RU2007105747A - Датчик давления с внешним нагревателем - Google Patents

Claims (32)

1. Датчик давления, содержащий:

соединитель;

корпус электронной части чувствительного элемента;

узел чувствительного элемента, сформированный в нем, при этом узел чувствительного элемента присоединен к корпусу электронной аппаратуры чувствительного элемента; и

внешний нагреватель, размещенный над узлом чувствительного элемента, чтобы повышать температуру узла чувствительного элемента.

2. Датчик по п.1, в котором чувствительный элемент сформирован из монокристаллического материала.

3. Датчик по п.1, в котором чувствительный элемент присоединен посредством сплавления.

4. Датчик по п.1, дополнительно содержащий съемный узел соединителя, имеющий вход и выход, при этом вход соединен с соединителем датчика.

5. Датчик по п.1, дополнительно содержащий схему управления нагревателем, размещенную в узле соединителя и соединенную с внешним нагревателем.

6. Датчик по п.5, дополнительно содержащий чувствительный к температуре элемент, соединенный со схемой управления нагревателем и размещенный таким образом, чтобы измерять температуру узла чувствительного элемента.

7. Датчик по п.4, в котором нагреватель соединен с узлом соединителя вне корпуса электронной части нагревательного элемента.

8. Датчик по п.4, в котором вход и выход имеют одинаковый тип соединения, но противоположный друг другу гендерный тип.

9. Датчик по п.4, в котором узел соединителя включает в себя, по меньшей мере, один индикатор.

10. Датчик по п.9, в котором, по меньшей мере, один индикатор включает в себя светодиодный индикатор.

11. Датчик по п.1, в котором внешний нагреватель включает в себя отверстие, имеющее такой размер, чтобы в него проходил узел чувствительного элемента.

12. Датчик по п.1, в котором внешний нагреватель включает в себя чувствительный к температуре элемент для измерения температуры узла чувствительного элемента.

13. Датчик по п.1, в котором внешний нагреватель включает в себя оболочку нагревателя, прикрепленную к узлу чувствительного элемента.

14. Датчик по п.13, в котором оболочка нагревателя включает в себя чувствительный к температуре элемент для измерения температуры узла чувствительного элемента.

15. Датчик по п.1, при этом датчик представляет собой датчик высокой степени чистоты, который обнаруживает вакуум.

16. Датчик по п.1, в котором чувствительный элемент сформирован из хрупкого материала.

17. Датчик по п.1, в котором внешний нагреватель является сменным, чтобы варьировать диапазон рабочих температур датчика.

18. Датчик по п.1, в котором внешний нагреватель включает в себя, по меньшей мере, один нагревательный элемент.

19. Датчик по п.18, в котором, по меньшей мере, одним нагревательным элементом является катушка.

20. Датчик по п.18, в котором, по меньшей мере, одним нагревательным элементом является вытравленный след.

21. Комплект для внешнего нагрева узла чувствительного элемента датчика давления, при этом комплект содержит:

узел нагревателя, имеющий такой размер, чтобы внешне прикрепляться к узлу чувствительного элемента датчика давления; и

узел соединителя, соединенный с узлом нагревателя и выполненный с возможностью выборочно подавать питание в узел нагревательного элемента, чтобы поддерживать повышенную температуру узла нагревателя.

22. Комплект по п.21, в котором узел нагревателя включает в себя отверстие, имеющее такой размер, чтобы в него проходил узел чувствительного элемента, чувствительного к давлению элемента.

23. Комплект по п.21, в котором узел нагревателя дополнительно включает в себя чувствительный к температуре элемент, соединенный с узлом соединителя.

24. Комплект по п.21, в котором узел нагревателя включает в себя оболочку нагревателя, применяемую так, чтобы прикрепляться к внешней поверхности узла чувствительного элемента.

25. Комплект по п.24, в котором оболочка нагревателя включает в себя чувствительный к температуре элемент, соединенный с узлом соединителя.

26. Комплект по п.21, в котором узел соединителя включает в себя вход и выход, при этом вход и выход имеют одинаковый тип соединения, но противоположный друг другу гендерный тип.

27. Комплект по п.21, в котором узел соединителя включает в себя, по меньшей мере, один индикатор.

28. Комплект по п.21, в котором чувствительный давлению элемент представляет собой чувствительный к вакууму элемент высокой степени чистоты.

29. Множество комплектов для внешнего нагрева узла чувствительного элемента датчика давления, при этом множество комплектов содержит:

первый комплект, содержащий:

узел нагревателя первого комплекта, имеющий такой размер, чтобы прикрепляться снаружи к узлу чувствительного элемента датчика давления; и

узел соединителя первого комплекта, соединенный с узлом нагревателя первого комплекта и выполненный с возможностью выборочно подавать питание в узел нагревательного элемента первого комплекта, чтобы поддерживать повышенную температуру узла нагревателя первого комплекта в первом диапазоне температур; и

второй комплект, содержащий:

узел нагревателя второго комплекта, имеющий такой размер, чтобы прикрепляться снаружи к узлу чувствительного элемента датчика давления; и

узел соединителя второго комплекта, соединенный с узлом нагревателя второго комплекта и выполненный с возможностью выборочно подавать питание в узел нагревательного элемента второго комплекта, чтобы поддерживать повышенную температуру узла нагревателя второго комплекта во втором диапазоне температур.

30. Множество комплектов по п.29, в которых первый и второй диапазоны температур не перекрываются.

31. Способ работы датчика давления, имеющего узел соединителя и узел чувствительного элемента, при этом способ содержит этапы, на которых:

предоставляют электрический нагреватель и

размещают электрический нагреватель так, чтобы нагревать внешнюю поверхность узла чувствительного элемента.

32. Датчик давления, содержащий:

соединитель;

корпус электронной части чувствительного элемента;

узел чувствительного элемента, сформированный в нем, при этом узел чувствительного элемента присоединен к корпусу электронной аппаратуры чувствительного элемента; и

средство нагрева узла чувствительного элемента.