RU2013124098A - Регулирующий модуль и устройство для возврата в исходное состояние осциллятора, возбуждаемого гармоническим колебанием, а также датчик мгновенной угловой скорости - Google Patents
Регулирующий модуль и устройство для возврата в исходное состояние осциллятора, возбуждаемого гармоническим колебанием, а также датчик мгновенной угловой скорости Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013124098A RU2013124098A RU2013124098/08A RU2013124098A RU2013124098A RU 2013124098 A RU2013124098 A RU 2013124098A RU 2013124098/08 A RU2013124098/08 A RU 2013124098/08A RU 2013124098 A RU2013124098 A RU 2013124098A RU 2013124098 A RU2013124098 A RU 2013124098A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- proportional
- controller
- integral controller
- excitation
- module
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION, OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B11/00—Automatic controllers
- G05B11/01—Automatic controllers electric
- G05B11/36—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential
- G05B11/42—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential for obtaining a characteristic which is both proportional and time-dependent, e.g. P.I., P.I.D.
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B5/00—Anti-hunting arrangements
- G05B5/01—Anti-hunting arrangements electric
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D19/00—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase
- G05D19/02—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase characterised by the use of electric means
Abstract
1. Регулирующий модуль (220), включающий в себя пропорционально-интегральный регулятор (225, 325), содержащий пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322),при этом вход регулирующего модуля (220) соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324),отличающийся тем, чтопередаточная функция пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при круговой частоте ωрегулятора в плоскости s или полюс прив плоскости z,при этом Т является периодом дискретизации дискретного входного сигнала пропорционально-интегрального регулятора (225, 325), а ω>0.2. Регулирующий модуль по п.1, в котором коэффициент интегрирования интегрирующего передаточного звена (222, 322) и коэффициент усиления пропорционального передаточного звена (224, 324) выбраны таким образом, что при подаче на вход регулятора модулированного скачкообразной функцией гармонического входного сигнала с круговой частотой ωрегулятора пропорционально-интегральный регулятор (225, 325) может вырабатывать на выходе регулятора гармоническое колебание с круговой частотой ωрегулятора и с возрастающей амплитудой.3. Устройство, включающее в себяподвижно установленный осциллятор (190), который выполнен с возможностью возбуждения колебаний с резонансной круговой частотой ωв направлении возбуждения, ирегулирующий модуль (220) по п.2, при этом круговая частота ωрегулятора равна резонансной круговой частоте ω.4. Устройство по п.3, в которомкоэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбраны таким образом, что нулевые точки передаточной функции пропорционально-интегрального регулят�
Claims (18)
1. Регулирующий модуль (220), включающий в себя пропорционально-интегральный регулятор (225, 325), содержащий пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322),
при этом вход регулирующего модуля (220) соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324),
отличающийся тем, что
передаточная функция пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при круговой частоте ωr регулятора в плоскости s или полюс при
в плоскости z,
при этом Т является периодом дискретизации дискретного входного сигнала пропорционально-интегрального регулятора (225, 325), а ωr>0.
2. Регулирующий модуль по п.1, в котором коэффициент интегрирования интегрирующего передаточного звена (222, 322) и коэффициент усиления пропорционального передаточного звена (224, 324) выбраны таким образом, что при подаче на вход регулятора модулированного скачкообразной функцией гармонического входного сигнала с круговой частотой ωr регулятора пропорционально-интегральный регулятор (225, 325) может вырабатывать на выходе регулятора гармоническое колебание с круговой частотой ωr регулятора и с возрастающей амплитудой.
3. Устройство, включающее в себя
подвижно установленный осциллятор (190), который выполнен с возможностью возбуждения колебаний с резонансной круговой частотой ω0 в направлении возбуждения, и
регулирующий модуль (220) по п.2, при этом круговая частота ωr регулятора равна резонансной круговой частоте ω0.
4. Устройство по п.3, в котором
коэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбраны таким образом, что нулевые точки передаточной функции пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) компенсируют полюса передаточной функции осциллятора (190).
5. Устройство по одному из пп.3 или 4, в котором
пропорционально-интегральный регулятор является непрерывным пропорционально-интегральным регулятором (225), а
отношение коэффициента интегрирования к коэффициенту усиления равно демпфированию s0 осциллятора (190) в направлении возбуждения.
6. Устройство по п.5, в котором
объект регулирования, включающий в себя осциллятор (190), имеет время Ts запаздывания объекта,
регулирующий модуль (220) включает в себя расположенное последовательно с пропорционально-интегральным регулятором (225) звено (226) с запаздыванием, имеющее время TR запаздывания регулятора, и
либо пропорционально-интегральный регулятор (225) является инвертирующим регулятором, и произведение резонансной круговой частоты ω0 и суммы времени TS запаздывания объекта и времени TR запаздывания регулятора равно
,
7. Устройство по одному из пп.3 или 4, в котором
пропорционально-интегральным регулятором является дискретный пропорционально-интегральный регулятор (325), на который может подаваться дискретный входной сигнал, происходящий вследствие дискретизации с периодом Т,
осциллятор (190) имеет в направлении возбуждения демпфирование s0, а
8. Устройство по одному из пп.3 или 4, в котором
пропорционально-интегральным регулятором является дискретный пропорционально-интегральный регулятор (325), на который может подаваться дискретный входной сигнал, происходящий вследствие дискретизации с периодом Т, а
коэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбраны таким образом, что передаточная функция замкнутого контура эквивалентной системы с первичной полосой частот имеет двойное вещественное собственное значение.
9. Устройство по п.7, в котором
объект регулирования, включающий в себя осциллятор (190, 590), имеет время βS·T запаздывания объекта,
регулирующий модуль (220) включает в себя расположенное последовательно с дискретным пропорционально-интегральным регулятором (325) звено (326) с запаздыванием, имеющее время βD·T запаздывания регулятора, и
либо дискретный пропорционально-интегральный регулятор (325) является инвертирующим регулятором, и произведение резонансной круговой частоты ω0 и суммы времени βS·T запаздывания объекта, времени βD·T запаздывания регулятора и половины периода дискретизации
равно
,
10. Устройство по одному из пп.3-4, 6, 9, отличающееся
наличием расположенного последовательно с пропорционально-интегральным регулятором (225, 325) дополнения (328) регулятора, которое действует в качестве полосового фильтра со средней частотой при резонансной круговой частоте ω0.
12. Устройство по одному из пп.3-4, 6, 9, 11, в котором
устройством является датчик (500, 505) мгновенной угловой скорости, а осциллятором - модуль (590) возбуждения, кориолисов модуль (585) или модуль (580) детектирования датчика (500, 505) мгновенной угловой скорости, при этом
модуль (590) возбуждения выполнен с возможностью отклонения при помощи датчика (561) силы вдоль направления возбуждения и предназначен для колебания с резонансной круговой частотой ω0;
кориолисов модуль (585) закреплен на модуле (590) возбуждения таким образом, что он следует за перемещением модуля (590) возбуждения вдоль направления возбуждения и дополнительно является подвижным вдоль направления детектирования, перпендикулярного к направлению возбуждения; и
модуль (580) детектирования закреплен на модуле (590) возбуждения или на кориолисовом модуле (585) таким образом, что модуль (580) детектирования либо
следует за перемещением модуля (590) возбуждения вдоль направления возбуждения и дополнительно является подвижным вдоль направления детектирования, перпендикулярного к направлению возбуждения, либо
следует за перемещением кориолисова модуля (585) вдоль направления детектирования, перпендикулярного к направлению возбуждения, и зафиксирован вдоль направления возбуждения.
13. Датчик мгновенной угловой скорости, включающий в себя
подвижно установленный осциллятор (190), который выполнен с возможностью возбуждения колебаний с резонансной круговой частотой ω0 в направлении возбуждения, и
регулирующий модуль (220), включающий в себя пропорционально-интегральный регулятор (225, 325), содержащий пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322),
при этом вход регулирующего модуля (220) соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324),
отличающийся тем, что
передаточная функция пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при резонансной круговой частоте ω0 в плоскости s или полюс при
в плоскости z,
при этом Т является периодом дискретизации дискретного входного сигнала пропорционально-интегрального регулятора (225, 325), а ω0>0.
14. Датчик мгновенной угловой скорости по п.13, в котором
осциллятором является модуль (590) возбуждения, который выполнен с возможностью отклонения при помощи датчика (561) силы вдоль направления возбуждения и предназначен для колебания с резонансной круговой частотой ω0.
15. Способ эксплуатации датчика мгновенной угловой скорости, включающий в себя
выработку при помощи чувствительного элемента (170) измерительного сигнала, отображающего отклонение осциллятора (190), и
выработку из измерительного сигнала управляющего сигнала для исполнительного органа (180), который противодействует отклонению осциллятора (190) от гармонического колебания с резонансной круговой частотой ω0,
при этом управляющий сигнал получают из измерительного сигнала при помощи регулирующего модуля (220), а регулирующий модуль (220) включает в себя пропорционально-интегральный регулятор (225, 326), содержащий пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322),
при этом вход регулирующего модуля (220) соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324), причем
передаточная функция пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) имеет комплексно сопряженный полюс при резонансной круговой частоте ω0 в плоскости s или полюс при
в плоскости z,
при этом Т является периодом дискретизации дискретного входного сигнала пропорционально-интегрального регулятора (225, 325).
16. Способ изготовления датчика мгновенной угловой скорости, включающий в себя
назначение параметров регулирующего модуля (220), включающего в себя пропорционально-интегральный регулятор (225, 325), содержащий пропорциональное передаточное звено (224, 324) и расположенное параллельно нему интегрирующее передаточное звено (222, 322),
при этом вход регулирующего модуля (220) соединен с обоими передаточными звеньями (222, 224, 322, 324),
отличающийся тем, что
пропорционально-интегральный регулятор (225, 325) выполнен с передаточной функцией, которая имеет комплексно сопряженный полюс при круговой частоте ωr, регулятора в плоскости s или полюс при
в плоскости z,
при этом Т является периодом дискретизации дискретного входного сигнала пропорционально интегрального регулятора (225, 325), и ωr>0, а коэффициент интегрирования интегрирующего передаточного звена (222, 322) и коэффициент усиления пропорционального передаточного звена (224, 324) выбирают таким образом, что при подаче на вход регулятора модулированного скачкообразной функцией гармонического входного сигнала с круговой частотой ωr регулятора пропорционально-интегральный регулятор (225, 325) может вырабатывать на выходе регулятора гармоническое колебание с круговой частотой ωr регулятора и с возрастающей амплитудой, и
круговую частоту ωr регулятора выбирают таким образом, что она равна резонансной круговой частоте ω0 модуля (590) возбуждения датчика мгновенной угловой скорости.
17. Способ по п.16, при котором
коэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбирают таким образом, что нулевые точки передаточной функции пропорционально-интегрального регулятора (225, 325) компенсируют полюса передаточной функции модуля (590) возбуждения.
18. Способ по п.16, при котором
пропорционально-интегральным регулятором является дискретный пропорционально-интегральный регулятор (325), на который может подаваться дискретный входной сигнал, образованный вследствие дискретизации с периодом Т, и
коэффициент интегрирования и коэффициент усиления выбраны таким образом, что передаточная функция замкнутого контура эквивалентной системы с первичной полосой частот имеет двойное вещественное собственное значение.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010055631.9A DE102010055631B4 (de) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | Reglereinheit und Vorrichtung zur Rückstellung eines mit einer harmonischen Schwingung angeregten Schwingers, sowie Drehratensensor |
DE102010055631.9 | 2010-12-22 | ||
PCT/EP2011/006356 WO2012084153A1 (de) | 2010-12-22 | 2011-12-15 | Reglereinheit und vorrichtung zur rückstellung eines mit einer harmonischen schwingung angeregten schwingers, sowie drehratensensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013124098A true RU2013124098A (ru) | 2015-01-27 |
RU2565516C2 RU2565516C2 (ru) | 2015-10-20 |
Family
ID=45464484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013124098/08A RU2565516C2 (ru) | 2010-12-22 | 2011-12-15 | Регулирующий модуль и устройство для возврата в исходное состояние осциллятора, возбуждаемого гармоническим колебанием, а также датчик мгновенной угловой скорости |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9356607B2 (ru) |
EP (1) | EP2656153B1 (ru) |
JP (1) | JP5599521B2 (ru) |
KR (1) | KR101576140B1 (ru) |
CN (1) | CN103261979B (ru) |
AU (1) | AU2011348461B2 (ru) |
BR (1) | BR112013013933B1 (ru) |
CA (1) | CA2826417C (ru) |
DE (1) | DE102010055631B4 (ru) |
IL (1) | IL226472A (ru) |
RU (1) | RU2565516C2 (ru) |
WO (1) | WO2012084153A1 (ru) |
ZA (1) | ZA201303750B (ru) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011119949A1 (de) | 2011-12-01 | 2013-06-06 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Regelungsvorrichtung, Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb einer Regelungsvorrichtung mit harmonischem Sollwertsignal |
DE102014003640A1 (de) | 2014-03-14 | 2015-09-17 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren zum optimieren der einschaltzeit eines corioliskreisels sowie dafür geeigneter corioliskreisel |
FR3057078B1 (fr) * | 2016-10-04 | 2018-10-26 | Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales | Circuit electrique de mesure, detecteur de gaz et procede de mesure d'une concentration gazeuse |
US10488828B2 (en) * | 2016-12-09 | 2019-11-26 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Multi-resonant feedback control of multiple degree-of-freedom wave energy converters |
US10423126B2 (en) * | 2016-12-09 | 2019-09-24 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Multi-resonant feedback control of a single degree-of-freedom wave energy converter |
DE102019100507A1 (de) * | 2019-01-10 | 2020-07-16 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren zum Auslesen von Daten von Inertialsensoren |
CN110737196B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-07-19 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 一种基于PIDα的数字电源环路补偿器的设计方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU475602A1 (ru) * | 1965-07-07 | 1975-06-30 | Научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения | Электронный аналоговый пропорционально-интегрально-дифференциальный регул тор |
WO1993015447A1 (de) * | 1992-01-22 | 1993-08-05 | Hurth Maschinen Und Werkzeuge Gmbh | Regelungs-anordnung |
US6462530B1 (en) * | 2001-01-25 | 2002-10-08 | Bei Technologies, Inc. | Redundant rate sensor and method |
US6665352B2 (en) * | 2002-01-04 | 2003-12-16 | Itran Communications Ltd. | Overlapping windowing mechanism utilizing transmit waveform extensions |
DE10362031B4 (de) * | 2003-05-08 | 2008-05-29 | Litef Gmbh | Betriebsverfahren für einen Corioliskreisel und dafür geeignete Auswerte-/Regelelektronik |
JP4567989B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2010-10-27 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 移動体のサーボ制御装置及びレーザ加工装置 |
CN2743837Y (zh) * | 2004-07-09 | 2005-11-30 | 冯惠恒 | 转速标准装置 |
JP4907283B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2012-03-28 | 株式会社ショーワ | 電動パワーステアリング装置 |
JP2009033862A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Univ Of Ryukyus | 太陽光発電システムの出力電力平準化装置 |
US7826999B1 (en) * | 2007-08-20 | 2010-11-02 | Pni Corporation | Magnetic tilt compensated heading compass with adaptive zoffset |
US8695424B2 (en) * | 2008-03-11 | 2014-04-15 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensor device for detecting at least one rotation rate of a rotating motion |
KR100967665B1 (ko) | 2008-04-01 | 2010-07-07 | 부산대학교 산학협력단 | 저속 영역에서의 전동기 속도 제어 시스템 및 속도 제어방법 |
US8610332B2 (en) * | 2008-10-09 | 2013-12-17 | Newcastle Innovation Limited | Positioning system and method |
DE102008044000B4 (de) * | 2008-11-24 | 2019-11-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Regeln einer angeregten Schwingung, Vorrichtung zum Regeln einer angeregten Schwingung |
-
2010
- 2010-12-22 DE DE102010055631.9A patent/DE102010055631B4/de active Active
-
2011
- 2011-12-15 BR BR112013013933-1A patent/BR112013013933B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-12-15 RU RU2013124098/08A patent/RU2565516C2/ru active
- 2011-12-15 KR KR1020137015427A patent/KR101576140B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-15 CA CA2826417A patent/CA2826417C/en active Active
- 2011-12-15 WO PCT/EP2011/006356 patent/WO2012084153A1/de active Application Filing
- 2011-12-15 CN CN201180060872.1A patent/CN103261979B/zh active Active
- 2011-12-15 EP EP11805773.6A patent/EP2656153B1/de active Active
- 2011-12-15 US US13/994,692 patent/US9356607B2/en active Active
- 2011-12-15 JP JP2013545089A patent/JP5599521B2/ja active Active
- 2011-12-15 AU AU2011348461A patent/AU2011348461B2/en active Active
-
2013
- 2013-05-20 IL IL226472A patent/IL226472A/en active IP Right Grant
- 2013-05-23 ZA ZA2013/03750A patent/ZA201303750B/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012084153A1 (de) | 2012-06-28 |
US20140159822A1 (en) | 2014-06-12 |
DE102010055631A1 (de) | 2012-06-28 |
KR101576140B1 (ko) | 2015-12-09 |
EP2656153A1 (de) | 2013-10-30 |
IL226472A (en) | 2017-07-31 |
IL226472A0 (en) | 2013-07-31 |
RU2565516C2 (ru) | 2015-10-20 |
CN103261979B (zh) | 2016-05-04 |
KR20130095800A (ko) | 2013-08-28 |
CA2826417A1 (en) | 2012-06-28 |
CN103261979A (zh) | 2013-08-21 |
BR112013013933B1 (pt) | 2020-10-13 |
AU2011348461B2 (en) | 2015-10-08 |
JP5599521B2 (ja) | 2014-10-01 |
CA2826417C (en) | 2016-02-16 |
EP2656153B1 (de) | 2020-07-29 |
US9356607B2 (en) | 2016-05-31 |
JP2014503064A (ja) | 2014-02-06 |
BR112013013933A2 (pt) | 2016-09-13 |
AU2011348461A1 (en) | 2013-07-04 |
ZA201303750B (en) | 2014-01-29 |
DE102010055631B4 (de) | 2017-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2013124098A (ru) | Регулирующий модуль и устройство для возврата в исходное состояние осциллятора, возбуждаемого гармоническим колебанием, а также датчик мгновенной угловой скорости | |
RU2014119152A (ru) | Регулирующее устройство, датчик угловой скорости и способ эксплуатации регулирующего устройства с гармоническим сигналом номинального значения | |
US8763459B2 (en) | Vibratory gyroscope utilizing a frequency-based measurement and providing a frequency output | |
WO2006021858A3 (en) | Resonator-based magnetic field sensor | |
KR101232025B1 (ko) | 신호처리방법, 신호처리장치, 및 코리올리 유량계 | |
US8725432B2 (en) | Signal processing method, signal processing apparatus, and Coriolis flowmeter | |
RU2006113688A (ru) | Способ измерения скоростей/ускорений с использованием кориолисова гироскопа-датчика угловой скорости, а также кориолисов гироскоп, который пригоден для этой цели | |
US8143894B2 (en) | Method for operating a resonance measuring system and a resonance measuring system | |
CN104541136B (zh) | 用来操作共振测量系统的方法 | |
US20170030870A1 (en) | Method and device for multiple-frequency tracking of oscillating systems | |
Zhi et al. | Low-delay, high-bandwidth frequency-locking loop of resonator integrated optic gyro with triangular phase modulation | |
EP2259020B1 (en) | Method and amplifying stage for suppressing modulation distortion rate sensing errors in a resonator fiber optic gyroscope | |
KR101352306B1 (ko) | 신호 처리 방법, 신호 처리 장치 및 코리올리 유량계 | |
US10061181B2 (en) | Method and system for parametric amplification | |
CN109844516A (zh) | 电气测量线路、气体检测器及用于测量气体浓度的方法 | |
US20120059601A1 (en) | Signal processing method, signal processing apparatus, and coriolis flowmeter | |
Fan et al. | Dynamic characteristics of resonant gyroscopes study based on the Mathieu equation approximate solution | |
RU2008143288A (ru) | Микромеханический гироскоп компенсационного типа | |
JP3381840B2 (ja) | 密度測定における粘度決定方法 | |
RU2494405C1 (ru) | Способ и устройство для измерения ускорения силы тяжести | |
RU2319929C1 (ru) | Микромеханический гироскоп | |
RU2178548C1 (ru) | Микромеханический вибрационный гироскоп | |
Levy et al. | New signal processing for fast and accurate QEPAS measurements | |
Hyun et al. | Precise oscillation loop for a resonant type MEMS inertial sensors | |
ЛЫСЕНКО et al. | Investigating the orbital motion of MEMS gyro inertial mass |