RU2013130900A - Полупроводниковый датчик кислорода - Google Patents

Полупроводниковый датчик кислорода Download PDF

Info

Publication number
RU2013130900A
RU2013130900A RU2013130900/28A RU2013130900A RU2013130900A RU 2013130900 A RU2013130900 A RU 2013130900A RU 2013130900/28 A RU2013130900/28 A RU 2013130900/28A RU 2013130900 A RU2013130900 A RU 2013130900A RU 2013130900 A RU2013130900 A RU 2013130900A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
semiconductor layer
oxygen sensor
semiconductor
semiconductor oxygen
interval
Prior art date
Application number
RU2013130900/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2546849C2 (ru
Inventor
Владимир Васильевич Каминский
Сергей Александрович Казаков
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "СмС тензотерм Рус"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "СмС тензотерм Рус" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "СмС тензотерм Рус"
Priority to RU2013130900/28A priority Critical patent/RU2546849C2/ru
Priority to PCT/RU2014/000464 priority patent/WO2015002571A1/ru
Publication of RU2013130900A publication Critical patent/RU2013130900A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2546849C2 publication Critical patent/RU2546849C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4073Composition or fabrication of the solid electrolyte

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

1. Полупроводниковый датчик кислорода, содержащий диэлектрическую подложку и полупроводниковый слой с нанесенными на его поверхность металлическими электродами, отличающийся тем, что полупроводниковый слой выполнен из материала с составом SmLnS, где Ln представляет собой один из следующих элементов: La, Ce, Pr, Nd, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, a x имеет значение из интервала от 0 до 0,14.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что толщина полупроводникового слоя лежит в пределах от 0,07 мкм до 0,2 мкм.

Claims (2)

1. Полупроводниковый датчик кислорода, содержащий диэлектрическую подложку и полупроводниковый слой с нанесенными на его поверхность металлическими электродами, отличающийся тем, что полупроводниковый слой выполнен из материала с составом Sm1-xLnxS, где Ln представляет собой один из следующих элементов: La, Ce, Pr, Nd, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, a x имеет значение из интервала от 0 до 0,14.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что толщина полупроводникового слоя лежит в пределах от 0,07 мкм до 0,2 мкм.
RU2013130900/28A 2013-07-05 2013-07-05 Полупроводниковый датчик кислорода RU2546849C2 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013130900/28A RU2546849C2 (ru) 2013-07-05 2013-07-05 Полупроводниковый датчик кислорода
PCT/RU2014/000464 WO2015002571A1 (ru) 2013-07-05 2014-06-27 Полупроводниковый датчик кислорода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013130900/28A RU2546849C2 (ru) 2013-07-05 2013-07-05 Полупроводниковый датчик кислорода

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013130900A true RU2013130900A (ru) 2015-01-10
RU2546849C2 RU2546849C2 (ru) 2015-04-10

Family

ID=52144041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013130900/28A RU2546849C2 (ru) 2013-07-05 2013-07-05 Полупроводниковый датчик кислорода

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2546849C2 (ru)
WO (1) WO2015002571A1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2603337C1 (ru) * 2015-07-16 2016-11-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Омский государственный технический университет" Полупроводниковый газовый датчик микропримесей кислорода
RU187225U1 (ru) * 2018-12-07 2019-02-25 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" Полупроводниковый газоанализатор кислорода

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5884129A (ja) * 1981-11-11 1983-05-20 Teijin Ltd 金属酸化物複合体及び酸素センサ−
EP0677741A3 (en) * 1994-04-12 1996-05-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Oxygen sensor.
JP2002257775A (ja) * 2000-12-28 2002-09-11 Ibiden Co Ltd 酸素センサー
RU2235316C1 (ru) * 2003-06-05 2004-08-27 Омский государственный технический университет Полупроводниковый газовый датчик

Also Published As

Publication number Publication date
RU2546849C2 (ru) 2015-04-10
WO2015002571A1 (ru) 2015-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2014033194A5 (ru)
JP2015060159A5 (ru)
JP2014045225A5 (ja) 電子機器及び素子
JP2014057056A5 (ja) 半導体装置
TW201612614A (en) Electrochromic devices
JP2011124556A5 (ja) 半導体装置
JP2013140989A5 (ru)
ES2629901T3 (es) Disposición de lunas con recubrimiento amortiguador de infrarrojos
JP2012160720A5 (ja) 半導体装置
JP2013077836A5 (ru)
JP2014143410A5 (ja) 半導体装置
AR091244A1 (es) Panel con un elemento de conexion electrica
JP2013179294A5 (ja) 半導体装置
JP2013211543A5 (ja) 半導体装置
JP2011238912A5 (ja) 半導体装置の作製方法
JP2011124557A5 (ja) 半導体装置
JP2016006872A5 (ja) 半導体装置
JP2011181906A5 (ja) 半導体装置
JP2013191837A5 (ru)
TW201612558A (en) Display device
JP2014045192A5 (ru)
EP2908343A3 (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP2012216791A5 (ru)
JP2011146692A5 (ja) 半導体装置
JP2015073089A5 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170706