DE102017122605A1 - Drucksensor auf keramischen Substrat - Google Patents

Drucksensor auf keramischen Substrat Download PDF

Info

Publication number
DE102017122605A1
DE102017122605A1 DE102017122605.2A DE102017122605A DE102017122605A1 DE 102017122605 A1 DE102017122605 A1 DE 102017122605A1 DE 102017122605 A DE102017122605 A DE 102017122605A DE 102017122605 A1 DE102017122605 A1 DE 102017122605A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure sensor
pressure
heating element
sensor according
ceramic substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102017122605.2A
Other languages
English (en)
Inventor
Benjamin Bohl
Jan Ihle
Bert Hundertmark
Bernd Polder
Christian Wohlgemuth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Electronics AG
Original Assignee
TDK Electronics AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Electronics AG filed Critical TDK Electronics AG
Priority to DE102017122605.2A priority Critical patent/DE102017122605A1/de
Priority to EP18779647.9A priority patent/EP3688435A1/de
Priority to PCT/EP2018/076318 priority patent/WO2019063717A1/de
Priority to JP2020518018A priority patent/JP2020535434A/ja
Priority to CN201880063088.8A priority patent/CN111108359A/zh
Priority to US16/650,937 priority patent/US20200292401A1/en
Publication of DE102017122605A1 publication Critical patent/DE102017122605A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/26—Details or accessories
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/025—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning with temperature compensating means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0264—Pressure sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L2009/0066—Mounting arrangements of diaphragm transducers; Details thereof, e.g. electromagnetic shielding means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Es wird ein Drucksensor für Relativ- oder Absolutdruckmessung angegeben. Dieser ist mit einem zusätzlichen Heizelement ausgestattet um störende Medien zu verdrängen.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zum Einsatz in gefrierenden oder hochviskosen Medien.
  • Bei der Druckmessung mittels Drucksensoren in Medien unter erschwerten bzw. extremen Bedingungen kommt es vor, dass Kondensat, gefrierende oder hochviskose Medien das Messsignal der eingesetzten Drucksensoren verfälschen. Solche Medien können unter anderem heiße, viskose, dünnflüssige kalte, wässrige oder ölige Phasen, kalte dickflüssige Öle, gefrorenes Wasser oder Kraftstoff sein, wie sie insbesondere beim Einsatz in Kraftfahrzeugen auftreten können. Die Folgen einer verfälschten Messung können sein: Ungenügende Abgasreinigung, ein Motorschaden oder allgemein ein Schaden an anderen Elementen eines zu überwachenden Prozesses. Durch eine erhöhte Anforderung an die Abgasreinhaltung von Verbrennungsmotoren ist es z.B. notwendig, direkt nach einem Motorkaltstart exakte Druckmessungen in verschiedenen Medien durchzuführen.
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drucksensor anzugeben, der die oben genannten Probleme vermeidet und beispielsweise bereits zeitnah zu einem Motorkaltstart eine korrekte Druckmessung in einem motorrelevanten Medium durchführen und die Lebensdauer des Drucksensors erhöhen kann.
  • Die Aufgabe wird durch einen Drucksensor gemäß dem vorliegenden Anspruch 1 gelöst. Abhängige Ansprüche geben vorteilhafte Ausführungen an.
  • Zur Lösung wird ein Drucksensor vorgeschlagen, mit dem es möglich ist einen Relativ- oder Absolutdruck zu messen. Dieser weist ein Gehäuse auf, welches wiederum eine Gehäusewand umfasst. Die Gehäusewand kann für eine Messung des Absolutdrucks abgedichtet sein oder für eine Messung eines Relativdrucks Öffnungen enthalten, um z.B. Atmosphärenbedingungen als Referenzdruck zu verwenden. In dem Gehäuse sind angeordnet: ein Keramiksubstrat und ein darauf angeordnetes Sensorelement.
  • Das Sensorelement ist ein Bauteil, in dem eine druckbedingte Auslenkung einer Membran bestimmt wird. Es kann in verschiedenen technischen Varianten ausgeführt sein: z.B. als eine direkte Druckbestimmung durch Nutzung des Piezoeffekts oder als indirekte Druckbestimmung durch Messung der Dehnung der Membran mithilfe von z.B. Widerstandselementen.
  • Für die Orientierung des Sensorelements wird im Folgenden die Seite des Sensorelements, an der sich die Membran befindet, als Oberseite des Sensorelements bezeichnet und die gegenüberliegende Seite als Unterseite des Sensorelements. An der Unterseite befindet sich im Sensorelement ein Medienzugang, der die Membran von der Unterseite her für das Druck führende Medium zugänglich macht. Das Sensorelement kann als MEMS-Bauteil ausgebildet sein.
  • Das Sensorelement ist mit seiner Unterseite auf dem Keramiksubstrat angebracht, das als Träger dient und einen elektrischen Anschluss für das Sensorelements umfasst. Dieser dient dazu ein Messsignal aus dem Drucksensor heraus zu leiten, wo es extern verarbeitet wird und wo dem Messsignal ein Druck zugeordnet wird.
  • Für die Messung eines Relativdrucks ist unter dem Sensorelement ein Durchlass im Keramiksubstrat, durch den ein zu messendes Medium an den Mediengang des Sensorelements hin geführt wird. Die Oberseite des Sensorelements ist einem Vergleichsdruck ausgesetzt, der z.B. der Atmosphärendruck ist. Dieser kann, bei einer solchen Relativdruckmessung, durch Öffnungen in der Gehäusewand in den Drucksensor gelangen. In einer alternativen Ausführung kann der Absolutdruck gemessen werden. Dabei ist kein Durchlass im Keramiksubstrat vorhanden und die Unterseite des Sensorelements ist abgedichtet. Zusätzlich kann eine Gelbegrenzung um das Sensorelement herum auf dem Keramiksubstrat angebracht sein. Diese ist mit Gel gefüllt, das die Oberseite des Sensorelements bedeckt und so vor Feuchtigkeit schützt. Der zu messende Druck wird durch das Gel auf die Membran des Sensorelements übertragen. Es ist auch möglich, einen Sensor mit Gelbegrenzung und Füllung bei der Relativdruckmessung einzusetzen.
  • Des Weiteren ist ein Heizelement Bestandteil des Drucksensors. Das Heizelement kann an verschiedenen Positionen im Drucksensor angebracht sein mit dem Zweck, im Drucksensor eine Betriebstemperatur zu erreichen, die eine exakte Messung erlaubt. Durch das Aufheizen des Drucksensors werden mögliche feste und flüssige Kondensate aufgetaut, ggfs. verdampft und zusammen mit eventuell vorhandenen hochviskosen Medien aus dem Drucksensor ausgetrieben bzw. ausgeheizt. Mit dem Heizelement ist es auch möglich, eine Bildung von Eiskristallen zu verhindern, die das Sensorelement beschädigen oder zerstören können.
  • Die verschiedenen möglichen Positionen für das Heizelement liegen alle im Inneren des Drucksensors. Im Folgenden sind beispielhafte Positionen in einer nicht erschöpfenden Liste aufgeführt:
  • Das Heizelement kann angeordnet sein
    • - auf oder in dem Keramiksubstrat (Positionen A und B), wobei das Heizelement hier vorzugsweise in der Nähe der elektrischen Anschlüsse angebracht ist.
    • - in dem Gehäuse, z.B. innen an der Gehäusewand (Position C), wobei das Heizelement durch Kleben, Klemmen oder Löten in direktem Kontakt zu Bauteilen des Gehäuses steht.
    • - innerhalb der Gehäusewand (Position D).
    • - auf der Gelbegrenzung (Position G), falls eine solche in der Ausführung vorhanden ist.
  • Die verschiedenen Ausführungen des Heizelements können umfassen: Einen leitfähigen Kunststoff, einen z.B. als Mäander geformten Widerstand oder einen Widerstand mit positivem Temperaturkoeffizienten. Der Vorteil einer möglichen Mäanderform des Widerstands ist, dass der Widerstand länger ist und folglich einen höheren Wert hat, was zu einer höheren Heizleitung führt. Mit der Verwendung eines Widerstands mit positiven Temperaturkoeffizienten ist eine externe Regelung einer Heizleistung des Heizelements nicht mehr nötig.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist das Heizelement in das Gehäuse des Sensors integriert und so ausgebildet, dass es Mikrowellen erzeugen und abstrahlen kann, mit denen wahlweise der gesamte Drucksensor, einzelne Bestandteile davon oder die zu messenden Medien erhitzt werden. Dadurch findet die Erwärmung direkt am gewünschten Ort und z.B. im Medium statt und die aufgewendete Heizleistung kann optimaler genutzt werden.
  • Eine Stromzuführung des Heizelements kann über verschiedene Wege stattfinden. Dabei gibt es z.B. die Möglichkeit einer Stromzuführung über die Stromzufuhr des Drucksensors, oder auch die Variante einer zusätzlichen und vom Drucksensor unabhängigen Stromversorgung. Die Separation der Energieversorgung hat den Vorteil, dass die Messsignale durch die Stromzufuhr zum Heizelement nicht beeinträchtigt werden.
  • Neben dem beschriebenen Heizelement kann der Drucksensor ein weiteres Heizelement in einer der erläuterten Bauformen und Positionen umfassen. Dieses kann an einer der beschriebenen, aber von der Position des ersten Heizelementes verschiedenen Position angebracht sein. Durch den Einsatz mehrerer Heizelemente kann der Drucksensor homogener und somit effizienter aufgeheizt werden.
  • Im Folgenden werden die Erfindung und ihre Komponenten anhand einer Auswahl von Ausführungsbeispielen und der dazugehörigen schematischen Figuren näher erläutert.
    • 1 zeigt in einer Schnittansicht einen Drucksensor mit einem auf einem Keramiksubstrat angeordneten Sensorelement für Absolutdruckmessung samt verschiedene Positionen zur Anordnung eines Heizelements.
    • 2 zeigt die Schnittansicht einer alternativen Ausführung des Drucksensors auf einem Keramiksubstrat für Relativdruckmessung, mit den verschiedenen Positionen eines Heizelements und dessen mögliche relative Anordnung.
    • 3 zeigt die schematische Schnittansicht eines Sensorelements.
  • Die in 1 gezeigte Schnittansicht zeigt den schematischen Aufbau eines Drucksensors für eine Absolutdruckmessung. Dieser weist ein Gehäuse GH umfassend eine Gehäusewand GW auf. Innerhalb des Gehäuses ist ein Keramiksubstrat KS angebracht und darauf ein Sensorelement SE sowie eine Gelfüllung GF innerhalb einer Gelbegrenzung GB angeordnet. Das Sensorelement ist in einer Form auf dem Keramiksubstrat angeordnet, dass Druck nur von einer Seite auf die Membran des Sensorelements einwirken kann. Diese Seite ist die mit Gel abgedeckte Oberseite des Sensorelements. Die Gelfüllung schützt eine drucksensitive Membran des Sensorelements vor Feuchtigkeit. Öffnungen im Gehäuse oder der Gehäusewand ermöglichen es, dass sich der Atmosphärendruck auch im Inneren des Gehäuses einstellt und am Gel anliegt, das den Druck auf die Membran des Sensorelements überträgt. Da die Rückseite des Sensorelements mit dem Keramiksubstrat verschlossen ist, erfolgt dann eine Absolutdruckmessung. Außerdem sind mehrere verschiedene Varianten zur möglichen Positionierung eines oder mehrerer Heizelemente A bis G eingezeichnet. Die eingezeichneten beispielhaften Anbringungsorte des Heizelements sind wie folgt: Das Heizelement kann
    • - in oder auf dem Keramiksubstrat (Positionen A und B),
    • - in dem Gehäuse, z.B. innen an der Gehäusewand (Position C),
    • - innerhalb der Gehäusewand (Position D),
    • - auf der Gelbegrenzung (Position G)
    angeordnet sein.
  • Die in 2 gezeigte Schnittansicht zeigt den schematischen Aufbau eines Drucksensors für eine Relativdruckmessung. Dieser weist ein Gehäuse GH umfassend eine Gehäusewand GW auf. In dem Gehäuse sind ein Keramiksubstrat KS und ein darauf angeordnetes Sensorelement SE befestigt. Das Keramiksubstrat KS weist einen Durchlass DL auf. Das Sensorelement ist so auf dem Keramiksubstrat angeordnet, dass sich der Durchlass unter dem Sensorelement befindet. Durch den Durchlass kann ein druckführendes Medium an die Unterseite des Sensorelements geführt werden. Der Atmosphärendruck gelangt als Referenzdruck durch Öffnungen im Gehäuse an die Oberseite des Sensorelements und ermöglicht so eine Relativdruckmessung.
  • Außerdem sind mehrere verschiedene Varianten zur möglichen Positionierung eines oder mehrerer Heizelemente A bis D eingezeichnet. Die eingezeichneten beispielhaften Anbringungsorte des Heizelements sind wie folgt: Das Heizelement kann
    • - in oder auf dem Keramiksubstrat (Positionen A und B),
    • - in dem Gehäuse, z.B. innen an der Gehäusewand (Position C),
    • - innerhalb der Gehäusewand (Position D)
    angeordnet sein.
  • 3 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht des Sensorelements SE. Hier ist eine Membran des Sensorelements MS zu erkennen, die hier die Oberseite OS des Sensorelements bildet. Der Oberseite gegenüberliegend ist eine Unterseite US des Sensorelements angeordnet, an der sich ein Mediengang MG zur Membran des Sensorelements MS befindet.
  • Die in den 1, 2 und 3 dargestellte Form des Sensorelements ist nur beispielhaft. Es können auch andere Formen oder Materialien zur Konstruktion eines Sensorelements oder des Drucksensors verwendet werden.
  • Alle Darstellungen in den 1, 2 und 3 sind rein schematisch und es lassen sich keine korrekten Größenverhältnisse der jeweilig dargestellten Bauteile entnehmen.
  • Bezugszeichenliste
    • A
    Heizelement auf Keramiksubstrat
    B
    Heizelement in Keramiksubstrat
    BL
    Belüftung
    C
    Heizelement im Gehäuse
    D
    Heizelement in Gehäusewand
    DL
    Durchlass
    DZ
    Druckzufuhr
    G
    Heizelement auf der Gelbegrenzung
    GB
    Gelbegrenzung
    GF
    Gelfüllung
    GH
    Gehäuse
    GW
    Gehäusewand
    KS
    Keramiksubstrat
    MG
    Mediengang
    MS
    Membran des Sensorelements
    OS
    Oberseite des Sensorelements
    SE
    Sensorelement
    US
    Unterseite des Sensorelements

Claims (13)

  1. Drucksensor zur Bestimmung von Relativ- oder Absolutdruck umfassend, - ein Gehäuse (GH), umfassend eine Gehäusewand (GW), darin angeordnet - ein Sensorelement (SE) - ein Keramiksubstrat (KS), das als Träger des Sensorelements und dessen elektrischen Anschlusses dient, sowie - ein Heizelement das im Inneren des Gehäuses oder der Gehäusewand (GW) angeordnet ist.
  2. Drucksensor nach dem vorherigen Anspruch, wobei das Heizelement in einer Position A (A) auf oder einer Position B (B) in dem Keramiksubstrat (KS) angeordnet ist.
  3. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das Heizelement an der Innenwand des Gehäuses (GH) an der Position C (C) oder in der Gehäusewand (GW) an Position D (D) angeordnet ist.
  4. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Sensorelement so auf dem Keramiksubstrat (KS) angeordnet ist, das nur eine Oberseite (OS) des Sensorelements mit einem Druck beaufschlagt werden kann und nur ein Absolutdruck gemessen werden kann.
  5. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Keramiksubstrat einen Durchlass (DL) aufweist, wobei das Sensorelements so im Durchlass angeordnet ist, dass ein unabhängiger Medienzugang von Oberseite und Unterseite (US) des Sensorelements möglich ist, so dass ein Relativdruck gemessen werden kann.
  6. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, mit einem Sensorelement, das auf der Oberseite eine Membran (MS) aufweist mit einer oben offenen Gelbegrenzung (GB) auf dem Keramiksubstrat mit einer Gelfüllung (GF), die in die Gelbegrenzung eingefüllt ist und die Membran abdeckt wobei die Gelfüllung (GF) als Schutz der Membran (MS) dient.
  7. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Heizelement auf der Gelbegrenzung angeordnet ist (Position G), die das Gel begrenzt.
  8. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Heizelement einen elektrisch leitfähigen Kunststoff umfasst.
  9. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Heizelement ein Widerstandselement umfasst, das über einen positiven Temperaturkoeffizienten verfügt.
  10. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Heizelement in Teilen der Gehäusewand integriert ist (D) und zum Erzeugen einer Mikrowellenstrahlung geeignet ist.
  11. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Heizelement eine vom Drucksensor separierte Stromversorgung aufweist.
  12. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Sensorelement als MEMS Bauteil ausgebildet ist.
  13. Drucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, mit einem weiteren Heizelement, das an einem vom ersten Heizelement verschiedenen Ort angeordnet ist und einem der Ansprüche 2 bis 8 genügt.
DE102017122605.2A 2017-09-28 2017-09-28 Drucksensor auf keramischen Substrat Withdrawn DE102017122605A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017122605.2A DE102017122605A1 (de) 2017-09-28 2017-09-28 Drucksensor auf keramischen Substrat
EP18779647.9A EP3688435A1 (de) 2017-09-28 2018-09-27 Drucksensor auf keramischen substrat
PCT/EP2018/076318 WO2019063717A1 (de) 2017-09-28 2018-09-27 Drucksensor auf keramischen substrat
JP2020518018A JP2020535434A (ja) 2017-09-28 2018-09-27 セラミック基板上の圧力センサ
CN201880063088.8A CN111108359A (zh) 2017-09-28 2018-09-27 在陶瓷基底上的压力传感器
US16/650,937 US20200292401A1 (en) 2017-09-28 2018-09-27 Pressure Sensor on a Ceramic Substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017122605.2A DE102017122605A1 (de) 2017-09-28 2017-09-28 Drucksensor auf keramischen Substrat

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102017122605A1 true DE102017122605A1 (de) 2019-03-28

Family

ID=63713878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102017122605.2A Withdrawn DE102017122605A1 (de) 2017-09-28 2017-09-28 Drucksensor auf keramischen Substrat

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20200292401A1 (de)
EP (1) EP3688435A1 (de)
JP (1) JP2020535434A (de)
CN (1) CN111108359A (de)
DE (1) DE102017122605A1 (de)
WO (1) WO2019063717A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021107576A1 (de) 2020-03-26 2021-09-30 Ifm Electronic Gmbh Druckmessgerät mit kontrollierter Entlüftung und ein Verfahren zur Kontrolle der Entlüftung

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060070447A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-06 Mks Instruments, Inc. High-temperature reduced size manometer
WO2008154760A1 (de) * 2007-06-19 2008-12-24 Inficon Gmbh Vakuummesszellenanordnung mit heizung
DE102008049143A1 (de) * 2008-09-26 2010-04-08 Intelligente Sensorsysteme Dresden Gmbh Drucksensor
US20110132096A1 (en) * 2009-12-09 2011-06-09 Honeywell Intellectual Inc. Pressure sensor with on-board compensation
WO2012129711A1 (de) * 2011-03-30 2012-10-04 Inficon Gmbh Gasdruckmesszellenanordnung
DE102014207480A1 (de) * 2014-04-17 2015-10-22 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Erfassen eines Parameters eines Gases, Verfahren zum Betreiben einer derartigen Vorrichtung und Messsystem zum Bestimmen eines Parameters eines Gases
US20170030789A1 (en) * 2015-07-30 2017-02-02 Alps Electric Co., Ltd. Sensor package

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5776431A (en) * 1980-10-30 1982-05-13 Toshiba Corp Semiconductor ressure transducer
JPH02124527U (de) * 1989-03-24 1990-10-15
US5625152A (en) * 1996-01-16 1997-04-29 Mks Instruments, Inc. Heated pressure transducer assembly
JP4712220B2 (ja) * 2001-05-02 2011-06-29 大亜真空株式会社 圧力測定装置
US7347099B2 (en) * 2004-07-16 2008-03-25 Rosemount Inc. Pressure transducer with external heater
DE102005029841B4 (de) * 2004-07-28 2013-09-05 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Drucksensor mit beheiztem Passivierungsmittel und Verfahren zu seiner Steuerung
US7124640B1 (en) * 2005-07-13 2006-10-24 Mks Instruments, Inc. Thermal mounting plate for heated pressure transducer
JP4563312B2 (ja) * 2005-12-05 2010-10-13 株式会社堀場エステック 静電容量式圧力センサ装置
JP2009058366A (ja) * 2007-08-31 2009-03-19 Nissan Motor Co Ltd 圧力検出装置
DE102008002579A1 (de) * 2008-06-23 2009-12-24 Robert Bosch Gmbh Mikro-elektromechanisches Sensorelement
JP2012189349A (ja) * 2011-03-09 2012-10-04 Seiko Epson Corp 流速センサー
DE102012223879A1 (de) * 2012-12-20 2014-07-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Drucksensors einer Abgasnachbehandlungseinrichtung eines Kraftfahrzeugs

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060070447A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-06 Mks Instruments, Inc. High-temperature reduced size manometer
WO2008154760A1 (de) * 2007-06-19 2008-12-24 Inficon Gmbh Vakuummesszellenanordnung mit heizung
DE102008049143A1 (de) * 2008-09-26 2010-04-08 Intelligente Sensorsysteme Dresden Gmbh Drucksensor
US20110132096A1 (en) * 2009-12-09 2011-06-09 Honeywell Intellectual Inc. Pressure sensor with on-board compensation
WO2012129711A1 (de) * 2011-03-30 2012-10-04 Inficon Gmbh Gasdruckmesszellenanordnung
DE102014207480A1 (de) * 2014-04-17 2015-10-22 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Erfassen eines Parameters eines Gases, Verfahren zum Betreiben einer derartigen Vorrichtung und Messsystem zum Bestimmen eines Parameters eines Gases
US20170030789A1 (en) * 2015-07-30 2017-02-02 Alps Electric Co., Ltd. Sensor package

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021107576A1 (de) 2020-03-26 2021-09-30 Ifm Electronic Gmbh Druckmessgerät mit kontrollierter Entlüftung und ein Verfahren zur Kontrolle der Entlüftung

Also Published As

Publication number Publication date
US20200292401A1 (en) 2020-09-17
CN111108359A (zh) 2020-05-05
JP2020535434A (ja) 2020-12-03
WO2019063717A1 (de) 2019-04-04
EP3688435A1 (de) 2020-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4035371C2 (de) Kapazitiver Feuchtesensor
DE3332880A1 (de) Sensor
DE3843177C2 (de) Verfahren zur Feststellung des Alkoholgehaltes und/oder des Heizwertes von Kraftstoffen
CH646789A5 (de) Druckgeber zur messung von heissen druckmedien.
DE112007002561T5 (de) Verfahren zum Messen eines Flüssigkeitspegels in einem Tank und zugehöriges System
DE3028188A1 (de) Sensor
EP1466170B1 (de) Messanordnung zur bestimmung einer eigenschaft eines fluides
DE102014116658A1 (de) Vorrichtung zur Temperaturbestimmung sowie Messanordnung zur Bestimmung des Durchflusses
DE102017122605A1 (de) Drucksensor auf keramischen Substrat
DE102012208054A1 (de) Sauerstoffsensor und diesen aufweisende Brennkraftmaschine
DE102017122631A1 (de) Drucksensor auf keramischen Druckstutzen
DE2851716A1 (de) Messeinrichtung fuer ansaugluft-druck und -temperatur
DE102017122607A1 (de) Mediengetrennter Drucktransmitter
DE102017128408A1 (de) Kompakter Drucksensor
DE102017210270A1 (de) Luftfilterelement mit integrierter Verunreinigungsmessung
DE1904268U (de) Spannungsmessbruecke aus metallfolie zur messung von belastungen in bauwerken od. dgl.
DE714992C (de) Piezoelektrischer Druckmesser
DE102020115842B3 (de) Durchlauferhitzer mit Drucksensor
DE4428616A1 (de) Kapazitive Sonde zur Überwachung von Flüssigkeit in einem Behälter
DE10164018A1 (de) Verfahren zur Ermittlung der Wärmekapazität sowie ggf. der Wärmeleitfähigkeit
DE102020003324A1 (de) Verfahren zum Ermitteln der Konzentration von Wasser oder Korrosionsfrostschutz in einem Kühlmittel
DE102007015476A1 (de) Druckübertragungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102015201155A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Temperaturerfassung
DE763800C (de) Ventil fuer Luftreifenschlaeuche
DE2752735A1 (de) Fuellstandsanzeiger

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE

R016 Response to examination communication
R120 Application withdrawn or ip right abandoned