RU2014119152A - Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения - Google Patents

Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения Download PDF

Info

Publication number
RU2014119152A
RU2014119152A RU2014119152A RU2014119152A RU2014119152A RU 2014119152 A RU2014119152 A RU 2014119152A RU 2014119152 A RU2014119152 A RU 2014119152A RU 2014119152 A RU2014119152 A RU 2014119152A RU 2014119152 A RU2014119152 A RU 2014119152A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
module
oscillator
amplitude
signal
controller
Prior art date
Application number
RU2014119152A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2599281C2 (ru
Inventor
Маркус Руф
Original Assignee
Нортроп Грумман Литеф Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Нортроп Грумман Литеф Гмбх filed Critical Нортроп Грумман Литеф Гмбх
Publication of RU2014119152A publication Critical patent/RU2014119152A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2599281C2 publication Critical patent/RU2599281C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
    • G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D19/00—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase
    • G05D19/02—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase characterised by the use of electric means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Control Of Eletrric Generators (AREA)

Abstract

1. Регулирующее устройство, включающее в себя:модуль (170) чувствительных элементов, который пригоден для выдачи сигнала измерения, отображающего отклонение осциллятора (190) вдоль направления возбуждения,воздействующий на осциллятор (190) модуль (180) исполнительных органов, который выполнен с возможностью управления посредством управляющих сигналов,отличающееся наличием:главного модуля (200) регулятора, который выполнен с возможностью выводить из сигнала измерения и гармонического сигнала номинального значения управляющий сигнал для модуля (180) исполнительных органов, таким образом, что модуль (180) исполнительных органов противодействует отклонению осциллятора (190) от номинальной амплитуды гармонического резонансного колебания осциллятора (190), имодуля (600) расширения регулятора, который выполнен с возможностью при деактивированном модуле (180) исполнительных органов определять из сигнала измерения фактическую фазу и фактическую амплитуду остаточного колебания осциллятора (190) и выдавать в главный модуль (200) регулятора согласованный с фактической фазой и фактической амплитудой гармонический сигнал номинального значения, так что после активирования модуля (180) исполнительных органов амплитуда остаточного колебания осциллятора (190) синхронно по фазе усиливается до номинальной амплитуды, и при этом используется энергия, содержащаяся в остаточном колебании.2. Регулирующее устройство по п. 1, отличающееся тем, что:главным модулем (200) регулятора является регулирующее устройство (225, 325) для гармонических сигналов номинального значения,при этом регулирующее устройство (225, 325) включает в себя по меньшей мере одно пропорциональное передаточное звено (224, 324) и располо

Claims (16)

1. Регулирующее устройство, включающее в себя:
модуль (170) чувствительных элементов, который пригоден для выдачи сигнала измерения, отображающего отклонение осциллятора (190) вдоль направления возбуждения,
воздействующий на осциллятор (190) модуль (180) исполнительных органов, который выполнен с возможностью управления посредством управляющих сигналов,
отличающееся наличием:
главного модуля (200) регулятора, который выполнен с возможностью выводить из сигнала измерения и гармонического сигнала номинального значения управляющий сигнал для модуля (180) исполнительных органов, таким образом, что модуль (180) исполнительных органов противодействует отклонению осциллятора (190) от номинальной амплитуды гармонического резонансного колебания осциллятора (190), и
модуля (600) расширения регулятора, который выполнен с возможностью при деактивированном модуле (180) исполнительных органов определять из сигнала измерения фактическую фазу и фактическую амплитуду остаточного колебания осциллятора (190) и выдавать в главный модуль (200) регулятора согласованный с фактической фазой и фактической амплитудой гармонический сигнал номинального значения, так что после активирования модуля (180) исполнительных органов амплитуда остаточного колебания осциллятора (190) синхронно по фазе усиливается до номинальной амплитуды, и при этом используется энергия, содержащаяся в остаточном колебании.
2. Регулирующее устройство по п. 1, отличающееся тем, что:
главным модулем (200) регулятора является регулирующее устройство (225, 325) для гармонических сигналов номинального значения,
при этом регулирующее устройство (225, 325) включает в себя по меньшей мере одно пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322), и вход главного модуля (200) регулятора соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324), и тем, что
передаточная функция регулирующего устройства (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при круговой частоте ωr регулятора в s-плоскости или полюс при е±jω,T в z-плоскости, при этом T является периодом дискретизации дискретного входного сигнала регулирующего устройства (225, 325), а ωr>0.
3. Регулирующее устройство по п. 2, отличающееся тем, что коэффициент интегрирования интегрирующего передаточного звена (222, 322) и коэффициент усиления пропорционального передаточного звена (224, 324) выбраны таким образом, что регулирующее устройство (225, 325) при подаче на вход регулятора модулированного скачкообразной функцией гармонического входного сигнала с круговой частотой ωr регулятора пригодно для выработки гармонического колебания с круговой частотой ωr регулятора и с возрастающей амплитудой на выходе регулятора.
4. Регулирующее устройство по п. 3, отличающееся тем, что коэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбраны таким образом, что нулевые точки передаточной функции регулирующего устройства (225, 325) компенсируют полюса передаточной функции осциллятора (190).
5. Регулирующее устройство по одному из пп. 1-4, отличающееся тем, что модуль (600) расширения регулятора содержит:
модуль (610) регистрации, который выполнен с возможностью из сигнала измерения определять фактическую фазу и фактическую амплитуду остаточного колебания осциллятора (190) и из фактической фазы и фактической амплитуды определять синхронизирующую информацию для гармонического сигнала номинального значения, таким образом, что посредством модуля (180) исполнительных органов амплитуда остаточного колебания осциллятора (190) усиливается синхронно по фазе, и может использоваться энергия, содержащаяся в остаточном колебании, и
модуль (620) синхронизации, который выполнен с возможностью получать синхронизирующую информацию и на основании синхронизирующей информации устанавливать фазу и начальное значение амплитуды гармонического сигнала номинального значения.
6. Регулирующее устройство по п. 5, отличающееся тем, что модуль (610) регистрации содержит:
фильтрующий модуль (612), который выполнен с возможностью из сигнала измерения определять оценочное значение для мгновенной частоты колебания, оценочное значение для дисперсии измерительных шумов, содержащихся в сигнале измерения, оценочное значение для постоянного смещения амплитуды сигнала измерения и оценочные значения для временной характеристики остаточного колебания, и
управляющий модуль (616), который выполнен с возможностью из оценочных значений для временной характеристики остаточного колебания определять и выдавать синхронизирующую информацию, описывающую фактическую фазу и фактическую амплитуду.
7. Регулирующее устройство по п. 6, отличающееся тем, что управляющий модуль (616) выполнен с возможностью после выдачи синхронизирующей информации деактивировать фильтрующий модуль (612).
8. Регулирующее устройство по одному из пп. 6 или 7, отличающееся тем, что управляющий модуль (616) выполнен с возможностью после выдачи синхронизирующей информации активировать модуль (180) исполнительных органов.
9. Регулирующее устройство по одному из пп. 6 и 7, отличающееся тем, что модуль (600) расширения регулятора выполнен с возможностью увеличивать амплитуду сигнала номинального значения в пределах заданного промежутка времени от начального значения амплитуды до номинального значения амплитуды.
10. Регулирующее устройство по одному из пп. 1-4, 6-7, отличающееся тем, что фильтрующим модулем (612) является фильтр Кальмана.
11. Регулирующее устройство по одному из пп. 1-4, 6-7, отличающееся тем, что:
модуль (600) расширения регулятора включает в себя запоминающий модуль (630) частоты, который выполнен с возможностью сохранять с интервалами времени частотную информацию, описывающую текущую частоту колебаний осциллятора (190), и
дополнительно модуль (600) расширения регулятора выполнен с возможностью применять сохраненную частотную информацию для оценки фактической фазы и фактической амплитуды остаточного колебания осциллятора (190) и/или для генерирования гармонического сигнала номинального значения.
12. Регулирующее устройство по одному из пп. 1-4, 6-7, отличающееся тем, что:
регулирующее устройство является частью датчика (500, 505) угловой скорости, осциллятор выполнен в виде модуля (590) возбуждения, кориолисова модуля (585) или модуля (580) детектирования, а модулем исполнительных органов является силовой датчик (561),
кориолисов модуль (585) закреплен на модуле (590) возбуждения таким образом, что кориолисов модуль (585) следует за перемещением модуля (590) возбуждения вдоль направления возбуждения и дополнительно является подвижным вдоль направления детектирования, перпендикулярного направлению возбуждения, и
модуль (580) детектирования закреплен на модуле (590) возбуждения или на кориолисовом модуле (585) таким образом, что модуль (580) детектирования
либо следует за перемещением модуля (590) возбуждения вдоль направления возбуждения и дополнительно является подвижным вдоль направления детектирования, перпендикулярного направлению возбуждения,
либо следует за перемещением кориолисова модуля (585) вдоль направления детектирования, перпендикулярного направлению возбуждения, и является зафиксированным вдоль направления возбуждения.
13. Датчик угловой скорости, включающий в себя:
подвижно установленный осциллятор (190), выполненный с возможностью возбуждения в нем гармонического резонансного колебания в направлении возбуждения,
модуль (170) чувствительных элементов, который пригоден для выдачи сигнала измерения, отображающего отклонение осциллятора (190) вдоль направления возбуждения,
воздействующий на осциллятор (190) модуль (180) исполнительных органов, который выполнен с возможностью управления посредством управляющих сигналом,
отличающийся наличием:
главного модуля (200) регулятора, который выполнен с возможностью из сигнала измерения и гармонического сигнала номинального значения выводить управляющий сигнал для модуля (180) исполнительных органов, таким образом, что модуль (180) исполнительных органов противодействует отклонению осциллятора (190) от номинальной амплитуды резонансного колебания, и
модуля (600) расширения регулятора, который выполнен с возможностью при деактивированном модуле (180) исполнительных органов определять из сигнала измерения фактическую фазу и фактическую амплитуду остаточного колебания осциллятора (190) и выдавать в главный модуль (200) регулятора согласованный с фактической фазой и фактической амплитудой гармонический сигнал номинального значения, так что после активирования модуля (180) исполнительных органов амплитуда остаточного колебания осциллятора (190) синхронно по фазе усиливается до номинальной амплитуды, и при этом используется энергия, содержащаяся в остаточном колебании.
14. Датчик угловой скорости по п. 13, в котором осциллятором является модуль (590) возбуждения, выполненный с возможностью отклонения вдоль направления возбуждения посредством силового датчика (561) и пригодный для колебания с резонансной круговой частотой ω0.
15. Способ эксплуатации регулирующего устройства с гармонической задающей величиной, включающий в себя:
выработку при помощи модуля (170) чувствительных элементов сигнала измерения, отображающего отклонение осциллятора (190) вдоль направления возбуждения,
выработку синхронного по фазе и амплитуде гармонического сигнала номинального значения на основании оценки фактической фазы и фактической амплитуды остаточного колебания осциллятора (190) при деактивированном модуле (180) исполнительных органов,
выработку синхронизированного управляющего сигнала для модуля (180) исполнительных органов из сигнала измерения и синхронного по фазе и амплитуде гармонического сигнала номинального значения, так что модуль (180) исполнительных органов противодействует отклонению осциллятора (190) от гармонического колебания, и
активирование модуля (180) исполнительных органов одновременно с выработкой синхронизированного управляющего сигнала или после нее.
16. Способ по п. 15, отличающийся тем, что
главным модулем (200) регулятора является регулирующее устройство (225, 325) для гармонических сигналов номинального значения, при этом регулирующее устройство (225, 325) включает в себя по меньшей мере одно пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322), и вход главного модуля (200) регулятора соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324), и
передаточная функция регулирующего устройства (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при круговой частоте ωr регулятора в s-плоскости или полюс при е±jω,T в z-плоскости, при этом T является периодом дискретизации дискретного входного сигнала регулирующего устройства (225, 325), а ωr>0.
RU2014119152/28A 2011-12-01 2012-10-15 Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения RU2599281C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011119949.0 2011-12-01
DE102011119949A DE102011119949A1 (de) 2011-12-01 2011-12-01 Regelungsvorrichtung, Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb einer Regelungsvorrichtung mit harmonischem Sollwertsignal
PCT/EP2012/004307 WO2013079139A2 (de) 2011-12-01 2012-10-15 Regelungsvorrichtung, drehratensensor und verfahren zum betrieb einer regelungsvorrichtung mit harmonischem sollwertsignal

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014119152A true RU2014119152A (ru) 2016-02-10
RU2599281C2 RU2599281C2 (ru) 2016-10-10

Family

ID=47115730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014119152/28A RU2599281C2 (ru) 2011-12-01 2012-10-15 Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения

Country Status (13)

Country Link
US (1) US9518824B2 (ru)
EP (1) EP2786096B1 (ru)
JP (1) JP5890533B2 (ru)
KR (1) KR101629836B1 (ru)
CN (1) CN103988051B (ru)
AU (1) AU2012344309B2 (ru)
BR (1) BR112014013062A2 (ru)
CA (1) CA2854091C (ru)
DE (1) DE102011119949A1 (ru)
IL (1) IL232589B (ru)
RU (1) RU2599281C2 (ru)
WO (1) WO2013079139A2 (ru)
ZA (1) ZA201403101B (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013217093A1 (de) * 2013-08-28 2015-03-05 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Anpassen der Parameter eines Reglers für mikromechanische Aktoren und Vorrichtungen
DE102013217105B4 (de) 2013-08-28 2023-03-16 Robert Bosch Gmbh Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Ansteuersystem zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Mikrospiegelsystem und Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors
DE102014003640A1 (de) 2014-03-14 2015-09-17 Northrop Grumman Litef Gmbh Verfahren zum optimieren der einschaltzeit eines corioliskreisels sowie dafür geeigneter corioliskreisel
DE102015003196B4 (de) * 2015-03-12 2022-12-01 Northrop Grumman Litef Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Restwertverarbeitung bei der Ansteuerung eines Sensors
US10991499B2 (en) * 2018-03-22 2021-04-27 Cirrus Logic, Inc. Drive waveform adjustments to compensate for transducer resonant frequency
KR102120410B1 (ko) * 2018-06-28 2020-06-09 주식회사 동운아나텍 액츄에이터 제어장치 및 방법
DE102019100507A1 (de) * 2019-01-10 2020-07-16 Northrop Grumman Litef Gmbh Verfahren zum Auslesen von Daten von Inertialsensoren
DE102019208569A1 (de) * 2019-06-13 2020-12-17 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Betreiben eines MEMS-Gyroskops
DE102020102065B3 (de) * 2020-01-29 2021-06-02 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Kupplungsaktor, Erfassungssystem und Verfahren zur Erfassung einer Winkelposition eines Drehbauteils
DE102020206003A1 (de) 2020-05-13 2021-11-18 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zum Betreiben eines mikroelektromechanischen Gyroskops, Gyroskop
EP3960309A1 (de) * 2020-08-31 2022-03-02 Siemens Aktiengesellschaft Resonanzverfahren für ein schwingungssystem, einen umrichter, eine anregungseinheit und das schwingungssystem
CN111969901B (zh) * 2020-09-01 2022-02-01 南通大学 一种计及霍尔位置传感器故障的无刷直流电机容错控制方法
US20230314138A1 (en) * 2022-04-04 2023-10-05 Stmicroelectronics, Inc. Mems gyroscope start-up process and circuit
US11835339B1 (en) * 2022-04-05 2023-12-05 Hrl Laboratories, Llc Continuous online self-calibration for gyroscopes through modulation of damping axes
DE102023200455A1 (de) * 2023-01-20 2024-07-25 Lenze Se Verfahren zur Inbetriebnahme eines elektrischen Antriebssystems

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0820258B2 (ja) * 1987-07-29 1996-03-04 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 振動ジャイロの駆動方法
DE59307239D1 (de) * 1992-01-22 1997-10-09 Gleason Works Regelungs-anordnung
JP3969824B2 (ja) * 1998-02-09 2007-09-05 マイクロストーン株式会社 角速度センサ
DE19845185B4 (de) * 1998-10-01 2005-05-04 Eads Deutschland Gmbh Sensor mit Resonanzstruktur sowie Vorrichtung und Verfahren zum Selbsttest eines derartigen Sensors
RU2192662C1 (ru) * 2001-06-13 2002-11-10 Военный инженерно-космический университет им. А.Ф. Можайского Устройство для успокоения колебаний упругого элемента переменной жесткости
DE10240087C5 (de) * 2002-08-30 2011-12-01 Austriamicrosystems Ag Vibrationskreisel
CN100420592C (zh) 2003-02-21 2008-09-24 金泰克斯公司 自动汽车外部灯光控制系统
JP3812543B2 (ja) * 2003-03-28 2006-08-23 株式会社デンソー 角速度センサ装置及びその調整方法
JP4567989B2 (ja) * 2004-02-06 2010-10-27 日立ビアメカニクス株式会社 移動体のサーボ制御装置及びレーザ加工装置
CN100535945C (zh) * 2004-04-20 2009-09-02 蓝福模具有限公司 用来监测和控制或调节机器的装置
US7190237B2 (en) * 2004-05-27 2007-03-13 Continental Automotive, Inc. Open-loop start-up method for a resonating device
JP4534714B2 (ja) 2004-10-22 2010-09-01 株式会社デンソー チャージアンプ回路
CN100464036C (zh) * 2005-03-28 2009-02-25 广西柳工机械股份有限公司 用于液压挖掘机工作装置的轨迹控制系统及方法
US7411465B2 (en) * 2005-07-15 2008-08-12 Watson Industries, Inc. AGC circuit for the reduction of harmonics in the drive signal
DE102005034702A1 (de) * 2005-07-26 2007-02-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Schaltungsanordnung zur sicheren Inbetriebnahme eines Drehratensensors
DE102005043560A1 (de) * 2005-09-12 2007-03-15 Siemens Ag Verfahren zum Betrieb eines Vibrationskreisels und Sensoranordnung
DE102005043592A1 (de) * 2005-09-12 2007-03-15 Siemens Ag Verfahren zum Betrieb eines Vibrationskreisels und Sensoranordnung
WO2009037499A1 (en) * 2007-09-18 2009-03-26 Atlantic Inertial Systems Limited Improvements in or relating to angular velocity sensors
DE102008044000B4 (de) * 2008-11-24 2019-11-07 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Regeln einer angeregten Schwingung, Vorrichtung zum Regeln einer angeregten Schwingung
JP4436884B1 (ja) * 2009-02-06 2010-03-24 株式会社オーバル 信号処理方法、信号処理装置、およびコリオリ流量計
JP4436882B1 (ja) * 2009-02-06 2010-03-24 株式会社オーバル 信号処理方法、信号処理装置、およびコリオリ流量計
EP2336717B1 (en) * 2009-12-21 2012-09-19 STMicroelectronics Srl Microelectromechanical device having an oscillating mass, and method for controlling a microelectromechanical device having an oscillating mass
DE102010055631B4 (de) 2010-12-22 2017-12-14 Northrop Grumman Litef Gmbh Reglereinheit und Vorrichtung zur Rückstellung eines mit einer harmonischen Schwingung angeregten Schwingers, sowie Drehratensensor
US9448071B2 (en) * 2013-03-13 2016-09-20 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical device having an oscillating mass and a forcing stage, and method of controlling a microelectromechanical device

Also Published As

Publication number Publication date
EP2786096A2 (de) 2014-10-08
RU2599281C2 (ru) 2016-10-10
IL232589B (en) 2018-03-29
JP5890533B2 (ja) 2016-03-22
US20150211857A1 (en) 2015-07-30
CN103988051B (zh) 2016-08-31
CN103988051A (zh) 2014-08-13
KR101629836B1 (ko) 2016-06-13
WO2013079139A2 (de) 2013-06-06
IL232589A0 (en) 2014-06-30
AU2012344309B2 (en) 2014-11-27
EP2786096B1 (de) 2016-01-20
JP2014533841A (ja) 2014-12-15
CA2854091C (en) 2016-12-13
WO2013079139A3 (de) 2013-07-25
CA2854091A1 (en) 2013-06-06
KR20140081893A (ko) 2014-07-01
DE102011119949A1 (de) 2013-06-06
BR112014013062A2 (pt) 2017-06-13
ZA201403101B (en) 2016-01-27
US9518824B2 (en) 2016-12-13
AU2012344309A1 (en) 2014-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014119152A (ru) Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения
US8763459B2 (en) Vibratory gyroscope utilizing a frequency-based measurement and providing a frequency output
EP3260814B1 (en) Micro-electro-mechanical-system (mems) driver
KR101297654B1 (ko) 평행판 전극 타입 공진형 센서의 온도 보상 방법과 온도 및 공진 제어루프 시스템
CN104682187A (zh) 一种基于闭环反馈的拉曼激光系统相位噪声自动补偿装置及方法
RU2013124098A (ru) Регулирующий модуль и устройство для возврата в исходное состояние осциллятора, возбуждаемого гармоническим колебанием, а также датчик мгновенной угловой скорости
FI20125759A (fi) Parannettu värähtelygyroskooppi
WO2006021858A3 (en) Resonator-based magnetic field sensor
ATE474206T1 (de) Startverfahren mit offenem regelkreis für einen resonator
CN104236537A (zh) 基于强度调制器的光源强度噪声抑制数字双闭环方法
Sonmezoglu et al. A high performance automatic mode-matched MEMS gyroscope with an improved thermal stability of the scale factor
JP2007163424A (ja) フラックスゲート型磁気センサ
JP5884960B2 (ja) 位置検出システム
JP4763565B2 (ja) 位相補償同期検波回路、振動ジャイロ
JP2012134283A (ja) 繰り返し周波数制御装置
JP2007017293A (ja) 定在波測距装置
Wu et al. A sub-0.1°/h bias-instability MEMS gyroscope using resonant constant-frequency driving technique
WO2023037554A1 (ja) 振動型角速度センサ
CN112003584B (zh) 一种基于时滞反馈的微谐振器控制系统
RU2345370C1 (ru) Стенд для воспроизведения угловых скоростей
Cui et al. Improvement of transient response for drive loop of microgyroscope using 2-DOF PID controller
JP2014002242A (ja) 制御装置
JP4337008B2 (ja) 回転角速度の測定方法および装置
Kassie et al. Auto-Resonance-A New Paradigm for Driving Linear and Nonlinear Electrostatic Resonators
GB618328A (en) Improvements in or relating to turn responsive apparatus