RU2015103627A

RU2015103627A - Источник рентгеновского излучения

Info

Publication number: RU2015103627A
Application number: RU2015103627/07A
Authority: RU
Inventors: Николай Алексеевич Дюжев; Марат Хаджи-Муратович Абдуев; Владимир Александрович Беспалов; Максим Александрович Махиборода
Priority date: 2015-02-04
Filing date: 2015-02-04
Publication date: 2015-06-20
Also published as: RU2586621C2

Abstract

1. Источник рентгеновского излучения, включающий одну или множество ячеек, каждая из которых является источником рентгеновского излучения и содержит автокатод, антикатод, окно, рабочий - вакуумированный или газонаполненный - объем, средства формирования электронных потоков и систему питания ячеек, отличающийся тем, что автокатод выполнен из проводникового, полупроводникового или комбинированного, в том числе многослойного или композитного, материала в виде или тонкого - менее 0,5 мм - слоя с круглым отверстием, или в виде слоя с круглым отверстием и с заостренной внутренней кромкой, а антикатод (анод) выполнен симметричным относительно оси отверстия в виде фигуры вращения и имеет радиус меньше радиуса отверстия.2. Источник по п. 1, отличающийся тем, что средства формирования электронных потоков выполнены в виде расположенных с одной или с двух сторон автокатода параллельно плоскости катода одного или нескольких управляющих электродов из слоев проводника или полупроводника той же формы в плане, что и автокатод, с отверстиями такого же, как у автокатода, или отличающегося диаметра, причем управляющие электроды выполнены так, чтобы исключить холодную эмиссию с них в рабочих режимах источника, и с возможностью задания их электрических потенциалов относительно катода и других электродов.3. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод выполнен из кремния с включениями или покрытием из иного проводящего материала или без включений и покрытия.4. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод в области, совпадающей с плоскостью автокатода и в смежной с ней области, в которой его поверхность облучается электронами,

Claims

1. Источник рентгеновского излучения, включающий одну или множество ячеек, каждая из которых является источником рентгеновского излучения и содержит автокатод, антикатод, окно, рабочий - вакуумированный или газонаполненный - объем, средства формирования электронных потоков и систему питания ячеек, отличающийся тем, что автокатод выполнен из проводникового, полупроводникового или комбинированного, в том числе многослойного или композитного, материала в виде или тонкого - менее 0,5 мм - слоя с круглым отверстием, или в виде слоя с круглым отверстием и с заостренной внутренней кромкой, а антикатод (анод) выполнен симметричным относительно оси отверстия в виде фигуры вращения и имеет радиус меньше радиуса отверстия.

2. Источник по п. 1, отличающийся тем, что средства формирования электронных потоков выполнены в виде расположенных с одной или с двух сторон автокатода параллельно плоскости катода одного или нескольких управляющих электродов из слоев проводника или полупроводника той же формы в плане, что и автокатод, с отверстиями такого же, как у автокатода, или отличающегося диаметра, причем управляющие электроды выполнены так, чтобы исключить холодную эмиссию с них в рабочих режимах источника, и с возможностью задания их электрических потенциалов относительно катода и других электродов.

3. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод выполнен из кремния с включениями или покрытием из иного проводящего материала или без включений и покрытия.

4. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод в области, совпадающей с плоскостью автокатода и в смежной с ней области, в которой его поверхность облучается электронами, имеет диаметр поперечного сечения много меньший, чем диаметр отверстия в автокатоде.

5. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод выполнен в виде конуса, направленного вершиной к окну, и расположен так, что пересекает плоскость отверстия катода, его ось совпадает с осью отверстия автокатода, а угол при вершине выполнен в пределах 1 - 120°.

6. Источник по п. 5, отличающийся тем, что антикатод выполнен в виде конуса с углом при вершине α=π/2 рад.

7. Источник по любому из пп. 1-5, отличающийся тем, что включает множество ячеек, выполненных в интегральном исполнении, окно каждой ячейки выполнено в виде мембраны, отделяющей внешнюю среду от рабочего - вакуумированного или газонаполненного - объема, а система питания ячеек выполнена с возможностью включения ячеек и управления ими в заданной последовательности или/и в заданных сочетаниях.