RU2319929C1 - Микромеханический гироскоп - Google Patents

Микромеханический гироскоп Download PDF

Info

Publication number
RU2319929C1
RU2319929C1 RU2006115535/28A RU2006115535A RU2319929C1 RU 2319929 C1 RU2319929 C1 RU 2319929C1 RU 2006115535/28 A RU2006115535/28 A RU 2006115535/28A RU 2006115535 A RU2006115535 A RU 2006115535A RU 2319929 C1 RU2319929 C1 RU 2319929C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
output
input
signal
primary
oscillations
Prior art date
Application number
RU2006115535/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006115535A (ru
Inventor
Леонид Анатольевич Северов (RU)
Леонид Анатольевич Северов
Валерий Константинович Пономарев (RU)
Валерий Константинович Пономарев
зин Дмитрий Геннадьевич Гр (RU)
Дмитрий Геннадьевич Грязин
Юрий Владимирович Шадрин (RU)
Юрий Владимирович Шадрин
Андрей Сергеевич Ковалев (RU)
Андрей Сергеевич Ковалев
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority to RU2006115535/28A priority Critical patent/RU2319929C1/ru
Publication of RU2006115535A publication Critical patent/RU2006115535A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2319929C1 publication Critical patent/RU2319929C1/ru

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение предназначено для использования в системах управления подвижными объектами, а также в качестве измерителя и индикатора движения объекта. Микромеханический гироскоп содержит механическую часть, состоящую из ротора, датчиков углов и моментов по осям первичных и выходных колебаний, и электрическую часть, состоящую из системы возбуждения и стабилизации первичных колебаний, и системы сопряжения частот первичных и вторичных колебаний. При этом система сопряжения частот построена на базе фазового детектора, входящего в контур обратной связи по оси вторичных колебаний. Техническим результатом является увеличение чувствительности микромеханического гироскопа к угловой скорости за счет совмещения первичных и выходных колебаний электрическим способом с помощью системы сопряжения частот. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано в системах управления подвижными объектами различного назначения, а также в качестве измерителя и индикатора движения объекта.
Микромеханические гироскопы (ММГ) предназначены для измерения угловой скорости движения основания. Принцип их действия заключается в воздействии Кориолисова момента на вибрирующую инерционную массу (чувствительный элемент). Чувствительный элемент такого гироскопа совершает колебательные движения относительно оси первичных колебаний, при воздействии угловой скорости по оси чувствительности, возникает момент Кориолиса, вызывающий колебания относительно оси, перпендикулярной первым двум (ось вторичных колебаний). Амплитуда вторичных колебаний, модулированных частотой первичных колебаний, пропорциональна действующей угловой скорости. Колебания чувствительного элемента по осям первичных и вторичных колебаний могут описываться как колебания двух осцилляторов, связанных между собой некоторой функциональной зависимостью, соответственно первичного осциллятора и вторичного осциллятора. Чувствительность ММГ определяется добротностью колебаний чувствительного элемента гироскопа, а также рассогласованием частот первичных и вторичных колебаний. Для получения максимальной чувствительности ММГ должен быть вакуумирован и иметь одинаковые частоты по обеим осям (резонансная настройка). Обеспечить равенство мод первичных и вторичных колебаний технологическими способами не представляется возможным из-за погрешностей изготовления геометрии чувствительного элемента, поэтому эффективным путем обеспечения резонансной настройки является использование системы управления ММГ для сопряжения частот.
Известны микромеханические вибрационные гироскопы [RU 2178548 C1, WO 02/103364 А2, WO 2004/038332 A1, WO 01/27559 A2].
По наибольшему числу общих существенных признаков в качестве прототипа принят ММВГ RU 2178548 C1, содержащий инерционную массу, датчики углов и моментов по осям первичных и вторичных колебаний, а также систему управления по оси первичных колебаний, выполняющую функции возбуждения и стабилизации первичных колебаний, и систему управления по оси вторичных колебаний, выполняющую функции стабилизации частоты вторичных колебаний на двойной частоте по отношению к частоте первичных колебаний.
Недостатком прототипа является снижение чувствительности датчика к угловой скорости за счет разнесения частот.
Задачей предлагаемого изобретения является увеличение чувствительности ММГ за счет совмещения частоты вторичных колебаний с частотой первичных колебаний.
Задача решается с использованием системы управления ММГ по оси вторичных колебаний на основе фазового детектора.
Анализ методов совмещения частот, проведенный авторами, позволил сделать вывод о том, что лучшие результаты дает метод, основанный на анализе фазового сдвига между вторичными и первичными колебаниями. При высокой добротности измерительного канала фазовый детектор обладает очень высокой чувствительностью и способен реагировать на частоту расстройки, измеряемую долями герц.
Преимуществом фазового детектора является его нечувствительность к величине амплитуд входных сигналов, что важно для обеспечения требуемой динамики и устойчивости контура сопряжения частот в широком диапазоне измеряемой прибором угловой скорости. Кроме того, структура фазового детектора сравнительно просто реализуется в цифровой электронике.
Сущность изобретения поясняется чертежом 1, на котором приведена функциональная схема ММВГ, где
1 - первичный осциллятор;
2 - датчик угла по оси первичных колебаний (ДУПК);
3 - система управления первичными колебаниями (СУПК);
4 - датчик момента по оси первичных колебаний (ДМПК);
5 - датчик угла по оси вторичных колебаний (ДУВК);
6 - фазочувствительный выпрямитель (ФЧВ);
7 - блок дифференцирования сигнала;
8 - фазовый детектор (ФД);
9 - позиционно-интегральный регулятор;
10 - блок, изменяющий знак коэффициента обратной связи;
11, 12 - умножители;
13 - датчик угла по оси вторичных колебаний;
14 - вторичный осциллятор;
My - управляющий момент;
Uвых - выходной сигнал ММГ.
Входы и выходы блоков, перечисленных выше, обозначены на чертеже как
вх1, вх2 - для входов 1 и 2;
вых1, вых2 - для выходов 1 и 2.
Схема содержит два замкнутых контура: контур первичных колебаний, образованный блоками 1-4, и контур вторичных колебаний (блоки 5-13). Контур первичных колебаний выполняет функции разгона и поддержания требуемой амплитуды колебаний первичного осциллятора 1. Для этого к выходу первичного осциллятора 1 подключен ДУПК 2, с помощью которого амплитуда первичных колебаний преобразуется в напряжение. Выход ДУПК 2 подключен к входу СУПК 3, выполняющей функции возбуждения и стабилизации первичных колебаний в контуре. Для создания управляющих моментов выход СУПК 3 подключен к входу ДМПК 4, выход которого подключен к входу первичного осциллятора 1. Контур вторичных колебаний выполняет функции выделения сигнала о действующей угловой скорости и сопряжения частот первичных и вторичных колебаний. К вторичному осциллятору 14 подключен ДУВК 5, с помощью которого амплитуда вторичных колебаний преобразуется в напряжение. Для выделения полезного сигнала сигнал с выхода ДУВК 5 поступает на первый вход ФЧВ 6. На второй вход ФЧВ 6 поступает сигнал, пропорциональный угловой скорости первичных колебаний, формируемый на выходе блока дифференцирования 7, к входу которого подключен ДУПК 3. ФВЧ 6 вырабатывает так называемую синфазную составляющую сигнала вторичных колебаний, несущую информацию о действующей на прибор угловой скорости Uвых. Для сопряжения частот используется система управления частотой вторичных колебаний, содержащая фазовый детектор 8, позиционно-интегральный регулятор 9, блок, изменяющий знак коэффициента обратной связи 10, умножители 11 и 12.
На первый вход фазового детектора 8 подается сигнал с ДУВК 5, а на второй - сигнал, пропорциональный угловой скорости первичных колебаний, формируемый на выходе блока дифференцирования 7. Выходной сигнал фазового детектора 8 подается на вход позиционно-интегрального регулятора 9, который формирует коэффициент обратной связи гироскопа по вторичным колебаниям. Параметры регулятора выбираются таким образом, чтобы обеспечить работу фазового детектора в рабочей зоне
Figure 00000002
с требуемыми динамическими характеристиками системы сопряжения частот.
Для исключения зависимости знака фазового сдвига от направления измеряемой угловой скорости в схему введен блок, изменяющий знак коэффициента обратной связи 10. На вход блока 10 подается сигнал с выхода ФЧВ 6. Сигнал с выхода блока 10 подается на первый вход первого умножителя 11. На второй вход первого умножителя 11 подается сигнал с позиционно-интегрального регулятора 9. Выход первого умножителя 11 подключен к первому входу второго умножителя 12, который формирует окончательный вид управляющего момента My. На второй вход второго умножителя 12 подается сигнал с выхода ДУВК 5. Выход второго умножителя 12 подключен к входу ДМВК 13, выход которого подключен к входу вторичного осциллятора 14 и замыкает контур управления вторичными колебаниями.
Приведенные схемотехнические нововведения позволяют увеличить чувствительность ММГ к угловой скорости до 1000 раз (при вакуумировании) в зависимости от изначального рассогласования частот.
Технико-экономические преимущества изобретения по сравнению с прототипом, характеризующим существующий уровень техники, заключаются в повышении чувствительности ММГ к угловой скорости, и повышении соотношения сигнал-шум для ММГ.
Расчетно-теоретические исследования и моделирование, проведенные в ЦНИИ "Электроприбор", подтвердили высокую техническую эффективность предложенного устройства.

Claims (2)

1. Микромеханический гироскоп, содержащий замкнутый контур первичных колебаний, образованный первичным осциллятором, датчиком угла первичных колебаний (ДУПК) и системой управления первичными колебаниями (СУПК), при этом к выходу первичного осциллятора подключен ДУПК, выход которого подключен к входу СУПК, выход которого подключен к датчику момента по оси первичных колебаний, а также вторичный осциллятор, датчик момента по оси вторичных колебаний, датчик угла по оси вторичных колебаний (ДУВК), блок дифференцирования сигнала с оси первичных колебаний и фазочувствительный выпрямитель (ФЧВ), при этом вход блока дифференцирования подключен к ДУПК, а сигнал с выхода блока дифференцирования поступает на второй вход ФЧВ, выход вторичного осциллятора подключен к входу ДУВК, выход которого подключен к первому входу ФЧВ, с выхода которого снимается сигнал о действующей на прибор угловой скорости, отличающийся тем, что гироскоп дополнительно содержит систему управления частотой вторичных колебаний, содержащую фазовый детектор, на первый вход которого подается сигнал с ДУВК, а на второй - сигнал с выхода блока дифференцирования сигнала, и позиционно-интегральный регулятор, на вход которого подается выходной сигнал фазового детектора и который формирует значение коэффициента обратной связи гироскопа по оси вторичных колебаний.
2. Микромеханический гироскоп по п.1, отличающийся тем, что система управления частотой содержит блок, изменяющий знак коэффициента обратной связи, на вход которого подается сигнал с выхода фазочувствительного выпрямителя, и два умножителя, при этом на первый вход первого умножителя подается сигнал с выхода блока, изменяющего знак, на второй вход которого подается сигнал с позиционно-интегрального регулятора, выход первого умножителя подключен к первому входу второго умножителя, на второй вход которого подается сигнал с выхода ДУВК, а выход второго умножителя, который формирует окончательный вид сигнала управления, подключен к входу вторичного осциллятора.
RU2006115535/28A 2006-05-02 2006-05-02 Микромеханический гироскоп RU2319929C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006115535/28A RU2319929C1 (ru) 2006-05-02 2006-05-02 Микромеханический гироскоп

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006115535/28A RU2319929C1 (ru) 2006-05-02 2006-05-02 Микромеханический гироскоп

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006115535A RU2006115535A (ru) 2007-11-10
RU2319929C1 true RU2319929C1 (ru) 2008-03-20

Family

ID=38958051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006115535/28A RU2319929C1 (ru) 2006-05-02 2006-05-02 Микромеханический гироскоп

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2319929C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2006115535A (ru) 2007-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8763459B2 (en) Vibratory gyroscope utilizing a frequency-based measurement and providing a frequency output
US10247554B2 (en) Fully balanced micro-machined inertial sensor
Zotov et al. High-range angular rate sensor based on mechanical frequency modulation
US7874209B2 (en) Capacitive bulk acoustic wave disk gyroscopes with self-calibration
Trusov et al. Low-dissipation silicon tuning fork gyroscopes for rate and whole angle measurements
Jia et al. Overview and analysis of MEMS Coriolis vibratory ring gyroscope
Prikhodko et al. Foucault pendulum on a chip: Rate integrating silicon MEMS gyroscope
US8991247B2 (en) High range digital angular rate sensor based on frequency modulation
KR101178692B1 (ko) 코리올리 자이로스코프
CN105934651B (zh) 改进的陀螺仪结构和陀螺仪
Prikhodko et al. Foucault pendulum on a chip: Angle measuring silicon MEMS gyroscope
Ren et al. Frequency-modulated mems gyroscopes: A review
US10823569B1 (en) Multiple axis sensing device based on frequency modulation and method of operation
AU2008200126A1 (en) Combined accelerometer and gyroscope system
US8584524B2 (en) Nano-resonator inertial sensor assembly
US20140090471A1 (en) Three-Axis Nano-Resonator Accelerometer Device and Method
EP3312558B1 (en) Hemispherical resonator gyroscope
Kim et al. Inertial-grade out-of-plane and in-plane differential resonant silicon accelerometers (DRXLs)
CN102798386A (zh) 三自由度谐振硅微机械陀螺仪
Oh et al. Gyroscopes based on surface acoustic waves
Sahin et al. A wide-bandwidth and high-sensitivity robust microgyroscope
Fan et al. High performance MEMS disk gyroscope with force-to-rebalance operation mode
Zotov et al. Self-calibrated MEMS gyroscope with AM/FM operational modes, dynamic range of 180 dB and in-run bias stability of 0.1 deg/hr
RU2319929C1 (ru) Микромеханический гироскоп
Li et al. Measurement method of frequency splitting for high-Q hemispherical resonator based on standing wave swing effect

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090503