with matter, e.g. phase contrast
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение предназначено для использования в области рентгеновской микроскопии. Ячейка для образца содержит образующую камеру для образца конструкцию. На последней расположена масса возбуждаемого падающим пучком для генерации рентгеновского излучения вещества. Рентгеновский микроскоп или микрозонд имеет средство для формирования сфокусированного пучка электронов и ячейку для образца. Последняя выполнена с возможностью удерживания держателем в положении, при котором пучок электронов фокусируется на массе возбуждаемого вещества с помощью ячейки для образца. Происходит обеспечение падающего пучка для возбуждения вещества для формирования рентгеновского излучения. Рентгеновский микроскоп содержит детектор. Последний размещен вне ячейки образца. Способ получения увеличенного рентгеновского изображения одной или более внутренних границ или других деталей образца заключается в помещении образца в ячейку для образца. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения содержит ячейку для образца, детектор. Последний размещен вне ячейки для образца для обнаружения рентгеновского излучения. Обеспечивается получение микрофокусного источника рентгеновского излучения. 4 с. и 34 з.п.ф-лы. 12 ил., 1 табл.
Description
Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)
Claims (38)
1. Ячейка для образца, предназначенная для использования при получении рентгеновских изображений, содержащая конструкцию, образующую камеру для образца, и расположенную на упомянутой конструкции массу вещества, возбуждаемого падающим пучком для генерации рентгеновского излучения, причем ячейка расположена таким образом, чтобы при использовании, по меньшей мере, часть рентгеновского излучения пересекала указанную камеру для облучения находящегося в ней образца, а затем выходила из конструкции для регистрации.
2. Ячейка для образца по п.1, отличающаяся тем, что представляет собой интегральный автономный узел, выполненный с возможностью и размерами, позволяющими установить его во вспомогательном держателе электронного микроскопа или микрозонда в положении, при котором пучок электронов микроскопа фокусируется на массе возбуждаемого вещества и тем самым обеспечивает падающий пучок для возбуждения упомянутого вещества и формирования рентгеновского излучения.
3. Ячейка для образца по п.1, отличающаяся тем, что упомянутое вещество способно возбуждаться падающим сфокусированным пучком электромагнитного излучения для формирования рентгеновского излучения.
4. Ячейка для образца по любому из пп.1, 2 или 3, отличающаяся тем, что указанная ячейка выполнена в виде группы слоев многоугольной формы в плоскости каждого слоя, при этом размеры каждого слоя в виде многоугольной формы составляют от 1 мкм до 10 мм.
5. Ячейка для образца по п.4, отличающаяся тем, что выполнена с возможностью использования при получении изображений методом фазового контраста, где упомянутые слои, через которые проходит возбужденное рентгеновское излучение, имеют высокую однородность и очень гладкие поверхности для сохранения высокой пространственной когерентности падающего пучка излучения, облучающего образец, обеспечивая тем самым полезный оптимальный контраст в изображении.
6. Ячейка для образца по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что упомянутая масса возбуждаемого вещества представляет собой слой вещества, нанесенного на конструкцию, образующую ячейку.
7. Ячейка для образца по п.6, отличающаяся тем, что слой возбуждаемого вещества имеет толщину в пределах от 10 до 1000 нм и расположен таким образом, что во время использования расстояние между этим слоем и образцом составляет от 1 до 1000 мкм.
8. Ячейка для образца по любому из п.6 или 7, отличающаяся тем, что упомянутая конструкция содержит подложку и/или разделительный слой, прозрачный для рентгеновских лучей вообще или для выбранного энергетического диапазона или диапазонов рентгеновского излучения, отделяющий слой возбуждаемого вещества от образца.
9. Ячейка для образца по п.8, отличающаяся тем, что подложка и/или разделяющий слой имеет сильное поглощение для энергий, находящихся за пределами указанного выбранного энергетического диапазона или диапазонов рентгеновского излучения, в целях увеличения хроматической когерентности рентгеновского излучения, формирующего изображение.
10. Ячейка для образца по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что упомянутая масса является разделенной или рельефной группой частей массы, удерживаемых на общей подложке.
11. Ячейка для образца по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что камера выполнена открытой.
12. Ячейка для образца по п.11, отличающаяся тем, что камера выполнена с возможностью герметизации после помещения в нее образца.
13. Ячейка для образца по любому из пп.1-10, отличающаяся тем, что камера выполнена с возможностью ее закрытия, а упомянутая конструкция содержит прозрачное для рентгеновских лучей окно, через которое рентгеновское излучение выходит из конструкции для регистрации.
14. Ячейка для образца по любому из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что ячейка в комбинации с энергочувствительным или энергоразличающим детектором.
15. Ячейка для образца по п.10, отличающаяся тем, что упомянутая разделенная или рельефная группа частей массы представляет собой группу пятен, разнесенных по общей подложке.
16. Ячейка для образца по п.15, отличающаяся тем, что указанные пятна имеют диаметр около 0,2 мкм.
17. Ячейка для образца по одному из п.15 или 16, отличающаяся тем, что пятна расположены таким образом, чтобы падающий пучок был шире любого пятна.
18. Рентгеновский микроскоп или микрозонд, имеющий средство для формирования сфокусированного пучка электронов и ячейку для образца, выполненную с возможностью удерживания держателем в положении, при котором пучок электронов фокусируется на массе возбуждаемого вещества с помощью ячейки для образца и тем самым обеспечивается падающий пучок для возбуждения вещества для формирования рентгеновского излучения, а также детектор, размещенный вне ячейки образца, при этом указанное рентгеновское излучение пересекает часть ячейки для образца для облучения указанного образца, при этом, по меньшей мере, часть облучающего образец рентгеновского излучения выходит из ячейки и является зарегистрированным.
19. Рентгеновский микроскоп или микрозонд по п.18, отличающийся тем, что пучок электронов фокусируется на ширину в пределах от 10 до 1000 нм в массе возбуждаемого вещества.
20. Рентгеновский микроскоп или микрозонд по одному из п.18 или 19, отличающийся тем, что средство для формирования сфокусированного пучка электронов представляет собой остроконечный источник автоэлектронной эмиссии.
21. Рентгеновский микроскоп или микрозонд по одному из пп.18, 19 или 20, отличающийся тем, что дополнительно содержит энергочувствительный или энергоразличающий детектор.
22. Способ получения увеличенного рентгеновского изображения одной или более внутренних границ или других деталей образца, заключающийся в том, что образец помещают в ячейку для образца, включающую массу возбуждаемого вещества и камеру для удержания образца, устанавливают ячейку в держателе электронного микроскопа или микрозонда в положение, при котором пучок электронов, сформированный посредством микроскопа или микрозонда, фокусируется на массе возбуждаемого вещества, осуществляют облучение указанного возбуждаемого вещества пучком электронов для формирования веществом рентгеновского излучения, по меньшей мере часть которого пересекает камеру, облучая образец, содержащий одну или более внутренних границ или других деталей, и после этого выходит из структуры ячейки, и обнаруживают и регистрируют по меньшей мере часть излучения после облучения образца, для обеспечения изображения одной или более внутренних границ или других деталей образца.
23. Способ по п.22, отличающийся тем, что рентгеновское изображение получают методом фазового контраста или комбинации абсорбционного и фазового контраста.
24. Способ по п.23, отличающийся тем, что падающий пучок рентгеновских лучей и облучающее образец излучение имеют высокую пространственную когерентность для получения оптимального полезного контраста в изображении.
25. Способ по одному из пп.22-24, отличающийся тем, что пучок электронов фокусируют на ширину в пределах от 10 до 1000 нм в массе возбуждаемого вещества.
26. Способ по одному из пп.22-25, отличающийся тем, что используемая ячейка для образца представляет собой группу слоев многоугольной формы в плоскости каждого слоя, при этом размеры каждого слоя в виде многоугольной формы составляют от 1 мкм до 10 мм, причем слои, через которые проходит возбужденное рентгеновское излучение, имеют высокую однородность и очень гладкие поверхности для сохранения высокой пространственной когерентности падающего пучка в излучении, обучающем образец, для обеспечения оптимального полезного контраста в изображении.
27. Способ по одному из пп.22-26, отличающийся тем, что рентгеновское излучение, формируемое возбуждаемым веществом, находится в пределах от среднего до жесткого рентгеновского излучения, т.е. от 1 кэВ до 1 МэВ, и является, по существу, полихроматическим.
28. Способ по одному из пп.22-26, отличающийся тем, что рентгеновское излучение, формируемое возбуждаемым веществом, является, по существу, монохроматическим, при этом дополнительно увеличивают степень монохроматизации рентгеновского излучения.
29. Способ по одному из пп.22-28, отличающийся тем, что указанная масса представляет собой группу пятен, разнесенных по общей подложке, причем пучок электронов шире каждого пятна.
30. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения, содержащая ячейку для образца, содержащая средство для размещения образца, массу вещества, возбуждаемого падающим пучком, для формирования рентгеновского излучения, причем масса располагается на подложке, находящейся при использовании между упомянутой массой и образцом и служащей разделителем, и детектор, размещенный вне ячейки для образца для обнаружения рентгеновского излучения, пересекающего ячейку для образца, а также средство для регулирования относительного положения образца и массы.
31. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения по п.30, отличающаяся тем, что подложка является фильтром для рентгеновского излучения и выполнена с возможностью прохождения через нее выбранного энергетического диапазона или диапазонов рентгеновского излучения.
32. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения по одному из п.30 или 31, отличающаяся тем, что упомянутое вещество способно возбуждаться падающим пучком электронов, например, в электронном микроскопе или микрозонде.
33. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения по одному из п.30 или 31, отличающаяся тем, что упомянутое вещество возбуждается посредством падающего фокусированного пучка электромагнитного излучения для формирования рентгеновского излучения.
34. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения по одному из пп.30-33, отличающаяся тем, что предназначена при использовании для получения изображений методом фазового контраста, при этом масса и подложка представляют собой слои, имеющие высокую однородность и очень гладкую поверхность после, и включая выходную границу массы для сохранения высокой пространственной когерентности падающего пучка излучения, облучающего образец, и обеспечения оптимального полезного контраста в изображении.
35. Установка для получения микроскопического рентгеновского изображения по одному из пп.30-34, отличающаяся тем, что упомянутая масса представляет собой разделенную или рельефную группу частей массы, удерживаемых на общей подложке.
36. Установка для получения рентгеновского микроскопического изображения по п.35, отличающаяся тем, что упомянутая разделенная или рельефная группа частей массы представляет собой группу пятен, разнесенных по общей подложке.
37. Установка для получения рентгеновского микроскопического изображения по п.36, отличающаяся тем, что указанные пятна имеют диаметр около 0,2 мкм.
38. Установка для получения микроскопического изображения по одному из п.36 или 37, отличающаяся тем, что пятна расположены таким образом, чтобы падающий пучок был шире любого пятна.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AUPO6041 | 1997-04-08 | ||
AUPO6041A AUPO604197A0 (en) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | Deriving a phase-contrast image |
AUPO7453 | 1997-06-20 | ||
AUPO7453A AUPO745397A0 (en) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | High resolution x-ray imaging of very small objects |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU99123366A RU99123366A (ru) | 2001-08-20 |
RU2224311C2 true RU2224311C2 (ru) | 2004-02-20 |
Family
ID=25645392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU99123366/06A RU2224311C2 (ru) | 1997-04-08 | 1998-04-08 | Получение рентгеновского изображения с высоким разрешением очень малых объектов |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6163590A (ru) |
EP (1) | EP0974149B1 (ru) |
JP (1) | JP2001519022A (ru) |
KR (1) | KR100606490B1 (ru) |
CN (1) | CN1175430C (ru) |
AT (1) | ATE349757T1 (ru) |
CA (1) | CA2285296C (ru) |
DE (1) | DE69836730T2 (ru) |
HK (1) | HK1026505A1 (ru) |
IL (1) | IL132351A (ru) |
RU (1) | RU2224311C2 (ru) |
WO (1) | WO1998045853A1 (ru) |
Families Citing this family (81)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100606490B1 (ko) * | 1997-04-08 | 2006-07-31 | 엑스레이 테크놀로지즈 피티와이 리미티드 | 극소형 대상물의 고 분해능 X-ray 이미징 |
EP1126477A3 (de) * | 2000-02-14 | 2003-06-18 | Leica Microsystems Lithography GmbH | Verfahren zur Untersuchung von Strukturen auf einem Halbleiter-Substrat |
AUPQ831200A0 (en) * | 2000-06-22 | 2000-07-13 | X-Ray Technologies Pty Ltd | X-ray micro-target source |
EP1451563A1 (en) * | 2001-11-05 | 2004-09-01 | Vanderbilt University | Phase-contrast enhanced computed tomography |
EP1488441A2 (en) * | 2002-01-31 | 2004-12-22 | The Johns Hopkins University | X-ray source and method for more efficiently producing selectable x-ray frequencies |
KR100592956B1 (ko) * | 2002-06-03 | 2006-06-23 | 삼성전자주식회사 | 방사선 영상 장치 및 초점 조정 방법 |
JP3998556B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2007-10-31 | 株式会社東研 | 高分解能x線顕微検査装置 |
US7130379B2 (en) * | 2003-05-28 | 2006-10-31 | International Business Machines Corporation | Device and method for generating an x-ray point source by geometric confinement |
US20070025504A1 (en) * | 2003-06-20 | 2007-02-01 | Tumer Tumay O | System for molecular imaging |
US7394890B1 (en) * | 2003-11-07 | 2008-07-01 | Xradia, Inc. | Optimized x-ray energy for high resolution imaging of integrated circuits structures |
US7218703B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-05-15 | Tohken Co., Ltd. | X-ray microscopic inspection apparatus |
EP1557865A1 (en) * | 2004-01-23 | 2005-07-27 | Tohken Co., Ltd. | Microfocus x-ray tube for microscopic inspection apparatus |
EP1557864A1 (en) * | 2004-01-23 | 2005-07-27 | Tohken Co., Ltd. | X-ray microscopic inspection apparatus |
US7412024B1 (en) * | 2004-04-09 | 2008-08-12 | Xradia, Inc. | X-ray mammography |
US7286640B2 (en) * | 2004-04-09 | 2007-10-23 | Xradia, Inc. | Dual-band detector system for x-ray imaging of biological samples |
US7006741B1 (en) * | 2005-03-22 | 2006-02-28 | Bi Yu | Contact-field optical microscope |
GB0509611D0 (en) * | 2005-05-11 | 2005-06-15 | Amersham Biosciences Ab | Method and device for imaging a sample |
DE102005041923A1 (de) * | 2005-09-03 | 2007-03-08 | Comet Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung |
DE202005017496U1 (de) * | 2005-11-07 | 2007-03-15 | Comet Gmbh | Target für eine Mikrofocus- oder Nanofocus-Röntgenröhre |
DE102006037256B4 (de) * | 2006-02-01 | 2017-03-30 | Paul Scherer Institut | Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen sowie Röntgensystem, Röntgen-C-Bogen-System und Röntgen-CT-System |
DE102006037282B4 (de) * | 2006-02-01 | 2017-08-17 | Siemens Healthcare Gmbh | Fokus-Detektor-Anordnung mit röntgenoptischem Gitter zur Phasenkontrastmessung |
DE102006037255A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-02 | Siemens Ag | Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen |
DE102006030874B4 (de) * | 2006-07-04 | 2013-03-14 | Pro-Beam Ag & Co. Kgaa | Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken |
JP2009210371A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Tohken Co Ltd | 低加速電圧x線顕微装置 |
US7787588B1 (en) * | 2008-07-21 | 2010-08-31 | Xradia, Inc. | System and method for quantitative reconstruction of Zernike phase-contrast images |
JP4565168B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2010-10-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 走査型x線顕微鏡および走査型x線顕微鏡像の観察方法 |
JP5317120B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2013-10-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | X線顕微鏡用試料収容セル、x線顕微鏡、およびx線顕微鏡像の観察方法 |
WO2011070521A1 (en) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Calibration of differential phase-contrast imaging systems |
JP5626757B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-11-19 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | X線顕微鏡像観察用試料支持部材、x線顕微鏡像観察用試料収容セル、およびx線顕微鏡 |
JP2011209118A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Jeol Ltd | X線顕微鏡及びx線を用いた顕微方法。 |
CN101846497A (zh) * | 2010-04-29 | 2010-09-29 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 关键尺寸矫正方法及其装置 |
JP5750763B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2015-07-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | X線顕微鏡用試料収容セルおよびx線顕微鏡像の観察方法 |
US20150117599A1 (en) | 2013-10-31 | 2015-04-30 | Sigray, Inc. | X-ray interferometric imaging system |
US9237876B2 (en) * | 2012-09-20 | 2016-01-19 | University Of Houston System | Single step X-ray phase imaging |
DE102012221885A1 (de) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Vorbereitung einer Probe für die Invitrodiagnostik |
US10295485B2 (en) | 2013-12-05 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray transmission spectrometer system |
US10297359B2 (en) | 2013-09-19 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray illumination system with multiple target microstructures |
US10269528B2 (en) | 2013-09-19 | 2019-04-23 | Sigray, Inc. | Diverging X-ray sources using linear accumulation |
US9448190B2 (en) | 2014-06-06 | 2016-09-20 | Sigray, Inc. | High brightness X-ray absorption spectroscopy system |
US9390881B2 (en) | 2013-09-19 | 2016-07-12 | Sigray, Inc. | X-ray sources using linear accumulation |
US9570265B1 (en) | 2013-12-05 | 2017-02-14 | Sigray, Inc. | X-ray fluorescence system with high flux and high flux density |
US9449781B2 (en) | 2013-12-05 | 2016-09-20 | Sigray, Inc. | X-ray illuminators with high flux and high flux density |
USRE48612E1 (en) | 2013-10-31 | 2021-06-29 | Sigray, Inc. | X-ray interferometric imaging system |
US10304580B2 (en) | 2013-10-31 | 2019-05-28 | Sigray, Inc. | Talbot X-ray microscope |
CN103558238A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-02-05 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 内爆芯部自发射诊断用多光谱显微成像系统 |
US9594036B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-03-14 | Sigray, Inc. | X-ray surface analysis and measurement apparatus |
US9823203B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-11-21 | Sigray, Inc. | X-ray surface analysis and measurement apparatus |
WO2015134277A1 (en) | 2014-03-05 | 2015-09-11 | Faxitron Bioptics, Llc | System and method for multi-axis imaging of specimens |
CN103839598B (zh) * | 2014-03-26 | 2015-07-15 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种内爆双流线诊断系统 |
US10401309B2 (en) | 2014-05-15 | 2019-09-03 | Sigray, Inc. | X-ray techniques using structured illumination |
CN104323790B (zh) * | 2014-10-27 | 2016-09-21 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 同轴相衬成像方法及系统和相衬ct方法及系统 |
US10352880B2 (en) | 2015-04-29 | 2019-07-16 | Sigray, Inc. | Method and apparatus for x-ray microscopy |
US10295486B2 (en) | 2015-08-18 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | Detector for X-rays with high spatial and high spectral resolution |
WO2017040977A1 (en) | 2015-09-04 | 2017-03-09 | Faxitron Bioptics, Llc | Multi-axis specimen imaging device with embedded orientation markers |
CN105486341B (zh) * | 2015-11-25 | 2017-12-08 | 长春乙天科技有限公司 | 一种大幅面高速高精度自动光学检测设备 |
CN105911681A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-08-31 | 顾士平 | 高分辨率X射线、γ射线、电子射线显微镜 |
EP3176569B1 (en) * | 2016-10-11 | 2018-12-26 | FEI Company | Arrangement for x-ray tomography |
US11083426B2 (en) * | 2016-11-04 | 2021-08-10 | Hologic, Inc. | Specimen radiography system comprising cabinet and a specimen drawer positionable by a controller in the cabinet |
CN106596594B (zh) * | 2016-11-25 | 2018-12-21 | 天津大学 | 一种基于成像系统特性的x射线相位成像方法 |
US10247683B2 (en) | 2016-12-03 | 2019-04-02 | Sigray, Inc. | Material measurement techniques using multiple X-ray micro-beams |
JP6937380B2 (ja) | 2017-03-22 | 2021-09-22 | シグレイ、インコーポレイテッド | X線分光を実施するための方法およびx線吸収分光システム |
US11317881B2 (en) | 2017-09-11 | 2022-05-03 | Faxitron Bioptics, Llc | Imaging system with adaptive object magnification |
US10578566B2 (en) | 2018-04-03 | 2020-03-03 | Sigray, Inc. | X-ray emission spectrometer system |
CN112424591B (zh) | 2018-06-04 | 2024-05-24 | 斯格瑞公司 | 波长色散x射线光谱仪 |
EP3579664A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-11 | Excillum AB | Method for controlling an x-ray source |
CN112470245A (zh) | 2018-07-26 | 2021-03-09 | 斯格瑞公司 | 高亮度x射线反射源 |
US10656105B2 (en) | 2018-08-06 | 2020-05-19 | Sigray, Inc. | Talbot-lau x-ray source and interferometric system |
CN112638261A (zh) | 2018-09-04 | 2021-04-09 | 斯格瑞公司 | 利用滤波的x射线荧光的系统和方法 |
US11056308B2 (en) | 2018-09-07 | 2021-07-06 | Sigray, Inc. | System and method for depth-selectable x-ray analysis |
CN109541675B (zh) * | 2018-12-06 | 2020-05-26 | 四川理工学院 | 基于点源空间效率函数的层析γ扫描体素效率刻度方法 |
WO2020139687A1 (en) | 2018-12-26 | 2020-07-02 | Hologic, Inc. | Tissue imaging in presence of fluid during biopsy procedure |
CN114729907B (zh) | 2019-09-03 | 2023-05-23 | 斯格瑞公司 | 用于计算机层析x射线荧光成像的系统和方法 |
US11175243B1 (en) | 2020-02-06 | 2021-11-16 | Sigray, Inc. | X-ray dark-field in-line inspection for semiconductor samples |
US20210289610A1 (en) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | Globalfoundries U.S. Inc. | Failure analysis apparatus using x-rays |
CN111289545A (zh) * | 2020-03-18 | 2020-06-16 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 | 一种基于相衬成像的高能x射线ct装置及成像方法 |
CN115667896B (zh) | 2020-05-18 | 2024-06-21 | 斯格瑞公司 | 使用晶体分析器和多个检测元件的x射线吸收光谱的系统和方法 |
US11549895B2 (en) | 2020-09-17 | 2023-01-10 | Sigray, Inc. | System and method using x-rays for depth-resolving metrology and analysis |
US11593938B2 (en) * | 2020-10-04 | 2023-02-28 | Borrirs Pte. Ltd. | Rapid and automatic virus imaging and analysis system as well as methods thereof |
DE112021006348T5 (de) | 2020-12-07 | 2023-09-21 | Sigray, Inc. | 3d-röntgenbildgebungssystem mit hohem durchsatz, das eine transmissionsröntgenquelle verwendet |
US11992350B2 (en) | 2022-03-15 | 2024-05-28 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
US11885755B2 (en) | 2022-05-02 | 2024-01-30 | Sigray, Inc. | X-ray sequential array wavelength dispersive spectrometer |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5044001A (en) * | 1987-12-07 | 1991-08-27 | Nanod Ynamics, Inc. | Method and apparatus for investigating materials with X-rays |
US5042058A (en) * | 1989-03-22 | 1991-08-20 | University Of California | Ultrashort time-resolved x-ray source |
US5045696A (en) * | 1989-03-31 | 1991-09-03 | Shimadzu Corporation | Photoelectron microscope |
US5004919A (en) * | 1989-07-05 | 1991-04-02 | Jeol, Ltd. | Transmission electron microscope |
EP0432568A3 (en) * | 1989-12-11 | 1991-08-28 | General Electric Company | X ray tube anode and tube having same |
DE4027285A1 (de) * | 1990-08-29 | 1992-03-05 | Zeiss Carl Fa | Roentgenmikroskop |
US5528646A (en) * | 1992-08-27 | 1996-06-18 | Olympus Optical Co., Ltd. | Sample vessel for X-ray microscopes |
US5285061A (en) * | 1992-08-28 | 1994-02-08 | Csl Opto-Electronics Corp. | X-ray photocathode for a real time x-ray image intensifier |
JP2927627B2 (ja) * | 1992-10-20 | 1999-07-28 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
US5550378A (en) * | 1993-04-05 | 1996-08-27 | Cardiac Mariners, Incorporated | X-ray detector |
US5349624A (en) * | 1993-05-21 | 1994-09-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Solid particle contaminant detection and analysis system |
US5402460A (en) * | 1993-08-02 | 1995-03-28 | University Of Washington | Three-dimensional microtomographic analysis system |
JP3184675B2 (ja) * | 1993-09-22 | 2001-07-09 | 株式会社東芝 | 微細パターンの測定装置 |
JP3191554B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2001-07-23 | 株式会社日立製作所 | X線撮像装置 |
EP0723385A1 (en) * | 1995-01-18 | 1996-07-24 | Shimadzu Corporation | X-ray generating apparatus and x-ray microscope |
AUPN201295A0 (en) * | 1995-03-28 | 1995-04-27 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Simplified conditions and configurations for phase-contrast imaging with hard x-rays |
US5563415A (en) * | 1995-06-07 | 1996-10-08 | Arch Development Corporation | Magnetic lens apparatus for a low-voltage high-resolution electron microscope |
JP2642907B2 (ja) * | 1995-06-14 | 1997-08-20 | 工業技術院長 | X線露光装置 |
JPH095500A (ja) * | 1995-06-26 | 1997-01-10 | Shimadzu Corp | X線顕微鏡 |
KR100606490B1 (ko) * | 1997-04-08 | 2006-07-31 | 엑스레이 테크놀로지즈 피티와이 리미티드 | 극소형 대상물의 고 분해능 X-ray 이미징 |
-
1998
- 1998-04-08 KR KR1019997009281A patent/KR100606490B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-04-08 CN CNB988039842A patent/CN1175430C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-08 AT AT98913430T patent/ATE349757T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-04-08 DE DE69836730T patent/DE69836730T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-08 IL IL13235198A patent/IL132351A/xx not_active IP Right Cessation
- 1998-04-08 WO PCT/AU1998/000237 patent/WO1998045853A1/en active IP Right Grant
- 1998-04-08 RU RU99123366/06A patent/RU2224311C2/ru active
- 1998-04-08 EP EP98913430A patent/EP0974149B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-08 JP JP54214998A patent/JP2001519022A/ja not_active Ceased
- 1998-04-08 CA CA002285296A patent/CA2285296C/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-08 US US09/180,878 patent/US6163590A/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-09-14 HK HK00105776A patent/HK1026505A1/xx not_active IP Right Cessation
- 2000-12-05 US US09/730,960 patent/US6430254B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HK1026505A1 (en) | 2000-12-15 |
JP2001519022A (ja) | 2001-10-16 |
IL132351A0 (en) | 2001-03-19 |
US20010001010A1 (en) | 2001-05-10 |
KR100606490B1 (ko) | 2006-07-31 |
EP0974149A1 (en) | 2000-01-26 |
US6163590A (en) | 2000-12-19 |
KR20010006201A (ko) | 2001-01-26 |
EP0974149B1 (en) | 2006-12-27 |
ATE349757T1 (de) | 2007-01-15 |
CA2285296C (en) | 2007-12-04 |
DE69836730T2 (de) | 2007-10-04 |
CN1252158A (zh) | 2000-05-03 |
EP0974149A4 (en) | 2004-05-26 |
DE69836730D1 (de) | 2007-02-08 |
CA2285296A1 (en) | 1998-10-15 |
US6430254B2 (en) | 2002-08-06 |
CN1175430C (zh) | 2004-11-10 |
IL132351A (en) | 2003-03-12 |
WO1998045853A1 (en) | 1998-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2224311C2 (ru) | Получение рентгеновского изображения с высоким разрешением очень малых объектов | |
RU99123366A (ru) | Получение рентгеновского изображения с высоким разрешением очень малых объектов | |
Kirz et al. | Soft x‐ray microscopes | |
Snigirev | The recent development of Bragg–Fresnel crystal optics. Experiments and applications at the ESRF | |
JP3641288B2 (ja) | 標本表面の分析装置 | |
US7583789B1 (en) | X-ray imaging systems employing point-focusing, curved monochromating optics | |
Schmahl et al. | Zone-plate X-ray microscopy | |
Adam et al. | Table-top water window transmission x-ray microscopy: Review of the key issues, and conceptual design of an instrument for biology | |
Howells et al. | Soft‐X‐Ray Microscopes | |
Falkenberg et al. | CRL optics and silicon drift detector for P06 Microprobe experiments at 35 keV | |
Thompson et al. | Focussing of synchroton radiation X-ray beams using synthetic multilayer mirrors | |
EP1155419A1 (en) | "x-ray microscope having an x-ray source for soft x-rays | |
Schroer et al. | Microbeam production using compound refractive lenses: beam characterization and applications | |
Bartoll et al. | Micro-X-ray absorption near edge structure spectroscopy investigations of baroque tin-amalgam mirrors at BESSY using a capillary focusing system | |
Cazaux | Prospects in high resolution X-ray photoelectron microscopy | |
AU747809B2 (en) | High resolution X-ray imaging of very small objects | |
Rychkov et al. | Generation of Hard Bremsstrahlung at the Grazing Incidence of 18-MeV Electrons of a Betatron Beam on the Surface of Тa Foil 13 µm Thick | |
Tomie et al. | X-ray photoelectron spectroscopy with a laser plasma source | |
Wachulak et al. | Nanoscale imaging using a compact laser plasma source of soft X-rays and Extreme Ultraviolet (EUV) | |
Ohchi et al. | Micro X-ray Photoelectron spectroscopy of the laser ablated silicon surface with a laser-produced plama X-ray source | |
KOZLOV | Morphological changes of the human healthy blood erythro-cytes caused by terahertz laser radiation | |
JPH07243996A (ja) | X線微小分析法 | |
Howells | SOME IDEAS ON THE ADVANTAGES OF SOFT X-RAY AS IMAGING PARTICLES | |
Vis | A comparison between the use of MeV ion beams and synchrotron radiation for element analysis | |
Kunz | Recent developments in soft X‐ray microscopy |