RU2013147894A

RU2013147894A - Способ и приспособление для комбинированного осаждения и осаждения на всю подложку распылением

Info

Publication number: RU2013147894A
Application number: RU2013147894/02A
Authority: RU
Inventors: Кент Райли ЧАЙЛД; Хун Шэн ЯН; Раджеш КЕЛЕКАР
Original assignee: Интермолекуляр, Инк.
Priority date: 2011-05-09
Filing date: 2012-05-07
Publication date: 2015-06-20
Also published as: WO2012154682A1; EP2707519A1; EP2707519A4; US20120285819A1; KR20140057208A

Abstract

1. Камера для обработки, содержащаякрышку, расположенную над верхней поверхностью области обработки указанной камеры;множество распылительных пистолетов с мишенью, прикрепленной к одному концу каждого из распылительных пистолетов, при этом указанное множество распылительных пистолетов проходит через крышку камеры для обработки и каждый из указанного множества распылительных пистолетов наклонен таким образом, что поверхность мишени, прикрепленной к каждому пистолету, наклонена в направлении внешней периферии подложки.2. Камера для обработки по п.1, в которойнормаль к поверхности мишени находится между приблизительно 1 градусом и приблизительно 75 градусами относительно нормали к поверхности опоры подложки камеры для обработки, ипри этом каждый из указанного множества распылительных пистолетов смещен относительно центра опоры подложки.3. Камера для обработки по п.1, в которойкрышка содержит защитный элемент пистолета, проходящий через крышку, для каждого из указанного множества распылительных пистолетов, и поддерживающий соответствующие распылительные пистолеты.4. Камера для обработки по п.3, в которойкаждый защитный элемент пистолета содержит противоположные полки, проходящие внутрь поперек верхнего отверстия каждого защитного элемента пистолета.5. Камера для обработки по п.1, в которойкрышка соприкасается с выступом, проходящим вдоль внешней периферийной поверхности боковой стенки камеры для обработки.6. Камера для обработки по п.5, в которой зазор проходит между верхним краем боковой стенки и нижней поверхностью крышки.7. Камера для обработки по п.3, в которойкаждый защитный элемент пистолета содер

Claims

1. Камера для обработки, содержащая

крышку, расположенную над верхней поверхностью области обработки указанной камеры;

множество распылительных пистолетов с мишенью, прикрепленной к одному концу каждого из распылительных пистолетов, при этом указанное множество распылительных пистолетов проходит через крышку камеры для обработки и каждый из указанного множества распылительных пистолетов наклонен таким образом, что поверхность мишени, прикрепленной к каждому пистолету, наклонена в направлении внешней периферии подложки.

2. Камера для обработки по п.1, в которой

нормаль к поверхности мишени находится между приблизительно 1 градусом и приблизительно 75 градусами относительно нормали к поверхности опоры подложки камеры для обработки, и

при этом каждый из указанного множества распылительных пистолетов смещен относительно центра опоры подложки.

3. Камера для обработки по п.1, в которой

крышка содержит защитный элемент пистолета, проходящий через крышку, для каждого из указанного множества распылительных пистолетов, и поддерживающий соответствующие распылительные пистолеты.

4. Камера для обработки по п.3, в которой

каждый защитный элемент пистолета содержит противоположные полки, проходящие внутрь поперек верхнего отверстия каждого защитного элемента пистолета.

5. Камера для обработки по п.1, в которой

крышка соприкасается с выступом, проходящим вдоль внешней периферийной поверхности боковой стенки камеры для обработки.

6. Камера для обработки по п.5, в которой зазор проходит между верхним краем боковой стенки и нижней поверхностью крышки.

7. Камера для обработки по п.3, в которой

каждый защитный элемент пистолета содержит нижнюю поверхность с проходящим через нее отверстием, которое вмещает мишень, прикрепленную к нижней поверхности распылительного пистолета, и

при этом внешний край нижней поверхности защитного элемента пистолета является закругленным и находится за пределами линии видимости при наблюдении от мишени.

8. Камера для обработки, содержащая

крышку, расположенную над верхней поверхностью области обработки указанной камеры; и

множество распылительных пистолетов, которые проходят через крышку камеры для обработки и каждый из которых ориентирован таким образом, что нижняя плоская поверхность каждого пистолета наклонена в направлении внешней периферии подложки,

причем каждый из указанного множества распылительных пистолетов прикреплен к рычагу обеспечения выступания, выполненному для обеспечения возможности перемещения с четырьмя степенями свободы.

9. Камера для обработки по п.8, в которой перемещение с четырьмя степенями свободы включает перемещение вдоль оси X, оси Y, оси Z и поворот.

10. Камера для обработки по п.8, в которой

нормаль к нижней плоской поверхности находится между приблизительно 1 градусом и приблизительно 75 градусами относительно нормали к поверхности опоры подложки камеры для обработки, и

11. Камера для обработки по п.8, дополнительно содержащая

опору подложки, расположенную ниже указанного множества распылительных пистолетов и выполненную для поворота вокруг оси опоры подложки.

12. Камера для обработки по п.11, в которой

рычаг обеспечения выступания обеспечивает подачу вспомогательных средств к соответствующему распылительному пистолету и вал, расположенный вокруг оси опоры подложки, обеспечивает подачу вспомогательных средств к опоре подложки.

13. Камера для обработки по п.1, в которой

крышка соприкасается с боковой стенкой камеры для обработки на внешней периферийной поверхности боковой стенки.

14. Камера для обработки по п.1, в которой

корпус распылительного пистолета имеет путь заземления через крышку и защитный элемент обрабатывающего комплекта к нижней части корпуса камеры.

15. Способ обработки подложки, включающий

осаждение слоя материала поверх всей поверхности подложки посредством множества распылительных пистолетов, расположенных над поверхностью подложки; и

комбинированное осаждение еще одного слоя материала поверх области указанного слоя материала посредством указанного множества распылительных пистолетов.

16. Способ по п.15, в котором

осаждение и комбинированное осаждение выполняют последовательно в одной и той же камере для обработки.

17. Способ по п.15, в котором

каждый из указанного множества распылительных пистолетов ориентирован таким образом, что нижняя поверхность каждого распылительного пистолета наклонена в направлении внешней периферии камеры для обработки.

18. Способ по п.15, дополнительно включающий

поворот подложки во время осаждения слоя материала.

19. Способ по п.15, в котором комбинированная обработка включает

осаждение материала поверх еще одной области отличным образом от указанного осаждения еще одного слоя,

причем осаждение материала поверх еще одной области отличным образом включает в себя одно из следующего: изменение материалов, изменение условий обработки или изменение последовательностей технологических операций.

20. Способ по п.15, дополнительно включающий

перемещение каждого из указанного множества распылительных пистолетов вокруг множества осей.