RU2016123968A

RU2016123968A - Рентгеновский источник

Info

Publication number: RU2016123968A
Application number: RU2016123968A
Authority: RU
Inventors: Николай Алексеевич Дюжев; Максим Александрович Махиборода; Вадим Эвальдович Скворцов; Александр Николаевич Родич
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью "Микрофотоника"
Priority date: 2016-06-16
Filing date: 2016-06-16
Publication date: 2016-10-10
Also published as: RU2617840C2

Abstract

1. Рентгеновский источник, содержащий вакуумный корпус, анод со сквозными открытыми, или глухими, или и теми и другими, каналами с проводящими стенками, выполненными с возможностью подачи на них заданного потенциала и содержащими материал, способный излучать рентгеновское излучение при облучении электронами достаточной энергии, катод, окно для рентгеновского излучения и вспомогательные средства, отличающийся тем, что анод выполнен с возможностью непосредственного крепления к корпусу, каналы анода содержат материал или разные материалы мишени на всем их протяжении или на части их длины и выполнены с характерным размером поперечного сечения в пределах от 0,001 до 1,0 от длины каналов, направлены или в одну и ту же точку, далее называемой фокусом, или в несколько точек, фокусов, или во множество точек, задающих требуемый узор, а окно выполнено или прилегающим к аноду, или в одном узле с ним или в его составе так, что примыкает к поверхности анода со стороны закрытых концов глухих каналов или с любой одной стороны, если все каналы открытые.2. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что анод выполнен в виде формообразующей основы и одного или нескольких нанесенных на формообразующую основу слоев из одного или нескольких материалов, из которых хотя бы один способен излучать требуемое рентгеновское излучение.3. Рентгеновский источник по п. 2, отличающийся тем, что формообразующая основа сформирована заодно с окном из того же материала или из другого.4. Рентгеновский источник по п. 2, отличающийся тем, что формообразующая основа изготовлена из материала с высокой теплопроводностью.5. Рентгеновский источник по п. 4, отличающийся тем, что формообразующая

Claims

1. Рентгеновский источник, содержащий вакуумный корпус, анод со сквозными открытыми, или глухими, или и теми и другими, каналами с проводящими стенками, выполненными с возможностью подачи на них заданного потенциала и содержащими материал, способный излучать рентгеновское излучение при облучении электронами достаточной энергии, катод, окно для рентгеновского излучения и вспомогательные средства, отличающийся тем, что анод выполнен с возможностью непосредственного крепления к корпусу, каналы анода содержат материал или разные материалы мишени на всем их протяжении или на части их длины и выполнены с характерным размером поперечного сечения в пределах от 0,001 до 1,0 от длины каналов, направлены или в одну и ту же точку, далее называемой фокусом, или в несколько точек, фокусов, или во множество точек, задающих требуемый узор, а окно выполнено или прилегающим к аноду, или в одном узле с ним или в его составе так, что примыкает к поверхности анода со стороны закрытых концов глухих каналов или с любой одной стороны, если все каналы открытые.

2. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что анод выполнен в виде формообразующей основы и одного или нескольких нанесенных на формообразующую основу слоев из одного или нескольких материалов, из которых хотя бы один способен излучать требуемое рентгеновское излучение.

3. Рентгеновский источник по п. 2, отличающийся тем, что формообразующая основа сформирована заодно с окном из того же материала или из другого.

4. Рентгеновский источник по п. 2, отличающийся тем, что формообразующая основа изготовлена из материала с высокой теплопроводностью.

5. Рентгеновский источник по п. 4, отличающийся тем, что формообразующая основа изготовлена из кремния.

6. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что окно выполнено либо из кремния, либо из оксида кремния, либо из нитрида кремния, либо из чередования слоев из этих материалов в каком-либо сочетании.

7. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что фокус или один из фокусов расположен с наружной стороны окна на его оси или вне ее.

8. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что фокус или один из фокусов расположен с внутренней стороны окна на его оси или вне ее.

9. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что разные каналы направлены в два или более разных фокуса, и каналы, направленные в разные фокусы, содержат разные или одинаковые материалы мишени.

10. Рентгеновский источник по п. 1, отличающийся тем, что корпус источника выполнен с возможностью обеспечения теплового контакта торцевой области анода с внешними средствами теплоотвода.