RU2137117C1 - Гибридная интегральная схема газового сенсора - Google Patents

Гибридная интегральная схема газового сенсора Download PDF

Info

Publication number
RU2137117C1
RU2137117C1 RU98112770/25A RU98112770A RU2137117C1 RU 2137117 C1 RU2137117 C1 RU 2137117C1 RU 98112770/25 A RU98112770/25 A RU 98112770/25A RU 98112770 A RU98112770 A RU 98112770A RU 2137117 C1 RU2137117 C1 RU 2137117C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
film
central part
peripheral part
jumpers
Prior art date
Application number
RU98112770/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.А.(RU) Иовдальский
В.А. Иовдальский
И.М.(RU) Олихов
И.М. Олихов
И.М.(RU) Блейвас
И.М. Блейвас
В.М.(RU) Иполитов
В.М. Иполитов
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Иовдальский Виктор Анатольевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд., Иовдальский Виктор Анатольевич filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Application granted granted Critical
Publication of RU2137117C1 publication Critical patent/RU2137117C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/281—Sorbents specially adapted for preparative, analytical or investigative chromatography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/60—Construction of the column
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2220/00—Aspects relating to sorbent materials
    • B01J2220/50—Aspects relating to the use of sorbent or filter aid materials
    • B01J2220/54—Sorbents specially adapted for analytical or investigative chromatography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/60—Construction of the column
    • G01N30/6034—Construction of the column joining multiple columns
    • G01N30/6043—Construction of the column joining multiple columns in parallel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Использование: электронная техника, в миниатюрных измерительных преобразователях концентрации газа. Сущность изобретения: гибридная интегральная схема газового сенсора содержит подложку в виде периферийной части в форме кольца и центральной части в форме диска, соединенных тремя перемычками, расположенными под углом 120o и имеющими разветвления у периферийной части под углом 120o. На центральной части размещены газочувствительная пленка, пленочный нагреватель и пленочный электрод для измерения сопротивления газочувствительной пленки. Нагреватель и электрод электрически соединены вдоль перемычек с контактными площадками, расположенными на периферийной части. Толщина перемычек и центральной части имеет толщину 0,15 - 0,25 мм, а ширина перемычек - 0,05 - 0,15 мм. Техническим результатом изобретения является повышение селективности и технологичности газового сенсора. 2 з.п.ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к области электронной техники, а более точно касается гибридной интегральной схемы газового сенсора, и может быть использовано в миниатюрных измерительных преобразователях концентрации газа.
Известен термохимический преобразователь наличия и концентрации газов в воздухе, обеспечивающий повышение точности измерения благодаря нанесенному на наружную поверхность чувствительного элемента слоя катализатора (платина, палладий, оксиды), расширение номенклатуры контролируемых газов за счет выполнения двух чувствительных элементов из различных материалов, неодинаковых размеров и с различными катализаторами. На одной подложке установлены независимо два кремниевых "стола" для двух конструктивно подобных чувствительных элементов (за исключением вышеуказанных принципиальных различий). На кремниевую мембрану "стола" наносят изолирующий нитридный слой толщиной 400 мм. В центре чувствительного элемента образуется "двухмеандровый" нагреватель из кремния или никеля с алюминиевыми электрическими выводами на периферию чувствительного элемента. Перпендикулярно оси нагревателя наносят термоэлемент, состоящий из двух встречно включенных меандров, выполненных из разных материалов. Сверху наносят слой катализатора, который может быть закрыт защитным газонепроницаемым слоем. Измерительный преобразователь может измерять изменение концентрации в функции температуры (DE, A, 4008150).
Однако конструкция сложна и недостаточно технологична.
Известна структура носителя для анализатора, позволяющая получить механически прочную конструкцию анализаторов SO2, H2S и бензола, пригодную для крупносерийного производства. Конструкция структуры имеет вид квадрата 6х6 мм, внутри которого размещен квадрат 2х2 мм, причем оба квадрата вдоль четырех общих диагоналей соединены перемычками. Центральный квадрат и частично две противоположные перемычки покрыты слоем платины, выполняющим функции нагревателя. Центральному платиновому квадратному покрытию придана форма спирали. Полученное сопротивление покрыто изоляционным слоем. На противоположные стороны центрального квадрата нанесены два электрода из платины или золота, к которым подходят две металлические полоски-электрода, направленные вдоль свободных перемычек подложки. Между электродами на центральном квадрате нанесена газочувствительная пленка (FR, A, 2625561).
Однако вышеописанная конструкция сложна, не имеет достаточной селективности из-за недостаточной тепловой изолированности центральной части подложки и недостаточно технологична.
В основу настоящего изобретения была положена задача создания гибридной интегральной схемы газового сенсора, конструктивное выполнение которой позволило бы повысить селективность и технологичность газового сенсора.
Это достигается тем, что в гибридной интегральной схеме газового сенсора, содержащей подложку в виде механически прочной периферийной части и термически изолированной от нее центральной части, соединенных перемычками, на периферийной части подложки расположены пленочные контактные площадки, на центральной части размещены пленочный нагреватель, газочувствительная пленка и пленочный электрод цепи измерения сопротивления газочувствительной пленки, электрически соединенные с контактными площадками пленочными проводниками, расположенными на перемычках, согласно настоящему изобретению, периферийная часть подложки имеет форму кольца, а центральная часть - форму диска, соединенного с периферийной частью тремя перемычками, расположенными под углом 120o, перемычки в области соединения с периферийной частью имеют разветвления под углом 120o, причем отношения диаметра центральной части и длины перемычки от центра схемы до разветвления к внутреннему диаметру периферийной части равны 0,2-0,4 и 0,6-0,8 соответственно, ширина перемычек выбрана равной 0,05-0,15 мм, а толщина перемычек и центральной части подложки - 0,15-0,25 мм.
Пленочный нагреватель может быть расположен в углублении, выполненном на лицевой поверхности центральной части подложки.
Желательно, чтобы периферийная часть подложки имела сквозные отверстия и была закреплена на металлическом основании корпуса таким образом, чтобы внутренние выводы корпуса были расположены в отверстиях периферийной части подложки и электрически соединены с контактными площадками, а крышка корпуса имела отверстие для доступа анализируемой среды.
Изготовление периферийной части в форме кольца, а центральной в форме диска, придает патентуемой схеме дополнительную жесткость и снижает ее напряженность.
Соединение периферийной части с центральной частью тремя перемычками, расположенными под углом 120o, выбрано из соображений тепловой изоляции центральной части подложки и оптимальной компенсации механических напряжений, возникающих при нагреве центральной части подложки.
Выбор отношения диаметра центральной части и длины перемычки от центра схемы до разветвления к внутреннему диаметру периферийной части равными 0,2-0,4 и 0,6-0,8 и ширины перемычек 0,05-0,15 мм, а толщины перемычек к центральной части подложки 0,15-0,25 мм объясняется оптимальной геометрией схемы, согласно изобретению, с точки зрения теплоизоляции центральной части и прочности конструкции.
Ограничения величины соотношений сверху (0,4 и 0,8 соответственно) определяются допустимым значением теплового сопротивления перемычек, при котором температура центральной части находится в требуемых пределах (обеспечивается необходимый уровень теплоизоляции).
Ограничения величины соотношений снизу (0,2 и 0,6 соответственно) определяются допустимой длиной перемычек, при которой не происходит ухудшение прочности конструкции.
Далее изобретение поясняется описанием конкретных примеров его выполнения и прилагаемыми чертежами, на которых:
фиг. 1 изображает патентуемую гибридную интегральную схему газового сенсора (вид сверху);
фиг. 2 - разрез по линии II-II на фиг. 1;
фиг. 3 - то же, что на фиг. 1, но с соответствующими размерами элементов схемы;
фиг. 4 - разрез по линии V-V на фиг. 3;
фиг. 5 - другой вариант выполнения патентуемой гибридной интегральной схемы газового сенсора (разрез).
Гибридная интегральная схема газового сенсора CH4, CO и других, согласно изобретению, содержит подложку 1 (фиг. 1), например, поликоровую толщиной 0,5 мм, в виде механически прочной периферийной части 2 (фиг. 1 и 2) в форме кольца шириной, например 1,3 мм, и термически изолированной от нее центральной части 3, выполненной в форме диска диаметром 1,2 мм. Периферийная 2 и центральная 3 части соединены перемычками 4 (фиг. 1) из поликора.
На периферийной части 2 подложки 1 расположены пленочные контактные площадки 5 со структурой Ti (100 Ом/мм2) - Au (5 мкм). На центральной части 3 подложки 1 размещены пленочный нагреватель 6 с сопротивлением 200 Ом, мощностью 400 мВт, например, из танталовой пленки, газочувствительная пленка 7, например, из SnO2 с каталитическими добавками MgO или CaO, Pd, Au в зависимости от состава измеряемой среды и пленочный электрод 8 со структурой, аналогичной структуре контактной площадки 5, цепи измерения сопротивления газочувствительного слоя пленки 7, электрически соединенные с контактными площадками 5 пленочными проводниками 9, расположенными на перемычках 4. Перемычки 4 расположены под углом 120o и в области соединения с периферийной частью 2 имеет разветвления 10 под углом 120o. Отношения диаметра центральной части 3 и длины перемычки 4 от центра схемы до разветвления 10 к внутреннему диаметру периферийной части 2 равны 0,2-0,4 и 0,6-0,8 соответственно, что наглядно видно на фиг. 3 и 4. Ширина перемычек 4 выбрана равной 0,1 мм, толщина перемычек 4 и центральной части 3 подложки 1 выбрана равной 0,2 мм, исходя из соображений термической изолированности центральной части 3 при сохранении прочности.
Нагреватель 6 (фиг. 2) выполнен в углублении 11 глубиной 10 мкм, путем заполнения углубления 11 резистивной пастой с последующим отжигом (800oC).
В периферийной части 2 (фиг. 5) подложки 1 выполнены отверстия 12 диаметром, например 0,7 мм, совпадающие по расположению с внутренними выводами 13 корпуса 14. Подложка 1 гибридной интегральной схемы, согласно изобретению, закреплена на металлическом основании 15 корпуса 14. Внутренние выводы 13 корпуса 14 пропущены через отверстия 12 периферийной части 2 и соединены золотой проволокой 16 с контактными площадками 17 гибридной интегральной схемы, согласно изобретению. Крышка 18 корпуса 14 имеет отверстия 19 диаметром 2 мм для доступа анализируемой среды, например, наличия CH4 в воздухе, закрытые мягкой сеткой.
Схема, согласно изобретению, работает следующим образом.
Пленочный нагреватель 6 (фиг.1) подает питающее напряжение, например 9 В, что позволяет разогревать центральную часть 3 подложки 1 до температуры 300-500oC и поддерживать заданную температуру с точностью до ±5oC. В зависимости от определяемой примеси в воздухе температура может поддерживаться на заданном уровне с указанной выше точностью. Например, при 350oC датчик будет обладать достаточной селективностью и чувствительностью к водороду и так далее. При этом измеряется сопротивление газочувствительной пленки 7 в присутствии примеси в воздухе и сопротивление той же пленки 7 в отсутствии примеси, что позволяет судить о селективности (или избирательности) датчика (сенсора).
Таким образом, патентуемая схема позволяет повысить селективность за счет более точного поддержания заданной температуры за счет лучшей теплоизоляции центральной части 3 подложки 1. Достигается это за счет оптимизации конструкции в части теплоизоляционных и прочностных параметров.
Кроме того, патентуемая схема проста, что позволяет снизить трудоемкость ее изготовления.
При описании рассматриваемых вариантов осуществления изобретения для ясности используется конкретная узкая терминология. Однако изобретение не ограничивается принятыми терминами и необходимо иметь в виду, что каждый такой термин охватывает все эквивалентные термины, работающие аналогично и используемые для решения тех же задач.
Хотя настоящее изобретение описано в связи с предпочтительным видом реализации, понятно, что могут иметь место изменения и варианты без отклонения от идеи и объема изобретения, что компетентные в данной области лица легко поймут.
Эти изменения и варианты считаются не выходящими за рамки сущности и объема изобретения и прилагаемых пунктов формулы изобретения.

Claims (3)

1. Гибридная интегральная схема газового сенсора, содержащая подложку в виде механически прочной периферийной части и термически изолированной от нее центральной части, соединенных перемычками, на периферийной части подложки расположены пленочные контактные площадки, на центральной части размещены пленочный нагреватель, газочувствительная пленка и пленочный электрод цепи измерения сопротивления газочувствительной пленки, электрически соединенные с контактными площадками пленочными проводниками, расположенными на перемычках, отличающаяся тем, что периферийная часть подложки имеет форму кольца, а центральная часть - форму диска, соединенного с периферийной частью тремя перемычками, расположенными под углом 120°, перемычки в области соединения с периферийной частью имеют разветвления под углом 120o, причем отношения диаметра центральной части и длины перемычки от центра схемы до разветвления к внутреннему диаметру периферийной части равны 0,2-0,4 и 0,6-0,8 соответственно, ширина перемычек выбрана равной 0,05-0,15 мм, а толщина перемычек и центральной части подложки - 0,15-0,25 мм.
2. Гибридная интегральная схема газового сенсора по п.1, отличающаяся тем, что пленочный нагреватель расположен в углублении, выполненном на лицевой поверхности центральной части подложки.
3. Гибридная интегральная схема газового сенсора по п.1 или п. 2, отличающаяся тем, что периферийная часть подложки имеет сквозные отверстия и закреплена на металлическом основании корпуса таким образом, что внутренние выводы корпуса расположены в отверстиях периферийной части подложки и электрически соединены с контактными площадками, а крышка корпуса имеет отверстия для доступа анализируемой среды.
RU98112770/25A 1996-10-10 1996-10-10 Гибридная интегральная схема газового сенсора RU2137117C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
WOPCT/RU96/00291 1996-10-10
PCT/RU1996/000291 WO1998015818A1 (fr) 1996-10-10 1996-10-10 Circuit integre hybride pour capteur de gaz

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2137117C1 true RU2137117C1 (ru) 1999-09-10

Family

ID=20130046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98112770/25A RU2137117C1 (ru) 1996-10-10 1996-10-10 Гибридная интегральная схема газового сенсора

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6202467B1 (ru)
JP (1) JP3553613B2 (ru)
RU (1) RU2137117C1 (ru)
WO (1) WO1998015818A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006121367A1 (fr) * 2005-05-12 2006-11-16 Gogish-Klushin Sergei Jurievic Element de mesure d'un capteur micro-electronique
RU199011U1 (ru) * 2019-11-21 2020-08-07 федеральное государственное бюджетное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" Газовый сенсор

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1417483B1 (en) * 2001-07-16 2012-05-23 Sensor Tech, Inc. Sensor device and method for qualitative and quantitative analysis of gas phase substances
US6719950B2 (en) * 2001-11-14 2004-04-13 Robert Bosch Corporation Miniaturized exhaust gas sensor
JP4662951B2 (ja) * 2004-01-27 2011-03-30 エイチツースキャン コーポレイション 隔離されたガスセンサの配置
CN101031795B (zh) * 2004-01-27 2014-11-05 H2Scan公司 用于气体传感器的热隔离的方法和装置
US20050178186A1 (en) * 2004-02-13 2005-08-18 Omegapoint Systems, Llc Gas sensor
DE102005058832B4 (de) * 2005-12-09 2021-03-18 Robert Bosch Gmbh Beheizter H2-Sensor
DE102005058830B4 (de) * 2005-12-09 2021-03-04 Robert Bosch Gmbh Sensor mit Thermogradientenpumpe
KR20090064693A (ko) * 2007-12-17 2009-06-22 한국전자통신연구원 마이크로 가스 센서 및 그 제작 방법

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4347732A (en) * 1980-08-18 1982-09-07 Leary David J Gas monitoring apparatus
DE3377738D1 (en) * 1982-08-27 1988-09-22 Toshiba Kk Co gas detecting device and circuit for driving the same
CA1216330A (en) * 1983-02-07 1987-01-06 Junji Manaka Low power gas detector
US4596975A (en) * 1984-05-31 1986-06-24 Sierra Monitor Corporation Thermally insulative mounting with solid state device
US4706493A (en) * 1985-12-13 1987-11-17 General Motors Corporation Semiconductor gas sensor having thermally isolated site
US4928513A (en) * 1986-07-29 1990-05-29 Sharp Kabushiki Kaisha Sensor
DE3743398A1 (de) * 1987-12-21 1989-07-06 Siemens Ag Aufhaengung fuer eine sensoranordnung zum nachweis von gasen durch exotherme katalytische reaktionen
FR2625561B1 (fr) * 1988-01-04 1993-08-06 Coreci Structure de support pour capteur de gaz
JPH01299452A (ja) * 1988-05-27 1989-12-04 Ricoh Co Ltd ４端子検出型ガス検出装置
FI82774C (fi) * 1988-06-08 1991-04-10 Vaisala Oy Integrerad uppvaermbar sensor.
DE3844023A1 (de) * 1988-12-27 1990-06-28 Hartmann & Braun Ag Sensor zur bestimmung der gaskonzentration in einem gasgemisch durch messung der waermetoenung
EP0486179A3 (en) * 1990-11-12 1992-07-08 City Technology Limited Gas diffusion control assembly
US5367283A (en) * 1992-10-06 1994-11-22 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Thin film hydrogen sensor
US5605612A (en) * 1993-11-11 1997-02-25 Goldstar Electron Co., Ltd. Gas sensor and manufacturing method of the same
GB9501461D0 (en) * 1994-06-20 1995-03-15 Capteur Sensors & Analysers Detection of ozone
US5707148A (en) * 1994-09-23 1998-01-13 Ford Global Technologies, Inc. Catalytic calorimetric gas sensor
KR100332742B1 (ko) * 1994-10-26 2002-11-23 엘지전자주식회사 가스센서의제조방법
US5744697A (en) * 1995-08-16 1998-04-28 J And N Associates, Inc. Gas sensor with conductive housing portions
US5821402A (en) * 1996-03-11 1998-10-13 Tokyo Gas Co., Ltd. Thin film deposition method and gas sensor made by the method
FR2746183B1 (fr) * 1996-03-14 1998-06-05 Dispositif capteur chimique a semiconducteur et procede de formation d'un dispositif capteur chimique a semiconducteur
US5659127A (en) * 1996-08-26 1997-08-19 Opto Tech Corporation Substrate structure of monolithic gas sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006121367A1 (fr) * 2005-05-12 2006-11-16 Gogish-Klushin Sergei Jurievic Element de mesure d'un capteur micro-electronique
RU199011U1 (ru) * 2019-11-21 2020-08-07 федеральное государственное бюджетное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" Газовый сенсор

Also Published As

Publication number Publication date
US6202467B1 (en) 2001-03-20
JP2000515980A (ja) 2000-11-28
WO1998015818A1 (fr) 1998-04-16
JP3553613B2 (ja) 2004-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7473029B2 (en) Thermoanalytical sensor, and method of producing the thermoanalytical sensor
US5451371A (en) High-sensitivity, silicon-based, microcalorimetric gas sensor
EP0051266B1 (en) Method and apparatus for calorimetric differential thermal analysis
JPS6336463B2 (ru)
RU2137117C1 (ru) Гибридная интегральная схема газового сенсора
JPS6336461B2 (ru)
JPS6336462B2 (ru)
JP2009186292A (ja) ガスセンサチップ及びこれを備えたガスセンサ
CA1319837C (en) Integrated heatable sensor
US4242659A (en) Thin film resistance thermometer detector probe assembly
US5562811A (en) Device for temperature measurement at an oxygen probe
JP5436147B2 (ja) 接触燃焼式ガスセンサ
JPH05501308A (ja) 内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するための圧力センサ
JPH05501012A (ja) 内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するための圧力センサ
US4596975A (en) Thermally insulative mounting with solid state device
KR100392616B1 (ko) 가스 센서용 하이브리드 집적회로
EP0334614A3 (en) Catalytic gas detector
JPH05505886A (ja) ガス混合体中のガス状成分の濃度を連続的にモニタするための装置
JPS63172948A (ja) ガスセンサ
JPS63265125A (ja) 非接触型半導体温度センサ
JPS613050A (ja) 酸素センサ−の検出基板
EP0697593A1 (en) Low power catalytic combustible gas detector
JPS60159621A (ja) 温度依存測定素子を有する温度センサ
JP2023127408A (ja) ガスセンサ
KR20240006109A (ko) 가스 센서

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20041011