RU2120917C1 - Способ изготовления дисперсного подвижного оптического световода (варианты) - Google Patents

Способ изготовления дисперсного подвижного оптического световода (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2120917C1
RU2120917C1 RU96121510A RU96121510A RU2120917C1 RU 2120917 C1 RU2120917 C1 RU 2120917C1 RU 96121510 A RU96121510 A RU 96121510A RU 96121510 A RU96121510 A RU 96121510A RU 2120917 C1 RU2120917 C1 RU 2120917C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gecl
sicl
temperature
passes
quartz tube
Prior art date
Application number
RU96121510A
Other languages
English (en)
Other versions
RU96121510A (ru
Inventor
Ох Сеунг-Хун
Юн Юнг-Сик
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Application granted granted Critical
Publication of RU2120917C1 publication Critical patent/RU2120917C1/ru
Publication of RU96121510A publication Critical patent/RU96121510A/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02214—Optical fibres with cladding with or without a coating tailored to obtain the desired dispersion, e.g. dispersion shifted, dispersion flattened
    • G02B6/02219—Characterised by the wavelength dispersion properties in the silica low loss window around 1550 nm, i.e. S, C, L and U bands from 1460-1675 nm
    • G02B6/02276—Dispersion shifted fibres, i.e. zero dispersion at 1550 nm
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01853—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/036—Optical fibres with cladding with or without a coating core or cladding comprising multiple layers
    • G02B6/03616—Optical fibres characterised both by the number of different refractive index layers around the central core segment, i.e. around the innermost high index core layer, and their relative refractive index difference
    • G02B6/03661—Optical fibres characterised both by the number of different refractive index layers around the central core segment, i.e. around the innermost high index core layer, and their relative refractive index difference having 4 layers only
    • G02B6/03666—Optical fibres characterised both by the number of different refractive index layers around the central core segment, i.e. around the innermost high index core layer, and their relative refractive index difference having 4 layers only arranged - + - +
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/20—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
    • C03B2201/28—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine doped with phosphorus
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
    • C03B2201/31—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10—Internal structure or shape details
    • C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/36—Dispersion modified fibres, e.g. wavelength or polarisation shifted, flattened or compensating fibres (DSF, DFF, DCF)
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
    • C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с гладким кольцевым профилем коэффициента преломления содержит следующие операции: нагревают кварцевую трубку внешней кислородной или водородной горелкой от 1875 до 1903oC и подают в кварцевую трубку смесь, включающую 5200 мг/м SiСl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4, напыления первого покрытия. Затем подают сырье, включающее 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2, при постоянной температуре 1900oC для напыления кольцевой зоны. Затем подают смесь, включающую 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4, при повышении температуры от 1890 до 1897oC для напыления второго покрытия. После этого напыляют сердцевину, конденсируют световод, травят, запаивают и закрывают. Техническим результатом изобретения является получение не волнистого по сечению коэффициента преломления световода. 3 с. и 3 з.п. ф-лы, 5 ил., 3 табл.

Description

Настоящее изобретение относится к дисперсионному подвижному оптическому световоду, в частности к дисперсионному подвижному оптическому световоду с кольцевым профилем коэффициента преломления, выполненным вокруг сердцевины, а также меньшим по размеру, чем сердцевина, и способу его изготовления, посредством которого геометрическая структура оптического световода является однородной за счет выравнивания коэффициента преломления при помощи способа MCVD, в котором химическое газообразное вещество вводится в кварцевую трубку и нагревается внешней горелкой напыления.
Настоящая заявка основана на корейской заявке N 40089/1995, которая приведена здесь в виде ссылки.
В настоящее время дисперсионный подвижный световод, в котором используется кварцевый оптический световод диаметром 1,55 мкм для высокоскоростных сетей передачи информации, различается по типам и характеристикам. Типы и характеристики дисперсионного подвижного оптического световода, которые здесь не рассматриваются, подробно описаны в публикации ("Оптические волоконные средства связи 11", опубликованной в Academic Press, Inc., с. 29-36). Среди различных дисперсионных подвижных оптических световодов наиболее известен дисперсионный подвижный оптический световод с кольцевым профилем коэффициента преломления, который обладает преимуществом по микропотерям на изгибе. Оптический световод такой структуры был предложен Бхагаватулой и его сотрудниками в 1983 г. и описан в патенте США N 4412722 в 1983 г. и в патенте США N 4516826 в 1984 г., где сообщается, что он имеет слой с низким коэффициентом преломления, расположенным по кольцу вокруг сердцевины, для защиты сердцевины. Изготавливается он в основном способом OVD (способом внешнего парового напыления) и способом MCVD (модифицированное химическое паровое напыление). Однако при помощи способа OVD трудно изготовить оптический световод со структурой, имеющей шагообразный кольцевой профиль коэффициента отражения, который описан в патентах США N 4715679, Кореи N 26410 и N 49509, хотя несложно изготовить оптический световод со структурой, которая имеет треугольный кольцевой профиль, или также с пористой структурой, имеющей относительно большой внешней диаметр основного вещества с некоторыми степенями свободы. Хотя способ MCVD позволяет упростить изготовление оптического световода с любым необходимым профилем путем управления однородным потоком при внутреннем напылении, которое описано в патентах США N 4737179, N 4822399 и N 4755022, но не обеспечивает возможности изготовления оптического световода с большим внешним диаметром основного вещества.
Патент США N 4755022, кл. G 02 B 6/22, 1988, выбранный в качестве прототипа, описывает способ изготовления дисперсионного оптического световода. Со ссылками на систему, представленную на фиг. 1, способ описывается следующим образом: постоянное количество исходного газообразного вещества подают от системы снабжения исходным газообразным веществом в кварцевую трубку, которую нагревают горелкой при постоянной температуре для изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с кольцевым профилем коэффициента преломления. Перед напылением слоя с первым покрытием нагревают за определенное время кварцевую трубку до температуры поверхности 1890oC для того, чтобы добиться однородности внутри кварцевой трубки, и поддерживают при помощи внешней кислородной или водородной горелки постоянную температуру на уровне 1890oC при подаче 5400 мг/м SiCl4, 450 мг/м GeCl4, 40 мг/м POCl3 и 12 см3/м CF4, как изображено на фиг. 3B и 3F. После этого в кварцевую трубку подают 3000 мг/м SiCl4, 1300 мг/м GeCl4, 35 мг/м POCl3 и 2000 см3/м O2 и нагревают ее равномерно до температуры 1905oC для напыления кольцевого пояса, как изображено на фиг. 3А. Далее в кварцевую трубку подают 4000 мг/м SiCl4, 450 мг/м GeCl4, 25 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4 и нагревают равномерно до температуры 1915oC для формирования слоя со вторым покрытием, как изображено на фиг. 3A. Кроме того, в кварцевую трубку подают 1100 мг/м SiCl4 и 2000 мг/м O2 и добавляют GeCl4 до 60-250 мг/м при одновременном нагревании трубки при температуре 1910oC для напыления сердцевидной зоны. Затем производят конденсацию окончательно напыленного оптического световода в кварцевой трубке при температуре 2300-2320oC и добавляют CF4 30-40 см3/м в конденсированный оптический световод. В итоге производят травление при температуре 2200-2250oC, после чего нагревают до температуры 2340-2360oC и запаивают и закрывают так, как изображено на фиг. 3A.
Основное вещество напыленного подвижного оптического световода с кольцевым профилем предшествующего уровня техники, как описано выше, имеет конусообразное распределение показателя преломления в своей сердцевине. Для достижения максимального коэффициента преломления в центре сердцевины необходимо увеличить количество GeCl4 в центре сердцевины. Однако в процессе увеличения количества GeO4 возникает проблема, связанная с образованием наклона центра, который приводит к уменьшению коэффициента преломления между проходами напыления и в центре сердцевины в способе.
Описанный выше оптический световод имеет другой недостаток, который заключается в многочисленных изменениях оптических характеристик, вдоль длины основного вещества в оптическом световоде, когда основное вещество проводится от оптического световода из-за малого диаметра сердцевины по сравнению с традиционным одномодовым оптическим световодом.
В основу настоящего изобретения положена задача создать способ образования не волнистого по сечению коэффициента преломления посредством регулировки температуры напыления и количества дозируемых потоков напыления при напылении основного вещества и уменьшения наклона центра посредством добавления определенного количества SF6 и CF4 в CeO2, которые проникают в центр сердцевины при высокой температуре в течение процесса изготовления основного вещества.
Другой задачей, решаемой настоящим изобретением, является создание способа изготовления диаметральной части сердцевины для обеспечения однородности за счет увеличения внешнего диаметра основного вещества.
Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с гладким кольцевым профилем коэффициента отражения согласно настоящему изобретению содержит следующие шаги: (а) нагревают кварцевую трубку внешней кислородной или водородной горелкой от 1875oC до 1903oC и подают в кварцевую трубку смесь, включающую 5200 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4 так, чтобы произвести напыление первого покрытия; (в) подают сырье, включающее 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2, при постоянной температуре 1900oC так, чтобы произвести напыление кольцевой зоны; (с) подают сырье, включающее 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4 при повышении температуры от 1890oC до 1897oC так, чтобы произвести напыление второго покрытия; (d) нагревают в течение девяти проходов с понижением температуры от 1920oC до 1890oC для того, чтобы произвести напыление сердцевидной зоны, причем количество SiCl4 подаваемого потока уменьшают от 380 мг/м до 260 мг/м в течение девяти проходов, количество GeCl4 подаваемого потока увеличивают от 20 мг/м до 195 мг/м в течение девяти проходов, количество O2 подаваемого потока оставляют постоянным на уровне 1500 см3/м в течение девяти проходов; и (e) конденсируют окончательно напыленный оптический световод при температуре 2300-2360oC, при этом добавляют 30-40 см3/м CF4 в кварцевую трубку, травят при температуре 2220-2250oC и добавляют 100 см3/м Cl2 в кварцевую трубку при температуре 2350-2370oC для запайки закрывания.
В дальнейшем изобретение поясняется конкретным вариантом его воплощения со ссылками на сопровождающие чертежи, на которых:
фиг. 1 изображает схематический вид процесса изготовления согласно основному способу MCVD;
фиг. 2 - кольцевой профиль предшествующего уровня техники;
фиг. 3A изображает температуру нагрева на отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 3B изображает подачу потока SiCl4, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 3C изображает подачу потока GeCl4, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 3D изображает подачу потока POCL3, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 3E изображает подачу потока O2, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 3F изображает подачу потока CF4(SF6), производимую в отдельных проходах в процессе изготовления традиционного кольцевого профиля;
фиг. 4 - кольцевой профиль настоящего изобретения;
фиг. 5A изображает температуру нагрева на отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5B изображает подачу потока SiCl4, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5C изображает подачу потока GeCl4, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5D изображает подачу потока POCl3, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5E изображает подачу потока O2, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5F изображает подачу потока CF4(SF6), производимую в отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
фиг. 5G изображает подачу потока Cl2, производимую в отдельных проходах в процессе изготовления гладкого кольцевого профиля коэффициента преломления согласно настоящему изобретению;
Как изображено на фиг. 1, в течение нагрева кварцевой трубки горелкой при постоянной температуре определенное количество газовой смеси поступает в кварцевую трубку через устройство подачи газовой смеси так, чтобы создать дисперсионный подвижный оптический световод с кольцевой зоной коэффициента преломления. Для того, чтобы подробно описать представленный выше способ, кварцевую трубку нагревают до температуры ее поверхности 1875oC за определенное время так, чтобы выполнить ее внутреннюю поверхность однородной, как изображено на фиг. 5A. Далее, как изображено на 5B-5G, кварцевую трубку снова нагревают внешней кислородной горелкой от температуры 1875oC до 1903oC в течение девяти проходов, за которые температура увеличивается на 3,5oC, за такое же время при подаче 5200 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4 так, чтобы произвести напыление первого покрытия. Для напыления коьцевой зоны подают 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2 при постоянной температуре напыления 1900oC,как изображено на фиг. 5A. Затем, чтобы подготовить второе покрытие, смесь подается в кварцевую трубку, включающую 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4, как изображено на фиг. 5B-5C, при увеличении температуры от 1890oC до 1897oC, как изображено на фиг. 5A. В итоге температура напыления уменьшается от 1920oC до 1820oC в девяти проходах (см.фиг. 5A) так, чтобы произвести напыление в сердцевидной зоне. Хотя количество подаваемого потока SiCl4 уменьшается от 380 мг/м до 260 мг/м в девяти проходах, количество подаваемого потока GeCl4 увеличивается от 20 мг/м до 195 мг/м в девяти проходах, а количество подаваемого потока O2 сохраняется постоянным на уровне 1500 см3/м в девяти проходах. При этом количество подаваемого потока смесей показано в таблице 1.
Затем, производят конденсацию окончательно напыленного оптического световода при температуре 2300-2360oC, как изображено на фиг. 5A, и добавляют 30-40 см3/м CF4 в кварцевую трубку, как изображено на фиг. 5F. После травления при температуре 2220-2250oC в кварцевую трубку подают 100 см3/м Cl2, как изображено на фиг. 5C при ее нагревании при температуре 2350-2370oC, как изображено на фиг. 5A, для запайки и закрытия.
В другом варианте воплощения настоящего изобретения температуру напыления уменьшают от 1905oC до 1890oC в девяти проходах так, чтобы произвести напыление сердцевидной зоны. Хотя количество подаваемого потока SiCl4 уменьшают от 300 мг/м до 260 мг/м в девяти проходах, количество подаваемого потока GeCl4 увеличивают от 20 мг/м до 195 мг/м в девяти проходах, а количество подаваемого потока O2 сохраняют на постоянном уровне 1500 см3/м в девяти проходах. При этом количество подаваемого потока смесей показано в таблице 2.
В дальнейшем варианте воплощения настоящего изобретения температуру напыления уменьшают от 1905oC до 1890oC в девяти проходах так, чтобы произвести напыление сердцевидной зоны. Хотя количество подаваемого потока SiCl4 уменьшают от 300 мг/м до 260 мг/м в девяти проходах, количество подаваемого потока GeCl4 увеличивают от 30 мг/м до 195 мг/м в девяти проходах, а количество подаваемого потока O2 сохраняют на постоянном уровне 1500 см3/м в девяти проходах. При этом количество подаваемого потока смесей показано в таблице 3.
Как описано выше, настоящее изобретение представляет способ образования не волнистого по структуре коэффициента преломления посредством регулировки температуры напыления и количества дозируемых потоков напыления при напылении основного вещества и уменьшения наклона центра посредством добавления определенного количества SF6и CF4 в GeO2, которые проникают в центр сердцевины при высокой температуре в процессе запайки и закрытия основного вещества. Дополнительно, изобретение предоставляет способ изготовления диаметральной части сердцевины для обеспечения однородности посредством увеличения внешнего диаметра основного вещества. Поэтому настоящее изобретение имеет преимущество в том, что оно позволяет уменьшить потери в оптическом световоде и имеет очень стабильные характеристики длины водны хроматической дисперсией.

Claims (6)

1. Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с гладким кольцевым профилем коэффициента преломления, при котором нагревают кварцевую трубку внешней кислородной или водородной горелкой, подают в кварцевую трубку смесь и производят напыление первого покрытия, подают сырье и производят напыление кольцевой зоны, подают смесь и производят напыление второго покрытия, далее напыляют сердцевидную зону, конденсируют окончательно напыленный оптический световод, осуществляют травление, запайку и закрытие, отличающийся тем, что трубку нагревают при температуре от 1875 до 1903oC, а подаваемая смесь включает 5200 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4, при напылении кольцевой зоны сырье, включающее 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2, подают при постоянной температуре 1900oC, далее подают смесь, включающую 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4, при повышении температуры от 1890 до 1897oC и производят напыление второго покрытия; нагревание осуществляют за девять проходов при понижении температуры от 1920 до 1890oC и производят напыление сердцевидной зоны, причем количество подаваемого потока SiCl4 уменьшают от 380 до 260 мг/м в течение девяти проходов, количество подаваемого потока GeCl4 увеличивают от 20 до 195 мг/м в течение девяти проходов,
количество O2 подаваемого потока остается постоянным на уровне 1500 см3/м в течение девяти проходов, конденсацию окончательно напыленного оптического световода осуществляют при 2300 - 2360oC, при этом добавляют 30 - 40 см3/м CF4 в кварцевую трубку, травление осуществляют при 2220 - 2250oC и перед запайкой и закрытием в кварцевую трубку добавляют 100 см3/м Cl2 при 2350 - 2370oC.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что понижение температуры в девяти проходах осуществляют следующим образом: 1920, 1916, 1913, 1909, 1905, 1901, 1897, 1894 и 1820oC, причем уменьшение количества подаваемого потока SiCl4 при понижении температуры в девяти проходах осуществляют следующим образом: 380, 365, 350, 335, 320, 305, 290, 275 и 260 мг/м и увеличение количества GeCl4 при понижении температуры в проходах осуществляют следующим образом: 20, 52, 82, 109, 134, 156, 175, 191 и 195 мг/м.
3. Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с гладким кольцевым профилем коэффициента преломления, при котором нагревают кварцевую трубку внешней кислородной или водородной горелкой, подают в кварцевую трубку смесь и производят напыление первого покрытия, отличающийся тем, что трубку нагревают в пределах от 1875 до 1903oC, а подаваемая смесь содержит 5200 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4, а также осуществляют следующие шаги: подают смесь, включающую 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2, при постоянной температуре 1900oC и производят напыление кольцевой зоны; подают смесь, включающую 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4, при повышении температуры от 1890 до 1897oC и производят напыление второго покрытия; осуществляют нагревание за девять проходов при понижении температуры от 1905 до 1890oC и производят напыление сердцевидной зоны, причем количество подаваемого потока SiCl4 уменьшают от 300 до 260 мг/м в течение девяти проходов, при этом количество подаваемого потока GeCl4 увеличивают от 20 до 195 мг/м в течение девяти проходов, количество O2 подаваемого потока остается постоянным на уровне 1500 см3/м или 200 мг/м в течение девяти проходов; и конденсируют окончательно напыленный оптический световод при 2300 - 2360oC, при этом добавляют 30 - 40 см3/м CF4 в кварцевую трубку, травят при 2220 - 2250oC, добавляют 100 см3/м Cl2 в кварцевую трубку при 2350 - 2370oC и осуществляют запайку и закрытие.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что понижение температуры в девяти проходах осуществляют следующим образом: 1905, 1903, 1900, 1898, 1895, 1893, 1890, 1890 и 1890oC, причем уменьшение количества подаваемого потока SiCl4 при понижении температуры в девяти проходах осуществляют следующим образом: 300, 295, 290, 285, 280, 275, 270, 265 и 260 мг/м, увеличение количества GeCl4 при понижении температуры в проходах осуществляется следующим образом: 20, 42, 67, 92, 116, 138, 160, 182 и 195 мг/м.
5. Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода с гладким кольцевым профилем коэффициента преломления, при котором нагревают кварцевую трубку внешней кислородной или водородной горелкой, подают в кварцевую трубку смесь и производят напыление первого покрытия, отличающийся тем, что трубку нагревают в пределах от 1875 до 1903oC, а подаваемая смесь содержит 5200 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 30 мг/м POCl3 и 9 см3/м CF4, а также осуществляют следующие шаги: подают сырье, включающее 3300 мг/м SiCl4, 1150 мг/м GeCl4, 20 мг/м POCl3 и 1500 см3/м O2, при постоянной температуре 1900oC и производят напыление кольцевой зоны; подают смесь, включающую 3800 мг/м SiCl4, 430 мг/м GeCl4, 10 мг/м POCl3 и 7 см3/м CF4, при повышении температуры от 1890 до 1897oC и производят напыление второго покрытия; осуществляют нагревание за девять проходов при понижении температуры от 1905 до 1890oC и производят напыление сердцевидной зоны, причем количество подаваемого потока SiCl4 уменьшают от 300 до 260 мг/м, при этом количество подаваемого потока GeCl4 увеличивают от 30 до 195 мг/м в течение девяти проходов, а количество подаваемого потока O2 остается постоянным на уровне 1500 см3/м; и конденсируют окончательно напыленный оптический световод при 2300 - 2360oC, при этом добавляют 30 - 40 см3/м CF4 в кварцевую трубку, травят при 2220 - 2250oC, добавляют 100 см3/м Cl2 в кварцевую трубку при 2350 - 2370oC и осуществляют запайку и закрытие.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что понижение температуры в девяти проходах осуществляют следующим образом:
1905, 1903, 1900, 1898, 1895, 1893, 1890, 1890 и 1890oC, причем уменьшение количества SiCl4 при понижении температуры осуществляют следующим образом: 300, 295, 290, 285, 280, 275, 270, 265 и 260 мг/м, увеличение количества GeCl4 при понижении температуры осуществляют следующим образом: 30, 55, 78, 101, 123, 144, 165, 184 и 195 мг/м.
RU96121510A 1995-11-07 1996-11-05 Способ изготовления дисперсного подвижного оптического световода (варианты) RU2120917C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR40089/1995 1995-11-07
KR1019950040089A KR0153835B1 (ko) 1995-11-07 1995-11-07 매끄러운 환상고리 굴절율 프로파일을 갖는 분산이동광섬유의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2120917C1 true RU2120917C1 (ru) 1998-10-27
RU96121510A RU96121510A (ru) 1999-01-20

Family

ID=19433248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96121510A RU2120917C1 (ru) 1995-11-07 1996-11-05 Способ изготовления дисперсного подвижного оптического световода (варианты)

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5761366A (ru)
JP (1) JP2965520B2 (ru)
KR (1) KR0153835B1 (ru)
CN (1) CN1096428C (ru)
DE (1) DE19645754B4 (ru)
FR (1) FR2740769B1 (ru)
GB (2) GB9622057D0 (ru)
RU (1) RU2120917C1 (ru)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990038607A (ko) 1997-11-06 1999-06-05 윤종용 다단계 코아 구조를 가지는 단일모드 광섬유
US6109065A (en) * 1998-04-22 2000-08-29 Lucent Technologies, Inc. Method of making optical waveguide devices using perchloryl fluoride to make soot
DE19839870A1 (de) 1998-09-02 2000-03-09 Deutsche Telekom Ag Optische Single-Mode-Lichtleitfaser
US6718800B2 (en) * 1999-03-08 2004-04-13 Fitel Usa Corp. Method of collapsing a tube for an optical fiber preform
KR100334820B1 (ko) 1999-07-22 2002-05-02 윤종용 분산제어 광섬유 및 그 대구경 모재의 제조 방법
US6532773B1 (en) 2000-06-30 2003-03-18 Fitel Usa Corp. Method of modifying the index profile of an optical fiber preform in the longitudinal direction
AUPQ935500A0 (en) * 2000-08-11 2000-09-07 Jds Uniphase Pty Ltd Optical waveguide with minimised cladding mode coupling
US6553166B1 (en) * 2000-09-20 2003-04-22 Lsi Logic Corporation Concentric optical cable with full duplex connectors
US6483975B1 (en) * 2001-04-27 2002-11-19 Fitel Usa Corp. Positive dispersion optical fiber having large effective area
US6807350B2 (en) * 2001-07-17 2004-10-19 Verrillon, Inc. Optical fiber with a radially varying index of refraction and related methods
JP2003270470A (ja) * 2002-03-08 2003-09-25 Fitel Usa Corp 接続損失を減少させた分散補償ファイバ、およびそれを製造する方法
KR100497732B1 (ko) * 2002-07-20 2005-06-28 엘에스전선 주식회사 광섬유 모재 제조장치 및 이를 이용한 광섬유 모재제조방법
JP2004307280A (ja) * 2003-04-08 2004-11-04 Shin Etsu Chem Co Ltd Ｏｈ基による吸収を減少した光ファイバ用ガラス母材及びその製造方法
US7046890B2 (en) * 2003-09-30 2006-05-16 Corning Incorporated Optical fiber with low taper induced loss
US20060185397A1 (en) * 2005-02-22 2006-08-24 Furukawa Electric North America, Inc. Multimode optical fiber and method for manufacturing same
US7907810B2 (en) * 2006-05-31 2011-03-15 Lawrence Livermore National Security, Llc Optical fiber having wave-guiding rings

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1050833A (en) * 1974-02-22 1979-03-20 John B. Macchesney Optical fiber fabrication involving homogeneous reaction within a moving hot zone
US4504299A (en) * 1974-02-22 1985-03-12 At&T Bell Laboratories Optical fiber fabrication method
DE2530786A1 (de) * 1975-07-10 1977-01-27 Licentia Gmbh Verfahren zur herstellung optischer fasern
DE2546162B1 (de) * 1975-10-15 1976-09-23 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Lichtleitfaser mit Brechungsindexgradient zur Nachrichtenuebertragung
US4265515A (en) * 1978-05-08 1981-05-05 International Telephone And Telegraph Corporation Optical fiber waveguide with effective refractive index profile
US4229070A (en) * 1978-07-31 1980-10-21 Corning Glass Works High bandwidth optical waveguide having B2 O3 free core and method of fabrication
US4242118A (en) * 1979-04-27 1980-12-30 International Standard Electric Corporation Optical fiber manufacture
US4412722A (en) * 1981-10-26 1983-11-01 Western Electric Single mode fiber with graded index of refraction
US4715679A (en) * 1981-12-07 1987-12-29 Corning Glass Works Low dispersion, low-loss single-mode optical waveguide
US4568370A (en) * 1982-09-29 1986-02-04 Corning Glass Works Optical fiber preform and method
US4516826A (en) * 1983-04-21 1985-05-14 At&T Technologies, Inc. Single mode lightguide fiber having a trapezoidal refractive index profile
US4641917A (en) * 1985-02-08 1987-02-10 At&T Bell Laboratories Single mode optical fiber
JPH0753591B2 (ja) * 1985-08-14 1995-06-07 住友電気工業株式会社 光フアイバ用母材の製造方法
JPS6252508A (ja) * 1985-09-02 1987-03-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光フアイバ
US5028246A (en) * 1986-02-03 1991-07-02 Ensign-Bickford Optical Technologies, Inc. Methods of making optical waveguides
KR900003449B1 (ko) * 1986-06-11 1990-05-19 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤 분산 시프트싱글모우드 광파이버 및 그 제조방법
GB2286199B (en) * 1994-01-27 1997-06-11 Pirelli General Plc A method of forming an optical fibre preform
JPH07261048A (ja) * 1994-03-23 1995-10-13 Sumitomo Electric Ind Ltd 分散補償ファイバ
US5613027A (en) * 1994-10-17 1997-03-18 Corning Incorporated Dispersion shifted optical waveguide fiber

Also Published As

Publication number Publication date
GB2306955B (en) 1998-01-07
FR2740769A1 (fr) 1997-05-09
FR2740769B1 (fr) 1998-01-23
JPH09175829A (ja) 1997-07-08
KR970026960A (ko) 1997-06-24
CN1096428C (zh) 2002-12-18
GB9622057D0 (en) 1996-12-18
GB2306955A8 (en) 1997-11-18
GB2306955A (en) 1997-05-14
DE19645754B4 (de) 2006-02-23
DE19645754A1 (de) 1997-06-05
KR0153835B1 (ko) 1998-11-16
US5761366A (en) 1998-06-02
GB9623078D0 (en) 1997-01-08
CN1161458A (zh) 1997-10-08
JP2965520B2 (ja) 1999-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2120917C1 (ru) Способ изготовления дисперсного подвижного оптического световода (варианты)
US4339174A (en) High bandwidth optical waveguide
US4367085A (en) Method of fabricating multi-mode optical fiber preforms
US4802733A (en) Fluorine-doped optical fibre and method of manufacturing such fibre
US4306767A (en) Single-mode optical fiber
US5895515A (en) Increasing a fluorine compound flow rate during a VAD process
RU2230044C2 (ru) Заготовка оптического волокна, имеющая барьер для радикала он, и способ ее изготовления
US8820121B2 (en) Method of manufacturing optical fiber base material
GB2128982A (en) Fabrication method of optical fiber preforms
GB2314077A (en) Making optical fibres by drawing rod-in-tube preforms
RU96121510A (ru) Способ изготовления дисперсионного подвижного оптического световода (варианты)
KR20070038978A (ko) 광섬유 제조를 위한 유리 수트의 증착 방법
JPH0761831A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
EP0428068B1 (en) Method and apparatus for making a preform doped with a metal oxide
JP3562545B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPS6234699B2 (ru)
EP1044173A1 (en) Method of making large scale optical fiber preforms with improved properties
JPS624332B2 (ru)
JP2996111B2 (ja) 光ファイバ母材製造方法
JP3343079B2 (ja) 光ファイバコア部材と光ファイバ母材およびそれらの製造方法
JPH0559052B2 (ru)
JPH0331657B2 (ru)
JPH06219764A (ja) 分散シフトファイバ用母材の製造方法
KR100403823B1 (ko) 광섬유의제조방법
JPH0986948A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20061106